JPH03158827A - 液晶表示素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液晶表示素子の製造方法に関する。

詳しくは、液晶の電気光学効果を利用し、電場の印加の
有無により表示を行いうる。いわゆる液晶表示素子の製
造方法において、液晶層の厚みを均一に保持し、表示素
子全面積にわたって均一な表示性能を得るために、基板
表面に液晶層の厚みを制御するためのスペーサを散布す
る方法に関するものである。

（従来の技術） 液晶の電気光学効果を利用した液晶表示素子は、電卓、
腕時計用表示はもとより、パーソナルコンピューターや
、高級ワードプロセッサーの表示素子として、または小
型テレビのブラウン管に変わる表示素子として、あるい
は自動車でのダツシュボード表示、広告表示、メツセー
ジ表示、各種光シヤツター等に幅広く応用されている。

これらの表示素子の多くは、例えばエム・シャット（Ｍ
・５ｃｈａｄｔ）、ダブりニー・ヘルフリッヒ（Ｗ−Ｈ
ｅｌｆｒｉｃｈ）共著パアブライド・フィジックス・レ
ターズ（“＾ｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ　Ｌｅｔｔ
ｅｒｓ″′）第１８巻、第４号（１９７１年２月１５日
発行）第１２７頁〜１２８頁の　゛′ボルテージ・デイ
ペンダント・オプティカル・アクティビティ−・オブ・
ア・ツィステッド・ネマチック・リキッド・クリスタル
″（”Ｖｏｌｔａｇｅ　Ｄｅｐｅｎｄａｎｔ　０ｐｔｉ
ｃａｌ　Ａｃｔｉｖｉｔｙ　ｏｆ　ａＴｗｉｓｔｅｄ　
Ｎｅｍａｔｉｃ　Ｌｉｑｕｉｄ　Ｃｒｙｓｔａｌ”）に
示されたツィステッドネマティック液晶モードが用いら
れ、また視覚依存性および応答性改良のためにツイスト
角をさらに大きくしたスーパー・シイステンドネマチッ
ク液晶モードも近年その応用が広がっている。

また近年、クラーク（Ｃ１ａｒｋ）および、ラガウェル
（Ｌａｇｅｒｖａｌｌ）らにより特開昭５６−１０７２
１６号、米国特許第４，３６７．９２４号などで提案さ
れている強誘電性液晶を用いたモードで、より大容量の
表示を行う試みも活発になっている。これらの方式以外
にも、負の誘ｆＩｉ異方性を持つ液晶を基板に垂直に配
向させて、大容量表示を行う方式、二色性染料を添加し
てカラー表示を行う方式、各画素をトランジスタやダイ
オードにより独立して靜動させる方式などさまざまな方
式がとり入れられている。

あるいは、　〔アプライド　フィジックス　レター〕４
０巻第１号、１９８２年１月号（Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈ
ｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒ、　Ｖｏｌ、　４０．　Ｎｏ、
ｌ、　Ｊａｎ、　＋９８２）、　　米国特許第４，４１
１，４９５号などに報告されている、　多孔質フィルタ
ー中に液晶物質を流し込み、フィルター壁との屈折率差
による光散乱特性を、電圧印加によリコントロールする
方式や、本発明者などが開発した改良技術、即ち、特願
平１−１２８０００号に記される静電紡糸法により生成
した直径１ｐ以下の微細繊維を基板上に堆積させて被浸
透体である様維状簗合体を形成しこれに液晶物質を含有
させることにより、さらに低電圧で光散乱特性をコント
ロールする新しい調光素子の開発もなされている。

このように、今や液晶表示素子は、各種の方式で各種の
用途に幅広く用いられるものとなっており１本発明でい
う液晶表示素子はこうした液晶の電気光学効果を利用し
た表示素子全般を指す、しかし液晶表示素子が大面積に
なるほど５表示全面にわたって１０７ａ程度あるいはそ
れ以下の液晶層の厚みを均一に保持し、これより均一な
外観、コントラストや応答性などを得ることは極めて重
要で、製造上の大きな課題となっている。

液晶層の厚みを均一に保持する一つの方法として、素子
を構成する片側あるいは両側基板に、所望の粒子系を持
つ粒子状スペーサあるいは所望の太さを持つ棒状スペー
サを散布した後に素子を組み立てる方法が、液晶デバイ
スハンドブックＰ、２５７〜２６３およびＰ、５３７　
（日本学術振興会１４２委員会編集　日刊工業新聞社発
行）などに記載されている。具体的には、スペーサ粒子
をあらかじめエチルアルコール、フロン系溶媒など揮発
性が高い溶媒に分散させておいて、この混合液を霧吹き
スプレーなどで基板面上に散布した後、溶媒を揮発させ
てから基板を貼合わせる方法が用いられている。

この場合、霧吹きのノズルから吹き出される液滴の大き
さは、一般に数ｌ〇−以上の大きさがあり。

複数個あるいはそれ以上の多数個のスペーサ粒子を含む
液滴が乾燥する際に、粒子が再凝集し、これがもとでセ
ル厚みが所望値より大きくなったり、または凝集したス
ペーサ粒子の塊がしみ状に肉眼でも認められるといった
問題をひきおこす場合があり、素子の製造歩留まりを低
下させる要因になっていた。

また、別の方法として、密閉容器中でスペーサ粒子を空
気流により直接噴霧させ、これを基板面上に降下させる
乾式散布法もとりうるが、粒子同士が団塊状に凝集する
場合が多かった。

さらに、別の方法として、スペーサ粒子を分散した液中
に基板を浸漬したのち液面に垂直に等速用き上げして、
溶媒を乾燥させスペーサ粒子を基板表面に付着させる方
法もあるが、溶液の汚れによる配向乱れの問題や、基板
裏面にまで粒子が付着してしまうという問題を有してい
た。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明は、従来既知のまた今後、さらに開発される上記
各種の型の液晶表示素子の製造方法に関して、前述の欠
点を解消し、スペーサ粒子散布工程における粒子の凝集
などを防止し、大面積にわたっても、均一な外観と良好
な表示品質を保つことができ、実用上好ましい液晶表示
素子を製造するための方法を提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、前述の課題を解決すべくなされたものであり
、液晶層の厚み制御のためのスペーサを散布する方法に
おいて、少なくともスペーサおよびその分散溶媒を含む
液体を静電霧化法により基板面に散布する工程を持つ表
示素子の製造方法を提供するものである。

本発明での静電霧化法とは、第１図に概略の一例を示す
ような静電霧化装置を用い、高電圧を印加しながらスペ
ーサ粒子１を液体２とともにノズル３から噴霧し、スペ
ーサ粒子を含む敵陣程度の極めて小さい霧を液晶表示素
子基板４上に散布するものである１図中５は高圧電源、
６は接地板。

７は接地、８は送液流、９は電極を示す、なお。

他の図においても、同一番号のものは、同一のものを示
す。

静電霧化の原理その他については、静電気の事典（上田
實編集朝倉書店１９８８発行）　Ｐ、１７８、或は、ジ
ーン・クロス（Ｊｅａｎ　Ｃｒｏｓｓ）著、エレクトロ
スタティックス（Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃｓ）アダ
ム・ヒルガー出版（Ａｄａｍ　Ｈｉｌｇｅｒ）　Ｐ、１
９８−Ｐ、２０４に記載されており１本発明に用いる静
電霧化とは、液体噴霧のさいに高電圧を印加しながら行
うことを特徴としている。高電圧の印加により１通常の
噴霧方法に比べてはるかにこまかい霧が得られるために
スペーサ粒子は独立して散布され更に、全ての霧滴の表
面は、高い同一電荷を有しているために互いに反発しあ
って１粒子の凝集が防止されるという利点がある。

このように、静電霧化装置とは、最低限、液体を吐出す
るノズルと、ノズル中の液体に高電圧を印加するための
電極と、この電極と電位の異なる対極とを備えているも
の番さす、なお、対極は第１図のように接地板であった
り、あるいは地面がその役割をしてもよい。

また、ｊｌ化のさいに空気流による噴霧と併用してもよ
い。

液体に印加される電圧（以下ノズル電圧と呼ぶ）は、対
極電位に対して相対的圧でも負でも、あるいは正負が、
一定時間後に反転あるいは変動するものでも良く、その
電位差は、噴霧の効率、安全性、生産性などを考慮する
と、　±５〜１００ｋＶの範囲内が実用的である。

霧化した液体は、高い表面電荷を有しており、概して装
置で設定された静電場での電気ガ線に垂直な方向をたど
りながら、ノズルから対極側へと飛翔する。

本発明に使用する静電霧化装置の別の例であるカップ式
静電霧化装置を第２図に示す。

モーター１３によって回転するカップ１１からスペーサ
粒子１を含む液体ｌＯを噴霧するもので、このさい高電
圧発生装置５から回転カップ１１に高電圧が供給される
０発生した霧は接地板６の方向に飛翔し、液晶基板４に
付着する。飛翔の過程あるいは基板付着後に溶剤成分が
蒸発しスペーサ粒子のみが基板上に残る。この方法は、
装置が大型化するが、噴霧効率が高いという利点がある
。

このように静電霧化装置自体には本発明でいう静電霧化
の概念にもとづいて種々な変型をとることができる。

本発明では１発散飛行する霧を基板部分に収束させるた
めに、第３図のようにコイル状の収束用ケージ１８、あ
るいは第４図のような円筒状の収束用ケージ１８を有し
ていてもよい、これらのコンデンサーには荷電した液滴
が反発するようノズルに印加した電圧と同じ極性の電圧
を印加するのがよい、その電圧（以下ケージ電圧と呼ぶ
）は所望の収束状態を得るために任意であるが、ノズル
電圧以下の電圧で充分に有効である。

本発明で用いる高電圧発生装置は、多段巻線を用いた変
圧器方式や・、共振回路による変圧器から得た交流高電
圧をそのまま用いたり、あるいはこの交流高電圧を整流
し直流として得る方式のものが簡便であるが、これら以
外にも、　　１ｏｏｋＶ程度までの高電圧が得られれば
いずれの方式でもよい。

噴霧する液体の導電率は１０−”ｓ／ｍから１Ｏ−３ｓ
／ｍの範囲が霧化が安定するほか、室温で揮発し易いほ
うが作業上好ましい、具体的には純水、メタノール、エ
タノール、ｎ−プロパツール、イソプロパツール、ｔ−
プロパツール、ｎ−ブタノール、イソブタノール、ペン
タノールなどのアルコール類、アセトン、エチルメチル
ケトン、メチルプロピルケトン、ジエチルケトン、メチ
ルイソブチルケトンなどのケトン類、ギ酸エチル、ギ酸
ブチル、ギ酸プロピル、６ｍエチル、ｔ７ａメチル、酢
酸ブチル、酢酸プロピルなどのエステル類、メチルセロ
ソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブなどのセ
ロソルブ類、ヘキサン、シクロヘキサン、オクタン、ノ
ナンなどの炭化水素類、トルエン、キシレン、ピリジン
、などの芳香族類、その他、シクロヘキサノン、イソホ
ロン、アセトニトリルなどの各種溶媒を単独もしくは複
数種混合したものを使用することができる。

また、導電率が低くすぎる場合には１表示素子の性能を
損なわない範囲内で非イオン系活性剤などを若干添加し
てもよい。

本発明におけるスペーサ粒子を含有する散布液は、上記
揮発性液体に、スペーサ粒子を０．００１〜ｌＯ重量％
程度添加したものを各種方法で撹拌して充分に液体中に
分散させて使用し、なかでも０．０１〜５％の範囲内で
添加するのが作業性および散布の均一性の点から好まし
い。

なお、散布液中に１表示素子の性能を損なわない範囲内
で、ポリマー成分あるいは硬化性樹脂類を溶解させるこ
とも可能で、この場合ポリマー成分などは、散布された
スペーサ粒子を基板表面に固着させ、容易に移動するの
を防止する効果をもたせることができる。具体的には、
ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリビ
ニルアルコール、ポリメチルメタグリレート、ポリスル
ホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケ
トン、ポリアクリル酸エステル、ポリウレタン、ポリア
シド、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、シランカップ
リング剤、エチルセルロース。

酢酸セルロースなどをスペーサ粒子に対して、１〜２０
０重量％程度溶解させて上記目的を達成することができ
る。

本発明に使用されるスペーサ粒子とは、所望の液晶層厚
みと同等あるいは、やや小さい８度の粒子径を持つ粒子
１球、もしくは短径が液晶層厚みに適合する棒状又は、
板状粒子で液晶物質に対して安定な材質であるものをさ
す０粒子径のばらつきは使用目的によるが、小さい程望
ましい。

スペーサ粒子の具体例としては、ガラスピーズ、グラス
ファイバー裁断物、ガラス粉末、シリカ球、カーポラン
ダム粉、アルミナ粉末などの無機物。

ポリメチルメタクリレート樹脂ビーズ、ジビニルベンゼ
ン−スチレン共重合体ビーズ、ポリエチレンビーズ、ポ
リプロピレンビーズ、ポリウレタンビーズ、ポリテトラ
フルオロエチレンビーズ、ポリエーテルスルホン粉末等
の粒子径の揃ったものがあげられるが、これら以外にも
上記条件に適合する場合には使用できる。

上記スペーサ粒子を前記噴霧液体中に適当量分散して使
用するが、高濃度では散布むらを生じ易く、逆に低濃度
では生産能率が低下するため、概して０．旧〜５重量％
程度の添加量が実用的である。

分散方法としては各種撹拌方式が用いられる他、超音波
分散法も有効である。

なお、スペーサ粒子の基板表面に対する散布密度は少な
すぎると基板貼合せプロセス中にスペーサ粒子が破壊し
てセル厚みを保持できず、逆に多過ぎる場合にはスペー
サ粒子の占有面積が大きくなりすぎるために表示コント
ラストが低下する。

これらのことを考慮してスペーサ粒子の散布密度は０．
１〜１０００個／ｍ＋ｉ”の範囲内とするのがよく、さ
らに好ましくは１〜２００個／＋ｎｎ”の範囲内がよい
。

本発明を用いて液晶表示素子を組立てるプロセスの一例
を第５図に示す、まず第５図（Ａ）のように、あらかじ
め透明電極が加工され液晶配向処理のなされた透明基板
４の上に、静電霧化装置を用いてスペーサ粒子１を散布
する０次に第５図（Ｂ）のようにこれもあらかじめ透明
電極加工及び配向処理がなされ、さらに液晶物質を封入
するためのシール材料１９をスクリーン印刷した透明基
板１２を重ね合わせ、第５図（Ｃ）のようにこれをスペ
ーサ粒子の厚みまで押しつぶした状態でシール材料を硬
化させて組み立てられる。なお、あらかじめシール部の
一部を欠いておき、この部分から真空注入法等の方法に
より液晶物質を注入し、注入口を接着剤等でふさいで液
晶セルが作製される。なおこのセルの上下に必要に応じ
て偏光板、フィルタ、反射板等をセクトして液晶表示素
子が完成する。

なお、液晶セルの厚みはレーザー光干渉法などで精度良
く測定することができる。またこれを数個所以上測定し
て厚みばらつきをも知ることができる。

〔実施例〕

以下に本発明の実施例を示すが１本発明はこれらに限定
されるものではない。

去遣Ｊ１工 透明基板として１０ｃｍ角の厚み１ｍのパイレックスガ
ラスを２枚用意し、これに酸化インジウム及び酸化スズ
の組成比が９５＝５である透明？１ｉ唖をスパッタリン
グ法により５００人厚みに形成した。これにフォトリソ
グラフィー法により透明電極を所定の形状に加工した。

基板の表面にポリイミド系配向剤（日立化成■１０ＰＩ
Ｘ−５４００をＮ、Ｎ’−ジメチ／Ｌｚ　ホ／Ｌ／　１
％　７ミド中ニｌＯ％溶解したもの）をスピンナー塗布
し、３００℃で１時間焼成したのち、布で一定方向に擦
ってラビング処理を行なった。

一枚の基板には第１回に概略図を示す静電霧化装置を用
いてスペーサ粒子を散布した。スペーサ粒子には積木フ
ァインケミカルｎ製ミクロバール５Ｐ−２０６（粒子径
６±０．ＩＩＩＩ！ｌ）を使用し、これをエタノール中
に０．５％分散して噴霧液とした。ノズルはポリアセタ
ール材を加工し、高電圧印加用Ｔｉ極を設けたもので、
噴出口は０．３ｍ径であるものを使用した。ノズル及び
接地板間の距離は３０■とし、基板を接地板上にのせて
ノズル電圧１０ｋＶ、噴霧液流量１０　ｃｃ　／時で１
０秒間基板上に散布した。噴霧液中のエタノールは噴霧
後直ちに乾燥した。

散布されたスペーサ粒子を光学顕微鏡で観察したところ
、はぼ均一に分散しており、スペーサ粒子同志の凝集は
ほとんどなく１分布密度は約３０個／１ＩＩ１１２であ
った。別の基板にはエポキシ系シール材料を、液晶注入
口となる一部を除いた形状で基板外周にスクリーン印刷
し、これをスペーサ粒子の散布された基板と重ね合わせ
、圧着状態で１４０℃２時間加熱してエポキシ系シール
材料を硬化させた。なお、両基板のラビング方向は９０
°の角度をなすように組み合わせた。

液晶物質としてはネマチック液晶であるメルク社製ＺＬ
Ｉ−１７８０にカイラル剤であるＢＤ）１社製ＣＢ−１
５を０．０１％添加したものを使用し、これを真空注入
法により注入口から充填した。注入口を常温硬化型エポ
キシ系接着剤で封止し、さらに上下に偏光板を重ねて液
晶表示素子を作製した。

レーザー光干渉法により液晶層の厚みは２０箇所測定さ
れ、その平均値は６．１４１’ｌｌ準偏差σは０．１６
１Ｍと非常にばらつきは少なく、また素子の外観は均一
であった。

得られた素子に対して、　ｌ／１６デユテイでマルチプ
レックス駆動を行なったが１表示むらは無く、全表示部
分にわたって均一なコントラストが得られた。

ルｍ 実施例１に準するが、スペーサ粒子の散布方法は従来の
空気流による噴霧方式を用いた。このさい、実施例１と
同じスペーサ粒子を含む散布液を用意し、これをガラス
製噴ｆｉ％Ｍ型（井内盛栄堂■製）に入れ、Ｏ，１ｋｇ
／ａＪの加圧空気を送りながら噴霧し、従来法によりス
ペーサ粒子の散布を行なった・ 散布後の基板表面には肉眼で０．５〜２ｍの大きさ水滴
状のしみが認められた。また基板表面を光学顕微鏡で観
察すると、スペーサ粒子が多数凝集したものが数多く認
められ、これは大きな液滴が基板表面に付着して乾燥す
るさいに、スペーサ粒子の凝集が生じたものと考えられ
た。

組立てられた表示素子の液晶層の厚みは平均６．４４ｍ
で標準偏差σは０．３２Ｉ１ｍとばらつきが大きく、ま
た素子には所々色調の異なる外観むらが認められた。ま
た、しみ状の表示むらも発生し、実施例１に比較して好
ましくなかった。

大庭涯又 実施例１に準するが、第２図に概略図を示すカップ回転
式静電霧化装置（トリニティ工業曲製ＴＢ−９−６２型
）を使用し、実施例１で使用したと同じ散布液を用いて
、ノズル電圧−５０ｋＶ、液流ｆｆ１１６０ｃｃ／分で
スペーサ粒子散布を行なった。

顕微鏡観察によって、スペーサ粒子が均一に基板表面に
付着しているのが認められた１作製した表示素子の液晶
層の厚みも平均６．２癖でばらつきは非常に小さかった
。

叉五且ユ 実施例１に準するが、第３図に概略を示す収束用ケージ
を設けた静電霧化装置を使用してスペーサ粒子散布を行
なった。この場合には実施例１の場合に比較して基板上
以外の部分に飛散して付着するスペーサ粒子が少なかっ
たことの他には実施例１と同様の結果であった。

大庭舅土 実施例１に準するが、散布液としてｎ−ブタノール９９
．２　ｇ　、積木ファインケミカル■裟ミクロパール５
Ｐ−２０６（粒子径６±０．１．）０．５ｇ、ポリビニ
ルブチラール（積木化学１１１ｍエスレックＢＭ−５）
　０．３ｇの混合溶解液を使用した。

ノズル−基板間距離は１５ｅ＋ｓとして散布した。

散布されたスペーサ粒子は基板表面に固看しており、多
少擦っても取れなかった６作製された表示素子は実施例
１と同様に厚み均一性の良いものであった。

去ＪＪＬジ 実施例１に準するが、スペーサとして第１表に示す各種
のものを使用し、これらをおのおのエタノール中に０．
５％分散して噴ｎ液を作って静電霧化法により散布した
１作製した表示素子はいずれも厚み均一性が良く１表示
性能も均一ですぐれたものであった。

′ＡＪ！ＵＬｕ 下記要領で繊維状集合体含浸型液晶表示素子を作製した
。

繊維を形成するためのポリマーとしてポリビニルブチラ
ー／Ｌｚ（ＰＶＢ；　Ｂ６０Ｔ；屈折率１．５０）（ヘ
キスト社製）を用い、これをイソプロピルアルコールに
溶解して６％溶液を得た。インシアネート系架橋剤であ
るコロネート（Ｃｏｒｏｎａｔｅ）ＨＬ　（日本ポリウ
レタン工業株式会社製）　０．１５ｇを、　ｓｏｇのポ
リビニルブチラール溶液に加え、−様に溶解するまでか
き混ぜた。

透明基板としては、変化インジウムおよび変化スズの混
合物（９５：　５）よりなる透明導電性膜を１００卿厚
みのポリエステルフィルム上に５００人の厚さにスパッ
タリングし形成し、大きさ７ｃｍＸ７ｃ＋ｎの部片に切
断したものを用いた。これに、静電紡糸装置を用いて上
記ポリマー溶液を流量２　、０Ｏｃｃ／時、ノズル電圧
２５ｋＶ　ＤＣで上記の紡糸液を３分間敗布し、繊維状
集合体とポリエステルフィルムとの集成体を得た。その
後、この集成体をオーブンに入れ、−週間の間５０℃に
維持してポリマーの架橋処理を行わせた。

こうして得られた繊維状集合体とポリエステルフィルム
との集成体の繊維を走査型電子顕微鏡を用いて観察した
ところ、平均直径０．３５ｇｍの微細繊維がランダムに
堆積した繊維状集合体が形成されているのがａ察された
。

次にスペーサ粒子として積木ファインケミカル■製ミク
ロバー／Ｌ／５Ｐ−２１０（粒子径］ＯｆＯ，ｌｐｍ）
　０．５ｇを１００ｇのエタノール中に分散したものを
用意し。

これを本発明第１図に示した静電霧化装置を用いて実施
例１と同一条件でガラス基板上に噴霧し、スペーサ散布
を行なった。

次に、液晶物質として、ネマチック液晶であるメルク社
製ＺＬＩ−１２８９・（常光屈折率及び異常屈折率はお
のおの、１．５１及び１．７０）を用い、この液晶を繊
維状集合体上に滴ト塗布し、繊維状集合体中に充分浸透
させた。こののちにスペーサ粒子を散布した基板と重ね
合わせて、繊維状集合体含浸型液晶表示素子を作製した
。液晶層の厚みは平均１０．５−であり、厚みのばらつ
きは非常に小さかった。

また素子の外観は電圧無印加時には一様に白濁しており
、３０ｖの交流印加によって一様に透明な状態へと変化
した。

〔発明の効果〕

本発明は、液晶表示素子の液晶層の厚さを制御するため
のスペーサ粒子を静電噴電化法により基板上に散布する
ようにしたので、スペーサ粒子の凝集がなく均一に散布
され、液晶層の厚みは全体にわたって均一であって厚み
にばらつきがなく、また色調が異なるなどの外観むらも
なくなり、さらに得られた表示素子を駆動した場合、表
示むらはなく、全表示部分にわたって均一なコントラス
トが得られるというすぐれた効果を生じる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の製造方法に用いるスペーサ粒子散布装
置である静電霧化装置の基本的な構成を模式的に示す図
、第２図は本発明の製造方法に用いるスペーサ粒子散布
装置の応用としてのカップ回転式静電霧化装置の一例を
模式的に示す図、第３図、第４図は本発明の製造方法に
用いるスペーサ粒子散布装置のさらに別の例を模式的に
示す図、第５図は本発明の液晶表示素子の製造方法のう
ち、スペーサ散布工程および組立工程の概略を示す図で
ある。 １・・・スペーサ粒子 ２・・・噴霧液体 ３・・・ノズル ４．１２・・・基板 ５・・・高圧電源 ６・・・接地板 ７・・・接地 ８・・・送液方向 ９・・・電極 ｌＯ・・・送液バイブ １１・・・回転カップ １３・・・モーター １８・・・収束用ケージ １９・・・シール材料 −＼７ 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 液晶層と、液晶層を挾持する電極を設けた基板と、液晶
   層の厚みを制御するために液晶層内に配置されたスペー
   サとを有する液晶表示素子の製造方法において、少なく
   とも該スペーサおよびその分散溶媒を含む液体を静電霧
   化法により基板面に散布する工程を有することを特徴と
   する液晶表示素子の製造方法。