JPS60171753A - 高周波半導体装置 - Google Patents
高周波半導体装置Info
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- JPS60171753A JPS60171753A JP59027084A JP2708484A JPS60171753A JP S60171753 A JPS60171753 A JP S60171753A JP 59027084 A JP59027084 A JP 59027084A JP 2708484 A JP2708484 A JP 2708484A JP S60171753 A JPS60171753 A JP S60171753A
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は高周波半導体装置、特に、VHF(ver)’
high frequency)帯(30〜300MH
z) 〜UHF (ultra high frequ
ency)帯〔300〜3000MI(z)で用いる広
帯域増幅回路に適した高周波トランジスタ、たとえtf
SCA T V(cabletelevisions
cornmunity antenna tel*v
lslon)コンバータ、V T R(video t
ape recorder)アンテナ ブースタのよう
な製品に用いられる高周波増幅回路に適用して有効なト
ランジスタ構造に関する。
high frequency)帯(30〜300MH
z) 〜UHF (ultra high frequ
ency)帯〔300〜3000MI(z)で用いる広
帯域増幅回路に適した高周波トランジスタ、たとえtf
SCA T V(cabletelevisions
cornmunity antenna tel*v
lslon)コンバータ、V T R(video t
ape recorder)アンテナ ブースタのよう
な製品に用いられる高周波増幅回路に適用して有効なト
ランジスタ構造に関する。
広帯域増幅回路に使用されるC A、T V用トランジ
スタ(以下、単にトランジスタとも呼称する。)は、た
とえば、電子材料、1973年、6月号。
スタ(以下、単にトランジスタとも呼称する。)は、た
とえば、電子材料、1973年、6月号。
96〜100頁にも記載されているように、その要求さ
れる特性の一つとして相互変調歪の低歪化がある。この
ため、トランジスタは高電力利得化が可能なエミッタ接
地構造が採用され、相互変調歪の低歪化が図られている
◎まだ、一方、TVヂスーナやブースタに使用される使
用周派数帯が50MHz〜IGHzの小信号トランジス
タは、たとえは、を子材料、1980年、4月号、59
〜64頁に記載されているように、そのパッケージ構造
はキャンシール、プラスチックモールド(レジンパッケ
ージ)が採用されている◇ここで、前記CATVの入力
側について、第1図4参照しながら簡単に説明する。
れる特性の一つとして相互変調歪の低歪化がある。この
ため、トランジスタは高電力利得化が可能なエミッタ接
地構造が採用され、相互変調歪の低歪化が図られている
◎まだ、一方、TVヂスーナやブースタに使用される使
用周派数帯が50MHz〜IGHzの小信号トランジス
タは、たとえは、を子材料、1980年、4月号、59
〜64頁に記載されているように、そのパッケージ構造
はキャンシール、プラスチックモールド(レジンパッケ
ージ)が採用されている◇ここで、前記CATVの入力
側について、第1図4参照しながら簡単に説明する。
同図において、1唸ア/テナ、2はL(インダクタンス
)とC(容量)から構成される同調回路(入力整合器)
でろる。3は電力増幅率の高いエミッタ接地バイポーラ
トランジスタを用いた高周波増幅回路、4UL、Cから
なる出力整合器であり、その出力は、たとえば、混合器
(MIXER)へと供給される構成となっている。そし
て、入力周波数としては、たとえば、VI(F、UHF
といった高周波である。また、前記高周波増幅回路3に
用いるトランジスタとして本出願人は、第2図に示ずよ
うに1チツプ7を主面に取付たヘッダ8の主面側をレジ
ンで被覆し、かつレジンパッケージ9からエミッタ10
.ベース11.コレクタ12の3本のリード13を突出
させた構造のトランジスタを開発している。このトラン
ジスタは露出するヘッダ8面(下面)とレジンパッケー
ジ9から突出しているリード13の下面は略同−面と成
っていて、プリント基板等への実装時トランジスタをプ
リント基板に乗せ、半田り70−によってトランジスタ
を固定する、いわゆる面実装型トランジスタとなってや
る。この構造は、トランジスタのコレクタの許容損失(
Pc)を増大させるためにとられる。また、このトラン
ジスタはコレクタリード12を挾んでエミッタリード1
0.ベースリード11が配置された構造となっているO
ところで、このようなトランジスタはつぎのような好ま
しくない問題があることが本発明者によってあきらかと
された。
)とC(容量)から構成される同調回路(入力整合器)
でろる。3は電力増幅率の高いエミッタ接地バイポーラ
トランジスタを用いた高周波増幅回路、4UL、Cから
なる出力整合器であり、その出力は、たとえば、混合器
(MIXER)へと供給される構成となっている。そし
て、入力周波数としては、たとえば、VI(F、UHF
といった高周波である。また、前記高周波増幅回路3に
用いるトランジスタとして本出願人は、第2図に示ずよ
うに1チツプ7を主面に取付たヘッダ8の主面側をレジ
ンで被覆し、かつレジンパッケージ9からエミッタ10
.ベース11.コレクタ12の3本のリード13を突出
させた構造のトランジスタを開発している。このトラン
ジスタは露出するヘッダ8面(下面)とレジンパッケー
ジ9から突出しているリード13の下面は略同−面と成
っていて、プリント基板等への実装時トランジスタをプ
リント基板に乗せ、半田り70−によってトランジスタ
を固定する、いわゆる面実装型トランジスタとなってや
る。この構造は、トランジスタのコレクタの許容損失(
Pc)を増大させるためにとられる。また、このトラン
ジスタはコレクタリード12を挾んでエミッタリード1
0.ベースリード11が配置された構造となっているO
ところで、このようなトランジスタはつぎのような好ま
しくない問題があることが本発明者によってあきらかと
された。
すなわち、このトランジスタはベース(ベースリード)
11が入力部、コレクタ(コレクタリード)12が出力
部、エミッタ(エミッタリード)10が接地部となシ、
入力信号5と出力信号6とは相互に逆相になる。また、
この回路において帰R容*Cがベース11.コレクタ1
2間に任在する0この帰還容量Cはパッケージの容fi
tcs とチップ内(回路)の容量Co によると考え
られる0また、ベース11.コレクタ12にも容量Cl
IC1が存在し、かつエミッタ10にも容量Ca−抵抗
Rが存在する0前記帰還容量とインピーダンスとの間に
は次式が成シ立つO ここで、2:インピーダンス しだがって、周波数fが大と々ると、インビー−ダンス
Zが小となシ、逆相のコレクタ信号が入力部にフィード
バックされて利得がとれなくなったり、周波数特性、た
とえは、雑旨指数(NF)等が悪くなったシするという
問題がある。また、周波数fがさらに高くなると正帰還
がかかつて発振する危険性も高くなるという問題がある
。すなわち、このトランジスタは帰還容量が大きく利得
が小さいという問題がある。
11が入力部、コレクタ(コレクタリード)12が出力
部、エミッタ(エミッタリード)10が接地部となシ、
入力信号5と出力信号6とは相互に逆相になる。また、
この回路において帰R容*Cがベース11.コレクタ1
2間に任在する0この帰還容量Cはパッケージの容fi
tcs とチップ内(回路)の容量Co によると考え
られる0また、ベース11.コレクタ12にも容量Cl
IC1が存在し、かつエミッタ10にも容量Ca−抵抗
Rが存在する0前記帰還容量とインピーダンスとの間に
は次式が成シ立つO ここで、2:インピーダンス しだがって、周波数fが大と々ると、インビー−ダンス
Zが小となシ、逆相のコレクタ信号が入力部にフィード
バックされて利得がとれなくなったり、周波数特性、た
とえは、雑旨指数(NF)等が悪くなったシするという
問題がある。また、周波数fがさらに高くなると正帰還
がかかつて発振する危険性も高くなるという問題がある
。すなわち、このトランジスタは帰還容量が大きく利得
が小さいという問題がある。
一方、このトランジスタを使用する場合、入力リードと
出力リードが隣りあいかつ近接していることから、プリ
ント基板等の配線パターンの設計における配線の引き回
しがしにくくなるという問題も生じることもわかった0 〔発明の目的〕 本発明の目的は入力部と出力部との間の浮遊容楚の低減
を図ることによシ、電力利得の向上全達成し、相互変調
歪が低い高周波半導体装置を提供することにある。
出力リードが隣りあいかつ近接していることから、プリ
ント基板等の配線パターンの設計における配線の引き回
しがしにくくなるという問題も生じることもわかった0 〔発明の目的〕 本発明の目的は入力部と出力部との間の浮遊容楚の低減
を図ることによシ、電力利得の向上全達成し、相互変調
歪が低い高周波半導体装置を提供することにある。
本発明の他の目的は配線パターンの設計がし易い高周波
半導体装置を提供することにある。
半導体装置を提供することにある。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう0 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおシであるO すなわち、本発明のトランジスタは、主面にチップを有
しかつ1毛面はレジンパッケージから露出する構造のヘ
ッダから延在するリードを、出力リード(コレクタリー
ド)とし、この出力リードと入力リードでおるベースリ
ードとの間に接地リードであるエミッタリードを配置し
た構造とすることによシ、帰還容量を低減して電力利得
の向上を図り、相互変調歪および雑音指数の低減化を達
成するものである。
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう0 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおシであるO すなわち、本発明のトランジスタは、主面にチップを有
しかつ1毛面はレジンパッケージから露出する構造のヘ
ッダから延在するリードを、出力リード(コレクタリー
ド)とし、この出力リードと入力リードでおるベースリ
ードとの間に接地リードであるエミッタリードを配置し
た構造とすることによシ、帰還容量を低減して電力利得
の向上を図り、相互変調歪および雑音指数の低減化を達
成するものである。
第3図は本発明の一実施例によるCATV等の広帯域増
幅回路に使用する高周波高出力トランジスタ(トランジ
スタ)の斜視図、第4図は同じく高周波高出力トランジ
スタの製造状態概要を示す斜視図である。
幅回路に使用する高周波高出力トランジスタ(トランジ
スタ)の斜視図、第4図は同じく高周波高出力トランジ
スタの製造状態概要を示す斜視図である。
この実施例のトランジスタは、i′■3図に示すように
、略矩形形状のレジンパッケージ9の一側から平行に3
本のリード13を突出させた構造となっている。同図で
示すように、右側のり一ド13は出力端子となるコレク
タリード12、左側のリード13は入力端子となるベー
スリード1工、中央のり−ド13は接地端子となるエミ
ッタリード10となっている。コレクタリード12はそ
の内端左側で一隅が切りかかれた矩形状のへラダ8の一
端部で連結し、ている。このヘッダ8の主面(上面)に
はチップ(トランジスタ素子)7が固定されている。ベ
ース・コレクタリード11.120レジンパツケージ9
の内部に延在する内端は途中で上刃に一段折れ曲がり、
その先端をヘッダ8の一繰上方に臨ませている。そして
、これら先端部とチクグアの対応する図示しない電極部
はワイヤ14で電気的に接続されている。また、ヘッダ
8のリード13に連結しない他端はレジンパッケージ9
の一側から突出している。役お、このトランジスタは面
実装型であることから、ヘッダ8およびリード13の最
下面は同一面となるとともに、レジンパッケージ9の下
面と同一面となシ、レジンパッケージ9から露出してい
る。また、前記リード13.ヘッダ8は金昼板で形成さ
れている。
、略矩形形状のレジンパッケージ9の一側から平行に3
本のリード13を突出させた構造となっている。同図で
示すように、右側のり一ド13は出力端子となるコレク
タリード12、左側のリード13は入力端子となるベー
スリード1工、中央のり−ド13は接地端子となるエミ
ッタリード10となっている。コレクタリード12はそ
の内端左側で一隅が切りかかれた矩形状のへラダ8の一
端部で連結し、ている。このヘッダ8の主面(上面)に
はチップ(トランジスタ素子)7が固定されている。ベ
ース・コレクタリード11.120レジンパツケージ9
の内部に延在する内端は途中で上刃に一段折れ曲がり、
その先端をヘッダ8の一繰上方に臨ませている。そして
、これら先端部とチクグアの対応する図示しない電極部
はワイヤ14で電気的に接続されている。また、ヘッダ
8のリード13に連結しない他端はレジンパッケージ9
の一側から突出している。役お、このトランジスタは面
実装型であることから、ヘッダ8およびリード13の最
下面は同一面となるとともに、レジンパッケージ9の下
面と同一面となシ、レジンパッケージ9から露出してい
る。また、前記リード13.ヘッダ8は金昼板で形成さ
れている。
つぎに、このトランジスタの製造(組立)方法について
第4図を用いて説明する。
第4図を用いて説明する。
すなわち、このトランジスタの組立にあってはリードフ
レーム15と呼ばれる部品が用いられる。
レーム15と呼ばれる部品が用いられる。
このリードフレーム15は鉄−ニッケル系合金又は銅系
合金等の0.1〜0゜2龍程度の厚さの薄い金属板金エ
ツチングあるいはプレス等によって所望パターンに形成
すること芥よりて得られる。そして、この実施例で用い
るリードフレーム15は、第4図で示すように、一対の
平行に延在する2本の細い外枠16と、この外枠16を
定間隔個所で連結する内枠17と、外枠16および内枠
17とによって囲まれる領域内に配置されるリード13
およびヘッダ8とからなっている◇リード13はぞの幅
がたとえば0.5總となり、一方の外枠16の内側から
内枠17に清って平行に3本(たとえは、リードピッチ
は1.27mm)延在している。右側のり−ド13はそ
の先端左側部で一隅が切シかかれた略矩形状の幅広のヘ
ッダ8の一端右側部が連結されている。このリード13
は出力端子となるコレクタリード12となっている。ま
た、ヘッダ8は他塙中央で細い支持片18を介してもう
一方の外枠16に支持されている。このヘッダ8はその
主面(−ヒ血)に半導体素子(チップ)7を固定するよ
うになっている。矩形のチップ7は後述するワイヤボン
ディングがし易いようにヘッダ8に対して45吸回転し
た姿勢で取付けられる。この結イ、ヘッダ8の一隅はこ
のテップ7の一面に対面するように前述のように切シか
かれている〇丑だ、中央および左側のリード13は途中
で一段折れ曲がシその先端はヘッダ8の一端上方に位置
している。中央のリード13は接地端子となるエミッタ
リード10.左側のり一ド13は入力端子となるベース
リード11となっている。このエミッタリードエ0およ
びベースリード11の先端とチップ7の電極とはワイヤ
14によって電気的に接続されるようになっている。さ
らに、リード13は内枠17に連結される細いダム片1
9によって連結されている。このダム片19はリードフ
レーム15の取扱時には補強部材の役割を果たし、レジ
ンモールド時には注入されたレジンの流出を防止するダ
ムの役割を果たす。
合金等の0.1〜0゜2龍程度の厚さの薄い金属板金エ
ツチングあるいはプレス等によって所望パターンに形成
すること芥よりて得られる。そして、この実施例で用い
るリードフレーム15は、第4図で示すように、一対の
平行に延在する2本の細い外枠16と、この外枠16を
定間隔個所で連結する内枠17と、外枠16および内枠
17とによって囲まれる領域内に配置されるリード13
およびヘッダ8とからなっている◇リード13はぞの幅
がたとえば0.5總となり、一方の外枠16の内側から
内枠17に清って平行に3本(たとえは、リードピッチ
は1.27mm)延在している。右側のり−ド13はそ
の先端左側部で一隅が切シかかれた略矩形状の幅広のヘ
ッダ8の一端右側部が連結されている。このリード13
は出力端子となるコレクタリード12となっている。ま
た、ヘッダ8は他塙中央で細い支持片18を介してもう
一方の外枠16に支持されている。このヘッダ8はその
主面(−ヒ血)に半導体素子(チップ)7を固定するよ
うになっている。矩形のチップ7は後述するワイヤボン
ディングがし易いようにヘッダ8に対して45吸回転し
た姿勢で取付けられる。この結イ、ヘッダ8の一隅はこ
のテップ7の一面に対面するように前述のように切シか
かれている〇丑だ、中央および左側のリード13は途中
で一段折れ曲がシその先端はヘッダ8の一端上方に位置
している。中央のリード13は接地端子となるエミッタ
リード10.左側のり一ド13は入力端子となるベース
リード11となっている。このエミッタリードエ0およ
びベースリード11の先端とチップ7の電極とはワイヤ
14によって電気的に接続されるようになっている。さ
らに、リード13は内枠17に連結される細いダム片1
9によって連結されている。このダム片19はリードフ
レーム15の取扱時には補強部材の役割を果たし、レジ
ンモールド時には注入されたレジンの流出を防止するダ
ムの役割を果たす。
つき゛に、このようなリードフレーム15を用いて、ト
ランジスタ全組立る方法について説’IIJする◇まず
最初にヘッダ8の主面にチップ7が半田等の接合材によ
って接合される。その後、チップ7の電極とエミッタリ
ード10およびベースリード11の先端とはワイヤ14
によって電気的に接続される。その後、このリードフレ
ーム15はトランスファ レジンモールド族iRKよっ
てレジンモールドされる。このμλ、リードフレーム1
5はその下面がモールド下型のパーティング面に載るよ
うにしてモールドされるため、ヘッダ8およびリード1
3の下mtよレジンパッケージ9の下面から露出する。
ランジスタ全組立る方法について説’IIJする◇まず
最初にヘッダ8の主面にチップ7が半田等の接合材によ
って接合される。その後、チップ7の電極とエミッタリ
ード10およびベースリード11の先端とはワイヤ14
によって電気的に接続される。その後、このリードフレ
ーム15はトランスファ レジンモールド族iRKよっ
てレジンモールドされる。このμλ、リードフレーム1
5はその下面がモールド下型のパーティング面に載るよ
うにしてモールドされるため、ヘッダ8およびリード1
3の下mtよレジンパッケージ9の下面から露出する。
なお、レジンパッケージ9はリード13の内端部、ヘッ
ダ8の一部、テップ7、ワイヤ14に亘る領域を被う0
りぎに、前記ダム片19は切断除去きれ、ヘッダ8は支
持片18の付は根から切断され、リード13は所定部で
切断され、ヘッダ8の一面が露出したトランジスタが製
造される。
ダ8の一部、テップ7、ワイヤ14に亘る領域を被う0
りぎに、前記ダム片19は切断除去きれ、ヘッダ8は支
持片18の付は根から切断され、リード13は所定部で
切断され、ヘッダ8の一面が露出したトランジスタが製
造される。
1、本発明のトランジスタは入力端子であるベースリー
ド11と出力端子であるコレクタリード12との間に、
接地端子であるエミッタリード10を介在させであるこ
とから第1図におけるレジンパッケージの容RCs (
浮遊容汝)は極めて小さく(その数値は各部の寸法にも
よるが、たとえば0.15PF程度小さくなる。)なる
。すなわち、帰還容量C,はあたかもC,、、C,に分
解された形となる。このC1eC@は入力藤合器のL(
インダクタンス)とC(容量)、出力整合器のLとCを
調整することによシ、共振回路の容量として吸収するこ
とができ、何等問題とならない。したがって、本発明の
トランジスタは帰還容量の低減が図れることから電力利
得の増大が達成できる効果が得られる。
ド11と出力端子であるコレクタリード12との間に、
接地端子であるエミッタリード10を介在させであるこ
とから第1図におけるレジンパッケージの容RCs (
浮遊容汝)は極めて小さく(その数値は各部の寸法にも
よるが、たとえば0.15PF程度小さくなる。)なる
。すなわち、帰還容量C,はあたかもC,、、C,に分
解された形となる。このC1eC@は入力藤合器のL(
インダクタンス)とC(容量)、出力整合器のLとCを
調整することによシ、共振回路の容量として吸収するこ
とができ、何等問題とならない。したがって、本発明の
トランジスタは帰還容量の低減が図れることから電力利
得の増大が達成できる効果が得られる。
2、本発明のトランジスタは入力端子であるベースリー
ド11と出力端子であるコレクタリード12との間隔が
エミッタリード10の介在によって広くなるため、帰還
容量の低減が図れるという副次的効果が得られる。
ド11と出力端子であるコレクタリード12との間隔が
エミッタリード10の介在によって広くなるため、帰還
容量の低減が図れるという副次的効果が得られる。
3、上記1.および2.から、電力利得の増大によシ、
電力利得に依存する相互変調歪および雑音指数(NF)
の低歪化および低減化が可能となシ、高周波特性の向上
が達成できる。
電力利得に依存する相互変調歪および雑音指数(NF)
の低歪化および低減化が可能となシ、高周波特性の向上
が達成できる。
4、本発明のトランジスタは外形的にはリードの間隔は
従来のトランジスタと同様であることがらプリント基板
における配線パターン寸法は変えることムく使用でき、
大幅な配腺ノくターンの変更は避けられるという効果が
得られる。
従来のトランジスタと同様であることがらプリント基板
における配線パターン寸法は変えることムく使用でき、
大幅な配腺ノくターンの変更は避けられるという効果が
得られる。
以上率発す」省によってなされた発明を実施例に基つき
具体的に説明したが、本発す1」は上記実施例に限定さ
れるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変
更可能であることはいうまでも表い。
具体的に説明したが、本発す1」は上記実施例に限定さ
れるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変
更可能であることはいうまでも表い。
以上の説明でtよ主として本発明者によってなきれた発
明をその背景となった利用分野であるCATVコンバー
タ、VTItブースタ等に用いられる広蛍城増幅回路に
使用される高周波高出力トランジスタ技術に適用した場
合について説明したが、それに限定されるものではなく
、たとえば、高周波増幅回路トランジスタ技術などに適
用できる。
明をその背景となった利用分野であるCATVコンバー
タ、VTItブースタ等に用いられる広蛍城増幅回路に
使用される高周波高出力トランジスタ技術に適用した場
合について説明したが、それに限定されるものではなく
、たとえば、高周波増幅回路トランジスタ技術などに適
用できる。
第1図はCA ’r Vの入力部を示す回路図、第2図
は本出願人による高周波高出力トランジスタの斜視図、 第3図は本発明の一実施例による高周波高出力トランジ
スタの斜視図、 第4図は同じく高周波高出力トランジスタの製造状態を
示す斜視図である。 1・・・アンブナ、2・・・同調回路(人力整合器)、
吐・・高周波増幅回路、4・・・出力読合器、5・・・
入力信号5.6・・・出力信号、7・・・チップ、訃・
・ヘッダ、9・・・レジンパッケージ、10・・・エミ
ッタ、11・・・ベース、12・・・コレクタ、13・
・・リード、14・・・ワイヤ、15・・・リードフレ
ーム、16・・・外枠、17・・・内枠、18・・・支
持片、19・・・ダム片、C1C,、C,〜C4・・・
容量、L・・・インダクタンス、R・・・抵抗〇 第 1 図 グ 第 3 図 第 4 図 5 /σIQ
は本出願人による高周波高出力トランジスタの斜視図、 第3図は本発明の一実施例による高周波高出力トランジ
スタの斜視図、 第4図は同じく高周波高出力トランジスタの製造状態を
示す斜視図である。 1・・・アンブナ、2・・・同調回路(人力整合器)、
吐・・高周波増幅回路、4・・・出力読合器、5・・・
入力信号5.6・・・出力信号、7・・・チップ、訃・
・ヘッダ、9・・・レジンパッケージ、10・・・エミ
ッタ、11・・・ベース、12・・・コレクタ、13・
・・リード、14・・・ワイヤ、15・・・リードフレ
ーム、16・・・外枠、17・・・内枠、18・・・支
持片、19・・・ダム片、C1C,、C,〜C4・・・
容量、L・・・インダクタンス、R・・・抵抗〇 第 1 図 グ 第 3 図 第 4 図 5 /σIQ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 レジンパッケージと、このレジ/パッケージから
突出する少々くとも入力、出力、接地端子となる3本の
リードと、前記レジ/パッケージの裏面に一面を露出さ
せるヘッダと、を有する高周波半導体装置であって、前
記接地端子となるリードは入力および出力端子の中間に
位置していることを特徴とする高周波半導体装置0 2、前記ヘッダは、前記出力端子と電気的に接続されて
いることを特徴とする第1JA記載の高周波半導体装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59027084A JPS60171753A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | 高周波半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59027084A JPS60171753A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | 高周波半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60171753A true JPS60171753A (ja) | 1985-09-05 |
Family
ID=12211206
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59027084A Pending JPS60171753A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | 高周波半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60171753A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5917241A (en) * | 1996-05-23 | 1999-06-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | High frequency semiconductor device having source, drain, and gate leads |
KR100264924B1 (ko) * | 1996-07-30 | 2000-09-01 | 가네꼬 히사시 | 소형반도체용패키지및반도체용패키지에사용되는리드프레임의제조방법 |
-
1984
- 1984-02-17 JP JP59027084A patent/JPS60171753A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5917241A (en) * | 1996-05-23 | 1999-06-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | High frequency semiconductor device having source, drain, and gate leads |
KR100264924B1 (ko) * | 1996-07-30 | 2000-09-01 | 가네꼬 히사시 | 소형반도체용패키지및반도체용패키지에사용되는리드프레임의제조방법 |
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