KR950007561Y1 - 미립자 산포장치 - Google Patents

미립자 산포장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

미립자 산포장치
제1도는 본 고안에 의한 제1실시예의 미립자 산포장치의 측단면도.
제2도는 본 고안에 의한 제2실시예의 미립자 산포장치의 측단면도.
제3도는 본 고안에 의한 제3실시예의 미립자 산포장치의 측단면도.
제4도는 종래의 미립자 산포장지의 측단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 용기체 12 : 수집용기
13 : 관로 14 : 배기펌프
15 : 필터 16 : 밸브
17 : 고압기체 주입관로 18 : 주입구
19 : 스페이서 용기체 23 : 소밸브
24 : 대밸브 26 : 예비챔버
30 : 보조챔버
본 고안은 미립자 산포장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판상의 오염을 방지함과 아울러 균일한 산포가 이루어지도록 하여 제품의 질을 향상시킬 수 있도록 한 미립자 산포장치에 관한 것이다.
미립자 산포장치는 액정표시소자의 셀갭을 유지하기 위하여 사용되는 스페이서를 기판에 산포하는데 사용되고 있다.
액정표시소자는 투명전극이 형성된 유리기판을 평행하게 배치하여 밀봉하고 이들 기판의 내부에 액정을 주입시켜 전기광학적 효과로 소망하는 문자나 기호 숫자 등을 표시하는 장치이다.
이러한 액정표시소자는 투명한 유리 기판의 대향면에 투명 도전막을 형성하고 그위에 액정의 유전 이방성을 한정하는 배향막을 형성하고 있으며, 상기한 유리기판사이의 셀갭을 유지하기 위한 스페이서를 주변측의 실란트와 액정이 주입되는 공간에 산포하여 고온가압하고 실란트를 소결시켜 밀봉한 구조로 만들어지고 있다.
상기한 스페이서는 1쌍의 유리기판 사이를 결정하는 요인이 되고 있는데, 전체에 걸쳐 균일한 갭이 이루어지지 않기 위해서는 미립자의 산포가 균일하게 이루어져야 한다.
제4도는 종래의 미립자 산포장치의 측단면도로서, 기판(1)이 놓여지는 용기체(2)와, 이 용기체(2)의 내측면에 위치하여 휘발성 용액의 휘발을 촉진하는 히터(3)와 상기한 용기체(2)내로 고압의 기체를 불어넣거나 차단하기 위한 밸브(4)를 보유하는 주입관로(5)와, 이 주입관로(5)에 연통하여 설치되는 스페이서 용기체(6)를 조합하여 이루어지고 있다.
상기한 스페이서 용기체(6)에는 프레온 가스와 알코올이 혼합된 휘발성 용액이 담겨져 고압의 기체가 주입관로(5)를 통하여 용기체(2)내로 불어넣어질 때 부유하여 함께 빨려 들어가게 된다.
이때 용기체(2)내로 휘발성 용액과 함께 빨려 들어온 스페이서는 아래측에 위치한 기판(1)상에 낙하되면서 산포되는데, 이러한 방식은 스페이서의 산포를 위하여 사용되는 휘발성 용액이 프레온 가스이기 때문에 대기를 오염시키는 한 요인이되고 있으며 휘발성 용액에 함유된 불순물이 기판에 함께 산포되기 때문에 액정표시소자의 화상을 저해하는 요인이 된다.
본 고안은 상기한 바와같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 휘발성 용액을 사용하지 않고 산포를 가능하게 하여 불순물 유입에 따른 화상저해를 방지하고, 또 대기를 오염시킴으로서 야기되는 공해 문제를 해호할 수 있는 미립자 산포장치를 제공하는데 있다.
이를 실현하기 위하여 본 고안은, 기판을 넣고 꺼낼 수 있는 도어가 마련되고 하측에 진공을 생성하기 위한 배기펌프가 연렬되는 용기체와 이 용기체에 고압의 기체를 주입시키기 위한 고압기체 주입관로와, 이 관로와 연통되어 미립자가 수용되는 스페이서 용기체와, 상기한 용기체의 진공을 해제하기 위하여 마련되는 소밸브 및 대밸브를 포함하여 이루어지는 미립자 산포장치를 제공한다.
상기한 용기체의 일측에는 예비챔버가 설치되어 주 챔버인 용기체로 기판을 넣거나, 주 팸버로 부터 기판을 꺼낼 때 진공해제용으로 사용되도록함을 특징으로 한다.
또한 상기한 주 챔버의 일측방에 예비챔버를 설치하여 기판을 1차적으로 넣고 타측방에 보조챔버를 설치하여 산포된 기판을 꺼낼 수 있도록 한 미립자 산포장치를 제공한다.
이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라 더욱 상세히 설명한다.
제1도는 본 고안에 의한 미립자 산포장치의 제1실시예를 나타내는 측단면도로서, 기판(10)이 놓여지는 용기체(11)는 아래측에 스페이서 수집용기(12)가 설치된 관로(13)가 연결되고 있다.
이 관로(13)에는 배기펌프(14)가 설치되고 있는데, 이 배기펌프(14)의 앞쪽에 미립자가 배기펌프(14)로 유입되는 것을 방지하기 위한 필터(15)가 설치되고 있으며, 미립자 산포시 관로(13)를 차단시키고 작업 완료시 배기시키기 위한 밸브(16)가 설치되어 있다.
상기한 용기체(11)의 상측에는 고압기체 주입관로(17)가 연결되고 있는데, 용기체(11)와 연결부위가 다수개의 주입구(18)로 이루어져 용기체(11)의 상부에는 균일한 분포가 이루어지도록 되어 있다.
상기한 고압기체 주입관로(17)에는 스페이서 용기체(19)가 연결되어 있는데, 이 스페이서 용기체(19)는 별도의 고압기체 주입관(20)과 연결되어 미립자를 부유시킬 수 있도록 되어 있다.
상기한 스페이서 용기체(19)에는 초음파 발생기(21)가 설치되어 이곳에 담겨진 스페이서를 요동시킬 수 있도록 되어 있다.
또한 용기체(11)에는 진공을 해제하기 위한 관로(22)가 연결되고 있는데, 이 관로(22)는 대기와 연통하고 있으며, 소밸브(23)와 대밸브(24)가 설치되어 순차적으로 진공을 해제시킬 수 있도록 되어 있고, 고압기체 주입관로(17)상에도 밸브(V)가 설치되어 있다.
도면중 미설명 부호 25는 용기체(11)내로 기판을 넣고 꺼내기 위한 도어를 지칭한다.
이와 같이 이루어지는 본 고안의 미립자 산포장치는 도어(25)를 열고 산포코자 하는 기판(10)을 용기체(11)내에 위치시키고 밸브(V) 및 소밸브(23)와 대밸브(24)를 잠그고, 용기체(11)의 아래측에 연결된 관로(13)의 밸브(16)를 개방시킨 다음, 배기펌프(14)를 작동시키게 되면 용기체(11)내의 공기가 빠져 나가게 되므로 진공의 상태가 된다.
이 상태에서 밸브(16)를 배기펌프(14)의 작동을 중단시킴과 아울러 밸브(16)를 잠그고 고압기체 주입관로(20)로 잠시 고압의 기체를 불어넣게 되면 스페이서 용기체(19)내에 담겨진 미립자로 부상하게 된다.
이때 초음파 발생기(21)를 작동시켜 미립자를 요동시키게 되면 각각의 미립자는 서로 엉겨있는 상태에서 분리되므로 용이하게 부상이 된다.
이러한 상태에서 고압기체 주입관로(17)의 밸브(V)를 열고 고압의 기체를 불어 넣게되면 스페이서 용기체(19)내에 부상된 미립자들이 관로(17)와의 압력차에 의해 빨려들면서 용기체(11)내로 들어가게 된다.
이러한 과정에서 미립자들은 다수개의 주입구(18)로 나뉘어져 용기체(11)로 들어가게 되므로 용기체(11)의 상부에 균일한 분포가 이루어진다.
이와 같이 균일한 분포로 용기체(11)내에 분산된 미립자들은 자유낙하하면서 기판(10)상에 떨어지게 되므로 기판(10)상에는 균일한 분포가 이루어진다.
미립자의 낙하가 완료될 시점에 소밸브(23)를 열어 소량의 공기를 용기체(11)내로 주입시키게 되면 용기체(11)내에 진공은 낮아지게 되는데, 이때 대밸브(24)를 열게되면 용기체(11)내부는 대기압과 동일한 상태가 된다.
이러한 상태에서 도어(25)를 열고 기판(10)을 용기체(11)로부터 꺼내게 되면 산포작업이 완료된다.
제2도는 본 고안에 의한 제2실시예를 나타내는 도면으로서, 제1실시예의 용기체(11)에 예비 챔버(26)가 설치된 구성으로 이루어지고 있다.
상기한 예비챔버(26)에는 도어(27)가 마련되어 기판을 넣고 꺼낼수 있도록 되어 있으며, 상측에 진공 해체를 위한 소밸브(28) 및 대밸브(29)가 설치되어 있고, 하측에 배기펌프와 연결되는 관로가 설치되어 있다.
이 실시예의 경우에는 도어(27)를 열고 기판을 내측으로 밀어 넣은 다음, 배기펌프를 작동시켜 진공상태로 만들고 도어(25)를 열어 진공상태로 되어 있는 용기체(11)내로 기판을 이동시켜 상기한 제1실시예에서와 같이 산포를 한다.
그리고 도어(25)를 열고 다시 기판을 예비챔버(26)내로 이동시킨 다음 소밸브(28) 및 대밸브(29)를 열어 순차적으로 진공을 해제하고 도어(27)를 열어 기판을 꺼내면 작업이 완료되는데, 이 실시예에서도 제1실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
제3도는 본 고안에 의한 제3실시예를 나타내는 도면으로서, 제2실시예의 장치에서 예비챔버(26)의 반대측에 또다른 보조챔버(30)를 설치하여 예비챔버(26)를 통하여 기판을 넣고 용기체(11)에서 미립자를 산포한 다음, 보조챔버(30)를 통하여 기판을 꺼내는 방식으로 작업이 이루어진다.
이상 설명한 바와 같이 본 고안에 의한 미립자 산포장치는, 고압을 이용하여 미립자를 부상시키고 또다른 경로를 통하여 부상된 미립자를 산포실로 유입시키고 있기 때문에 불순물 유입을 방지할 수 있어 제품의 질을 높을 수 있으며, 산포가 완료된 후 산포실내를 배기하기 때문에 이곳이 오염을 방지할 수 있고, 이과정에서 수집용기를 사용함과 아울러 필터를 사용하여 배기펌프로 전달될 수 있는 이물질을 걸러내기 때문에 배기펌프의 손상을 방지할 수 있는 이점도 있다.

Claims (4)

  1. 기판을 넣고 꺼낼 수 있는 도어(25)가 마련되고 하측에 진공을 생성하기 위한 배기펌프(14)가 연결되는 용기체(11)와, 이 용기체(11)에 고압의 기체를 주입시키기 위한 고압기체 주입관로(17)와, 이 관로(17)와 연통되며 미립자가 수용되는 스페이서 용기체(19)와, 상기한 용기체(11)의 진공을 해제하기 위하여 마련되는 소밸브(23) 및 대밸브(24)를 포함하여 이루어지는 미립자 산포장지.
  2. 제1항에 있어서, 용기체(11)의 일측에 예비챔버(26)가 설치됨을 특징으로 하는 미립자 산포장지.
  3. 제1항에 있어서, 용기체(11)의 양측방에 예비챔버(26)와 보조챔버(30)가 설치됨을 특징으로 하는 미립자 산포장지.
  4. 제1항에 있어서, 고압기체 주입관로(17)는 다수개의 주입구(18)를 통하여 용기체(11)와 연결됨을 특징으로 하는 미립자 산포장지.
KR92023363U 1992-11-25 1992-11-25 미립자 산포장치 KR950007561Y1 (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR19990011729A (ko) * 1997-07-25 1999-02-18 윤종용 진공 챔버를 이용한 스페이서 형성 장치
KR100369775B1 (ko) * 1995-10-12 2003-03-28 삼성전자 주식회사 액정표시소자의액정필링제조장치

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