JPH0567052B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は集積回路装置に係り、特に信号伝達に
関する金属配線の布線に関する。

〔従来の技術〕

従来、集積回路装置では、多数の素子が使用さ
れ、それらの相互間は主として金属配線で結線さ
れ、信号の伝達が行われている。また、複数の信
号配線が並列する場合、主として配線領域に配置
される。この従来の配線を第２図、第３図に従
い、説明する。

まず、第２図において、集積回路基板９上に絶
縁膜８を介して、電源配線６と、並列に配置され
た３本の金属の信号配線１，２，３とがあり、こ
れらは保護膜７で覆われている。３本の信号配線
１，２，３は同一幅の金属配線で、等間隔に配置
されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

この信号配線１，２，３は、いずれも電源配線
６と異なる距離に配置されているため、単位長当
りの静電容量は互いに異なり、その大小関係は、
信号配線１＜信号配線２＜信号配線３、となる。
一般に、金属配線が長大である場合、信号の伝達
時間は配線容量に依存する。

しかし、第３図に示す如く、配線間隔Ｓが小さ
くなると共に、平行２線ｍ、平行３線ｎの場合の
静電容量Ｃは急増する。しかし、単一線ｌの場合
は不変である。集積回路の設計の際は、配転長か
ら配線容量を見積るが、前述の如く、配線の位置
により単位長容量が大幅に異なるため、精度の良
い信号伝達時間の設計は困難である。また、信号
により伝達時間の設計誤差が大きく、回路の誤動
作を招く事もあつた。

本発明の目的は、前記問題点を解決し、信号伝
達時間の設計誤差を小さくし、回路の誤動作を少
なくした集積回路装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の構成は、集積回路基板上に信号を伝達
する複数の金属配線を備えた集積回路装置におい
て、配線領域では前記金属配線の両側に、略同一
幅の金属配線をそれぞれ等間隔で平行になるよう
に配置したことを特徴とする。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して詳細に説明
する。

第１図は本発明の実施例の集積回路装置を示す
断面図である。同図において、本実施例は、信号
配線１，２，３及び金属配線４，５は同一幅であ
り、更に等間隔で配置されている。前記信号配線
１，２，３は、いずれについても両側に等間隔、
同一幅の金属配線４，５が設置されているため、
単位長当たりの静電容量は等しくなる。（平行４
線以上についても中の配線の容量は、平行３線の
場合と同様である。）従つて、信号伝達時間の設
計は、精度良く行う事が可能となり、高品質の集
積回路装置の提供が可能となる。前記金属配線
４，５は、電源又は設置電位等の固定電位に接続
してあれば十分である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれな、信号配
線の単位長当り容量を同一になる様に布線を行う
ことにより、精度の良い設計が可能になり、特に
ゲートアレー等信号配線が多く、かつ設計上の精
度を高く要求される集積回路素子では高品質な製
品が得られるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の集積回路の装置の断
面図、第２図は従来の集積回路装置の断面図、第
３図は金属配線の単位長当たり容量と配線間隔と
の関係を示す特性図である。 １，２，３……信号配線、４，５……金属配
線、６……電源配線、７……保護膜、８……絶縁
膜、９……集積回路基板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 集積回路基板上に信号を伝達する複数の金属
   配線を備えた集積回路装置において、配線領域で
   は前記金属配線の両側に略同一幅の金属配線をそ
   れぞれ等間隔で平行になる様に配置したことを特
   徴とする集積回路装置。