JPH0576123U - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本考案は、電極部を形成するためのエッチング
工程にて、水素ガスが溜るようなことがなく、従って均
一で且つ、くし型電極の電極幅とほぼ同じ幅の電極部が
得られるようにした、弾性表面波装置を提供することを
目的とする。 【構成】両端のバスラインから交互にくし歯状に延びる
ように形成されたくし型電極１１と、その両側に配設さ
れた反射器１２から成る弾性表面波装置１０において，
各反射器１２が、くし型電極として構成されていると共
に、該くし型電極の少なくとも一ヶ所１４ａ，１４ｂ，
１４ｃが、短絡されているように、弾性表面波装置１０
を構成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、弾性表面波装置に関し、特にくし型電極部及びその両側に配設され た反射器から成る弾性表面波装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、このような弾性表面波装置は、図４に示すように、構成されている。即 ち、図４において、弾性表面波装置１は、両端のバスラインから交互にくし歯状 に延びるように形成されたくし型電極部２と、該くし型電極部２の両側に配設さ れた反射器３とから構成されている。

【０００３】 該反射器３は、図示のように、互いに平行に長手方向に沿って延びた複数本の 電極部３ａと、該電極部３ａの両端を互いに連結しているバスライン３ｂとから 構成されており、アルミニウム板から、燐酸系エッチング液を使用したエッチン グにより形成される。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このような構成の弾性表面波装置１によれば、反射器３を作製 する場合に、燐酸系エッチング液を使用したエッチングを行なうと、エッチング 工程にて、水素ガスが発生することとなり、反射器３の電極部３とバスライン３ ｂによって取り囲まれた部分３ｃが両端で閉じていることから、該部分３ｃに、 この水素ガスの気泡が溜って、而も当該部分３ｃから離脱し難くなってしまう。

【０００５】 このため、水素ガスの気泡が付着した部分に関して、エッチングの速度が低下 してしまうと共に、エッチング残りが生ずることとなり、電極部３ａは、その幅 が不均一になったり、くし型電極部２の電極幅に比較して太くなってしまうとい う問題があった。

【０００６】 本考案は、以上の点に鑑み、電極部を形成するためのエッチング工程にて、水 素ガスが溜るようなことがなく、従って均一で且つ、くし型電極部の電極幅とほ ぼ同じ幅の電極部が得られるようにした、弾性表面波装置を提供することを目的 としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記目的は、両端のバスラインから交互にくし歯状に延びるように形成された くし型電極部と、その両側に配設された反射器から成る弾性表面波装置において ，各反射器が、くし型電極として構成されていると共に、該くし型電極の少なく とも一ヶ所が、短絡されていることを特徴とする、弾性表面波装置により、達成 される。

【０００８】

【作用】

上記構成によれば、反射器が、くし型電極から構成されているので、電極部を 形成するためのエッチングの際に、発生する水素ガスが、該電極部の間に画成さ れる空間から離脱し易く、従って該電極部のエッチングが、比較的速やかに行な われ得ると共に、エッチング残りが生ずるようなことはなく、従って該電極部の 幅が不均一になることがなく、かくして、くし型電極部の電極幅と同様な幅の電 極部が得られることとなる。

【０００９】

【実施例】

以下、図面に示した実施例に基づいて、本考案を詳細に説明する。 図１は、本考案による弾性表面波装置の一実施例を示しており、弾性表面波装 置１０は、両端のバスラインから交互にくし歯状に延びるように形成されたくし 型電極部１１と、該くし型電極部１１の両側に配設された反射器１２とから構成 されている。

【００１０】 該反射器１２は、図示のように、両端のバスライン１３から交互に平行に長手 方向に沿ってくし歯状に延びた複数本の電極部１４から成るくし型電極として形 成されており、さらに該電極部１４の少なくとも一ヶ所（図示の場合、両側の電 極部１４ａ，１４ｂ）にて、他側のバスライン１３に連結されることにより、短 絡されている。

【００１１】 本考案による弾性表面波装置１０は、以上のように構成されており、反射器１ ２を作製する場合に、燐酸系エッチング液を使用したエッチングを行なうことに より、エッチング工程にて水素ガスが発生したとしても、反射器１２の電極部１ ４とバスライン１３によって取り囲まれた部分が、その両端のバスラインに隣接 した領域にて閉じていないために、この部分に上述した水素ガスの気泡が溜るよ うなことはない。

【００１２】 従って、該電極部１４のエッチングが、比較的速やかに行なわれ得ると共に、 エッチング残りが生ずるようなことはない。かくして、該電極部１４の幅は、均 一となり、而もくし型電極部１１の電極幅とほぼ同じ幅の電極部１４が得られる こととなる。

【００１３】 図２は、本考案による弾性表面波装置の他の実施例を示しており、この場合、 反射器１２は、一側の電極部１４ａのみが、他側のバスライン１３に連結される ことにより、短絡されていることを除いては、図１の実施例と同様の構成であり 、その作用も同様である。

【００１４】 図３は、本考案による弾性表面波装置のさらに他の実施例を示しており、この 場合、反射器１２は、中央に位置する電極部１４ｃのみが、他側のバスライン１ ３に連結されることにより、短絡されていることを除いては、図１の実施例と同 様の構成であり、その作用も同様である。

【００１５】 このように、他側のバスライン１３に連結される電極部１４は、任意の位置の 少なくとも一つの電極部１４であればよい。

【００１６】

【考案の効果】

以上述べたように、本考案によれば、電極部を形成するためのエッチング工程 にて、水素ガスが溜るようなことがなく、従って均一で且つ、くし型電極部の電 極幅とほぼ同じ幅の電極部が得られる、極めて優れた弾性表面波装置が提供され 得ることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による弾性表面波装置の一実施例を示す
平面図である。

【図２】本考案による弾性表面波装置の他の実施例を示
す平面図である。

【図３】本考案による弾性表面波装置のさらに他の実施
例を示す平面図である。

【図４】従来の弾性表面波装置の一例を示す平面図であ
る。

【符号の説明】

１０ 弾性表面波装置 １１ くし型電極部 １２ 反射器 １３ バスライン １４ 電極部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 両端のバスラインから交互にくし歯状に
   延びるように形成されたくし型電極部と、その両側に配
   設された反射器から成る弾性表面波装置において，各反
   射器が、くし型電極として形成されていると共に、該く
   し型電極の少なくとも一ヶ所が、短絡されていることを
   特徴とする、弾性表面波装置。