KR19990011729A

KR19990011729A - 진공 챔버를 이용한 스페이서 형성 장치

Info

Publication number: KR19990011729A
Application number: KR1019970034935A
Authority: KR
Inventors: 이민수
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-07-25
Filing date: 1997-07-25
Publication date: 1999-02-18

Abstract

이 발명은 진공 챔버를 이용한 스페이서 형성 장치에 관한 것으로써, 액정 표시 장치를 제조하기 위한 장치에 있어서, 분말 상태의 스페이서 입자를 분사하여 스페이서를 형성할 수 있도록 하는 분사 노즐과, 기판이 놓여지는 테이블이 형성되어 있는 챔버와; 상기 챔버의 상태를 진공 상태로 유지하기 위한 진공 펌프를 포함하여 이루어져, 액정 표시에 영향을 미치는 스페이서의 형성 동작이 적절 상태로 이루어지므로 주입되는 액정층의 두께를 일정하게 유지시켜 액정 표시 장치의 화질을 향상시킬 수 있고, 오염 물질 등에 의한 영향을 감소시켜 액정 물질의 동작 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 발생한다.

Description

진공 챔버를 이용한 스페이서 형성 장치

이 발명은 박막 트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor)의 액정 표시 장치(LCD:Liquid Crystal Display)의 스페이서(spacer) 형성 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게 말하자면, 진공 상태에서 스페이서가 형성될 수 있도록 하는 진공 챔버를 이용한 스페이서 형성 장치에 관한 것이다.

일반적으로 액정 표시에 대한 고속 응답, 높은 콘트라스터, 넓은 시각 등은 상판과 하판 사이에 주입되는 액정층의 두께와 밀접한 관계가 있기 때문에, 액정 물질의 광학적 특성에 맞추어 액정층의 두께를 정확하게 설정할 필요가 있다.

대화면의 액정 표시 장치에서, 주입된 액정층의 두께가 일정하게 유지되지 못할 경우, 출력 화면의 상태에 얼룩이 발생하여 화질을 저하시키는 주요한 요인이 된다.

그러므로, 액정 표시 장치의 상판과 하판 사이의 간격을 일정하게 유지하고, 상판과 하판의 접착을 위한 스페이서의 기능이나 역할이 중요하게 대두되고 있다.

따라서 상기와 같이 액정 표시 장치의 화질에 중요한 요인으로 작용하고 있는 스페이서를 각 해당 위치에 형성하기 위한 방법으로 분사 노즐을 이용하는 스프레이 방법을 이용한다.

도1을 참고로 하여 종래의 스페이서 형성 장치 및 동작을 설명한다.

도1은 종래의 스페이서 형성 장치의 블록도이다.

도1에 도시된 것처럼, 분말 상태의 스페이서 입자를 분사하여 스페이서를 형성할 수 있도록 하는 분사 노즐(1)과,

기판(3)이 놓여지는 테이블(2)이 형성되어 있는 챔버(A)와;

상기 챔버(A)와 연결되어 있는 배기관(4)으로 이루어져 있다.

따라서 챔버(A) 안에 장착되어 있는 분사 노즐(1)을 통해 스페이서를 형성하기 위한 분말 입자가 분사되어, 테이블(2) 위에 놓여진 기판(3)에 적층된다.

그러므로 각 해당하는 위치에, 적절한 상태의 스페이서가 형성될 수 있도록 한다.

그리고, 분사 노즐(1)을 이용한 스프레이 동작중에 공기중에 포함되어 있는 분말의 입자를 배기관(4)을 통해 배출시켜, 다른 제조 공정에 영향을 미치지 않도록 한다.

그러나 상기와 같이 스페이서를 형성하기 위한 공정이 별도의 챔버(A) 안에서 이루어지지만, 공기중에 포함되어 있는 먼지 등의 오염 물질에 의해 정확한 스프레이 형성 과정에 영향을 미치게 된다.

또한, 스프레이 동작중에 공기중에 포함되어 있는 습기 등의 영향에 의해, 스프레이 물질의 뭉침 현상이 발생하고, 정확한 산포도나 산포 갯수에 영향을 미쳐 양질의 스페이서를 형성할 수 없는 문제가 발생한다.

그러므로, 스페이서의 형성이 정확하게 이루어지지 않아 형성되는 스페이서의 두께나 간격 또는 압축력 등에 영향을 미쳐, 상판과 하판 사이에 주입되는 액정의 층이 일정하지 않아, 액정 표시에 악영향을 미치게 된다.

상기와 같은 악영향을 습식 및 건식 스프레이 방식 모두에서 나타나므로, 액정 표시 장치의 화질 오염에 큰 영향을 미치고 있다.

그러므로 이 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로써, 스페이서를 형성하기 위하여 스프레이 공정이 이루어지는 챔버의 상태를 진공 상태로 하여, 공기중에 포함되어 있는 오염 물질이나 분말의 상태 변화로 인한 악영향을 방지할 수 있도록 하는 진공 챔버를 이용한 스페이서 스프레이 장치를 제공하기 위한 것이다.

도1은 종래의 스페이서 형성 장치의 블록도이고,

도2는 이 발명의 실시예에 따른 진공 챔버를 이용한 스페이서 형성 장치의 블록도이다.

상기한 목적을 달성하기 위한 이 발명의 구성은,

액정 표시 장치를 제조하기 위한 장치에 있어서,

분말 상태의 스페이서 입자를 분사하여 스페이서를 형성할 수 있도록 하는 분사 노즐과, 기판이 놓여지는 테이블이 형성되어 있는 챔버와;

상기 챔버의 상태를 진공 상태로 유지하기 위한 진공 펌프를 포함하여 이루어져 있다.

상기 챔버의 진공도 범위는 0.1 × 10^-4(torr) ∼ 4 × 10^-4(torr)이다.

이하, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있는 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 종래와 같은 구성으로 이루어져 동일하게 작용하는 부분은 종래와 동일한 도면 부호를 부여한다.

첨부한 도2를 참고로 하여 이 발명의 실시예에 따른 구성을 설명하면, 분말 상태의 스페이서 입자를 분사하여 스페이서를 형성할 수 있도록 하는 분사 노즐(1)과, 기판(3)이 놓여지는 테이블(2)이 형성되어 있는 챔버(B)와;

상기 챔버(A)와 연결되어 있는 배기관(4)과;

상기 배기관(4)에 형성되어, 상기 챔버(B)의 상태를 진공 상태로 유지하기 위한 진공 펌프(5)로 이루어져 있다.

이때, 상기 스페이서를 형성하기 위한 챔버(B)의 상태는 배기관(4)에 장착되어 있는 진공 펌프(5)의 동작에 의해, 상기 챔버(B)의 상태는 진공 상태를 유지한다.

상기 진공 펌프(5)의 동작에 의해, 이 발명의 실시예에서 유지되는 챔버(B) 내부의 진공 상태는 약 2×10^-4(torr)이다.

따라서, 공기중에 포함되어 있는 먼지 등의 오염 물질에 의한 영향을 받지 않고 스페이서의 스프레이 동작이 골고루 이루어지므로, 산포도나 산포 갯수를 해당하는 적정 상태로 유지할 수 있고, 분사되어 적층되는 상태가 양호하여 원하는 상태의 스페이서가 형성될 수 있다.

또한 분사되는 입자의 뭉침 현상 등이 나타나지 않고, 오염 물질 등에 의한 액정의 동작 특성에 영향을 받지 않는다.

액정 표시에 영향을 미치는 스페이서의 형성 동작이 적절 상태로 이루어지므로, 주입되는 액정층의 두께를 일정하게 유지시켜 액정 표시 장치의 화질을 향상시킬 수 있고, 오염 물질 등에 의한 영향을 감소시켜 액정 물질의 동작 특성을 향상시킬 수 있다.

Claims

액정 표시 장치를 제조하기 위한 장치에 있어서,

분말 상태의 스페이서 입자를 분사하여 스페이서를 형성할 수 있도록 하는 분사 노즐과, 기판이 놓여지는 테이블이 형성되어 있는 챔버와;

상기 챔버의 상태를 진공 상태로 유지하기 위한 진공 펌프를 포함하여 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 장치.
제1항에 있어서,

상기 챔버의 진공도 범위는 0.1 × 10^-4(torr) ∼ 4 × 10^-4(torr)인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 장치.
분말 상태의 스페이서 입자를 분사하여 스페이서를 형성할 수 있도록 하는 분사 노즐과, 기판이 놓여지는 테이블이 형성되어 있는 챔버와;

상기 챔버의 상태를 진공 상태로 유지하기 위한 진공 펌프를 포함하여 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 스페이서 형성 장치.
제1항에 있어서,

상기 챔버의 진공도 범위는 0.1 × 10^-4(torr) ∼ 4 × 10^-4(torr)인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 스페이서 형성 장치.