JPH0578184B2 - - Google Patents

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JPH0578184B2
JPH0578184B2 JP58220605A JP22060583A JPH0578184B2 JP H0578184 B2 JPH0578184 B2 JP H0578184B2 JP 58220605 A JP58220605 A JP 58220605A JP 22060583 A JP22060583 A JP 22060583A JP H0578184 B2 JPH0578184 B2 JP H0578184B2
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gate
leads
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Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は半導体装置、特に使用周波数帯域が約
300MHz〜3GHz程度のUHF帯となるシングルゲ
ートGaAsFETに関する。
〔背景技術〕
一般に、電子機器の高性能化、小型化の要請に
基いて、電子機器に組み込まれる電子部品はより
高性能化、小型化が望まれている。たとえば、電
子部品は高性能化のために使用周波数帯をより高
くして動作速度の高速化が図られている。
従来、使用周波数が1GHz以上のデバイス(半
導体装置)は、誘電率が小さくなるように内部が
中空(空気)となるセラミツク・パツケージ、ガ
ラス・パツケージが採用されている(たとえば、
電子材料、1974年5月号61頁にはセラミツク・デ
イスク・パツケージによるデユアル・ゲート
GaAsFETが記載されている。)。
一方、高周波用トランジスタも他の半導体装置
と同様にパツケージはコスト高でかつ小型化が難
しいセラミツク・パツケージ、ガラス・パツケー
ジに代えて安価でかつ小型化し易い樹脂封止型
(レジン)・パツケージに移行してきている。たと
えば、レジン・パツケージ構造の高周波用平面形
デバイスとして、本出願人は第1図にその概要を
示すM−PAK(T−23)を開発している。すなわ
ち、このM−PAKは縦2.8mm、横1.5mm、高さ1.1
mmのレジン・パツケージ1の両側面からそれぞれ
2本のリード2を突出させた構造となつている。
レジン・パツケージ1の内部中央にはGaAsFET
のチツプ3を固定する矩形のチツプ固定部4が配
置されている。そして、1本のリード2はこのチ
ツプ固定部4に連なり、ソースS・リード5とな
つている。また、このソース・リード5の隣りに
はドレインD・リード6が位置している。また、
レジン・パツケージ1の他側面にはゲート1
(G1)・リード7およびゲート2(G2)・リード8
が配設されている。さらに、前記チツプ固定部4
上にはチツプ3が固定されている。チツプ3の各
電極とこれに対応する各リード2の内端はレジ
ン・パツケージ1内でワイヤ9によつて電気的に
接続されている。なお、前記実施例ではFETは
デユアル・ゲート型について説明したが、シング
ル・ゲート型ではゲート2(G2)・リード8をも
う一つのソース・リードとして用いる。この際、
通電効果増大のために、チツプ固定部4に連なら
ないもう一つのソース・リードの内端とチツプ固
定部4とはワイヤで接続される。
しかし、このような高周波用トランジスタはシ
ングル・ゲート構造の場合には、つぎのような欠
点が存在することが本発明者によつてあきらかと
された。
すなわち、前記トランジスタはリードパターン
を同一として、シングル・ゲート型おびデユア
ル・ゲート型が共用できるようにして、生産コス
トの低減化を図つているが、シングル・ゲート型
の場合には、チツプ固定部4ともう一つのソー
ス・リードとの間に新にワイヤを接続しなければ
ならず、ボンデイング工数が増大する。
また、前記トランジスタはチツプ固定部4の周
面ともう一つのソース・リード端面間にレジンが
存在するため、寄生容量が大きく、良好な高周波
特性が得られず、1GHzを越える超高周波に対し
て使用できない。
すなわち、寄生容量は第2図のシングル・ゲー
トFETの等価回路で示すように、ゲートG、ソ
ースS、ドレインDの各電極相互間に入力容量
C1、出力容量C2、帰還容量C3として存在する。
なお、通常はドレインには負荷Rが加わる。とこ
ろで、ゲートGに入力信号10が印加された場
合、ドレインDの出力信号11は逆相信号とな
り、ソースSにおける信号12は同相となる。
一方、容量Cは直流に対してはインピーダンス
は∞(無限大)として作用するが、交流に対して
はインピーダンスZは次式で与えられる。
Z=1/2πC この式からもわかるように、インピーダンスは
周波数が大きくなるにつれて小さくなる。この
結果、ドレインDに生じる逆相信号(出力)11
は帰還容量C3を介してゲートGに帰還すること
になる。この帰還はゲートGにネガテイブ・フイ
ードバツク(NFB)が掛つたことを意味し入力
のゲインが落ち、また、歪が大きくなつて雑音指
数(NF)を増大させる原因となる。
そこで、本発明者はシングル・ゲート型デバイ
スにあつては、ゲート1(G1)とゲート2(G2
のリード内端部分を連結させることによつて、リ
ードの厚さに対応するレジンの容量の低減が達成
できることに気が付き本発明を成した。
〔発明の目的〕
本発明の目的は安価なレジン・パツケージ型の
高周波デバイスを提供することにある。
本発明の他の目的は帰還容量が小さく、高周波
特性が良好なレジン・パツケージ型高周波デバイ
スを提供することにある。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な
特徴は、本明細書の記述および添付図面からあき
らかになるであろう。
〔発明の概要〕
本願において開示される発明のうち代表的なも
のの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
すなわち、本発明はレジン・パツケージ内にお
いて、ゲート・リードとドレイン・リードとの間
に接地電極であるソース・リードを配し、ゲー
ト・リードとドレイン・リードとの間のリードの
厚さ分に相当するレジンの寄生容量を無くした結
果、帰還容量の低減を図ることができ、高周波特
性の向上を達成することができる。
〔実施例〕
第3図は本発明の一実施例によるシングル・ゲ
ート型GaAsFET(M−PAK型FET)を示す斜視
図、第4図は同じく要部を示す平面図である。
このトランジスタは、たとえば、縦2.8mm、横
1.5mm、高さ1.1mmのレジン・パツケージ1を有す
るとともに、両側壁からそれぞれ2本のリード2
を平行に突出させた構造となつている。また、こ
のトランジスタは実装は面取り付け(平面形)と
なることから、リード2は途中で下方に一段折れ
曲がるとともに、先端はレジン・パツケージ1の
下面と平行になるように延在している。
一方、リード2は1対のソース・リード5,1
3、ゲート・リード14、ドレイン・リード6と
からなつている。ソース・リード5,13は太
く、かつレジン・パツケージ1の一方の対角線方
向にそれぞれ位置している。また、ゲート・リー
ド14およびドレイン・リード6はレジン・パツ
ケージ1の他方の対角線方向にそれぞれ位置して
いる。ゲート・リード14およびドレイン・リー
ド6はそれぞれ独立しているが、1対のソース・
リード5,13は高周波用GaAsFETのチツプ3
を固定するためのチツプ固定部4に連なり、機械
的、電気的に接続されている。したがつて、入力
電極であるゲート・リード14と出力電極である
ドレイン・リード6とはリード2の厚さ領域に限
つては電気的に接地電極であるソース・リード
5,13によつて遮断され、帰還容量は存在しな
くなる。
他方、チツプ3の各電極はこれに対応する各リ
ード2の内端(ソース・リード5,13にあつて
はチツプ固定部に近接する領域)にワイヤ9を介
して電気的に接続されている。なお、ゲート・リ
ード14およびドレイン・リード6の内端は部分
的に幅広となつていることから、レジン・パツケ
ージ1に喰い込み、動き難くなつていて、リード
抜けあるいはリード動きによるワイヤ断線は起き
ないようになつている。
〔効果〕
(1) このトランジスタはゲート・リード14およ
びドレイン・リード6間に接地電極であるソー
ス・リード5,13を配してあることから帰還
容量が低減し、電力利得(PG)の向上、雑音
指数(NF)の低減が図れ、高周波特性が向上
する。
(2) このトランジスタは高周波特性が向上するた
め、使用周波数帯域が1GHz以上の超高周波に
対しても使用できるようになり、安価なレジ
ン・パツケージ型の超高周波トランジスタの提
供が達成できる。
(3) 上記(2)より、超高周波帯域のデバイスにあつ
ても、小型化技術、平面実装技術が確立されて
いるレジン・パツケージ技術の用ができるた
め、小型で安価な平面実装型超高周波デバイス
を提供することができる。
特に本発明によれば、第4図から明らかなよう
に対角線方向に突出した1対の接地用ソースリー
ド5,13の幅は入力用ゲートリード14および
出力用ドレインリード2の幅よりも太く(幅広
く)形成されているためにその対角位置した幅広
リードによつて実装時に安定した位置合わせ、そ
して実装ができるという効果をもたらす。
以上本発明者によつてなされた発明を実施例に
もとづき具体的に説明したが、本発明は上記実施
例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。
〔利用分野〕
本発明はP−PAKと称した樹脂封止のシング
ルゲート型GaAsFETに適用して有効な技術であ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本出願人の開発によるM−PAK型ト
ランジスタの要部を示す平面図、第2図は同じく
シングル・ゲートFETの等価回路図、第3図は
本発明の一実施例によるM−PAK型トランジス
タの外観を示す斜視図、第4図は同じく要部を示
す平面図である。 1……レジン・パツケージ、2……リード、3
……チツプ、4……チツプ固定部、5……ソー
ス・リード、6……ドレイン・リード、7……ゲ
ート1・リード、8……ゲート2・リード、9…
…ワイヤ、10……入力信号、11……出力信
号、12……信号、13……ソース・リード、1
4……ゲート・リード、D……ドレイン、G……
ゲート、S……ソース、C1……入力容量、C2
…出力容量、C3……帰還容量。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 GaAsFETチツプと、そのGaAsFETチツプ
    を封止する樹脂封止体と、その樹脂封止体の対向
    する一対の両側面からそれぞれ2本ずつ突出し、
    それぞれが下方に一段折れ曲げられたリードとを
    有するシングル・ゲート型GaAsFETであつて、
    樹脂封止体の対角線方向に位置する1対のリード
    はそれぞれ独立した入力用ゲートリードおよび出
    力用ドレインリードを構成し、他の1対のリード
    はGaAsFETチツプを固定したチツプ固定部に連
    結し、それぞれ前記入力用ゲートリード内端と出
    力用ドレインリード内端間を遮断するように延在
    し、前記樹脂封止体から突出した接地用ソースリ
    ードを構成し、その突出した1対の接地用ソース
    リードの幅は入力用ゲートリードおよび出力用ド
    レインリードの幅よりも太く形成されていること
    を特徴とするシングル・ゲート型GaAsFET。
JP58220605A 1983-11-25 1983-11-25 シングル・ゲート型GaAsFET Granted JPS60113955A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58220605A JPS60113955A (ja) 1983-11-25 1983-11-25 シングル・ゲート型GaAsFET

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JPS60113955A JPS60113955A (ja) 1985-06-20
JPH0578184B2 true JPH0578184B2 (ja) 1993-10-28

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2801407B2 (ja) * 1994-04-07 1998-09-21 コネ オサケ ユキチュア エレベータ機械装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7241526B2 (en) * 2004-03-16 2007-07-10 Utc Power Corporation Fuel cell manifold cable end clamp

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5829846B2 (ja) * 1978-01-19 1983-06-25 三菱電機株式会社 統計誤差判別装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5661068U (ja) * 1979-10-16 1981-05-23
JPS5829846U (ja) * 1981-08-20 1983-02-26 松下電器産業株式会社 チツプ型トランジスタ

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5829846B2 (ja) * 1978-01-19 1983-06-25 三菱電機株式会社 統計誤差判別装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2801407B2 (ja) * 1994-04-07 1998-09-21 コネ オサケ ユキチュア エレベータ機械装置

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