JPH0569313A - 高精度平面創成方法及び装置 - Google Patents
高精度平面創成方法及び装置Info
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- JPH0569313A JPH0569313A JP3250352A JP25035291A JPH0569313A JP H0569313 A JPH0569313 A JP H0569313A JP 3250352 A JP3250352 A JP 3250352A JP 25035291 A JP25035291 A JP 25035291A JP H0569313 A JPH0569313 A JP H0569313A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lap
- work
- adjusting ring
- fixed
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ラツプの偏摩を防止すると共に、自動的に、
高精度で良好な鏡面研磨をする。 【構成】 回転する円盤状のラツプ１の面に、回転する
調整リング２の端面に取付けたワークを当接して研磨す
る。調整リング２の外径はラップ１の外径の１／２以下
にする。
高精度で良好な鏡面研磨をする。 【構成】 回転する円盤状のラツプ１の面に、回転する
調整リング２の端面に取付けたワークを当接して研磨す
る。調整リング２の外径はラップ１の外径の１／２以下
にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ワークの研磨面を高
精度に研磨することを目的とした高精度平面創成方法及
び装置に関する。
精度に研磨することを目的とした高精度平面創成方法及
び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来ラツプ（又はスカイフ、以下同じ）
により宝石類その他のワークを研磨する場合には、治具
に取付けたワークをラツプの研磨面に適当の接触圧（人
力又は器具で調節）で当接している。
により宝石類その他のワークを研磨する場合には、治具
に取付けたワークをラツプの研磨面に適当の接触圧（人
力又は器具で調節）で当接している。
【０００３】通常の研磨に於てはワークを調整リング内
に入れて上から重錘などで一定の研磨圧をかけ遊離砥粒
を用いて研磨する。調整リングはラップ上に置いただけ
でラップの回転により自然に回転させられる。
に入れて上から重錘などで一定の研磨圧をかけ遊離砥粒
を用いて研磨する。調整リングはラップ上に置いただけ
でラップの回転により自然に回転させられる。
【０００４】
【発明により解決すべき課題】従来のラツプ修正リング
内にワークを入れて行なう研磨においては修正リングは
ワークに回転運動を与え、ラツプ上面の平面度修正を行
なうことはできた。しかしリング内に置かれたワークは
中心部と外側とではラツプとの相対運動が違うために全
く一様の研磨を行なうことができなかった。
内にワークを入れて行なう研磨においては修正リングは
ワークに回転運動を与え、ラツプ上面の平面度修正を行
なうことはできた。しかしリング内に置かれたワークは
中心部と外側とではラツプとの相対運動が違うために全
く一様の研磨を行なうことができなかった。
【０００５】又修正リングは一定の回転しか得られない
ために最良の研磨条件を得ることはは困難であった。
ために最良の研磨条件を得ることはは困難であった。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】この発明は、回転するラツ
プの研磨面の一側に、調整リングに固定したワークを当
接し、前記調整リングを回転することにより、前記従来
の問題点を解決し、熟練した技術を要することなく、比
較的簡単に高精度の研磨が可能となった。
プの研磨面の一側に、調整リングに固定したワークを当
接し、前記調整リングを回転することにより、前記従来
の問題点を解決し、熟練した技術を要することなく、比
較的簡単に高精度の研磨が可能となった。
【０００７】即ちこの発明の方法は回転する円盤状のラ
ツプ面に、回転する調整リング端面に取付けたワークを
所定圧力で当接することを特徴とした高精度平面創成方
法である。また調整リングの外径はラツプの外径の 1/2
以下としたものである。次に調整リング平均線速度と、
ラツプの平均線速度との比を自由に変更できるようにし
たものである。この発明の装置は回転手段を付与したラ
ツプの研磨面に、回転手段を付与したワーク取付用の調
整リングのワーク取付側を対向設置したことを特徴とす
る高精度平面創成装置である。前記におけるラツプの回
転手段はラツプの回転軸の入力手段としたものである。
また回転手段はラツプ又は調整リングの側面に当接した
駆動ローラとしたものである。次に他の発明は本体テー
ブル上へ、主軸を回転自在に縦に架設して、前記主軸の
上端にラツプを固定する。前記ラツプの一側壁に駆動ロ
ーラを当接し、該駆動ローラに回転手段を連結する。前
記ラツプの他側研磨面に調整リングの端面に固定したワ
ークを当接し、前記調整リングの側壁に駆動ローラを当
接し、該駆動ローラに回転手段を連結したことを特徴と
する高精度平面創成装置である。
ツプ面に、回転する調整リング端面に取付けたワークを
所定圧力で当接することを特徴とした高精度平面創成方
法である。また調整リングの外径はラツプの外径の 1/2
以下としたものである。次に調整リング平均線速度と、
ラツプの平均線速度との比を自由に変更できるようにし
たものである。この発明の装置は回転手段を付与したラ
ツプの研磨面に、回転手段を付与したワーク取付用の調
整リングのワーク取付側を対向設置したことを特徴とす
る高精度平面創成装置である。前記におけるラツプの回
転手段はラツプの回転軸の入力手段としたものである。
また回転手段はラツプ又は調整リングの側面に当接した
駆動ローラとしたものである。次に他の発明は本体テー
ブル上へ、主軸を回転自在に縦に架設して、前記主軸の
上端にラツプを固定する。前記ラツプの一側壁に駆動ロ
ーラを当接し、該駆動ローラに回転手段を連結する。前
記ラツプの他側研磨面に調整リングの端面に固定したワ
ークを当接し、前記調整リングの側壁に駆動ローラを当
接し、該駆動ローラに回転手段を連結したことを特徴と
する高精度平面創成装置である。
【０００８】前記各発明には、調整リングとラツプとの
相対的位置関係を変えることにより、凸、凹、完全平面
を得ることができる。また調整リングを強制回転させる
ことにより所望の研磨能率と仕上面が得られる。この場
合に傷痕の形状は、ラツプと調整リングとの相対速度を
変更することにより、色々の形ものを撰択できる。この
「すじ」（傷痕）の中に研磨材が保持されるので、研磨
効率を上げるのに効果がある。また使用砥粒を選定する
ことにより、傷痕の殆んどない面も作ることができる。
相対的位置関係を変えることにより、凸、凹、完全平面
を得ることができる。また調整リングを強制回転させる
ことにより所望の研磨能率と仕上面が得られる。この場
合に傷痕の形状は、ラツプと調整リングとの相対速度を
変更することにより、色々の形ものを撰択できる。この
「すじ」（傷痕）の中に研磨材が保持されるので、研磨
効率を上げるのに効果がある。また使用砥粒を選定する
ことにより、傷痕の殆んどない面も作ることができる。
【０００９】前記発明によれば、調整リングに固定した
ワークの当接面のラツプとの相対速度がほゞ一定になる
ので、高精度の平面が得られることになる。
ワークの当接面のラツプとの相対速度がほゞ一定になる
ので、高精度の平面が得られることになる。
【００１０】またダイヤモンドのように加工時に発熱す
るものにおいては、接着剤（調整リングとワークとは通
常接着剤で固定する）の接着力が低下し、剥離するおそ
れがある。このような場合には図７のように、ゴム板を
介して吸着させると、ラツプ面との当接を均等にするこ
とができる。
るものにおいては、接着剤（調整リングとワークとは通
常接着剤で固定する）の接着力が低下し、剥離するおそ
れがある。このような場合には図７のように、ゴム板を
介して吸着させると、ラツプ面との当接を均等にするこ
とができる。
【００１１】従来の方法ではラツプ上面が不均一に磨耗
したものを修正リングで修正する。これに対しこの発明
は調整リングそのものに取付けられたワークはラツプで
研磨されると同時にその上面修正するのでラツプ上面は
不均一に摩耗することがない。従ってラツプの上面を修
正リングで修正する必要がなくなる。
したものを修正リングで修正する。これに対しこの発明
は調整リングそのものに取付けられたワークはラツプで
研磨されると同時にその上面修正するのでラツプ上面は
不均一に摩耗することがない。従ってラツプの上面を修
正リングで修正する必要がなくなる。
【００１２】
【作用】この発明によればワークを調整リングの端面に
固定し、調整リングを回転すると共に、ラツプの研磨面
へ当接するので、ワークとラツプとの相対速度が均一化
し、高精度の平面を創成できる。
固定し、調整リングを回転すると共に、ラツプの研磨面
へ当接するので、ワークとラツプとの相対速度が均一化
し、高精度の平面を創成できる。
【００１３】
【実施例１】外径３００mmのラツプ１を２００rpm で回
転させ、その上部に外径１１０mm、内径８６mmの調整リ
ング２の端面に、多数のワーク３、３（人造サファイ
ア）を固定し（接着剤４により固定）、前記調整リング
２を５００rpm で回転する。この場合の接触全圧は５Kg
位であった。１５分位研磨した所、人造サファイアの加
工面は極上鏡面となった。前記に使用した砥粒は 1/2μ
位のダイヤモンドパウダーであった。
転させ、その上部に外径１１０mm、内径８６mmの調整リ
ング２の端面に、多数のワーク３、３（人造サファイ
ア）を固定し（接着剤４により固定）、前記調整リング
２を５００rpm で回転する。この場合の接触全圧は５Kg
位であった。１５分位研磨した所、人造サファイアの加
工面は極上鏡面となった。前記に使用した砥粒は 1/2μ
位のダイヤモンドパウダーであった。
【００１４】
【実施例２】この発明の装置について説明する。本体テ
ーブル５上へ軸受け６を介して主軸７を回転自在に縦に
架設し、主軸７の上端部へラツプ１を固定する。前記本
体テーブル５の一側に、マグネツトブロツク８を固定す
る。前記マグネツトブロツク８に水平部９ａと垂直部９
ｂを有するブラケツト９を固定し、ブラケツト９の水平
部９ａ上へギヤーモータ１０を縦に設置し、ギヤーモー
タ１０の出力軸１１にギヤー１２を固定し、ギヤー１２
へ二つのギヤー１３、１４を咬み合せ、ギヤー１３、１
４は、前記ブラケツト９の水平部９ａへ取付軸１５、１
６で回転自在に取付け、前記ギヤー１３、１４へ駆動ロ
ーラ１７、１８を固定してあり、前記駆動ローラ１７、
１８はラツプ１の側壁へ当接してある。前記本体テーブ
ル５の他側にはマグネツトブロツク１９を固定する。前
記マグネツトブロツク１９上へ支板２０の一側をボルト
２１により固定し、支板２０上へギヤーモータ２２を縦
に設置すると共に、支板２０の他側へ取付軸２３、２４
によりプーリー２５、２６を回転自在に取付け、プーリ
ー２５、２６へ駆動ローラ２７、２８を固定し、前記プ
ーリー２５、２６と前記ギヤーモータ２２の出力軸２９
に固定したプーリー３０との間にベルト３１を装着す
る。図中３２、３３は変速機、３４、３５は変速つま
み、３６、３７はスイツチ片である。前記におけるマグ
ネツトブロツク８、１９は、電源のＯＮ、ＯＦＦにより
磁極の方向を変化し、吸着又は取外しができる。
ーブル５上へ軸受け６を介して主軸７を回転自在に縦に
架設し、主軸７の上端部へラツプ１を固定する。前記本
体テーブル５の一側に、マグネツトブロツク８を固定す
る。前記マグネツトブロツク８に水平部９ａと垂直部９
ｂを有するブラケツト９を固定し、ブラケツト９の水平
部９ａ上へギヤーモータ１０を縦に設置し、ギヤーモー
タ１０の出力軸１１にギヤー１２を固定し、ギヤー１２
へ二つのギヤー１３、１４を咬み合せ、ギヤー１３、１
４は、前記ブラケツト９の水平部９ａへ取付軸１５、１
６で回転自在に取付け、前記ギヤー１３、１４へ駆動ロ
ーラ１７、１８を固定してあり、前記駆動ローラ１７、
１８はラツプ１の側壁へ当接してある。前記本体テーブ
ル５の他側にはマグネツトブロツク１９を固定する。前
記マグネツトブロツク１９上へ支板２０の一側をボルト
２１により固定し、支板２０上へギヤーモータ２２を縦
に設置すると共に、支板２０の他側へ取付軸２３、２４
によりプーリー２５、２６を回転自在に取付け、プーリ
ー２５、２６へ駆動ローラ２７、２８を固定し、前記プ
ーリー２５、２６と前記ギヤーモータ２２の出力軸２９
に固定したプーリー３０との間にベルト３１を装着す
る。図中３２、３３は変速機、３４、３５は変速つま
み、３６、３７はスイツチ片である。前記におけるマグ
ネツトブロツク８、１９は、電源のＯＮ、ＯＦＦにより
磁極の方向を変化し、吸着又は取外しができる。
【００１５】前記実施例において、ギヤーモータ１０を
始動し、その出力軸１１を介してギヤー１２を矢示３８
の方向へ回転すると、ギヤー１３、１４は夫々矢示３
９、４０の方向へ回転し、これにつれて駆動ローラ１
７、１８も同方向へ回転するので、ラツプ１は矢示４１
の方向へ回転する。またギヤーモータ２２を始動する
と、その出力軸２９を介してプーリー３０が矢示４２の
方向へ回転するので、ベルト３１が矢示４３の方向へ移
動して、プーリー２５、２６を矢示４４、４５の方向へ
回転させ、これに固定した駆動ローラ２７、２８も同方
向へ回転するので、調整リング２も矢示４６の方向へ回
転することになり、研磨が行われる（図２）。前記実施
例２においては調整リング２を強制回転することについ
て説明したが、駆動ローラ２７、２８に駆動力を伝達し
ないようにすれば、調整リング２はラツプ１の回転につ
れで、自動回転する。この場合にも均等研磨ができる。
然し乍ら調整リング２を強制回転し、その回転数を適宜
変速すれば、ラツプ１とワーク３との接触条件を所望の
状態にすることができる。例えば回転数を変えてテスト
研磨し、最良の条件を見出してその時の回転数をセット
する。
始動し、その出力軸１１を介してギヤー１２を矢示３８
の方向へ回転すると、ギヤー１３、１４は夫々矢示３
９、４０の方向へ回転し、これにつれて駆動ローラ１
７、１８も同方向へ回転するので、ラツプ１は矢示４１
の方向へ回転する。またギヤーモータ２２を始動する
と、その出力軸２９を介してプーリー３０が矢示４２の
方向へ回転するので、ベルト３１が矢示４３の方向へ移
動して、プーリー２５、２６を矢示４４、４５の方向へ
回転させ、これに固定した駆動ローラ２７、２８も同方
向へ回転するので、調整リング２も矢示４６の方向へ回
転することになり、研磨が行われる（図２）。前記実施
例２においては調整リング２を強制回転することについ
て説明したが、駆動ローラ２７、２８に駆動力を伝達し
ないようにすれば、調整リング２はラツプ１の回転につ
れで、自動回転する。この場合にも均等研磨ができる。
然し乍ら調整リング２を強制回転し、その回転数を適宜
変速すれば、ラツプ１とワーク３との接触条件を所望の
状態にすることができる。例えば回転数を変えてテスト
研磨し、最良の条件を見出してその時の回転数をセット
する。
【００１６】
【実施例３】図３に示すラツプ１は、主軸７に固定せら
れ、主軸７の下端にプーリー４７は、モータ（図示して
ない）の駆動軸に固定したプーリーとの間にベルトを装
着して駆動される。
れ、主軸７の下端にプーリー４７は、モータ（図示して
ない）の駆動軸に固定したプーリーとの間にベルトを装
着して駆動される。
【００１７】
【実施例４】図７は、ワーク３の取付けの他の実施例を
示すものである。この発明の実施に際し、調整リング２
とワーク３とは、通常接着剤４（図６）で固定するが、
加工中に発熱のあるワークの場合には接着剤４が加熱さ
れ、接着力が劣化するおそれがある。このような場合に
は、調整リング２の肉厚内に給気孔４８を設け、その先
端をワーク取付溝４９に臨ませる。前記ワーク取付溝４
９には、ゴム板５０を介してワーク３を嵌着すれば、ワ
ーク３は減圧吸着（矢示５１）により、調整リング２へ
固定される。この実施例によれば加工熱の影響を受ける
おそれはない。
示すものである。この発明の実施に際し、調整リング２
とワーク３とは、通常接着剤４（図６）で固定するが、
加工中に発熱のあるワークの場合には接着剤４が加熱さ
れ、接着力が劣化するおそれがある。このような場合に
は、調整リング２の肉厚内に給気孔４８を設け、その先
端をワーク取付溝４９に臨ませる。前記ワーク取付溝４
９には、ゴム板５０を介してワーク３を嵌着すれば、ワ
ーク３は減圧吸着（矢示５１）により、調整リング２へ
固定される。この実施例によれば加工熱の影響を受ける
おそれはない。
【００１８】
【発明の効果】この発明によれば、回転するラツプ上へ
フリー回転又は強制回転する調整リングの端面を対向さ
せ、該端面部へワークを固定したので、ラツプとワーク
とが、均等に当接するので、ラツプ上面が偏摩するおそ
れがなく、長く同一状態を保つので修正を要しないと共
に、熟練した技術を使用しなくてもワーク面を高精度平
面とし得る効果がある。然して調整リングを強制回転す
れば、研磨状件を変化させて所望の研磨面を得ることが
できるなどの諸効果がある。
フリー回転又は強制回転する調整リングの端面を対向さ
せ、該端面部へワークを固定したので、ラツプとワーク
とが、均等に当接するので、ラツプ上面が偏摩するおそ
れがなく、長く同一状態を保つので修正を要しないと共
に、熟練した技術を使用しなくてもワーク面を高精度平
面とし得る効果がある。然して調整リングを強制回転す
れば、研磨状件を変化させて所望の研磨面を得ることが
できるなどの諸効果がある。
【図１】この発明の実施装置の一部を省畧した正面図。
【図２】同じく一部を省畧した平面図。
【図３】同じくラツプの直接区動の場合における取付構
造を示す断面拡大図。
造を示す断面拡大図。
【図４】(a) 同じく駆動ローラの断面拡大図。(b) 同じ
くプーリーの断面拡大図
くプーリーの断面拡大図
【図５】同じくラツプの傷痕の説明図。
【図６】同じくワークの取付状態を示す斜視図。
【図７】同じく減圧吸引によるワークの取付状態を示す
一部断面拡大図。
一部断面拡大図。
１ ラツプ ２ 調整リング ３ ワーク ４ 接着剤 ５ 本体テーブル ７ 主軸 ８ マグネツトブロツク １０ ギヤーモータ １１ 出力軸 １２ ギヤー １３、１４ ギヤー １７、１８ 駆動ローラ １９ マグネツトブロツク ２０ 支板 ２２ ギヤーモータ ２７、２８ 駆動ローラ ２９ 出力軸 ３２、３３ 変速機
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成３年１１月１５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】 通常の研磨に於てはワークを調整リング
内に入れて上から重錘などで一定の研磨圧をかけ遊離砥
粒を用いて研磨する。調整リングはラップ上に置いただ
けでラップの回転により自然に回転させられる。また固
定砥粒のラップを用いることもある。
内に入れて上から重錘などで一定の研磨圧をかけ遊離砥
粒を用いて研磨する。調整リングはラップ上に置いただ
けでラップの回転により自然に回転させられる。また固
定砥粒のラップを用いることもある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】 前記発明によれば、調整リングに固定し
たいづれのワークもその当接面のラツプとの相対速度が
ほゞ一定になるので、高精度の平面が得られることにな
る。
たいづれのワークもその当接面のラツプとの相対速度が
ほゞ一定になるので、高精度の平面が得られることにな
る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】 従来の方法ではラツプ上面が不均一に磨
耗したものを修正リング等で修正する。これに対しこの
発明は調整リングそのものに取付けられたワークはラツ
プで研磨されると同時にその上面修正するのでラツプ上
面は不均一に摩耗することがない。従ってラツプの上面
を修正する必要がなくなる。
耗したものを修正リング等で修正する。これに対しこの
発明は調整リングそのものに取付けられたワークはラツ
プで研磨されると同時にその上面修正するのでラツプ上
面は不均一に摩耗することがない。従ってラツプの上面
を修正する必要がなくなる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】
【作用】この発明によればワークを調整リングの端面に
固定し、調整リングを回転すると共に、ラツプの研磨面
へ当接するので、ワークとラツプとの相対速度が自由に
選択でき最適の研磨条件で加工が行われ、高精度の平面
が創成できる。
固定し、調整リングを回転すると共に、ラツプの研磨面
へ当接するので、ワークとラツプとの相対速度が自由に
選択でき最適の研磨条件で加工が行われ、高精度の平面
が創成できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】
【実施例２】この発明の装置について説明する。本体テ
ーブル５上へ軸受け６を介して主軸７を回転自在に縦に
架設し、主軸７の上端部へラツプ１を固定する。前記本
体テーブル５の一側に、マグネツトブロツク８を固定す
る。前記マグネツトブロツク８に水平部９ａと垂直部９
ｂを有するブラケツト９を固定し、ブラケツト９の水平
部９ａ上へギヤーモータ１０を縦に設置し、ギヤーモー
タ１０の出力軸１１にギヤー１２を固定し、ギヤー１２
へ二つのギヤー１３、１４を咬み合せ、ギヤー１３、１
４は、前記ブラケツト９の水平部９ａへ取付軸１５、１
６で回転自在に取付け、前記ギヤー１３、１４へ駆動ロ
ーラ１７、１８を固定してあり、前記駆動ローラ１７、
１８はラツプ１の側壁へ当接してある。前記本体テーブ
ル５の他側にはマグネツトブロツク１９を固定する。前
記マグネツトブロツク１９上へ支板２０の一側をボルト
２１により固定し、支板２０上へギヤーモータ２２を縦
に設置すると共に、支板２０の他側へ取付軸２３、２４
によりプーリー２５、２６を回転自在に取付け、プーリ
ー２５、２６へ駆動ローラ２７、２８を固定し、前記プ
ーリー２５、２６と前記ギヤーモータ２２の出力軸２９
に固定したプーリー３０との間にベルト３１を装着す
る。図中３２、３３は変速機、３４、３５は変速つま
み、３６、３７はスイツチ片である。前記におけるマグ
ネツトブロツク８、１９は、電源のＯＮ、ＯＦＦにより
磁極の方向を変化し、吸着又は取外しができる。５２は
ベルトを張るためのテンションプーリである。
ーブル５上へ軸受け６を介して主軸７を回転自在に縦に
架設し、主軸７の上端部へラツプ１を固定する。前記本
体テーブル５の一側に、マグネツトブロツク８を固定す
る。前記マグネツトブロツク８に水平部９ａと垂直部９
ｂを有するブラケツト９を固定し、ブラケツト９の水平
部９ａ上へギヤーモータ１０を縦に設置し、ギヤーモー
タ１０の出力軸１１にギヤー１２を固定し、ギヤー１２
へ二つのギヤー１３、１４を咬み合せ、ギヤー１３、１
４は、前記ブラケツト９の水平部９ａへ取付軸１５、１
６で回転自在に取付け、前記ギヤー１３、１４へ駆動ロ
ーラ１７、１８を固定してあり、前記駆動ローラ１７、
１８はラツプ１の側壁へ当接してある。前記本体テーブ
ル５の他側にはマグネツトブロツク１９を固定する。前
記マグネツトブロツク１９上へ支板２０の一側をボルト
２１により固定し、支板２０上へギヤーモータ２２を縦
に設置すると共に、支板２０の他側へ取付軸２３、２４
によりプーリー２５、２６を回転自在に取付け、プーリ
ー２５、２６へ駆動ローラ２７、２８を固定し、前記プ
ーリー２５、２６と前記ギヤーモータ２２の出力軸２９
に固定したプーリー３０との間にベルト３１を装着す
る。図中３２、３３は変速機、３４、３５は変速つま
み、３６、３７はスイツチ片である。前記におけるマグ
ネツトブロツク８、１９は、電源のＯＮ、ＯＦＦにより
磁極の方向を変化し、吸着又は取外しができる。５２は
ベルトを張るためのテンションプーリである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】
【発明の効果】この発明によれば、回転するラツプ上へ
フリー回転又は強制回転する調整リングの端面を対向さ
せ、該端面部へワークを固定したので、ラップとワーク
の当接面はお互いに完全平面を創成しつつ研磨が行われ
る。またラツプとワークとが、均等に当接するので、ラ
ツプ上面が偏摩するおそれがなく、長く同一状態を保つ
ので修正を要しないと共に、熟練した技術を使用しなく
てもワーク面を高精度平面とし得る効果がある。然して
調整リングを強制回転すれば、研磨状件を変化させて理
想的な加工条件で所望の研磨面を得ることができるなど
の諸効果がある。
フリー回転又は強制回転する調整リングの端面を対向さ
せ、該端面部へワークを固定したので、ラップとワーク
の当接面はお互いに完全平面を創成しつつ研磨が行われ
る。またラツプとワークとが、均等に当接するので、ラ
ツプ上面が偏摩するおそれがなく、長く同一状態を保つ
ので修正を要しないと共に、熟練した技術を使用しなく
てもワーク面を高精度平面とし得る効果がある。然して
調整リングを強制回転すれば、研磨状件を変化させて理
想的な加工条件で所望の研磨面を得ることができるなど
の諸効果がある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
Claims (7)
- 【請求項１】 回転する円盤状のラツプ面に、回転する
調整リング端面に取付けたワークを所定圧力で当接する
ことを特徴とした高精度平面創成方法 - 【請求項２】 調整リングの外径はラツプの外径の 1/2
以下とした請求項１記載の高精度平面創成方法 - 【請求項３】 調整リングの平均線速度と、ラツプの平
均線速度との比を自由に変更できるものとした請求項１
記載の高精度平面創成方法 - 【請求項４】 回転手段を付与したラツプの研磨面に、
回転手段を付与したワーク取付用の調整リングのワーク
取付側を対向設置したことを特徴とする高精度平面創成
装置 - 【請求項５】 ラツプの回転手段はラツプの回転軸の入
力手段とした請求項４記載の高精度平面創成装置 - 【請求項６】 回転手段はラツプ又は調整リングの側面
に当接した駆動ローラとした請求項４記載の高精度平面
創成装置 - 【請求項７】 本体テーブル上へ、主軸を回転自在に縦
に架設して、前記主軸の上端にラツプを固定する。前記
ラツプの一側壁に駆動ローラを当接し、該駆動ローラに
回転手段を連結する。前記ラツプの他側研磨面に調整リ
ングの端面に固定したワークを当接し、前記調整リング
の側壁に駆動ローラを当接し、該駆動ローラに回転手段
を連結したことを特徴とする高精度平面創成装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3250352A JPH0569313A (ja) | 1991-09-03 | 1991-09-03 | 高精度平面創成方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3250352A JPH0569313A (ja) | 1991-09-03 | 1991-09-03 | 高精度平面創成方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0569313A true JPH0569313A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=17206644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3250352A Pending JPH0569313A (ja) | 1991-09-03 | 1991-09-03 | 高精度平面創成方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0569313A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003039314A (ja) * | 2001-07-25 | 2003-02-13 | Fujikoshi Mach Corp | 研磨装置 |
| TWI806944B (zh) * | 2018-01-09 | 2023-07-01 | 日商信越半導體股份有限公司 | 研磨裝置及研磨方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5311432A (en) * | 1976-07-19 | 1978-02-01 | Hitachi Ltd | Automotive fuel consumption rate indicator |
| JPS53129399A (en) * | 1977-04-19 | 1978-11-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Surface lapping machine |
-
1991
- 1991-09-03 JP JP3250352A patent/JPH0569313A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5311432A (en) * | 1976-07-19 | 1978-02-01 | Hitachi Ltd | Automotive fuel consumption rate indicator |
| JPS53129399A (en) * | 1977-04-19 | 1978-11-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Surface lapping machine |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003039314A (ja) * | 2001-07-25 | 2003-02-13 | Fujikoshi Mach Corp | 研磨装置 |
| JP4582971B2 (ja) * | 2001-07-25 | 2010-11-17 | 不二越機械工業株式会社 | 研磨装置 |
| TWI806944B (zh) * | 2018-01-09 | 2023-07-01 | 日商信越半導體股份有限公司 | 研磨裝置及研磨方法 |
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