JPH0570528A - アルカリ可溶型感光性樹脂及びそれを用いたアルカリ現像型感光性樹脂組成物 - Google Patents
アルカリ可溶型感光性樹脂及びそれを用いたアルカリ現像型感光性樹脂組成物Info
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- JPH0570528A JPH0570528A JP25871091A JP25871091A JPH0570528A JP H0570528 A JPH0570528 A JP H0570528A JP 25871091 A JP25871091 A JP 25871091A JP 25871091 A JP25871091 A JP 25871091A JP H0570528 A JPH0570528 A JP H0570528A
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- photosensitive resin
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐熱性に優れ、かつ、アルカリ水溶液で現像
可能な感光性樹脂を提供する。 【構成】 本発明の感光性樹脂は、分子中にフルオレン
環を有するエポキシアクリレート化合物に酸無水物を反
応させて製造できるアルカリ可溶型感光性樹脂である。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、上記感光性樹脂を
ベースに他の光重合可能な非ガス状エチレン性不飽和化
合物やエポキシ樹脂等を混合したものである。 【効果】 本発明によれば、優れた耐熱性、基板との密
着性を有し、また、高い透明性、屈折率等光学的にも優
れたアルカリ可溶型感光性樹脂及びこれを用いたアルカ
リ現像型感光性樹脂組成物を得ることができ、プリント
配線板のソルダーレジストやカラー液晶フィルターの保
護膜等に好適に用いることができる。
可能な感光性樹脂を提供する。 【構成】 本発明の感光性樹脂は、分子中にフルオレン
環を有するエポキシアクリレート化合物に酸無水物を反
応させて製造できるアルカリ可溶型感光性樹脂である。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、上記感光性樹脂を
ベースに他の光重合可能な非ガス状エチレン性不飽和化
合物やエポキシ樹脂等を混合したものである。 【効果】 本発明によれば、優れた耐熱性、基板との密
着性を有し、また、高い透明性、屈折率等光学的にも優
れたアルカリ可溶型感光性樹脂及びこれを用いたアルカ
リ現像型感光性樹脂組成物を得ることができ、プリント
配線板のソルダーレジストやカラー液晶フィルターの保
護膜等に好適に用いることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、耐熱性に優れた新規な
アルカリ可溶型感光性樹脂及びそれを用いたアルカリ現
像型感光性樹脂組成物に関するものである。この感光性
樹脂は、適当な光開始剤の存在下に光重合させることに
より、耐熱性、耐薬品性、光学的特性、機械的特性に優
れた高分子材料として種々の用途に供することができ
る。例えば、印刷配線板、プリント配線板等を製造する
際のソルダーレジスト用、又は、無電解メッキレジスト
用として優れた特性を示し、これらの永久保護マスクと
しても好適に用いることができる。また、その優れた光
学的特性を生かしてカラー液晶フィルターの保護膜等へ
の利用も可能である。
アルカリ可溶型感光性樹脂及びそれを用いたアルカリ現
像型感光性樹脂組成物に関するものである。この感光性
樹脂は、適当な光開始剤の存在下に光重合させることに
より、耐熱性、耐薬品性、光学的特性、機械的特性に優
れた高分子材料として種々の用途に供することができ
る。例えば、印刷配線板、プリント配線板等を製造する
際のソルダーレジスト用、又は、無電解メッキレジスト
用として優れた特性を示し、これらの永久保護マスクと
しても好適に用いることができる。また、その優れた光
学的特性を生かしてカラー液晶フィルターの保護膜等へ
の利用も可能である。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント配線板のソルダーマスク
として感光性樹脂組成物が用いられてきたが、近年にな
ってプリント配線板の高密度化及び作業環境の改善が要
求されるようになり、かかる観点からアルカリ現像型の
ソルダーレジストが提案されている。今までに提案され
ているアルカリ現像型の感光性樹脂をその化学反応様式
で分類すると以下の通りである。 光分解不溶型（ネガ型） アジドピレン、ジアゾ樹脂（特開平１−１０２，４５６
号公報等） 光分解水溶型（ポジ型） ｏ−キノンジアジド（特開昭６４−２０，５４０号公報
等） 光重合型 エポキシアクリレートの酸無水物付加体等（特開平１−
２９６，２４０号公報等） 光架橋型 ケイヒ酸誘導体等（特開昭６４−７０，７４４号公報
等）
として感光性樹脂組成物が用いられてきたが、近年にな
ってプリント配線板の高密度化及び作業環境の改善が要
求されるようになり、かかる観点からアルカリ現像型の
ソルダーレジストが提案されている。今までに提案され
ているアルカリ現像型の感光性樹脂をその化学反応様式
で分類すると以下の通りである。 光分解不溶型（ネガ型） アジドピレン、ジアゾ樹脂（特開平１−１０２，４５６
号公報等） 光分解水溶型（ポジ型） ｏ−キノンジアジド（特開昭６４−２０，５４０号公報
等） 光重合型 エポキシアクリレートの酸無水物付加体等（特開平１−
２９６，２４０号公報等） 光架橋型 ケイヒ酸誘導体等（特開昭６４−７０，７４４号公報
等）
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の報告例の中で
とは共に優れた解像度を示すものの、基本的に膜強度
が小さいという問題がある。また、は分子構造に制限
が大きく、設計の自由度が低いという問題がある。従っ
て、現在では、の光重合型が主流となっているが、こ
れまでに提案されている光重合型の感光性樹脂は、無電
解金メッキ処理に耐え得る耐熱性、基板との密着性、表
面硬度等の点で十分なものではなかった。そこで、本発
明者らは、このような問題を解決するために鋭意研究を
重ねた結果、９，９−ビス（４−ヒドロキシフェニル）
フルオレンのエポキシアクリレート化合物を開発し、更
にこの化合物にカルボン酸無水物を付加反応させた化合
物を用いることにより上記問題を解決できることを見出
し、本発明に到達した。従って、本発明の目的は、高い
耐熱性、密着性、表面硬度を有し、かつ、光学的特性
（高透明性、高屈折率）にも優れ、ソルダーレジストの
みならず、各種の保護膜として利用可能なアルカリ可溶
型感光性樹脂及びその組成物を提供することにある。
とは共に優れた解像度を示すものの、基本的に膜強度
が小さいという問題がある。また、は分子構造に制限
が大きく、設計の自由度が低いという問題がある。従っ
て、現在では、の光重合型が主流となっているが、こ
れまでに提案されている光重合型の感光性樹脂は、無電
解金メッキ処理に耐え得る耐熱性、基板との密着性、表
面硬度等の点で十分なものではなかった。そこで、本発
明者らは、このような問題を解決するために鋭意研究を
重ねた結果、９，９−ビス（４−ヒドロキシフェニル）
フルオレンのエポキシアクリレート化合物を開発し、更
にこの化合物にカルボン酸無水物を付加反応させた化合
物を用いることにより上記問題を解決できることを見出
し、本発明に到達した。従って、本発明の目的は、高い
耐熱性、密着性、表面硬度を有し、かつ、光学的特性
（高透明性、高屈折率）にも優れ、ソルダーレジストの
みならず、各種の保護膜として利用可能なアルカリ可溶
型感光性樹脂及びその組成物を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、下
記一般式（１）
記一般式（１）
【化６】 〔但し、式中Ｘは−ＣＯ−Ｙ−ＣＯＯＨ（但し、式中Ｙ
は酸無水物の残基を示す）又は−Ｈを示し、−ＣＯ−Ｙ
−ＣＯＯＨの割合が３０モル％以上であり、また、Ａｒ
は下記式
は酸無水物の残基を示す）又は−Ｈを示し、−ＣＯ−Ｙ
−ＣＯＯＨの割合が３０モル％以上であり、また、Ａｒ
は下記式
【化７】 （但し、式中Ｒ1 〜Ｒ4 は水素原子又は低級アルキル基
を示す）で表される芳香族の残基であり、Ｒ’は水素原
子又はメチル基を示し、ｎは１から２０までの整数であ
る〕で表される構造を有するアルカリ可溶型感光性樹脂
である。
を示す）で表される芳香族の残基であり、Ｒ’は水素原
子又はメチル基を示し、ｎは１から２０までの整数であ
る〕で表される構造を有するアルカリ可溶型感光性樹脂
である。
【０００５】また、本発明は、上記一般式（１）で表さ
れるアルカリ可溶型感光性樹脂を２０重量％以上含有
し、このアルカリ可溶型感光性樹脂以外の光重合可能な
少なくとも１個の炭素−炭素二重結合を有する非ガス状
エチレン性不飽和化合物を８０重量％以下の範囲で含有
するアルカリ現像型感光性樹脂組成物である。そして、
本発明は、このアルカリ現像型感光性樹脂組成物におい
て、その非ガス状エチレン性不飽和化合物の１０〜１０
０重量％が下記一般式（２）
れるアルカリ可溶型感光性樹脂を２０重量％以上含有
し、このアルカリ可溶型感光性樹脂以外の光重合可能な
少なくとも１個の炭素−炭素二重結合を有する非ガス状
エチレン性不飽和化合物を８０重量％以下の範囲で含有
するアルカリ現像型感光性樹脂組成物である。そして、
本発明は、このアルカリ現像型感光性樹脂組成物におい
て、その非ガス状エチレン性不飽和化合物の１０〜１０
０重量％が下記一般式（２）
【化８】 〔但し、式中Ｘは−ＣＯ−Ｙ−ＣＯＯＨ（但し、Ｙは酸
無水物の残基を示す）又は−Ｈを示し、−ＣＯ−Ｙ−Ｃ
ＯＯＨの割合は３０モル％以上である〕で表される構造
を有するアルカリ可溶型樹脂であるものであり、更にま
た、少なくとも１個のエポキシ基を有する化合物を５〜
２０重量％の範囲で添加してなるものである。
無水物の残基を示す）又は−Ｈを示し、−ＣＯ−Ｙ−Ｃ
ＯＯＨの割合は３０モル％以上である〕で表される構造
を有するアルカリ可溶型樹脂であるものであり、更にま
た、少なくとも１個のエポキシ基を有する化合物を５〜
２０重量％の範囲で添加してなるものである。
【０００６】以下、本発明を更に詳細に説明する。本発
明のアルカリ可溶型感光性樹脂の合成に用いられる原料
としては、９，９−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フ
ルオレン、９，９−ビス（３，５−ジメチル−４−ヒド
ロキシフェニル）フルオレン、９，９−ビス（３−エチ
ル−４−ヒドロキシフェニル）フルオレン、９，９−ビ
ス（３，５−ジブロモ−４−ヒドロキシフェニル）フル
オレン等のエポキシアクリレート化合物を例示すること
ができるが、反応性や生成物の純度等の点から９，９−
ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレンのエポキシ
アクリレート化合物〔一般式（１）においてｎ＝１の化
合物に相当〕が好適に用いられる。そして、本発明のア
ルカリ可溶型感光性樹脂は、このエポキシアクリレート
化合物の酢酸セロソルブ溶液に酸無水物を加え、１００
℃で５時間反応させることで製造することができる。
明のアルカリ可溶型感光性樹脂の合成に用いられる原料
としては、９，９−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フ
ルオレン、９，９−ビス（３，５−ジメチル−４−ヒド
ロキシフェニル）フルオレン、９，９−ビス（３−エチ
ル−４−ヒドロキシフェニル）フルオレン、９，９−ビ
ス（３，５−ジブロモ−４−ヒドロキシフェニル）フル
オレン等のエポキシアクリレート化合物を例示すること
ができるが、反応性や生成物の純度等の点から９，９−
ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレンのエポキシ
アクリレート化合物〔一般式（１）においてｎ＝１の化
合物に相当〕が好適に用いられる。そして、本発明のア
ルカリ可溶型感光性樹脂は、このエポキシアクリレート
化合物の酢酸セロソルブ溶液に酸無水物を加え、１００
℃で５時間反応させることで製造することができる。
【０００７】本発明で原料となる酸無水物としては、無
水マレイン酸、無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒ
ドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、
メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸等の二
塩基性酸無水物や、無水トリメリット酸、無水ピロメリ
ット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等の
芳香族多価カルボン酸無水物や、ビシクロ〔２，２，
２〕オクト−７−エン−２，３，５，７−テトラカルボ
ン酸二無水物等の多価カルボン酸無水物が挙げられる。
使用可能な酸無水物に制限はないが、エポキシアクリレ
ート化合物との反応性と生成物の無色透明性の点から、
テトラヒドロ無水フタル酸あるいはメチルテトラヒドロ
無水フタル酸が最も好適に用いられる。この酸無水物の
使用量は、原料のエポキシアクリレート化合物のＯＨ基
に対して、好ましくは３０〜１００モル％、より好まし
くは５０〜１００モル％の範囲であるのがよい。使用量
が３０モル％より少ないと、本発明の目的であるアルカ
リ現像性を発現させるには不十分である。
水マレイン酸、無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒ
ドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、
メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸等の二
塩基性酸無水物や、無水トリメリット酸、無水ピロメリ
ット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等の
芳香族多価カルボン酸無水物や、ビシクロ〔２，２，
２〕オクト−７−エン−２，３，５，７−テトラカルボ
ン酸二無水物等の多価カルボン酸無水物が挙げられる。
使用可能な酸無水物に制限はないが、エポキシアクリレ
ート化合物との反応性と生成物の無色透明性の点から、
テトラヒドロ無水フタル酸あるいはメチルテトラヒドロ
無水フタル酸が最も好適に用いられる。この酸無水物の
使用量は、原料のエポキシアクリレート化合物のＯＨ基
に対して、好ましくは３０〜１００モル％、より好まし
くは５０〜１００モル％の範囲であるのがよい。使用量
が３０モル％より少ないと、本発明の目的であるアルカ
リ現像性を発現させるには不十分である。
【０００８】エポキシアクリレート化合物に対する酸無
水物の付加反応は、無触媒でも進行するが、反応を効率
良く行うために４級アンモニウム塩やリン酸塩等を触媒
として使用するのが望ましい。かかる触媒としては、例
えば、臭化テトラエチルアンモニウム、塩化ベンジルト
リエチルアンモニウム、亜リン酸トリフェニル等が好適
に用いられる。この付加反応は定量的に進行し、その終
点はＩＲスペクトルにおいて酸無水物のピークが消失す
ることで確認できる。
水物の付加反応は、無触媒でも進行するが、反応を効率
良く行うために４級アンモニウム塩やリン酸塩等を触媒
として使用するのが望ましい。かかる触媒としては、例
えば、臭化テトラエチルアンモニウム、塩化ベンジルト
リエチルアンモニウム、亜リン酸トリフェニル等が好適
に用いられる。この付加反応は定量的に進行し、その終
点はＩＲスペクトルにおいて酸無水物のピークが消失す
ることで確認できる。
【０００９】得られたアルカリ可溶型感光性樹脂は、適
当な光開始剤の存在下に光重合可能であり、優れたアル
カリ現像性を有している。また、このアルカリ可溶型感
光性樹脂を光重合して得られた重合膜は、従来提案され
てきたエポキシアクリレート化合物系のアルカリ現像型
感光性樹脂と比較すると、含有されているフルオレン構
造に起因する極めて優れた耐熱性を有するほか、光重合
時の収縮率が小さいことから得られる高い密着性や、優
れた光学的特性（高透明性、高屈折率）等を有してい
る。
当な光開始剤の存在下に光重合可能であり、優れたアル
カリ現像性を有している。また、このアルカリ可溶型感
光性樹脂を光重合して得られた重合膜は、従来提案され
てきたエポキシアクリレート化合物系のアルカリ現像型
感光性樹脂と比較すると、含有されているフルオレン構
造に起因する極めて優れた耐熱性を有するほか、光重合
時の収縮率が小さいことから得られる高い密着性や、優
れた光学的特性（高透明性、高屈折率）等を有してい
る。
【００１０】また、本発明の感光性樹脂は、光重合可能
な少なくとも１個の炭素−炭素二重結合を有する非ガス
状エチレン性不飽和化合物、すなわち各種の光重合性単
官能モノマー、多官能モノマー、オリゴマー等と良好な
相溶性を有しているので、これらと共重合することによ
り、より優れた物性の発現が期待できる。そのような光
重合可能な非ガス状エチレン性不飽和化合物としては、
具体的には、 単官能モノマー：アクリル酸及びメタクリル酸の各種
エステル類、 多官能モノマー：トリメチロールプロパントリアクリ
レート、ペンタエリスリトールトリアクリレート（例え
ば、日本化薬社製ＰＥＴ３０）、ジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレート（例えば、日本化薬社製ＤＰＨ
Ａ）等、 オリゴマー：ポリエステルアクリレート、エポキシア
クリレート、ウレタンアクリレート、ポリエーテルアク
リレート等 を例示することができる。但し、このような光重合可能
な非ガス状エチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性
樹脂全体の８０重量％以下であることが望ましい。これ
は、本発明のアルカリ可溶型感光性樹脂の含有量が２０
％未満になるとアルカリ現像性が不十分となるからであ
る。同じ理由から、これらの光重合可能な非ガス状エチ
レン性不飽和化合物にアルカリ可溶性を付与したもの、
例えばペンタエリスリトールトリアクリレートのＯＨ基
に酸無水物を付加させた化合物等は、重合膜の表面硬度
を向上させ、かつ、アルカリ現像性を損なうことがない
ので好適に用いることができる。
な少なくとも１個の炭素−炭素二重結合を有する非ガス
状エチレン性不飽和化合物、すなわち各種の光重合性単
官能モノマー、多官能モノマー、オリゴマー等と良好な
相溶性を有しているので、これらと共重合することによ
り、より優れた物性の発現が期待できる。そのような光
重合可能な非ガス状エチレン性不飽和化合物としては、
具体的には、 単官能モノマー：アクリル酸及びメタクリル酸の各種
エステル類、 多官能モノマー：トリメチロールプロパントリアクリ
レート、ペンタエリスリトールトリアクリレート（例え
ば、日本化薬社製ＰＥＴ３０）、ジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレート（例えば、日本化薬社製ＤＰＨ
Ａ）等、 オリゴマー：ポリエステルアクリレート、エポキシア
クリレート、ウレタンアクリレート、ポリエーテルアク
リレート等 を例示することができる。但し、このような光重合可能
な非ガス状エチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性
樹脂全体の８０重量％以下であることが望ましい。これ
は、本発明のアルカリ可溶型感光性樹脂の含有量が２０
％未満になるとアルカリ現像性が不十分となるからであ
る。同じ理由から、これらの光重合可能な非ガス状エチ
レン性不飽和化合物にアルカリ可溶性を付与したもの、
例えばペンタエリスリトールトリアクリレートのＯＨ基
に酸無水物を付加させた化合物等は、重合膜の表面硬度
を向上させ、かつ、アルカリ現像性を損なうことがない
ので好適に用いることができる。
【００１１】本発明の感光性樹脂を光重合するためには
適当な光開始剤が必要である。かかる光開始剤として
は、例えば、 アセトフェノン系：４−フェノキシジクロロアセトフ
ェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプ
ロパン−１−オン、２−メチル−１−〔４−（メチルチ
オ）フェニル〕−２−モルホリノプロパン−１（例え
ば、チバガイギー社製イルガキュアー９０７）等、 ベンゾイン系：ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンジルジメチルケタール等、 ベンゾフェノン系：ベンゾフェノン、４−フェニルベ
ンゾフェノン等、 チオキサンソン系：チオキサンソン、２，４−ジメチ
ルチオキサンソン等が好適に使用できる。
適当な光開始剤が必要である。かかる光開始剤として
は、例えば、 アセトフェノン系：４−フェノキシジクロロアセトフ
ェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプ
ロパン−１−オン、２−メチル−１−〔４−（メチルチ
オ）フェニル〕−２−モルホリノプロパン−１（例え
ば、チバガイギー社製イルガキュアー９０７）等、 ベンゾイン系：ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンジルジメチルケタール等、 ベンゾフェノン系：ベンゾフェノン、４−フェニルベ
ンゾフェノン等、 チオキサンソン系：チオキサンソン、２，４−ジメチ
ルチオキサンソン等が好適に使用できる。
【００１２】光硬化反応を効率良く行うために、一般に
アミン類が光開始助剤として用いられるが、本発明にお
いてもこれらを用いることにより光反応を促進すること
ができる。かかる光開始助剤としては、トリエタノール
アミン、４，４’−ジメチルアミノベンゾフェノン（ミ
ヒラーケトン）、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル等
が好適に用いられる。
アミン類が光開始助剤として用いられるが、本発明にお
いてもこれらを用いることにより光反応を促進すること
ができる。かかる光開始助剤としては、トリエタノール
アミン、４，４’−ジメチルアミノベンゾフェノン（ミ
ヒラーケトン）、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル等
が好適に用いられる。
【００１３】本発明の感光性樹脂は、優れた基板への密
着性を有しているが、少量のシランカップリング剤又は
チタネート系カップリング剤を加えることにより、更に
この密着性を向上させることができる。このカップリン
グ剤としては、例えば、 シランカップリング剤：ビニルトリクロロシラン、３
−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（例え
ば、日本ユニカー社製Ａ−１７４）、３−グリシドキシ
プロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリ
エトキシシラン等、 チタネート系カップリング剤：イソプロピルトリイソ
ステアリルチタネート、ビス（ジオクチルパイロホスフ
ェート）オキシアセテートチタネート、イソプロピルト
リクミルフェニルチタネート、イソプロピルイソステア
ロイルジアクリルチオタネート等 が用いられるが、マトリックス樹脂との反応性を考慮す
ると、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン
やイソプロピルイソステアロイルジアクリルチタネート
等のアクリロイル基やメタクリル基を有するカップリン
グ剤を使用するのが望ましい。
着性を有しているが、少量のシランカップリング剤又は
チタネート系カップリング剤を加えることにより、更に
この密着性を向上させることができる。このカップリン
グ剤としては、例えば、 シランカップリング剤：ビニルトリクロロシラン、３
−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（例え
ば、日本ユニカー社製Ａ−１７４）、３−グリシドキシ
プロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリ
エトキシシラン等、 チタネート系カップリング剤：イソプロピルトリイソ
ステアリルチタネート、ビス（ジオクチルパイロホスフ
ェート）オキシアセテートチタネート、イソプロピルト
リクミルフェニルチタネート、イソプロピルイソステア
ロイルジアクリルチオタネート等 が用いられるが、マトリックス樹脂との反応性を考慮す
ると、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン
やイソプロピルイソステアロイルジアクリルチタネート
等のアクリロイル基やメタクリル基を有するカップリン
グ剤を使用するのが望ましい。
【００１４】本発明の感光性樹脂は、高い耐熱性を有し
ているが、酸化防止剤や熱安定剤を少量添加することに
より、更にその耐熱性を向上させることができる。かか
る酸化防止剤としては、例えば、 フェノール系：２，６−ジ−ｔブチル−ｐ−クレゾー
ル、ｎ−オクタデシル−３−（４’−ヒドロキシ−
３’，５’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）プロピ
オネート、テトラキス〔メチレン−３−（３，５−ジ−
ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオ
ネート〕メタン（例えば、チバガイギー社製イルガノッ
クス１０１０）等、 イオウ系：チオビス（β−ナフトール）、テトラメチ
ルチウラムジサルファイド、ジステアリルチオジプロピ
オネート等、 リン系：トリフェニルホスファイト、トリ（ノニルフ
ェニル）ホスファイト、トリラウリルトリチオホスファ
イト等 を挙げることができる。
ているが、酸化防止剤や熱安定剤を少量添加することに
より、更にその耐熱性を向上させることができる。かか
る酸化防止剤としては、例えば、 フェノール系：２，６−ジ−ｔブチル−ｐ−クレゾー
ル、ｎ−オクタデシル−３−（４’−ヒドロキシ−
３’，５’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）プロピ
オネート、テトラキス〔メチレン−３−（３，５−ジ−
ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオ
ネート〕メタン（例えば、チバガイギー社製イルガノッ
クス１０１０）等、 イオウ系：チオビス（β−ナフトール）、テトラメチ
ルチウラムジサルファイド、ジステアリルチオジプロピ
オネート等、 リン系：トリフェニルホスファイト、トリ（ノニルフ
ェニル）ホスファイト、トリラウリルトリチオホスファ
イト等 を挙げることができる。
【００１５】本発明の感光性樹脂は、良好なアルカリ可
溶性を示すが、その反面、光重合した部分の耐水性、耐
アルカリ性がやや低下する傾向がある。この点を改善す
るために少量のエポキシ化合物を添加し、耐水性の悪い
カルボン酸部分を保護することによって、耐水性、耐ア
ルカリ性を向上させることができる。このような効果を
発現させるために添加するエポキシ化合物としては、フ
ェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラ
ック型エポキシ樹脂（例えば、油化シェル社製エピコー
ト１５２）、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（例え
ば、油化シェル社製エピコート８２８）、ビスフェノー
ルＳ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹
脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等
の各種エポキシ樹脂、フェニルグリシジルエーテル、ト
リグリシジルイソシアヌレート、グリシジルメタクリレ
ート、アリルグリシジルエーテル等の少なくとも１個の
エポキシ基を有する化合物が挙げられる。
溶性を示すが、その反面、光重合した部分の耐水性、耐
アルカリ性がやや低下する傾向がある。この点を改善す
るために少量のエポキシ化合物を添加し、耐水性の悪い
カルボン酸部分を保護することによって、耐水性、耐ア
ルカリ性を向上させることができる。このような効果を
発現させるために添加するエポキシ化合物としては、フ
ェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラ
ック型エポキシ樹脂（例えば、油化シェル社製エピコー
ト１５２）、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（例え
ば、油化シェル社製エピコート８２８）、ビスフェノー
ルＳ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹
脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等
の各種エポキシ樹脂、フェニルグリシジルエーテル、ト
リグリシジルイソシアヌレート、グリシジルメタクリレ
ート、アリルグリシジルエーテル等の少なくとも１個の
エポキシ基を有する化合物が挙げられる。
【００１６】次に、本発明の感光性樹脂及びその組成物
の光重合による被膜の製造方法について説明する。先
ず、本発明の感光性樹脂及び組成物の酢酸セロソルブ溶
液に適当な光開始剤、光開始助剤、カップリング剤、酸
化防止剤等の添加剤を加えてレジスト液を調製する。次
に、このレジスト液を任意の方法で基板上にスピンコー
トする。如何に示す実施例ではスピンコートを用いてい
るが、ディップコートやバーコート等のコーティング法
も勿論適用可能である。レジスト液をコーティングした
後、溶媒である酢酸セロソルブを蒸発させるために８０
℃で１０分間プレキュアーを行う。次に、超高圧水銀灯
を用いて露光を行う。露光量は、例えば５００ｍＪ／ｃ
ｍ2 である。未露光部を５％の炭酸ナトリウム水溶液で
現像し、更に水洗する。２００℃で３０分間ポストキュ
アーすることにより、被膜の乾燥と残留している酢酸セ
ロソルブの蒸発を同時に行う。
の光重合による被膜の製造方法について説明する。先
ず、本発明の感光性樹脂及び組成物の酢酸セロソルブ溶
液に適当な光開始剤、光開始助剤、カップリング剤、酸
化防止剤等の添加剤を加えてレジスト液を調製する。次
に、このレジスト液を任意の方法で基板上にスピンコー
トする。如何に示す実施例ではスピンコートを用いてい
るが、ディップコートやバーコート等のコーティング法
も勿論適用可能である。レジスト液をコーティングした
後、溶媒である酢酸セロソルブを蒸発させるために８０
℃で１０分間プレキュアーを行う。次に、超高圧水銀灯
を用いて露光を行う。露光量は、例えば５００ｍＪ／ｃ
ｍ2 である。未露光部を５％の炭酸ナトリウム水溶液で
現像し、更に水洗する。２００℃で３０分間ポストキュ
アーすることにより、被膜の乾燥と残留している酢酸セ
ロソルブの蒸発を同時に行う。
【００１７】
【実施例】以下、実施例に基づいて、本発明を具体的に
説明する。
説明する。
【００１８】合成例１ ９，９−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレンの
エポキシアクリレート化合物：１００重量部（０．１６
５モル）と、テトラヒドロ無水フタル酸：５０重量部
（０．３３モル）と、臭化テトラエチルアンモニウム：
０．０２重量部と、酢酸セロソルブ：１５０重量部とを
混合し、１００℃で５時間反応させた。酸無水物の反応
はＩＲスペクトルで確認した。得られた反応生成物は一
般式（１）におけるｎ＝１の化合物に相当するものであ
り、この反応生成物（反応溶液）を樹脂溶液Ａ−１とし
た。
エポキシアクリレート化合物：１００重量部（０．１６
５モル）と、テトラヒドロ無水フタル酸：５０重量部
（０．３３モル）と、臭化テトラエチルアンモニウム：
０．０２重量部と、酢酸セロソルブ：１５０重量部とを
混合し、１００℃で５時間反応させた。酸無水物の反応
はＩＲスペクトルで確認した。得られた反応生成物は一
般式（１）におけるｎ＝１の化合物に相当するものであ
り、この反応生成物（反応溶液）を樹脂溶液Ａ−１とし
た。
【００１９】合成例２ ペンタエリスリトールトリアクリレート：９０重量部
（０．３モル）と、テトラヒドロ無水フタル酸：３０重
量部（０．２モル）と、臭化テトラエチルアンモニウ
ム：０．０２重量部と、酢酸セロソルブ：１２０重量部
とを混合し、１００℃で５時間反応させた。得られた反
応生成物は一般式（２）におけるｎ＝１の化合物に相当
するものであり、この反応生成物（反応溶液）を樹脂溶
液Ｂとした。
（０．３モル）と、テトラヒドロ無水フタル酸：３０重
量部（０．２モル）と、臭化テトラエチルアンモニウ
ム：０．０２重量部と、酢酸セロソルブ：１２０重量部
とを混合し、１００℃で５時間反応させた。得られた反
応生成物は一般式（２）におけるｎ＝１の化合物に相当
するものであり、この反応生成物（反応溶液）を樹脂溶
液Ｂとした。
【００２０】合成例３ 合成例１において、テトラヒドロ無水フタル酸の使用量
を２５重量部（原料のＯＨ基に対して０．５モル）と
し、酢酸セロソルブの使用量を１２５重量部として同様
の合成を行った。得られた反応生成物（反応溶液）を樹
脂溶液Ａ−２とした。
を２５重量部（原料のＯＨ基に対して０．５モル）と
し、酢酸セロソルブの使用量を１２５重量部として同様
の合成を行った。得られた反応生成物（反応溶液）を樹
脂溶液Ａ−２とした。
【００２１】実施例１ 樹脂溶液Ａ−１：１００重量部と、２−メチル−１−
〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロ
パン−１（チバガイギー社製イルガキュアー９０７）：
１．５重量部と、ミヒラーケトン：０．５重量部とを配
合して感光性樹脂組成物を調製した。この感光性樹脂組
成物をガラス板上にスピンコート（５００ｒｐｍ：７
秒、１５００ｒｐｍで３秒、膜圧：２μｍ）で塗布し、
次に、プレキュアー：８０℃で１０分、露光：超高圧水
銀灯を用いて５００ｍＪ／ｃｍ2の光量で露光、アルカ
リ現像：５％炭酸ナトリウム水溶液に浸漬３０秒後水
洗、及び、ポストキュアー：２００℃で３０分の条件で
キュアー、露光、アルカリ現像を行って被膜を形成し、
得られた被膜について以下の評価を行った。結果を表１
に示す。
〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロ
パン−１（チバガイギー社製イルガキュアー９０７）：
１．５重量部と、ミヒラーケトン：０．５重量部とを配
合して感光性樹脂組成物を調製した。この感光性樹脂組
成物をガラス板上にスピンコート（５００ｒｐｍ：７
秒、１５００ｒｐｍで３秒、膜圧：２μｍ）で塗布し、
次に、プレキュアー：８０℃で１０分、露光：超高圧水
銀灯を用いて５００ｍＪ／ｃｍ2の光量で露光、アルカ
リ現像：５％炭酸ナトリウム水溶液に浸漬３０秒後水
洗、及び、ポストキュアー：２００℃で３０分の条件で
キュアー、露光、アルカリ現像を行って被膜を形成し、
得られた被膜について以下の評価を行った。結果を表１
に示す。
【００２２】現像性：表面粗さ計及びＳＥＭ写真によっ
て測定あるいは観察し、露光部に残膜がないものを○と
した。 解像度：ＳＥＭ写真で観察し、露光部と未露光部の境界
が鋭角に切れる限界の線幅（μｍ）で表現した。 密着性：クロスカット試験（ＪＩＳ Ｋ ５４００）に
より求めた。 表面硬度：鉛筆硬度試験（ＪＩＳ Ｋ ５４００）によ
り求めた。 耐熱性：半田浴に６０秒浸漬した後、外観変化及び基板
との密着性の変化を調べた。変化のないものを○とし
た。 耐酸、耐アルカリ性：５％ＨＣｌ水溶液、５％ＮａＯＨ
水溶液に各々２４時間浸漬し、膨潤しないものを○とし
た。 耐溶剤性：アセトンに２４時間浸漬し、膨潤しないもの
を○とした。 耐水性：６０℃温水に２４時間浸漬し、膨潤しないもの
を○とした。
て測定あるいは観察し、露光部に残膜がないものを○と
した。 解像度：ＳＥＭ写真で観察し、露光部と未露光部の境界
が鋭角に切れる限界の線幅（μｍ）で表現した。 密着性：クロスカット試験（ＪＩＳ Ｋ ５４００）に
より求めた。 表面硬度：鉛筆硬度試験（ＪＩＳ Ｋ ５４００）によ
り求めた。 耐熱性：半田浴に６０秒浸漬した後、外観変化及び基板
との密着性の変化を調べた。変化のないものを○とし
た。 耐酸、耐アルカリ性：５％ＨＣｌ水溶液、５％ＮａＯＨ
水溶液に各々２４時間浸漬し、膨潤しないものを○とし
た。 耐溶剤性：アセトンに２４時間浸漬し、膨潤しないもの
を○とした。 耐水性：６０℃温水に２４時間浸漬し、膨潤しないもの
を○とした。
【００２３】実施例２ 樹脂溶液Ａ−１：９０重量部と、ビスフェノールＡ型エ
ポキシ樹脂（油化シェル社製エピコート８２８）：５重
量部と、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン（日本ユニカー社製Ａ−１７４）：２．５重量部と、
２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２
−モルホリノプロパン−１（チバガイギー社製イルガキ
ュアー９０７）：１．５重量部と、ミヒラーケトン：
０．５重量部とを配合して感光性樹脂組成物を調製し
た。なお、この感光性樹脂組成物中のエポキシ樹脂の添
加量は、感光性樹脂とエポキシ樹脂の総量の１０重量％
に相当する。得られた感光性樹脂組成物を使用し、実施
例１と同様の方法で被膜を形成し、得られた被膜につい
て実施例１と同様に種々の被膜物性を求めた。結果を表
１に示す。
ポキシ樹脂（油化シェル社製エピコート８２８）：５重
量部と、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン（日本ユニカー社製Ａ−１７４）：２．５重量部と、
２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２
−モルホリノプロパン−１（チバガイギー社製イルガキ
ュアー９０７）：１．５重量部と、ミヒラーケトン：
０．５重量部とを配合して感光性樹脂組成物を調製し
た。なお、この感光性樹脂組成物中のエポキシ樹脂の添
加量は、感光性樹脂とエポキシ樹脂の総量の１０重量％
に相当する。得られた感光性樹脂組成物を使用し、実施
例１と同様の方法で被膜を形成し、得られた被膜につい
て実施例１と同様に種々の被膜物性を求めた。結果を表
１に示す。
【００２４】実施例３ 樹脂溶液Ａ−１：４５重量部と、樹脂溶液Ｂ：４５重量
部と、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社
製エピコート８２８）：５重量部と、３−メタクリロキ
シプロピルトリメトキシシラン（日本ユニカー社製Ａ−
１７４）：２．５重量部と、２−メチル−１−〔４−
（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロパン−
１（チバガイギー社製イルガキュアー９０７）：１．５
重量部と、ミヒラーケトン：０．５重量部とを配合して
感光性樹脂組成物を調製した。なお、この感光性樹脂組
成物中のエポキシ樹脂の添加量は、感光性樹脂とエポキ
シ樹脂の総量の１０重量％に相当する。得られた感光性
樹脂組成物を使用し、実施例１と同様の方法で被膜を形
成し、得られた被膜について実施例１と同様に種々の被
膜物性を求めた。結果を表１に示す。
部と、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社
製エピコート８２８）：５重量部と、３−メタクリロキ
シプロピルトリメトキシシラン（日本ユニカー社製Ａ−
１７４）：２．５重量部と、２−メチル−１−〔４−
（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロパン−
１（チバガイギー社製イルガキュアー９０７）：１．５
重量部と、ミヒラーケトン：０．５重量部とを配合して
感光性樹脂組成物を調製した。なお、この感光性樹脂組
成物中のエポキシ樹脂の添加量は、感光性樹脂とエポキ
シ樹脂の総量の１０重量％に相当する。得られた感光性
樹脂組成物を使用し、実施例１と同様の方法で被膜を形
成し、得られた被膜について実施例１と同様に種々の被
膜物性を求めた。結果を表１に示す。
【００２５】実施例４ 樹脂溶液Ａ−１：３０重量部と、樹脂溶液Ｂ：６０重量
部と、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社
製エピコート８２８）：５重量部と、３−メタクリロキ
シプロピルトリメトキシシラン（日本ユニカー社製Ａ−
１７４）：２．５重量部と、２−メチル−１−〔４−
（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロパン−
１（チバガイギー社製イルガキュアー９０７）：１．５
重量部と、ミヒラーケトン：０．５重量部とを配合して
感光性樹脂組成物を調製した。なお、この感光性樹脂組
成物中のエポキシ樹脂の添加量は、感光性樹脂とエポキ
シ樹脂の総量の１０重量％に相当する。得られた感光性
樹脂組成物を使用し、実施例１と同様の方法で被膜を形
成し、得られた被膜について実施例１と同様に種々の被
膜物性を求めた。結果を表１に示す。また、この実施例
４の被膜については、その全光線透過率（ＪＩＳ Ｋ７
１０５）と熱処理前後の黄色度（ＪＩＳ Ｋ ７１０
５）とを併せて測定した。結果を表２に示す。
部と、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社
製エピコート８２８）：５重量部と、３−メタクリロキ
シプロピルトリメトキシシラン（日本ユニカー社製Ａ−
１７４）：２．５重量部と、２−メチル−１−〔４−
（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロパン−
１（チバガイギー社製イルガキュアー９０７）：１．５
重量部と、ミヒラーケトン：０．５重量部とを配合して
感光性樹脂組成物を調製した。なお、この感光性樹脂組
成物中のエポキシ樹脂の添加量は、感光性樹脂とエポキ
シ樹脂の総量の１０重量％に相当する。得られた感光性
樹脂組成物を使用し、実施例１と同様の方法で被膜を形
成し、得られた被膜について実施例１と同様に種々の被
膜物性を求めた。結果を表１に示す。また、この実施例
４の被膜については、その全光線透過率（ＪＩＳ Ｋ７
１０５）と熱処理前後の黄色度（ＪＩＳ Ｋ ７１０
５）とを併せて測定した。結果を表２に示す。
【００２６】実施例５ 実施例４の組成物にテトラキス〔メチレン−３（３，５
−ジ−ｔブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネ
ート）〕メタン（チバガイギー社製イルガノックス１０
１０）：２．５重量部を添加し、実施例１と同様の方法
で被膜を形成し、得られた被膜について実施例１と同様
に種々の被膜物性を求めた。結果を表１に示す。また、
この実施例の被膜については、その全光線透過率（ＪＩ
Ｓ Ｋ７１０５）と熱処理前後の黄色度（ＪＩＳ Ｋ
７１０５）とを併せて測定した。結果を表２に示す。
−ジ−ｔブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネ
ート）〕メタン（チバガイギー社製イルガノックス１０
１０）：２．５重量部を添加し、実施例１と同様の方法
で被膜を形成し、得られた被膜について実施例１と同様
に種々の被膜物性を求めた。結果を表１に示す。また、
この実施例の被膜については、その全光線透過率（ＪＩ
Ｓ Ｋ７１０５）と熱処理前後の黄色度（ＪＩＳ Ｋ
７１０５）とを併せて測定した。結果を表２に示す。
【００２７】実施例６ 実施例４の組成物の中の樹脂溶液Ａ−１に代えて樹脂溶
液Ａ−２を使用し、実施例１と同様の方法で被膜を形成
し、得られた被膜について実施例１と同様に種々の被膜
物性を求めた。結果を表１に示す。
液Ａ−２を使用し、実施例１と同様の方法で被膜を形成
し、得られた被膜について実施例１と同様に種々の被膜
物性を求めた。結果を表１に示す。
【００２８】実施例７ 実施例４の組成物の中の樹脂溶液Ｂに代えてジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレートの５０％酢酸セロソル
ブ溶液（以下、この溶液を「ＤＰＨＡ溶液」と称す）を
使用し、実施例１と同様の方法で被膜を形成し、得られ
た被膜について実施例１と同様に種々の被膜物性を求め
た。結果を表１に示す。
リスリトールヘキサアクリレートの５０％酢酸セロソル
ブ溶液（以下、この溶液を「ＤＰＨＡ溶液」と称す）を
使用し、実施例１と同様の方法で被膜を形成し、得られ
た被膜について実施例１と同様に種々の被膜物性を求め
た。結果を表１に示す。
【００２９】実施例８ 樹脂溶液Ａ−１：３０重量部と、樹脂溶液Ｂ：３０重量
部と、ＤＰＨＡ溶液：３０重量部と、ビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂（油化シェル社製エピコート８２８）：
５重量部と、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシ
シラン（日本ユニカー社製Ａ−１７４）：２．５重量部
と、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕
−２−モルホリノプロパン−１（チバガイギー社製イル
ガキュアー９０７）：１．５重量部と、ミヒラーケト
ン：０．５重量部とを配合して感光性樹脂組成物を調製
した。なお、この感光性樹脂組成物中のエポキシ樹脂の
添加量は、感光性樹脂とエポキシ樹脂の総量の１０重量
％に相当する。得られた感光性樹脂組成物を使用し、実
施例１と同様の方法で被膜を形成し、得られた被膜につ
いて実施例１と同様に種々の被膜物性を求めた。結果を
表１に示す。
部と、ＤＰＨＡ溶液：３０重量部と、ビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂（油化シェル社製エピコート８２８）：
５重量部と、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシ
シラン（日本ユニカー社製Ａ−１７４）：２．５重量部
と、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕
−２−モルホリノプロパン−１（チバガイギー社製イル
ガキュアー９０７）：１．５重量部と、ミヒラーケト
ン：０．５重量部とを配合して感光性樹脂組成物を調製
した。なお、この感光性樹脂組成物中のエポキシ樹脂の
添加量は、感光性樹脂とエポキシ樹脂の総量の１０重量
％に相当する。得られた感光性樹脂組成物を使用し、実
施例１と同様の方法で被膜を形成し、得られた被膜につ
いて実施例１と同様に種々の被膜物性を求めた。結果を
表１に示す。
【００３０】
【表１】
【００３１】
【表２】
【００３２】
【発明の効果】本発明の一般式（１）で示される感光性
樹脂はアルカリ可溶型であって優れた耐熱性や基板との
密着性を有しており、また、これを用いた樹脂組成物
は、優れた感光性とアルカリ現像性及び良好な被膜物性
（耐熱性、密着性、耐薬品性、表面硬度等）を有するア
ルカリ現像型感光性樹脂組成物であり、また、高い透明
性、屈折率等の光学的にも優れた特性を有し、しかも、
アルカリ水溶液で現像できるので工場における作業環境
の改善が可能なコーティング材料を得ることができる。
このコーティング材料は、プリント配線板製造の際のソ
ルダーレジスト、カラー液晶フィルターの保護膜、スク
リーン印刷用インキ等、幅広い応用が期待できる。
樹脂はアルカリ可溶型であって優れた耐熱性や基板との
密着性を有しており、また、これを用いた樹脂組成物
は、優れた感光性とアルカリ現像性及び良好な被膜物性
（耐熱性、密着性、耐薬品性、表面硬度等）を有するア
ルカリ現像型感光性樹脂組成物であり、また、高い透明
性、屈折率等の光学的にも優れた特性を有し、しかも、
アルカリ水溶液で現像できるので工場における作業環境
の改善が可能なコーティング材料を得ることができる。
このコーティング材料は、プリント配線板製造の際のソ
ルダーレジスト、カラー液晶フィルターの保護膜、スク
リーン印刷用インキ等、幅広い応用が期待できる。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成３年１２月２６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【化１】 〔但し、式中Ｘは−ＣＯ−Ｙ−ＣＯＯＨ（但し、式中Ｙ
は酸無水物の残基を示す）又は−Ｈを示し、−ＣＯ−Ｙ
−ＣＯＯＨの割合が３０モル％以上であり、また、Ａｒ
は下記式
は酸無水物の残基を示す）又は−Ｈを示し、−ＣＯ−Ｙ
−ＣＯＯＨの割合が３０モル％以上であり、また、Ａｒ
は下記式
【化２】 （但し、式中Ｒ1 〜Ｒ4 は水素原子又は低級アルキル基
を示す）で表される芳香族の残基であり、Ｒ’は水素原
子又はメチル基を示し、ｎは１から２０までの整数であ
る〕で表される構造を有するアルカリ可溶型感光性樹
脂。
を示す）で表される芳香族の残基であり、Ｒ’は水素原
子又はメチル基を示し、ｎは１から２０までの整数であ
る〕で表される構造を有するアルカリ可溶型感光性樹
脂。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正内容】
【化３】 〔但し、式中Ｘは−ＣＯ−Ｙ−ＣＯＯＨ（但し、式中Ｙ
は酸無水物の残基を示す）又は−Ｈを示し、−ＣＯ−Ｙ
−ＣＯＯＨの割合が３０モル％以上であり、また、Ａｒ
は下記式
は酸無水物の残基を示す）又は−Ｈを示し、−ＣＯ−Ｙ
−ＣＯＯＨの割合が３０モル％以上であり、また、Ａｒ
は下記式
【化４】 （但し、式中Ｒ1 〜Ｒ4 は水素原子又は低級アルキル基
を示す）で表される芳香族の残基であり、Ｒ’は水素原
子又はメチル基を示し、ｎは１から２０までの整数であ
る〕で表される構造を有するアルカリ可溶型感光性樹脂
を２０重量％以上含有し、このアルカリ可溶型感光性樹
脂以外の光重合可能な少なくとも１個の炭素−炭素二重
結合を有する非ガス状エチレン性不飽和化合物を８０重
量％以下の範囲で含有するアルカリ現像型感光性樹脂組
成物。
を示す）で表される芳香族の残基であり、Ｒ’は水素原
子又はメチル基を示し、ｎは１から２０までの整数であ
る〕で表される構造を有するアルカリ可溶型感光性樹脂
を２０重量％以上含有し、このアルカリ可溶型感光性樹
脂以外の光重合可能な少なくとも１個の炭素−炭素二重
結合を有する非ガス状エチレン性不飽和化合物を８０重
量％以下の範囲で含有するアルカリ現像型感光性樹脂組
成物。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、下
記一般式（１）
記一般式（１）
【化６】 〔但し、式中Ｘは−ＣＯ−Ｙ−ＣＯＯＨ（但し、式中Ｙ
は酸無水物の残基を示す）又は−Ｈを示し、−ＣＯ−Ｙ
−ＣＯＯＨの割合が３０モル％以上であり、また、Ａｒ
は下記式
は酸無水物の残基を示す）又は−Ｈを示し、−ＣＯ−Ｙ
−ＣＯＯＨの割合が３０モル％以上であり、また、Ａｒ
は下記式
【化７】 （但し、式中Ｒ1 〜Ｒ4 は水素原子又は低級アルキル基
を示す）で表される芳香族の残基であり、Ｒ’は水素原
子又はメチル基を示し、ｎは１から２０までの整数であ
る〕で表される構造を有するアルカリ可溶型感光性樹脂
である。
を示す）で表される芳香族の残基であり、Ｒ’は水素原
子又はメチル基を示し、ｎは１から２０までの整数であ
る〕で表される構造を有するアルカリ可溶型感光性樹脂
である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】実施例１ 樹脂溶液Ａ−１：１００重量部と、２−メチル−１−
〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロ
パン−１（チバガイギー社製イルガキュアー９０７）：
１．５重量部と、ミヒラーケトン：０．５重量部とを配
合して感光性樹脂組成物溶液を調製した。この感光性樹
脂組成物溶液をガラス板上にスピンコート（５００ｒｐ
ｍ：７秒、１５００ｒｐｍで３秒、膜圧：２μｍ）で塗
布し、次に、プレキュアー：８０℃で１０分、露光：超
高圧水銀灯を用いて５００ｍＪ／ｃｍ2 の光量で露光、
アルカリ現像：５％炭酸ナトリウム水溶液に浸漬３０秒
後水洗、及び、ポストキュアー：２００℃で３０分の条
件でキュアー、露光、アルカリ現像を行って被膜を形成
し、得られた被膜について以下の評価を行った。結果を
表１に示す。
〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロ
パン−１（チバガイギー社製イルガキュアー９０７）：
１．５重量部と、ミヒラーケトン：０．５重量部とを配
合して感光性樹脂組成物溶液を調製した。この感光性樹
脂組成物溶液をガラス板上にスピンコート（５００ｒｐ
ｍ：７秒、１５００ｒｐｍで３秒、膜圧：２μｍ）で塗
布し、次に、プレキュアー：８０℃で１０分、露光：超
高圧水銀灯を用いて５００ｍＪ／ｃｍ2 の光量で露光、
アルカリ現像：５％炭酸ナトリウム水溶液に浸漬３０秒
後水洗、及び、ポストキュアー：２００℃で３０分の条
件でキュアー、露光、アルカリ現像を行って被膜を形成
し、得られた被膜について以下の評価を行った。結果を
表１に示す。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２３】実施例２ 樹脂溶液Ａ−１：９０重量部と、ビスフェノールＡ型エ
ポキシ樹脂（油化シェル社製エピコート８２８）：５重
量部と、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン（日本ユニカー社製Ａ−１７４）：２．５重量部と、
２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２
−モルホリノプロパン−１（チバガイギー社製イルガキ
ュアー９０７）：１．５重量部と、ミヒラーケトン：
０．５重量部とを配合して感光性樹脂組成物溶液を調製
した。なお、この感光性樹脂組成物溶液中のエポキシ樹
脂の添加量は、感光性樹脂とエポキシ樹脂の総量の１０
重量％に相当する。得られた感光性樹脂組成物溶液を使
用し、実施例１と同様の方法で被膜を形成し、得られた
被膜について実施例１と同様に種々の被膜物性を求め
た。結果を表１に示す。
ポキシ樹脂（油化シェル社製エピコート８２８）：５重
量部と、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン（日本ユニカー社製Ａ−１７４）：２．５重量部と、
２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２
−モルホリノプロパン−１（チバガイギー社製イルガキ
ュアー９０７）：１．５重量部と、ミヒラーケトン：
０．５重量部とを配合して感光性樹脂組成物溶液を調製
した。なお、この感光性樹脂組成物溶液中のエポキシ樹
脂の添加量は、感光性樹脂とエポキシ樹脂の総量の１０
重量％に相当する。得られた感光性樹脂組成物溶液を使
用し、実施例１と同様の方法で被膜を形成し、得られた
被膜について実施例１と同様に種々の被膜物性を求め
た。結果を表１に示す。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２４】実施例３ 樹脂溶液Ａ−１：４５重量部と、樹脂溶液Ｂ：４５重量
部と、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社
製エピコート８２８）：５重量部と、３−メタクリロキ
シプロピルトリメトキシシラン（日本ユニカー社製Ａ−
１７４）：２．５重量部と、２−メチル−１−〔４−
（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロパン−
１（チバガイギー社製イルガキュアー９０７）：１．５
重量部と、ミヒラーケトン：０．５重量部とを配合して
感光性樹脂組成物溶液を調製した。なお、この感光性樹
脂組成物溶液中のエポキシ樹脂の添加量は、感光性樹脂
とエポキシ樹脂の総量の１０重量％に相当する。得られ
た感光性樹脂組成物溶液を使用し、実施例１と同様の方
法で被膜を形成し、得られた被膜について実施例１と同
様に種々の被膜物性を求めた。結果を表１に示す。
部と、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社
製エピコート８２８）：５重量部と、３−メタクリロキ
シプロピルトリメトキシシラン（日本ユニカー社製Ａ−
１７４）：２．５重量部と、２−メチル−１−〔４−
（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロパン−
１（チバガイギー社製イルガキュアー９０７）：１．５
重量部と、ミヒラーケトン：０．５重量部とを配合して
感光性樹脂組成物溶液を調製した。なお、この感光性樹
脂組成物溶液中のエポキシ樹脂の添加量は、感光性樹脂
とエポキシ樹脂の総量の１０重量％に相当する。得られ
た感光性樹脂組成物溶液を使用し、実施例１と同様の方
法で被膜を形成し、得られた被膜について実施例１と同
様に種々の被膜物性を求めた。結果を表１に示す。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２５】実施例４ 樹脂溶液Ａ−１：３０重量部と、樹脂溶液Ｂ：６０重量
部と、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社
製エピコート８２８）：５重量部と、３−メタクリロキ
シプロピルトリメトキシシラン（日本ユニカー社製Ａ−
１７４）：２．５重量部と、２−メチル−１−〔４−
（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロパン−
１（チバガイギー社製イルガキュアー９０７）：１．５
重量部と、ミヒラーケトン：０．５重量部とを配合して
感光性樹脂組成物溶液を調製した。なお、この感光性樹
脂組成物溶液中のエポキシ樹脂の添加量は、感光性樹脂
とエポキシ樹脂の総量の１０重量％に相当する。得られ
た感光性樹脂組成物溶液を使用し、実施例１と同様の方
法で被膜を形成し、得られた被膜について実施例１と同
様に種々の被膜物性を求めた。結果を表１に示す。ま
た、この実施例４の被膜については、その全光線透過率
（ＪＩＳＫ ７１０５）と熱処理前後の黄色度（ＪＩＳ
Ｋ ７１０５）とを併せて測定した。結果を表２に示
す。
部と、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社
製エピコート８２８）：５重量部と、３−メタクリロキ
シプロピルトリメトキシシラン（日本ユニカー社製Ａ−
１７４）：２．５重量部と、２−メチル−１−〔４−
（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロパン−
１（チバガイギー社製イルガキュアー９０７）：１．５
重量部と、ミヒラーケトン：０．５重量部とを配合して
感光性樹脂組成物溶液を調製した。なお、この感光性樹
脂組成物溶液中のエポキシ樹脂の添加量は、感光性樹脂
とエポキシ樹脂の総量の１０重量％に相当する。得られ
た感光性樹脂組成物溶液を使用し、実施例１と同様の方
法で被膜を形成し、得られた被膜について実施例１と同
様に種々の被膜物性を求めた。結果を表１に示す。ま
た、この実施例４の被膜については、その全光線透過率
（ＪＩＳＫ ７１０５）と熱処理前後の黄色度（ＪＩＳ
Ｋ ７１０５）とを併せて測定した。結果を表２に示
す。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２６】実施例５ 実施例４の組成物溶液にテトラキス〔メチレン−３
（３，５−ジ−ｔブチル−４−ヒドロキシフェニル）プ
ロピオネート）〕メタン（チバガイギー社製イルガノッ
クス１０１０）：２．５重量部を添加し、実施例１と同
様の方法で被膜を形成し、得られた被膜について実施例
１と同様に種々の被膜物性を求めた。結果を表１に示
す。また、この実施例の被膜については、その全光線透
過率（ＪＩＳＫ ７１０５）と熱処理前後の黄色度（Ｊ
ＩＳ Ｋ ７１０５）とを併せて測定した。結果を表２
に示す。
（３，５−ジ−ｔブチル−４−ヒドロキシフェニル）プ
ロピオネート）〕メタン（チバガイギー社製イルガノッ
クス１０１０）：２．５重量部を添加し、実施例１と同
様の方法で被膜を形成し、得られた被膜について実施例
１と同様に種々の被膜物性を求めた。結果を表１に示
す。また、この実施例の被膜については、その全光線透
過率（ＪＩＳＫ ７１０５）と熱処理前後の黄色度（Ｊ
ＩＳ Ｋ ７１０５）とを併せて測定した。結果を表２
に示す。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２７】実施例６ 実施例４の組成物溶液の中の樹脂溶液Ａ−１に代えて樹
脂溶液Ａ−２を使用し、実施例１と同様の方法で被膜を
形成し、得られた被膜について実施例１と同様に種々の
被膜物性を求めた。結果を表１に示す。
脂溶液Ａ−２を使用し、実施例１と同様の方法で被膜を
形成し、得られた被膜について実施例１と同様に種々の
被膜物性を求めた。結果を表１に示す。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２８】実施例７ 実施例４の組成物溶液の中の樹脂溶液Ｂに代えてジペン
タエリスリトールヘキサアクリレートの５０％酢酸セロ
ソルブ溶液（以下、この溶液を「ＤＰＨＡ溶液」と称
す）を使用し、実施例１と同様の方法で被膜を形成し、
得られた被膜について実施例１と同様に種々の被膜物性
を求めた。結果を表１に示す。
タエリスリトールヘキサアクリレートの５０％酢酸セロ
ソルブ溶液（以下、この溶液を「ＤＰＨＡ溶液」と称
す）を使用し、実施例１と同様の方法で被膜を形成し、
得られた被膜について実施例１と同様に種々の被膜物性
を求めた。結果を表１に示す。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２９】実施例８ 樹脂溶液Ａ−１：３０重量部と、樹脂溶液Ｂ：３０重量
部と、ＤＰＨＡ溶液：３０重量部と、ビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂（油化シェル社製エピコート８２８）：
５重量部と、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシ
シラン（日本ユニカー社製Ａ−１７４）：２．５重量部
と、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕
−２−モルホリノプロパン−１（チバガイギー社製イル
ガキュアー９０７）：１．５重量部と、ミヒラーケト
ン：０．５重量部とを配合して感光性樹脂組成物溶液を
調製した。なお、この感光性樹脂組成物溶液中のエポキ
シ樹脂の添加量は、感光性樹脂とエポキシ樹脂の総量の
１０重量％に相当する。得られた感光性樹脂組成物溶液
を使用し、実施例１と同様の方法で被膜を形成し、得ら
れた被膜について実施例１と同様に種々の被膜物性を求
めた。結果を表１に示す。
部と、ＤＰＨＡ溶液：３０重量部と、ビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂（油化シェル社製エピコート８２８）：
５重量部と、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシ
シラン（日本ユニカー社製Ａ−１７４）：２．５重量部
と、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕
−２−モルホリノプロパン−１（チバガイギー社製イル
ガキュアー９０７）：１．５重量部と、ミヒラーケト
ン：０．５重量部とを配合して感光性樹脂組成物溶液を
調製した。なお、この感光性樹脂組成物溶液中のエポキ
シ樹脂の添加量は、感光性樹脂とエポキシ樹脂の総量の
１０重量％に相当する。得られた感光性樹脂組成物溶液
を使用し、実施例１と同様の方法で被膜を形成し、得ら
れた被膜について実施例１と同様に種々の被膜物性を求
めた。結果を表１に示す。
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/038 ５０１ 7124−2Ｈ Ｈ０１Ｌ 21/027 // Ｃ０８Ｆ 299/02 ＭＲＳ 7442−4Ｊ
Claims (4)
- 【請求項１】 下記一般式（１） 【化１】 〔但し、式中Ｘは−ＣＯ−Ｙ−ＣＯＯＨ（但し、式中Ｙ
は酸無水物の残基を示す）又は−Ｈを示し、−ＣＯ−Ｙ
−ＣＯＯＨの割合が３０モル％以上であり、また、Ａｒ
は下記式 【化２】 （但し、式中Ｒ1 〜Ｒ4 は水素原子又は低級アルキル基
を示す）で表される芳香族の残基であり、Ｒ’は水素原
子又はメチル基を示し、ｎは１から２０までの整数であ
る〕で表される構造を有するアルカリ可溶型感光性樹
脂。 - 【請求項２】 下記一般式（１） 【化３】 〔但し、式中Ｘは−ＣＯ−Ｙ−ＣＯＯＨ（但し、式中Ｙ
は酸無水物の残基を示す）又は−Ｈを示し、−ＣＯ−Ｙ
−ＣＯＯＨの割合が３０モル％以上であり、また、Ａｒ
は下記式 【化４】 （但し、式中Ｒ1 〜Ｒ4 は水素原子又は低級アルキル基
を示す）で表される芳香族の残基であり、Ｒ’は水素原
子又はメチル基を示し、ｎは１から２０までの整数であ
る〕で表される構造を有するアルカリ可溶型感光性樹脂
を２０重量％以上含有し、このアルカリ可溶型感光性樹
脂以外の光重合可能な少なくとも１個の炭素−炭素二重
結合を有する非ガス状エチレン性不飽和化合物を８０重
量％以下の範囲で含有するアルカリ現像型感光性樹脂組
成物。 - 【請求項３】 非ガス状エチレン性不飽和化合物の１０
〜１００重量％が下記一般式（２） 【化５】 〔但し、式中Ｘは−ＣＯ−Ｙ−ＣＯＯＨ（但し、Ｙは酸
無水物の残基を示す）又は−Ｈを示し、−ＣＯ−Ｙ−Ｃ
ＯＯＨの割合は３０モル％以上である〕で表される構造
を有するアルカリ可溶型樹脂である請求項２記載のアル
カリ現像型感光性樹脂組成物。 - 【請求項４】 少なくとも１個のエポキシ基を有する化
合物を５〜２０重量％の範囲で添加してなる請求項２又
は３記載のアルカリ現像型感光性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25871091A JPH0570528A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | アルカリ可溶型感光性樹脂及びそれを用いたアルカリ現像型感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25871091A JPH0570528A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | アルカリ可溶型感光性樹脂及びそれを用いたアルカリ現像型感光性樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0570528A true JPH0570528A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=17324022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25871091A Withdrawn JPH0570528A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | アルカリ可溶型感光性樹脂及びそれを用いたアルカリ現像型感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0570528A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0598552A2 (en) * | 1992-11-16 | 1994-05-25 | Sola International Holdings, Ltd. | Cross-linkable polymeric composition |
| EP0620501A2 (en) * | 1993-04-12 | 1994-10-19 | Nippon Paint Co., Ltd. | Photosensitive composition for volume hologram recording |
| JP2000003037A (ja) * | 1999-01-11 | 2000-01-07 | Nec Corp | 配線構造とその製造方法 |
| WO2000058788A1 (fr) * | 1999-03-26 | 2000-10-05 | Nippon Steel Chemical Co., Ltd. | Article multicouche photopolymerisable haute definition et dispositif semiconducteur fabrique avec cet article |
| US6156414A (en) * | 1997-08-26 | 2000-12-05 | Nec Corporation | Carrier film and process for producing the same |
| US6232398B1 (en) | 1996-12-05 | 2001-05-15 | Nec Corporation | Alkali or acid corrodible organic or composite particles in resin matrix |
| JP2005290199A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Kuraray Co Ltd | 光硬化性樹脂組成物及びその重合体 |
| KR100550938B1 (ko) * | 1999-12-28 | 2006-02-13 | 제일모직주식회사 | 광중합성 감광 수지 조성물 |
| JP2006137903A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 硬化性高屈折率材料及び該硬化性高屈折率材料を用いてなる積層体 |
| US8487030B2 (en) | 2009-07-09 | 2013-07-16 | Cheil Industries Inc. | Organic-inorganic hybrid composition and image sensor |
| US8502334B2 (en) | 2009-04-09 | 2013-08-06 | Cheil Industries Inc. | Image sensor and method for manufacturing the same |
| US9557444B2 (en) | 2013-08-29 | 2017-01-31 | Chi Mei Corporation | Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition, color filter, method for manufacturing the same, and liquid crystal display apparatus |
| TWI620012B (zh) * | 2015-11-02 | 2018-04-01 | 互應化學工業股份有限公司 | 感光性樹脂組成物、乾膜及印刷線路板 |
-
1991
- 1991-09-11 JP JP25871091A patent/JPH0570528A/ja not_active Withdrawn
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0598552A2 (en) * | 1992-11-16 | 1994-05-25 | Sola International Holdings, Ltd. | Cross-linkable polymeric composition |
| EP0598552A3 (en) * | 1992-11-16 | 1995-02-22 | Sola Int Holdings | Curable, polymeric composition. |
| EP0620501A2 (en) * | 1993-04-12 | 1994-10-19 | Nippon Paint Co., Ltd. | Photosensitive composition for volume hologram recording |
| EP0620501A3 (en) * | 1993-04-12 | 1995-07-26 | Nippon Paint Co Ltd | Photosensitive composition for recording a phase hologram in volume. |
| US5858614A (en) * | 1993-04-12 | 1999-01-12 | Nippon Paint Co., Ltd. | Photosensitive composition for volume hologram recording |
| US6232398B1 (en) | 1996-12-05 | 2001-05-15 | Nec Corporation | Alkali or acid corrodible organic or composite particles in resin matrix |
| US6156414A (en) * | 1997-08-26 | 2000-12-05 | Nec Corporation | Carrier film and process for producing the same |
| US6333136B1 (en) | 1997-08-26 | 2001-12-25 | Nec Corporation | Carrier film and process for producing the same |
| JP2000003037A (ja) * | 1999-01-11 | 2000-01-07 | Nec Corp | 配線構造とその製造方法 |
| WO2000058788A1 (fr) * | 1999-03-26 | 2000-10-05 | Nippon Steel Chemical Co., Ltd. | Article multicouche photopolymerisable haute definition et dispositif semiconducteur fabrique avec cet article |
| KR100550938B1 (ko) * | 1999-12-28 | 2006-02-13 | 제일모직주식회사 | 광중합성 감광 수지 조성물 |
| JP2005290199A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Kuraray Co Ltd | 光硬化性樹脂組成物及びその重合体 |
| JP2006137903A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 硬化性高屈折率材料及び該硬化性高屈折率材料を用いてなる積層体 |
| US8502334B2 (en) | 2009-04-09 | 2013-08-06 | Cheil Industries Inc. | Image sensor and method for manufacturing the same |
| US8487030B2 (en) | 2009-07-09 | 2013-07-16 | Cheil Industries Inc. | Organic-inorganic hybrid composition and image sensor |
| TWI492924B (zh) * | 2009-07-09 | 2015-07-21 | 第一毛織股份有限公司 | 有機－無機混成組成物及影像感測器 |
| US9557444B2 (en) | 2013-08-29 | 2017-01-31 | Chi Mei Corporation | Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition, color filter, method for manufacturing the same, and liquid crystal display apparatus |
| TWI620012B (zh) * | 2015-11-02 | 2018-04-01 | 互應化學工業股份有限公司 | 感光性樹脂組成物、乾膜及印刷線路板 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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