JPH0566407A

JPH0566407A - 液晶表示パネルのスペーサー散布装置

Info

Publication number: JPH0566407A
Application number: JP23022291A
Authority: JP
Inventors: Nobuchika Tanizawa; 宣親谷澤; 康一郎 ▲吉▼村; Koichiro Yoshimura; Teruo Horii; 照夫堀井; Seiichi Kajitani; 誠一梶谷; Tadashi Nishioka; 忠司西岡; Shigeharu Ino; 繁晴井野; Fuyuhito Kumagai; 冬人熊谷; Masatsugu Hatanaka; 正嗣畑中
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1991-09-10
Filing date: 1991-09-10
Publication date: 1993-03-19

Abstract

(57)【要約】【構成】微小粉体２２を帯電させる粉体帯電装置２１
と、基板４の上面側を微小粉体２２の電荷とは逆極性に
帯電させる基板帯電装置２とを備えている。また、散布
箱６の内壁面を微小粉体２２の電荷と同一極性に帯電さ
せる散布箱帯電装置８とを備えている。【効果】微小粉体２２が基板４の上面側に電気的に引
き寄せられ、集中的に付着するので、基板４の上面側以
外に散布される微小粉体の量が減少する。また、微小粉
体２２が散布箱６の内壁面に電気的な斥力をうけて反発
され、散布箱６内壁面への付着が抑制される。このた
め、無駄な微小粉体２２が減少し、微小粉体２２の使用
量を削減することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示パネルの上下
２枚の基板の間隔を保持するスペーサーを形成するため
に、スペーサー材料としての粉体を散布する液晶表示パ
ネルのスペーサー散布装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルは、図１２に示すよう
に、一定の間隔をおいて設けられた２枚の基板４１・４
１の間隙に液晶４２を封入した構造を有している。この
間隙の大きさは通常セル厚と呼ばれている。

【０００３】液晶表示パネルに均一なセル厚を設けるた
めに、上記間隙を保持するスペーサー４３…が２枚の基
板４１・４１の間隙内に形成される。

【０００４】上記スペーサーの代表的な形成方法とし
て、下記の３つが挙げられる。

【０００５】（１）Ｃｒ、Ａｌ、Ｍｏ、Ｔａ等の金属材
料やアクリル、ポリイミド等の樹脂を用いて、フォトリ
ソ法で柱形状のものを形成し、特定の膜厚を得る。

【０００６】（２）フロン、純水等の液体に分散させた
特定の粒径分布を有するスペーサー材料を噴霧する（湿
式方式）。

【０００７】（３）Ｎ₂ガス、エアー等の気体に撹拌さ
れた粉体からなるスペーサー材料を散布する（乾式方
式）。

【０００８】上記の方法のうち、（１）の方法は、製造
コストが高く、歩留りが悪くなる欠点を有している。ま
た、（２）の方法は、液晶表示パネルにスペーサーと共
に堆積された媒体である噴霧液の揮発等の除去を完全に
行うことが困難である。このため、残留液体により基板
が汚染されるので、製品の高信頼性が得られずかつスペ
ーサーの使用材料が、噴霧液体の性質により限定される
という欠点を有している。

【０００９】（３）の方法は、（２）の方法において、
分散媒として液体の代わりにＮ₂ガス、エアー等の気体
を用いたものであり、上記（１）、（２）の方法の問題
点を解決するものとして提案されているものである。そ
して、この方法を用いた液晶表示パネルのスペーサー散
布装置が、特開平１−１８７５３３号公報に開示されて
いる。

【００１０】従来のこの種の液晶表示パネルのスペーサ
ー散布装置は、例えば、図１３及び図１４に示すよう
に、散布対象となる基板４１が吸着盤４４の上側に置か
れて固定される。そして、この基板４１及び吸着盤４４
を散布箱４５により覆う。この状態で散布箱４５の上部
に設けられているノズル４６から微小粉体４７を噴出
し、散布することによって、対象となる基板４１上に堆
積させるようになっている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の液晶表示パネルのスペーサー散布装置においては、
ノズル４６から散布された微小粉体４７が、散布箱内の
全域に拡散して散布箱４５の内壁面や基板４１以外に付
着する。このため、微小粉体４７の全散布量に対する基
板４１上に付着する量、すなわち有効噴霧率が低下し、
多量のスペーサー材としての微小粉体４７が必要である
という問題を有している。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明の液
晶表示パネルのスペーサー散布装置は、上記課題を解決
するために、基板の上面側にスペーサーを形成するため
に、粉体のスペーサー材を散布する液晶表示パネルのス
ペーサー散布装置において、上記粉体を帯電させる粉体
帯電手段と、上記基板の上面側を帯電された粉体の電荷
とは逆極性に帯電させる基板帯電手段とを備えているこ
とを特徴としている。

【００１３】また、請求項２記載の発明の液晶表示パネ
ルのスペーサー散布装置は、散布箱を備え、この散布箱
内に設けられた基板の上面側にスペーサーを形成するた
めに、粉体のスペーサー材を散布する液晶表示パネルの
スペーサー散布装置において、上記粉体を帯電させる粉
体帯電手段と、上記散布箱の内壁面を帯電された粉体の
電荷と同一極性に帯電させる内壁面帯電手段とを備えて
いることを特徴としている。

【００１４】また、請求項３記載の発明の液晶表示パネ
ルのスペーサー散布装置は、上記課題を解決するため
に、基板の上面側に互いに絶縁部を介して設けられた複
数種の導電膜の少なくとも１種の導電膜の上面側にスペ
ーサーを形成するために、粉体のスペーサー材を散布す
る液晶表示パネルのスペーサー散布装置において、上記
粉体を帯電させる粉体帯電手段と、上面側にスペーサー
を形成すべき導電膜を帯電された粉体の電荷とは逆極性
に帯電させる導電膜帯電手段と、他種の導電膜の上面側
には帯電された粉体の電荷と同一極性に帯電させる他種
膜帯電手段とを備えていることを特徴としている。

【００１５】

【作用】請求項１の構成によれば、基板帯電手段が基板
の上面側を帯電された粉体の電荷とは逆極性に帯電させ
るので、粉体が基板の上面側に電気的に引き寄せられ
る。このため、粉体が集中して基板の上面側に付着する
ので、基板の上面側以外に散布される粉体の量が減少す
る。したがって、無駄な粉体が減少し、粉体の使用量を
削減することができる。

【００１６】また、請求項２の構成によれば、内壁面帯
電手段が散布箱の内壁面を帯電された粉体の電荷と同一
極性に帯電させるので、粉体が散布箱の内壁面に電気的
な斥力をうけて反発される。このため、粉体の散布箱内
壁面への付着が抑制され、基板の上面側以外に散布され
る粉体の量が減少する。したがって、散布箱の内壁面に
付着した粉体が凝集し塊状となって、基板の上面側に落
下することが抑制されるので、不良品の発生を防止する
ことができる。また、無駄な粉体が減少し、粉体の使用
量を削減することができる。

【００１７】また、請求項３の構成によれば、基板上
に、例えば遮光導電膜と透明導電膜が形成されている場
合に、導電膜帯電手段が上面側にスペーサーを形成すべ
き、例えば遮光導電膜を帯電された粉体の電荷とは逆極
性に帯電させると共に、他種膜帯電手段が他種の、例え
ば透明導電膜の上面側を帯電された粉体の電荷と同一極
性に帯電させる。このため、帯電された粉体が、粉体の
電荷とは逆極性に帯電された遮光導電膜の上面側に電気
的に引き寄せられて集中的に付着し、粉体の電荷と同一
極性に帯電された透明導電膜の上面側には電気的な斥力
をうけて反発される。

【００１８】この結果、各導電膜に対して選択的に粉体
を付着させ、スペーサーを形成することができる。ま
た、粉体が基板の上面側に集中して付着するので、基板
の上面側以外に散布される粉体の量が減少する。したが
って、無駄な粉体が減少し、粉体の使用量を削減するこ
とができる。

【００１９】

【実施例】

〔実施例１〕本発明の一実施例について図１ないし図４
に基づいて説明すれば、以下の通りである。

【００２０】本実施例に係る液晶表示パネルのスペーサ
ー散布装置は、図１に示すように、液晶表示パネルに使
用される、例えばガラスやフィルム等の基板４を吸着す
る吸着盤１を備えている。

【００２１】この吸着盤１は上面部が導電体で形成され
ており、この上面部は、後述する散布箱６外部に設けら
れた基板帯電手段としての基板帯電装置２にリード線３
を介して接続されている。この基板帯電装置２は上記吸
着盤１の上面部に正・負の電圧を印加して基板４を帯電
させることができるようになっている。

【００２２】上記吸着盤１の上側に載置された基板４
は、電気絶縁体からなっており、例えば４００×４００
×５ｍｍの大きさを有する方形に形成されていると共
に、上記吸着盤１によって吸着され固定されるようにな
っている。また、この基板４の上側には導電膜５が積層
されている。

【００２３】一方、上記吸着盤１、及び導電膜５が積層
された基板４は、直方体に形成され下面開口となってい
る散布箱６によって覆われている。この散布箱６は、電
気絶縁性を有する、例えばアクリル等の樹脂からなり、
例えば１，０００×１，０００×２，０００ｍｍの大き
さを有する直方体形状に形成されている。この散布箱６
の内壁面には金属材料からなる壁面導電膜７が形成され
ており、この壁面導電膜７は、散布箱６外部に設けられ
た内壁面帯電手段としての散布箱帯電装置８にリード線
９を介して接続されている。そして、この散布箱帯電装
置８は壁面導電膜７に、例えば−３，０００Ｖの電圧を
印加して負の極性に帯電させるようになっている。なお
この散布箱帯電装置８は、前述の基板帯電装置２を併せ
て１つの装置として形成することも可能である。

【００２４】また、上記散布箱６の上面部中央には、上
面部を貫通する貫通孔１０が形成されており、この貫通
孔１０には後述する微小粉体２２を噴出させるノズル１
１が嵌入されている。上記ノズル１１には、長手方向の
中心軸部を貫通する円柱状の中空路１２が形成されてい
る。この中空路１２は、微小粉体２２を導入する粉体導
入部１３と、この粉体導入部１３より下部に設けられ微
小粉体２２を帯電させる粉体帯電部１４とを有してい
る。

【００２５】上記粉体導入部１３には、例えばＳｉ
Ｏ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、プラスチック等のスペーサー材とし
ての例えば粒径４〜５μｍの微小粉体２２を供給する粉
体供給部１６が粉体流通管１５を介して接続されてい
る。この粉体供給部１６は、図示しない粉体計量部を有
しており、この粉体計量部によって微小粉体２２の投入
量を計量できるようになっている。また、この粉体供給
部１６には、エアー供給源としてのコンプレッサ１７が
接続されており、このコンプレッサ１７は圧縮空気を粉
体供給部１６に供給して微小粉体２２をノズル１１の中
空路１２へ送るようになっている。

【００２６】上記粉体帯電部１４には、高圧静電場を与
える２つの極としての放電針１８・１８が設けられてお
り、これらの放電針１８・１８はリード線１９を介して
放電電圧を操作する高圧発生装置２０に接続されてい
る。そして、これらの放電針１８・１８、リード線１９
及び高圧発生装置２０によって、粉体帯電手段としての
粉体帯電装置２１が構成されている。

【００２７】上記構成において、液晶表示パネルのスペ
ーサー散布装置の動作を説明する。

【００２８】まず、図１に示すように、粉体供給部１６
には、スペーサー材としての微小粉体２２が供給され
る。この微小粉体２２は、コンプレッサ１７からの圧縮
空気により粉体流通管１５を通してノズル１１における
中空路１２の粉体導入部１３へ送られ、ついで放電針１
８・１８の設けられた粉体帯電部１５に到達する。放電
針１８・１８には、高圧発生装置２０により予め、例え
ば−５０ＫＶの電圧が印加されており、これらの放電針
１８・１８近傍でコロナ放電が起こっている。したがっ
て、微小粉体２２がこれらの放電針１８・１８の近傍を
通過する際に、負の極性に帯電される。そして、負の極
性に帯電した微小粉体２２がノズル１１の先端から散布
箱６内下方の基板４へと散布される。

【００２９】ここで、散布箱６における内壁面の壁面導
電膜７は、散布箱帯電装置８により、例えば−３，００
０Ｖの電圧が印加され負の極性に帯電されているので、
図２に示すように、微小粉体２２はこの壁面導電膜７に
電気的に反発されこの壁面導電膜７に付着しない。

【００３０】一方、吸着盤１の上面部に、図３に示すよ
うに、基板帯電装置２により例えば＋３，０００Ｖの電
圧を印加させる。すると、静電誘導作用により、電気絶
縁体である基板４の下部に負の極性の電荷が集まり、基
板４の上部には正の極性の電荷が集まる。また、基板４
の上側に積層された導電膜５は、接地されていないので
同様に静電誘導作用により、導電膜５の下部つまり基板
４側に負の極性の電荷が集まり、導電膜５の上部には正
の極性の電荷が集まるようになる。

【００３１】前述したように、微小粉体２２は負の極性
に帯電しており、また基板４の上側に積層された導電膜
５表面は正の極性に帯電しているので、図４にも示すよ
うに、ノズル１１から落下してきた微小粉体２２は、ク
ーロン力による電気的な引力が作用し、強制的に導電膜
５の表面上に集中して付着され、スペーサーが形成され
る。

【００３２】このように、本実施例の液晶表示パネルの
スペーサー散布装置においては、従来のような微小粉体
２２の自然落下による導電膜５への自然堆積と違って、
散布箱６の内壁面や、その他の基板４上の導電膜５以外
に付着する微小粉体２２が少なくなる。このため、微小
粉体２２の全散布量に対する導電膜５上に付着する量、
すなわち有効噴霧率は従来の約１０％に対し、本実施例
では約５０％に向上し、スペーサー材としての微小粉体
２２の量を低減することできた。また、散布箱６の内壁
面に付着した微小粉体２２が凝集し塊状となって、基板
４上に落下することがなくなるので、不良品の発生を防
止することができる。

【００３３】〔実施例２〕本発明の他の実施例について
図１及び図５ないし図１１に基づいて説明すれば、以下
の通りである。

【００３４】なお、本実施例２において、説明の便宜
上、前記の実施例１の図面に示した部材と同一の機能を
有する部材については、同一の符号を付記しその説明を
省略する。

【００３５】本実施例の液晶表示パネルのスペーサー散
布装置においては、図５及び図６に示すように、基板４
の上側に導電膜として２種の遮光導電膜３２及び透明導
電膜３３が格子状に配設されている。上記遮光導電膜３
２は、例えばＴｉ、Ａｌ、Ｔａ等の金属材料からなって
おり、透明導電膜３３は、ＩＴＯ（ＩｎｄｉｕｍＴｉ
ＮＯｘｉｄｅ）からなっている。

【００３６】これらの遮光導電膜３２及び透明導電膜３
３の積層方式には、両導電膜３２・３３を同一平面内に
形成したものと、両導電膜３２・３３を階層的に形成し
たものとがある。

【００３７】両導電膜３２・３３を同一平面内に形成し
たものは、図７に示すように、基板４の上側に電気絶縁
体からなる絶縁膜３１が積層され、さらに絶縁膜３１の
上側には導電膜としての２種の遮光導電膜３２及び透明
導電膜３３が相互に離間して並設されている。そして、
電気絶縁体からなる絶縁層３４が、これらの遮光導電膜
３２及び透明導電膜３３と、これら両導電膜３２・３３
の間とを覆うと共に、絶縁層３４の表面が平滑に仕上げ
られている。

【００３８】また、両導電膜３２・３３を階層的に形成
したものは、図８に示すように、基板４の上側に絶縁膜
３１が積層され、この絶縁膜３１の上側に遮光導電膜３
２が積層されると共に、さらにこの遮光導電膜３２を覆
うように上絶縁膜３５が積層されるようになっている。
このため、上絶縁膜３５は遮光導電膜３２の上側では断
面凸状になっている。また、上絶縁膜３５には、凸部以
外の場所に透明導電膜３３・３３が積層され、さらにこ
れらの透明導電膜３３・３３及び上絶縁膜３５を覆うよ
うに絶縁層３４が積層されている。なお、上記両方式の
遮光導電膜３２は導電膜帯電手段としても機能を有する
前述の基板帯電装置２に接続されており、この基板帯電
装置２により正の電圧が印加されるようになっている。
また、上記絶縁層３４は、必ずしも個体で形成する必要
はなく、例えば気体、液体とすることも可能である。し
たがって、遮光導電膜３２と透明導電膜３３との間は完
全に絶縁状態にする必要はなく、絶縁に近い状態とする
ことも可能である。

【００３９】上記構成において、液晶表示パネルのスペ
ーサー散布装置の動作を説明する。

【００４０】まず、遮光導電膜３２及び透明導電膜３３
が同一平面内に形成されている場合について説明する。

【００４１】実施例１において説明したように、スペー
サー材としての微小粉体２２がノズル１１を通過する際
に、負の極性に帯電する。そして、負の極性に帯電した
微小粉体２２が散布箱６内においてノズル１１の先端か
ら下方の基板４へと散布される。また、散布箱６におけ
る内壁面の壁面導電膜７は、負の極性に帯電しているの
で、微小粉体２２がこの壁面導電膜７に電気的に反発さ
れこの壁面導電膜７に付着しないようになっている。

【００４２】次に、図９に示すように、吸着盤１の上面
部に、他種膜帯電手段としても機能を有する基板帯電装
置２により例えば−３，０００Ｖの電圧を印加させる。
すると、静電誘導作用により、電気絶縁体である基板４
の下部に正の極性の電荷が集まり、基板４の上部には負
の極性の電荷が集まる。そして、基板４の上側に積層さ
れた絶縁膜３１は、下部に正の極性の電荷が集まり、上
部に負の極性の電荷が集まる。また、絶縁膜３１の上側
に積層された透明導電膜３３・３３は、下部に正の極性
の電荷が集まり、上部に負の極性の電荷が集まる。さら
に、同様にして各透明導電膜３３・３３の上側の絶縁層
３４は、それぞれ下部の透明導電膜３３側には正の極性
の電荷が集まり、上部には負の極性の電荷が集まる。

【００４３】一方、遮光導電膜３２は、基板帯電装置２
により、例えば＋３，０００Ｖに印加されるので、正の
極性に帯電する。このため、遮光導電膜３２の上側に位
置する絶縁層３４の下部には負の極性の電荷が集まり、
上部には正の極性の電荷が集まる。

【００４４】したがって、上述の負に帯電した微小粉体
２２は、図１０にも示すように、透明導電膜３３の上側
の絶縁層３４表面が負の極性の電荷を帯びているのでこ
の部分では反発される一方、遮光導電膜３２の上側の絶
縁層３４表面は正の極性の電荷を帯びているので、電気
的引力によりこの部分に引き寄せられる。

【００４５】したがって、微小粉体２２が遮光導電膜３
２の上側の絶縁層３４表面に集中的に付着され、スペー
サーが形成される。

【００４６】次に、遮光導電膜３２及び透明導電膜３３
が階層的に形成されている場合について説明する。

【００４７】この場合、微小粉体２２が負の極性に帯電
して散布されると共に、散布箱６における内壁面の壁面
導電膜７が負の極性に帯電され、吸着盤１の上面部に、
基板帯電装置２により例えば−３，０００Ｖの電圧を印
加させることについては前述と同様である。

【００４８】次いで、吸着盤１の上面部を負に帯電させ
ると、図１１に示すように、電気絶縁体である基板４の
下部に正の極性の電荷が集まり、基板４の上部には負の
極性の電荷が集まる。そして、透明導電膜３３の積層方
向においては、順に絶縁膜３１・上絶縁膜３５・透明導
電膜３３・絶縁層３４の各下部、上部においてそれぞ
れ、正の極性の電荷と負の極性の電荷とが交互に集ま
り、この結果、絶縁層３４の表面は負の極性に帯電す
る。

【００４９】一方、遮光導電膜３２は正の極性に帯電さ
れているので、遮光導電膜３２の上側に位置する上絶縁
膜３５の下部には負の極性の電荷が集まり、上部には正
の極性の電荷が集まる。さらに、遮光導電膜３２の上方
に位置する絶縁層３４の下部には負の極性の電荷が集ま
り、上部には正の極性の電荷が集まる。

【００５０】したがって、両導電膜３２・３３が同一平
面内に形成されている場合と同様に、負に帯電した微小
粉体２２は、透明導電膜３３の上側の絶縁層３４表面で
は反発される一方、遮光導電膜３２の上方の絶縁層３４
表面では、電気的引力により集中的に付着されてスペー
サーが形成される。

【００５１】このように、本実施例の液晶表示パネルの
スペーサー散布装置においては、２種の遮光導電膜３２
及び透明導電膜３３が基板４の上側に形成されている場
合に、スペーサー材としての微小粉体２２の量を低減さ
せると共に、図１５に示す従来の微小粉体２２の自然落
下による導電膜５への自然堆積と違って、選択的に遮光
導電膜３２の上側に微小粉体２２を集中的に付着させて
スペーサーを形成し、かつ透明導電膜３３の上側には微
小粉体２２を付着させないようにすることができる。

【００５２】また、実施例１と同様に、基板４上の導電
膜５以外に付着する微小粉体２２が少なくなり、スペー
サー材としての微小粉体２２の量を低減させることがで
きる。

【００５３】

【発明の効果】請求項１記載の発明の液晶表示パネルの
スペーサー散布装置は、以上のように、上記粉体を帯電
させる粉体帯電手段と、上記基板の上面側を帯電された
粉体の電荷とは逆極性に帯電させる基板帯電手段とを備
えている構成である。

【００５４】これにより、基板の上面側が帯電された粉
体の電荷とは逆極性に帯電されるので、粉体が基板表面
に電気的に引き寄せられる。このため、粉体が集中して
基板の上面側に付着するので、基板の上面側以外に散布
される粉体の量が減少する。

【００５５】したがって、無駄な粉体が減少し、粉体の
使用量を削減することができる。

【００５６】また、請求項２記載の発明の液晶表示パネ
ルのスペーサー散布装置は、粉体を帯電させる粉体帯電
手段と、上記散布箱の内壁面を帯電された粉体の電荷と
同一極性に帯電させる内壁面帯電手段とを備えている構
成である。

【００５７】これにより、散布箱の内壁面が帯電された
粉体の電荷と同一極性に帯電されるので、粉体が散布箱
の内壁面に電気的な斥力をうけて反発される。このた
め、粉体の散布箱内壁面への付着が抑制され、基板の上
面側以外に散布される粉体の量が減少する。したがっ
て、散布箱の内壁面に付着した粉体が凝集し塊状となっ
て、基板の上面側に落下することが抑制されるので、不
良品の発生を防止することができる。また、無駄な粉体
が減少し、粉体の使用量を削減することができる。

【００５８】また、請求項３記載の発明の液晶表示パネ
ルのスペーサー散布装置は、粉体を帯電させる粉体帯電
手段と、上面側にスペーサーを形成すべき導電膜を帯電
された粉体の電荷とは逆極性に帯電させる導電膜帯電手
段と、他種の導電膜の上面側には帯電された粉体の電荷
と同一極性に帯電させる他種膜帯電手段とを備えている
構成である。

【００５９】これにより、請求項１の効果に加えて、帯
電された粉体が、粉体の電荷とは逆極性に帯電された遮
光導電膜の上面側に電気的に引き寄せられて付着し、粉
体の電荷と同一極性に帯電された透明導電膜の上面側に
は電気的な斥力をうけて反発される。

【００６０】このため、各導電膜の上面側に対して選択
的に粉体を付着させ、スペーサーを形成することができ
るという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の液晶表示パネルのスペーサ
ー散布装置を示す説明図である。

【図２】上記液晶表示パネルのスペーサー散布装置にお
いて微小粉体が壁面に反発される状況を示す説明図であ
る。

【図３】上記液晶表示パネルのスペーサー散布装置にお
いて基板を帯電させる状況を示す説明図である。

【図４】上記液晶表示パネルのスペーサー散布装置にお
いて帯電された基板に微小粉体が付着する状況を示す斜
視図である。

【図５】本発明の他の実施例の液晶表示パネルのスペー
サー散布装置を示す斜視図である。

【図６】上記液晶表示パネルのスペーサー散布装置にお
いて、基板上に２種の導電膜が形成された状態を示す要
部拡大平面図である。

【図７】上記基板上に２種の導電膜が同一平面内に形成
された状態を示す要部断面図である。

【図８】上記基板上に２種の導電膜が階層的に形成され
た状態を示す要部断面図である。

【図９】上記２種の導電膜が同一平面内に形成された場
合の微小粉体の付着状況を示す要部断面図である。

【図１０】上記２種の導電膜が形成された場合の微小粉
体の付着状況を部分的に拡大して示す平面図である。

【図１１】上記２種の導電膜が階層的に形成された場合
の微小粉体の付着状況を示す要部断面図である。

【図１２】従来例を示すものであり、液晶表示パネルに
形成されたスペーサーを示す縦断面図である。

【図１３】上記液晶表示パネルのスペーサー散布装置に
おける微小粉体の散布状況を示す斜視図である。

【図１４】上記液晶表示パネルのスペーサー散布装置に
おける微小粉体の散布状況を部分的に拡大して示す正面
図である。

【図１５】上記液晶表示パネルのスペーサー散布装置に
おける微小粉体の付着状況を部分的に拡大して示す平面
図である。

【符号の説明】

２基板帯電装置（基板帯電手段、導電膜帯電手段、
他種膜帯電手段）４基板７壁面導電膜８散布箱帯電装置（内壁面帯電手段）２１粉体帯電装置（粉体帯電手段）２２微小粉体（粉体）３２遮光導電膜３３透明導電膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者梶谷誠一大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シヤープ株式会社内 (72)発明者西岡忠司大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シヤープ株式会社内 (72)発明者井野繁晴大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シヤープ株式会社内 (72)発明者熊谷冬人大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シヤープ株式会社内 (72)発明者畑中正嗣大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シヤープ株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板の上面側にスペーサーを形成するため
に、粉体のスペーサー材を散布する液晶表示パネルのス
ペーサー散布装置において、上記粉体を帯電させる粉体帯電手段と、上記基板の上面
側を帯電された粉体の電荷とは逆極性に帯電させる基板
帯電手段とを備えていることを特徴とする液晶表示パネ
ルのスペーサー散布装置。
【請求項２】散布箱を備え、この散布箱内に設けられた
基板の上面側にスペーサーを形成するために、粉体のス
ペーサー材を散布する液晶表示パネルのスペーサー散布
装置において、上記粉体を帯電させる粉体帯電手段と、上記散布箱の内
壁面を帯電された粉体の電荷と同一極性に帯電させる内
壁面帯電手段とを備えていることを特徴とする液晶表示
パネルのスペーサー散布装置。
【請求項３】基板の上面側に互いに絶縁部を介して設け
られた複数種の導電膜の少なくとも１種の導電膜の上面
側にスペーサーを形成するために、粉体のスペーサー材
を散布する液晶表示パネルのスペーサー散布装置におい
て、上記粉体を帯電させる粉体帯電手段と、上面側にスペー
サーを形成すべき導電膜を帯電された粉体の電荷とは逆
極性に帯電させる導電膜帯電手段と、他種の導電膜の上
面側には帯電された粉体の電荷と同一極性に帯電させる
他種膜帯電手段とを備えていることを特徴とする液晶表
示パネルのスペーサー散布装置。