KR102646222B1 - 헤드모듈 거치 장치 - Google Patents

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KR102646222B1 KR1020210189423A KR20210189423A KR102646222B1 KR 102646222 B1 KR102646222 B1 KR 102646222B1 KR 1020210189423 A KR1020210189423 A KR 1020210189423A KR 20210189423 A KR20210189423 A KR 20210189423A KR 102646222 B1 KR102646222 B1 KR 102646222B1
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Abstract

본 발명은 노즐을 포함하는 헤드모듈을 용액 토출 장치에서 분리하여 거치하는 장치에 관한 것으로서, 헤드모듈을 거치하는 거치부; 및 거치부에 연결되는 장치들로 구성된 장치부를 포함하며, 상기 거치부는, 하부 하우징인 거치대; 상부 하우징이며, 거치대를 개폐하는 커버; 거치대에 설치되며 헤드모듈 주변을 둘러싸도록 배치되어 헤드모듈의 하부에 밀폐공간을 형성하는 밀폐링; 상기 거치대를 관통하여 밀폐공간에 연결되며, 밀폐공간을 감압하여 헤드모듈에 잔류한 용액을 노즐로부터 배출하여 석션하는 석션관; 상기 거치대를 관통하여 밀폐공간의 외부에 연결되며, 커버와 거치대로 형성된 내부공간을 감압하여 가스를 외부로 배출하는 가스흡입관을 포함하고, 상기 장치부는, 상기 석션관 및 상기 가스흡입관에 연결되어 유체를 거치부의 외부로 배출하는 이젝터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 용액 토출 장치에서 분리된 헤드모듈을 파손과 고장의 염려 없이 거치 및 보관할 수 있는 효과가 있다.

Description

헤드모듈 거치 장치{MOUNTING APPARATUS FOR HEAD MODULE}
본 발명은 헤드모듈을 거치하는 장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 잉크를 토출하는 장치에서 잉크를 토출하는 노즐을 포함하는 헤드모듈을 거치하는 장치에 관한 것이다.
본 발명은 창업진흥원의 민간공동 창업자 발굴육성사업 (POST TIPS)(과제명: 효율 16.5% 이상을 목표로 하는 3세대 태양전지(페로브스카이트;PSC) 제조용 2G 잉크젯 공정장비 개발)의 지원을 받아 수행한 과제이다.(No.10423442)
현재 산업분야에서는 다양한 목적에 의해서 액체를 토출하는 장치를 이용하고 있다. 예를 들면, 전기 회로 등의 특정한 모양을 그리기 위한 목적으로 원하는 위치에 액체를 토출하여 패턴을 형성하고, 얇은 섬유를 제조하기 위하여 액체를 얇게 토출하기도 하며, 표면을 코팅하기 위하여 코팅 대상물의 표면에 액체를 토출하기도 한다.
형상 신호에 따라 매체 표면에 액상의 잉크를 액적형태로 분사하는 잉크젯 방식은 문서나 광고지를 작성하는 프린팅으로서 뿐만이 아니라, 반도체 또는 디스플레이 분야의 용액 공정에 이용되고 있다.
기판에 복잡한 형상의 패턴을 형성하거나 특정 위치에만 잉크를 정확하게 토출할 수 있는 잉크젯 프린팅의 적용범위가 넓어지고 있다. 문서 작성을 위한 소형의 잉크젯 프린터는 잉크 액적을 토출하는 잉크젯 헤드에서 잉크를 저장하는 형태를 가지고 있지만, 대형의 문서 작성용 프린터나 산업용으로 제작된 잉크젯 프린터는 많은 양의 잉크를 사용하기 때문에 잉크를 저장하는 저장부와 잉크젯 헤드가 분리된 구조를 적용하고 있다.
잉크젯 프린팅 과정에서 정확한 양의 잉크를 토출하기 위해서는, 잉크젯 헤드에서 토출 준비상태인 잉크가 노즐 입구를 기준으로 모세관 현상에 의해서 내측으로 요입된 곡면 상태인 메니스커스(meniscus) 상태를 유지하여야 한다. 이를 위하여 헤드공급용 저장부의 위치를 잉크젯 헤드보다 높게 위치하게 하고, 대신에 헤드공급용 저장부의 내부를 진공으로 유지하여 헤드공급용 저장부 내에 음압을 발생시킴으로써, 잉크젯 헤드에서 잉크의 흘러내림을 방지하여 메니스커스 상태를 유지하도록 하는 것이 일반적이다.
이와 같이, 액체 토출장치에서 액체를 토출하는 노즐이 설치된 헤드부는 액체 토출을 제어하기 위한 여러 가지 요소들이 포함되며, 이러한 장치들을 결합하여 하나의 모듈로서 구성하는 것이 일반적이다.
헤드모듈을 구성하는 경우에 작업의 정밀도가 향상되고 모듈 단위로 장치를 관리할 수 있는 장점이 있다. 하지만, 수리 및 관리 등을 위한 경우나 다른 종류의 잉크를 사용하기 위한 경우 등의 이유로 헤드모듈을 장치에서 잠시 분리해야 할 때에 크기가 커진 헤드모듈을 보관하는 과정에서 문제가 발생한다.
헤드모듈을 폐기하는 경우와 달리, 헤드모듈의 여러 부품들이 파손되지 않도록 조심하여야 한다. 특히 노즐의 파손을 방지하는 것이 중요한데, 노즐은 일반적으로 헤드모듈의 아래쪽에 위치하고 돌출되어 있기 때문에 파손의 위험성이 높기 때문이다.
또한, 앞서 살펴본 것과 같이, 사용 과정 중간에 장치에서 분리하기 때문에 헤드모듈에 잔류하는 용액에 의한 문제가 발생할 수 있다. 장치에서 분리된 상태로 시간이 지나면 내부에 용액이 경화되어 재사용이 어려울 수 있고, 내부에 잔류한 용액이 외부로 흘러나와 헤드모듈을 오염시키는 문제가 발생할 수 있을 뿐만이 아니라 용액이 기화되면서 헤드모듈을 부식시키는 등의 문제가 생길 수 있다.
대한민국 등록특허 10-1989375
본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서 액체 토출 장치에서 일시적으로 분리된 헤드모듈을 안전하게 거치할 수 있는 새로운 구조의 헤드모듈 거치 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 헤드모듈 거치 장치는, 노즐을 포함하는 헤드모듈을 용액 토출 장치에서 분리하여 거치하는 장치에 관한 것으로서, 헤드모듈을 거치하는 거치부; 및 거치부에 연결되는 장치들로 구성된 장치부를 포함하며, 상기 거치부는, 하부 하우징인 거치대; 상부 하우징이며, 거치대를 개폐하는 커버; 거치대에 설치되며 헤드모듈 주변을 둘러싸도록 배치되어 헤드모듈의 하부에 밀폐공간을 형성하는 밀폐링; 상기 거치대를 관통하여 밀폐공간에 연결되며, 밀폐공간을 감압하여 헤드모듈에 잔류한 용액을 노즐로부터 배출하여 석션하는 석션관; 상기 거치대를 관통하여 밀폐공간의 외부에 연결되며, 커버와 거치대로 형성된 내부공간을 감압하여 가스를 외부로 배출하는 가스흡입관을 포함하고, 상기 장치부는, 상기 석션관 및 상기 가스흡입관에 연결되어 유체를 거치부의 외부로 배출하는 이젝터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 거치부는 헤드모듈의 용액 주입관에 연결되어 헤드모듈 내부로 가스를 주입하는 가스주입부를 더 포함하고, 상기 장치부에는 상기 가스주입부로 가스를 주입하는 컴프레셔를 더 포함할 수 있다.
헤드모듈 거치 장치를 이동할 수 있는 바퀴가 설치될 수 있다.
상기 커버는 외부의 자외선이 내부로 들어가는 것을 차단하는 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명은, 하부에 위치하는 노즐의 파손을 방지한 상태로 거치할 수 있도록 함으로써, 액체 토출 장치에서 분리된 헤드모듈의 노즐 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 노즐의 하부에서 노즐을 통해 용액이 배출되도록 하는 석션을 수행함으로써, 헤드모듈에 용액이 잔류하여 발생하는 문제를 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 헤드모듈 주변의 공기가 외부로 배출되지 않도록 함으로써, 용액의 기화과정에서 위험 물질이 외부로 배출되는 문제를 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 헤드모듈의 잉크 주입부를 통해서 기체를 주입할 수 있도록 구성함으로써, 하부의 석션만으로 용액이 배출되기 어려운 경우에도 용액이 배출될 수 있도록 하여 헤드모듈에 용액이 잔류하여 발생하는 문제를 효과적으로 방지할 수 있다.
본 발명은 헤드모듈을 거치할 수 있는 장치를 밀차 형태로 구성함으로써, 액체 토출 장치에서 분리되어 별도의 보관 장소로 이동하여야 하는 경우에도 안전한 상태에서 보관 장소까지 이동할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 첫 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치의 구조를 설명하기 위한 단면 모식도이다.
도 2는 본 발명의 첫 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치에 거치되는 헤드모듈을 도시한 그림이다.
도 3은 본 발명의 첫 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치에 헤드모듈이 거치되어 관리되는 모습을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 두 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치의 구조를 설명하기 위한 단면 모식도이다.
도 5는 본 발명의 세 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치의 구조를 설명하기 위한 단면 모식도이다.
도 6은 본 발명의 네 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치의 구조를 설명하기 위한 단면 모식도이다.
도 7은 본 발명의 다섯 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치의 구조를 설명하기 위한 단면 모식도이다.
도 8은 본 발명의 여섯 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치의 구조를 설명하기 위한 단면 모식도이다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
그러나 본 발명의 실시형태는 여러 가지의 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로만 한정되는 것은 아니다. 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
그리고 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 또는 "구비"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함하거나 구비할 수 있는 것을 의미 한다.
또한, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
도 1은 본 발명의 첫 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치의 구조를 설명하기 위한 단면 모식도이다.
본 실시예의 헤드모듈 거치 장치는 위쪽의 거치부(100)와 아래쪽의 장치부(200)로 구성된다.
거치부(100)는 헤드모듈을 거치하는 부분으로서, 헤드모듈을 거치할 수 있는 공간과 헤드모듈 관리를 위한 구성들이 설치된다.
장치부(200)는 헤드모듈을 관리하기 위한 장치들이 설치되며, 거치부(100)에 연결되어 헤드모듈을 관리한다.
거치부(100)는 하우징으로서 거치대(110)와 커버(120)를 포함한다.
거치대(110)는 거치부(100)의 외벽인 하우징의 하부를 구성하며, 그 위치가 고정되어 있고, 내부에 장치부(200)와 연결되는 다양한 구조물을 포함한다. 거치대(110)는 헤드모듈을 안정적으로 보관할 수 있도록 소정의 높이 이상의 측벽을 구비하는 것이 바람직하다.
커버(120)는 거치부(100)의 외벽인 하우징의 상부를 구성하며, 거치대(110)의 위쪽에 설치와 제거가 가능하도록 구성하거나, 거치대(110)에 결합된 상태에서 커버(120)를 열고 닫을 수 있도록 구성한다. 커버(120)를 제거 또는 개방한 상태에서 거치부(100)의 내부에 헤드모듈을 거치하거나 거치부(100)의 내부에서 헤드모듈을 제거하는 작업을 수행할 수 있다.
또한, 이후에 자세하게 설명하겠지만 커버(120) 내부의 기체가 외부로 누설되지 않도록 기밀성을 갖도록 구성되고, 특히, 커버(120)가 거치대(110)에 설치되거나 닫힌 상태에서 내부의 기체가 외부로 누설되지 않도록 커버(120)와 거치대(110) 사이에 기밀성이 유지되도록 구성한다.
커버(120)는 내부에 헤드모듈이 거치되어있는지 여부를 확인할 수 있도록 투명 또는 반투명한 재질로 구성할 수 있다. 이때, 헤드모듈에 사용되는 용액의 특성에 따라서 자외선을 차단할 필요가 있을 수 있으므로, 자외선 차단하는 재질 또는 자외선 차단 코팅을 입힌 재질을 적용하는 것이 바람직하다. 자외선의 차단과 함께 모든 빛을 차단해야하는 경우에는 불투명한 재질로 커버를 구성할 수도 있으나, 이 경우에는 내부에 헤드모듈이 거치되어있는지 여부를 감지하여 표시하는 표시장치를 설치하는 것이 바람직하다.
거치대(110)의 내부에는 헤드모듈의 관리를 위한 구성들로서, 노즐석션부(130)와 가스흡입부(140) 및 가스주입부(150)가 형성된다.
노즐석션부(130)는 헤드모듈의 노즐로부터 용액을 석션하여 외부로 제거하기 위한 구성이다. 노즐석션부(130)는 노즐 주위를 밀폐하기 위한 밀폐링(134)과 용액을 외부로 석션하기 위한 석션관(132)이 형성된다.
헤드모듈에서 노즐은 일반적으로 하부에 돌출되어 있다. 이에 따라서 헤드모듈을 그대로 바닥에 놓으면 노즐이 먼저 바닥에 닿게 되어, 노즐의 손상이 발생할 뿐만이 아니라 헤드모듈이 옆으로 넘어지는 사태가 발생한다.
본 실시예는 거치대(110)가 소정의 높이 이상의 벽을 갖도록 구성하여 헤드모듈이 옆으로 넘어지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 노즐석션부(130)는 노즐의 주변을 둘러싸도록 위치하여 노즐이 바닥과 충돌하여 파손되는 것을 막는 동시에 노즐의 주변을 밀폐하여 석션 작업의 효율을 높이는 밀폐링(134)을 포함한다.
그리고 밀폐링(134)에 의해서 밀폐된 공간을 형성하는 헤드모듈 하부의 공간에는 외부의 석션장치와 연결되어 노즐로부터 잉크를 석션하는 석션관(132)이 형성된다.
가스흡입부(140)는 헤드모듈에 사용된 용액이 기화된 가스가 외부로 노출되지 않도록 배출하는 구성요소이며, 밀폐링(134)의 외부에 형성된 관로로 구성된다.
헤드모듈을 거치대(110)로 이동시키는 과정 등에서 용액이 거치부(100)의 내부로 유입될 수도 있고, 헤드모듈의 외부에 묻어있던 용액이 거치부(100)의 내부에서 기화되는 등으로 인하여 거치부(100)의 내부에 용액으로부터 유발된 가스가 채워진다. 용액에서 유발된 가스들은 인체에 해로운 물질들이 포함되는 경우가 많기 때문에, 이후에 작업자가 커버(120)를 제거하거나 여는 과정에서 내부에 채워진 가스를 흡입하는 것을 방지할 필요가 있다.
본 실시예는 밀폐링(134)의 외부에 거치부(100) 내부의 가스를 흡입하여 제거할 수 있는 관로인 가스흡입부(140)를 형성하여, 유해한 가스를 모아서 정화시킴으로써 작업자가 유해가스를 흡입하는 문제를 방지한다.
가스주입부(150)는 거치대(110)에 설치된 헤드모듈에 가스를 주입하여 헤드모듈에 잔류하는 용액의 배출을 돕기 위한 구성이다.
본 실시예의 헤드모듈 거치 장치는, 앞서 설명한 것과 같이 헤드모듈에 잔류하는 용액을 노즐석션부(130)가 노즐을 통해서 석션하여 제거하지만, 노즐을 통한 석션만으로는 잔류 용액을 제거하는 속도가 느리거나 힘들 수 있다.
이에 본 실시예는 헤드모듈에 잉크를 주입하는 주입부를 통하여 가스를 주입함으로써 헤드모듈에 잔류하는 용액의 배출을 돕는 구성인 가스주입부(150)를 추가하였다.
이때, 헤드모듈의 소정 위치에 형성된 용액 주입구에 연결되어 가스를 주입하는 튜브를 사용하며, 외부에서 주입되는 가스를 튜브로 보내서 헤드모듈로 주입하기 위한 가스주입관로(152)를 포함한다.
장치부(200)는 컴프레셔(210), 이젝터(220), 가스필터(230) 및 폐액통(240)을 포함한다.
컴프레셔(210)는 기체를 압축시켜서 압력을 높여서 이송하는 장치이며, 본 실시예에서는 기체를 압축시켜서 가스주입부(150)로 제공한다. 상기한 가스주입부(150)에 가스를 공급할 수 있는 것이면 일반적인 컴프레셔 장치를 제한 없이 적용할 수 있다. 헤드모듈에 따라서 컴프레셔(210)가 공급하는 가스의 압력이 소정 값 이상일 것이 요구될 수도 있다. 컴프레셔(210)에서 가스주입관로(152) 및 가스주입부(150)로 연결되는 구성은 일반적인 가스 배관을 적용할 수 있다.
이젝터(220)는 가스를 포함하는 유체를 끌어내는 장치이며, 노즐석션부(130)와 가스흡입부(140)를 통해서 용액과 용액이 기화된 가스를 거치부(100)의 외부로 배출한다. 용액과 가스를 배출할 수 있는 것이면 일반적인 이젝터 장비를 제한 없이 적용할 수 있다. 이젝터(220)는 노즐석션부(130)의 석션관(132) 및 가스흡입부(140)의 관로에 연결되며, 이들이 연결되는 구성은 일반적인 가스 및 액체의 배관을 적용할 수 있다. 노즐석션부(130)에서 석션되는 물질은 잔류 용액과 기체가 혼합되어 있으므로 기액분리기를 사용하여 용액과 기체를 분리한다.
가스필터(230)는 가스흡입부(140)에서 흡입된 가스와 노즐석션부(130)에서 흡입되어 기액분리기에서 분리된 기체에서 인체에 해로운 물질을 제거한다.
가스흡입부(140)에서 흡입된 가스는 누출된 용액이 기화되어 포함되고, 노즐석션부(130)에서 흡입되어 분리된 기체에도 용액에서 기화된 물질이 포함된다. 앞서 설명한 것과 같이, 용액에는 인체에 해로운 물질이 포함될 수 있기 때문에, 그대로 외부로 배출하는 것은 위험하며, 가스필터(230)를 통해서 인체에 해로운 물질을 모두 제거한다.
폐액통(240)은 노즐석션부(130)에서 흡입되어 분리된 액체를 수집한다. 헤드모듈에 잔류하는 용액을 노즐석션부(130)를 통해서 석션한 액체는 인체에 해로운 물질이 포함될 수 있으므로 함부로 폐기할 수는 없으며, 별도의 폐액통(240)에 수집하여 필요한 처리를 수행하여야 한다.
도 2는 본 발명의 첫 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치에 거치되는 헤드모듈을 도시한 그림이고, 도 3은 본 발명의 첫 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치에 헤드모듈이 거치되어 관리되는 모습을 설명하기 위한 도면이다.
도 2에 도시된 것과 같이, 일반적인 헤드모듈(10)은 하부에 노즐(12)이 돌출 형성되고 몸체의 소정 위치에 용액주입구(14)가 형성된다.
헤드모듈(10)의 내부에 위치하는 저장부와 연결된 용액주입구(14)를 통해서 용액을 지속적으로 공급하여 용액 토출 공정이 지속적으로 수행될 수 있도록 구성되며, 주입된 용액은 노즐(12)을 통해서 필요한 위치에 토출된다.
도 3은 상기한 첫 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치의 거치부에 헤드모듈(10)이 거치된 모습을 나타낸다.
노즐석션부(130)와 그에 설치된 밀폐링(134)에 의해서 노즐(12)의 손상 없이 헤드모듈(10)을 세워서 거치할 수 있으며, 노즐석션부(130)의 하부에 형성된 석션관(132)에 연결된 이젝터가 석션을 수행하면, 밀폐링(134)으로 밀폐된 공간의 압력 저하로 인하여 노즐(12)을 통해서 헤드모듈에 잔류하는 용액이 배출 및 석션된다.
이때, 헤드모듈(10)의 하부를 통한 석션만으로 용액의 제거가 어려울 수 있으므로, 헤드모듈(10)의 용액주입구(14)로 연결된 가스주입부(150)의 튜브를 통해서 가스를 주입한다. 가스주입관로(152)에 연결된 컴프레셔에서 가스가 주입되면, 용액주입구(14)를 통해서 가스가 헤드모듈(10) 내부로 주입되어 헤드모듈(10) 내부의 잔류 잉크를 밀어 냄으로써, 노즐석션부(130)의 석션 작업 효율이 향상된다.
그리고 가스흡입부(140)를 통해서 커버(120)와 거치대(110)로 밀폐된 거치부(100) 내의 공기를 배출한다. 헤드모듈(10)의 이송과정에서 유입된 용액과 헤드모듈(10)의 외부에 묻어있던 용액으로부터 기화된 가스가 커버(120)와 거치대(110)로 밀폐된 거치부(100) 내에 채워지며, 용액에 포함된 해로운 성분이 기화되어 인체로 유입되는 것을 방지하기 위하여 밀폐된 거치부(100) 내의 가스를 배출하여 정화한다.
이와 같이, 첫 번째 실시예의 헤드모듈 거치 장치는 장치에서 분리된 헤드모듈에 잔류하는 용액을 제거하여 잔류 용액에 의한 헤드모듈의 고장을 방지한다. 또한 거치부 내부의 기체까지 배출하여 정화함으로써 용액에 포함된 해로운 물질이 기화되어 인체에 해를 끼치는 것을 방지할 수 있다.
도 4는 본 발명의 두 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치의 구조를 설명하기 위한 단면 모식도이다.
본 실시예의 헤드모듈 거치 장치는 위쪽의 거치부(100)와 아래쪽의 장치부(200)로 구성된다.
거치부(100)는 헤드모듈을 거치하는 부분으로서, 헤드모듈을 거치할 수 있는 공간과 헤드모듈 관리를 위한 구성들이 설치된다. 본 실시예에서는 복수의 거치부(100)가 설치되며, 세부적인 구성은 도 1에 도시된 구조를 참조하여 설명한다.
장치부(200)는 헤드모듈을 관리하기 위한 장치들이 설치되며, 거치부(100)에 연결되어 헤드모듈을 관리한다.
거치부(100)는 하우징으로서 거치대(110)와 커버(120)를 포함한다.
거치대(110)는 거치부(100)의 외벽인 하우징의 하부를 구성하며, 그 위치가 고정되어 있고, 내부에 장치부(200)와 연결되는 다양한 구조물을 포함한다. 거치대(110)는 헤드모듈을 안정적으로 보관할 수 있도록 소정의 높이 이상의 측벽을 구비하는 것이 바람직하다.
커버(120)는 거치부(100)의 외벽인 하우징의 상부를 구성하며, 거치대(110)의 위쪽에 설치와 제거가 가능하도록 구성하거나, 거치대(110)에 결합된 상태에서 커버(120)를 열고 닫을 수 있도록 구성한다. 커버(120)를 제거 또는 개방한 상태에서 거치부(100)의 내부에 헤드모듈을 거치하거나 거치부(100)의 내부에서 헤드모듈을 제거하는 작업을 수행할 수 있다.
또한, 이후에 자세하게 설명하겠지만 커버(120) 내부의 기체가 외부로 누설되지 않도록 기밀성을 갖도록 구성되고, 특히, 커버(120)가 거치대(110)에 설치되거나 닫힌 상태에서 내부의 기체가 외부로 누설되지 않도록 커버(120)와 거치대(110) 사이에 기밀성이 유지되도록 구성한다.
커버(120)는 내부에 헤드모듈이 거치되어있는지 여부를 확인할 수 있도록 투명 또는 반투명한 재질로 구성할 수 있다. 이때, 헤드모듈에 사용되는 용액의 특성에 따라서 자외선을 차단할 필요가 있을 수 있으므로, 자외선 차단하는 재질 또는 자외선 차단 코팅을 입힌 재질을 적용하는 것이 바람직하다. 자외선의 차단과 함께 모든 빛을 차단해야하는 경우에는 불투명한 재질로 커버를 구성할 수도 있으나, 이 경우에는 내부에 헤드모듈이 거치되어있는지 여부를 감지하여 표시하는 표시장치를 설치하는 것이 바람직하다.
거치대(110)의 내부에는 헤드모듈의 관리를 위한 구성들로서, 노즐석션부(130)와 가스흡입부(140) 및 가스주입부(150)가 형성된다.
노즐석션부(130)는 헤드모듈의 노즐로부터 용액을 석션하여 외부로 제거하기 위한 구성이다. 노즐석션부(130)는 노즐 주위를 밀폐하기 위한 밀폐링(134)과 용액을 외부로 석션하기 위한 석션관(132)이 형성된다.
헤드모듈에서 노즐은 일반적으로 하부에 돌출되어 있다. 이에 따라서 헤드모듈을 그대로 바닥에 놓으면 노즐이 먼저 바닥에 닿게 되어, 노즐의 손상이 발생할 뿐만이 아니라 헤드모듈이 옆으로 넘어지는 사태가 발생한다.
본 실시예는 거치대(110)가 소정의 높이 이상의 벽을 갖도록 구성하여 헤드모듈이 옆으로 넘어지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 노즐석션부(130)는 노즐의 주변을 둘러싸도록 위치하여 노즐이 바닥과 충돌하여 파손되는 것을 막는 동시에 노즐의 주변을 밀폐하여 석션 작업의 효율을 높이는 밀폐링(134)을 포함한다.
그리고 밀폐링(134)에 의해서 밀폐된 공간을 형성하는 헤드모듈 하부의 공간에는 외부의 석션장치와 연결되어 노즐로부터 잉크를 석션하는 석션관(132)이 형성된다.
가스흡입부(140)는 헤드모듈에 사용된 용액이 기화된 가스가 외부로 노출되지 않도록 배출하는 구성요소이며, 밀폐링(134)의 외부에 형성된 관로로 구성된다.
헤드모듈을 거치대(110)로 이동시키는 과정 등에서 용액이 거치부(100)의 내부로 유입될 수도 있고, 헤드모듈의 외부에 묻어있던 용액이 거치부(100)의 내부에서 기화되는 등으로 인하여 거치부(100)의 내부에 용액으로부터 유발된 가스가 채워진다. 용액에서 유발된 가스들은 인체에 해로운 물질들이 포함되는 경우가 많기 때문에, 이후에 작업자가 커버(120)를 제거하거나 여는 과정에서 내부에 채워진 가스를 흡입하는 것을 방지할 필요가 있다.
본 실시예는 밀폐링(134)의 외부에 거치부(100) 내부의 가스를 흡입하여 제거할 수 있는 관로인 가스흡입부(140)를 형성하여, 유해한 가스를 모아서 정화시킴으로써 작업자가 유해가스를 흡입하는 문제를 방지한다.
가스주입부(150)는 거치대(110)에 설치된 헤드모듈에 가스를 주입하여 헤드모듈에 잔류하는 용액의 배출을 돕기 위한 구성이다.
본 실시예의 헤드모듈 거치 장치는, 앞서 설명한 것과 같이 헤드모듈에 잔류하는 용액을 노즐석션부(130)가 노즐을 통해서 석션하여 제거하지만, 노즐을 통한 석션만으로는 잔류 용액을 제거하는 속도가 느리거나 힘들 수 있다.
이에 본 실시예는 헤드모듈에 잉크를 주입하는 주입부를 통하여 가스를 주입함으로써 헤드모듈에 잔류하는 용액의 배출을 돕는 구성인 가스주입부(150)를 추가하였다.
이때, 헤드모듈의 소정 위치에 형성된 용액 주입구에 연결되어 가스를 주입하는 튜브를 사용하며, 외부에서 주입되는 가스를 튜브로 보내서 헤드모듈로 주입하기 위한 가스주입관로(152)를 포함한다.
장치부(200)는 컴프레셔(210), 이젝터(220), 가스필터(230) 및 폐액통(240)을 포함한다. 장치부(200)의 각 구성들은 거치부(100)의 구성들과 서로 연결되며, 본 실시예는 복수의 거치부(100)를 구비하기 때문에 장치부(200)의 각 구성들은 복수의 구성들과 연결된다. 복수의 거치부(100)와 장치부(200)의 구성들이 연결되는 형태는 제한되지 않으며 일반적인 유체의 연결방법이 적용될 수 있다.
컴프레셔(210)는 기체를 압축시켜서 압력을 높여서 이송하는 장치이며, 본 실시예에서는 기체를 압축시켜서 가스주입부(150)로 제공한다. 상기한 가스주입부(150)에 가스를 공급할 수 있는 것이면 일반적인 컴프레셔 장치를 제한 없이 적용할 수 있다. 헤드모듈에 따라서 컴프레셔(210)가 공급하는 가스의 압력이 소정 값 이상일 것이 요구될 수도 있다. 컴프레셔(210)에서 가스주입관로(152) 및 가스주입부(150)로 연결되는 구성은 일반적인 가스 배관을 적용할 수 있다.
이젝터(220)는 가스를 포함하는 유체를 끌어내는 장치이며, 노즐석션부(130)와 가스흡입부(140)를 통해서 용액과 용액이 기화된 가스를 거치부(100)의 외부로 배출한다. 용액과 가스를 배출할 수 있는 것이면 일반적인 이젝터 장비를 제한 없이 적용할 수 있다. 이젝터(220)는 노즐석션부(130)의 석션관(132) 및 가스흡입부(140)의 관로에 연결되며, 이들이 연결되는 구성은 일반적인 가스 및 액체의 배관을 적용할 수 있다. 노즐석션부(130)에서 석션되는 물질은 잔류 용액과 기체가 혼합되어 있으므로 기액분리기를 사용하여 용액과 기체를 분리한다.
가스필터(230)는 가스흡입부(140)에서 흡입된 가스와 노즐석션부(130)에서 흡입되어 기액분리기에서 분리된 기체에서 인체에 해로운 물질을 제거한다.
가스흡입부(140)에서 흡입된 가스는 누출된 용액이 기화되어 포함되고, 노즐석션부(130)에서 흡입되어 분리된 기체에도 용액에서 기화된 물질이 포함된다. 앞서 설명한 것과 같이, 용액에는 인체에 해로운 물질이 포함될 수 있기 때문에, 그대로 외부로 배출하는 것은 위험하며, 가스필터(230)를 통해서 인체에 해로운 물질을 모두 제거한다.
폐액통(240)은 노즐석션부(130)에서 흡입되어 분리된 액체를 수집한다. 헤드모듈에 잔류하는 용액을 노즐석션부(130)를 통해서 석션한 액체는 인체에 해로운 물질이 포함될 수 있으므로 함부로 폐기할 수는 없으며, 별도의 폐액통(240)에 수집하여 필요한 처리를 수행하여야 한다.
이와 같이, 두 번째 실시예의 헤드모듈 거치 장치는 장치에서 분리된 헤드모듈에 잔류하는 용액을 제거하여 잔류 용액에 의한 헤드모듈의 고장을 방지한다. 또한 거치부 내부의 기체까지 배출하여 정화함으로써 용액에 포함된 해로운 물질이 기화되어 인체에 해를 끼치는 것을 방지할 수 있다. 그리고 복수의 거치부를 구비함으로써, 여러 개의 헤드모듈을 거치할 수 있다.
도 5는 본 발명의 세 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치의 구조를 설명하기 위한 단면 모식도이다.
본 실시예의 헤드모듈 거치 장치는 위쪽의 거치부(100)와 아래쪽의 장치부(200) 및 이동부(300)로 구성된다.
거치부(100)는 헤드모듈을 거치하는 부분으로서, 헤드모듈을 거치할 수 있는 공간과 헤드모듈 관리를 위한 구성들이 설치된다. 본 실시예에서는 복수의 거치부(100)가 설치되며, 세부적인 구성은 도 1에 도시된 구조를 참조하여 설명한다.
장치부(200)는 헤드모듈을 관리하기 위한 장치들이 설치되며, 거치부(100)에 연결되어 헤드모듈을 관리한다.
이동부(300)는 헤드모듈 거치장치의 위치를 이동할 수 있도록 하는 부분이다.
거치부(100)는 하우징으로서 거치대(110)와 커버(120)를 포함한다.
거치대(110)는 거치부(100)의 외벽인 하우징의 하부를 구성하며, 그 위치가 고정되어 있고, 내부에 장치부(200)와 연결되는 다양한 구조물을 포함한다. 거치대(110)는 헤드모듈을 안정적으로 보관할 수 있도록 소정의 높이 이상의 측벽을 구비하는 것이 바람직하다.
커버(120)는 거치부(100)의 외벽인 하우징의 상부를 구성하며, 거치대(110)의 위쪽에 설치와 제거가 가능하도록 구성하거나, 거치대(110)에 결합된 상태에서 커버(120)를 열고 닫을 수 있도록 구성한다. 커버(120)를 제거 또는 개방한 상태에서 거치부(100)의 내부에 헤드모듈을 거치하거나 거치부(100)의 내부에서 헤드모듈을 제거하는 작업을 수행할 수 있다.
또한, 이후에 자세하게 설명하겠지만 커버(120) 내부의 기체가 외부로 누설되지 않도록 기밀성을 갖도록 구성되고, 특히, 커버(120)가 거치대(110)에 설치되거나 닫힌 상태에서 내부의 기체가 외부로 누설되지 않도록 커버(120)와 거치대(110) 사이에 기밀성이 유지되도록 구성한다.
커버(120)는 내부에 헤드모듈이 거치되어있는지 여부를 확인할 수 있도록 투명 또는 반투명한 재질로 구성할 수 있다. 이때, 헤드모듈에 사용되는 용액의 특성에 따라서 자외선을 차단할 필요가 있을 수 있으므로, 자외선 차단하는 재질 또는 자외선 차단 코팅을 입힌 재질을 적용하는 것이 바람직하다. 자외선의 차단과 함께 모든 빛을 차단해야하는 경우에는 불투명한 재질로 커버를 구성할 수도 있으나, 이 경우에는 내부에 헤드모듈이 거치되어있는지 여부를 감지하여 표시하는 표시장치를 설치하는 것이 바람직하다.
거치대(110)의 내부에는 헤드모듈의 관리를 위한 구성들로서, 노즐석션부(130)와 가스흡입부(140) 및 가스주입부(150)가 형성된다.
노즐석션부(130)는 헤드모듈의 노즐로부터 용액을 석션하여 외부로 제거하기 위한 구성이다. 노즐석션부(130)는 노즐 주위를 밀폐하기 위한 밀폐링(134)과 용액을 외부로 석션하기 위한 석션관(132)이 형성된다.
헤드모듈에서 노즐은 일반적으로 하부에 돌출되어 있다. 이에 따라서 헤드모듈을 그대로 바닥에 놓으면 노즐이 먼저 바닥에 닿게 되어, 노즐의 손상이 발생할 뿐만이 아니라 헤드모듈이 옆으로 넘어지는 사태가 발생한다.
본 실시예는 거치대(110)가 소정의 높이 이상의 벽을 갖도록 구성하여 헤드모듈이 옆으로 넘어지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 노즐석션부(130)는 노즐의 주변을 둘러싸도록 위치하여 노즐이 바닥과 충돌하여 파손되는 것을 막는 동시에 노즐의 주변을 밀폐하여 석션 작업의 효율을 높이는 밀폐링(134)을 포함한다.
그리고 밀폐링(134)에 의해서 밀폐된 공간을 형성하는 헤드모듈 하부의 공간에는 외부의 석션장치와 연결되어 노즐로부터 잉크를 석션하는 석션관(132)이 형성된다.
가스흡입부(140)는 헤드모듈에 사용된 용액이 기화된 가스가 외부로 노출되지 않도록 배출하는 구성요소이며, 밀폐링(134)의 외부에 형성된 관로로 구성된다.
헤드모듈을 거치대(110)로 이동시키는 과정 등에서 용액이 거치부(100)의 내부로 유입될 수도 있고, 헤드모듈의 외부에 묻어있던 용액이 거치부(100)의 내부에서 기화되는 등으로 인하여 거치부(100)의 내부에 용액으로부터 유발된 가스가 채워진다. 용액에서 유발된 가스들은 인체에 해로운 물질들이 포함되는 경우가 많기 때문에, 이후에 작업자가 커버(120)를 제거하거나 여는 과정에서 내부에 채워진 가스를 흡입하는 것을 방지할 필요가 있다.
본 실시예는 밀폐링(134)의 외부에 거치부(100) 내부의 가스를 흡입하여 제거할 수 있는 관로인 가스흡입부(140)를 형성하여, 유해한 가스를 모아서 정화시킴으로써 작업자가 유해가스를 흡입하는 문제를 방지한다.
가스주입부(150)는 거치대(110)에 설치된 헤드모듈에 가스를 주입하여 헤드모듈에 잔류하는 용액의 배출을 돕기 위한 구성이다.
본 실시예의 헤드모듈 거치 장치는, 앞서 설명한 것과 같이 헤드모듈에 잔류하는 용액을 노즐석션부(130)가 노즐을 통해서 석션하여 제거하지만, 노즐을 통한 석션만으로는 잔류 용액을 제거하는 속도가 느리거나 힘들 수 있다.
이에 본 실시예는 헤드모듈에 잉크를 주입하는 주입부를 통하여 가스를 주입함으로써 헤드모듈에 잔류하는 용액의 배출을 돕는 구성인 가스주입부(150)를 추가하였다.
이때, 헤드모듈의 소정 위치에 형성된 용액 주입구에 연결되어 가스를 주입하는 튜브를 사용하며, 외부에서 주입되는 가스를 튜브로 보내서 헤드모듈로 주입하기 위한 가스주입관로(152)를 포함한다.
장치부(200)는 컴프레셔(210), 이젝터(220), 가스필터(230) 및 폐액통(240)을 포함한다. 장치부(200)의 각 구성들은 거치부(100)의 구성들과 서로 연결되며, 본 실시예는 복수의 거치부(100)를 구비하기 때문에 장치부(200)의 각 구성들은 복수의 구성들과 연결된다. 복수의 거치부(100)와 장치부(200)의 구성들이 연결되는 형태는 제한되지 않으며 일반적인 유체의 연결방법이 적용될 수 있다.
컴프레셔(210)는 기체를 압축시켜서 압력을 높여서 이송하는 장치이며, 본 실시예에서는 기체를 압축시켜서 가스주입부(150)로 제공한다. 상기한 가스주입부(150)에 가스를 공급할 수 있는 것이면 일반적인 컴프레셔 장치를 제한 없이 적용할 수 있다. 헤드모듈에 따라서 컴프레셔(210)가 공급하는 가스의 압력이 소정 값 이상일 것이 요구될 수도 있다. 컴프레셔(210)에서 가스주입관로(152) 및 가스주입부(150)로 연결되는 구성은 일반적인 가스 배관을 적용할 수 있다.
이젝터(220)는 가스를 포함하는 유체를 끌어내는 장치이며, 노즐석션부(130)와 가스흡입부(140)를 통해서 용액과 용액이 기화된 가스를 거치부(100)의 외부로 배출한다. 용액과 가스를 배출할 수 있는 것이면 일반적인 이젝터 장비를 제한 없이 적용할 수 있다. 이젝터(220)는 노즐석션부(130)의 석션관(132) 및 가스흡입부(140)의 관로에 연결되며, 이들이 연결되는 구성은 일반적인 가스 및 액체의 배관을 적용할 수 있다. 노즐석션부(130)에서 석션되는 물질은 잔류 용액과 기체가 혼합되어 있으므로 기액분리기를 사용하여 용액과 기체를 분리한다.
가스필터(230)는 가스흡입부(140)에서 흡입된 가스와 노즐석션부(130)에서 흡입되어 기액분리기에서 분리된 기체에서 인체에 해로운 물질을 제거한다.
가스흡입부(140)에서 흡입된 가스는 누출된 용액이 기화되어 포함되고, 노즐석션부(130)에서 흡입되어 분리된 기체에도 용액에서 기화된 물질이 포함된다. 앞서 설명한 것과 같이, 용액에는 인체에 해로운 물질이 포함될 수 있기 때문에, 그대로 외부로 배출하는 것은 위험하며, 가스필터(230)를 통해서 인체에 해로운 물질을 모두 제거한다.
폐액통(240)은 노즐석션부(130)에서 흡입되어 분리된 액체를 수집한다. 헤드모듈에 잔류하는 용액을 노즐석션부(130)를 통해서 석션한 액체는 인체에 해로운 물질이 포함될 수 있으므로 함부로 폐기할 수는 없으며, 별도의 폐액통(240)에 수집하여 필요한 처리를 수행하여야 한다.
이동부(300)는 장치의 하부에 설치된 바퀴 등을 포함하며, 헤드모듈 거치 장치의 위치를 움직일 수 있도록 한다. 헤드모듈은 크기가 크고 무거우며, 분리한 뒤에 용액의 누출 등이 발생할 수 있으므로, 용액 토출 장치에서 분리할 때에 헤드모듈 거치 장치를 용액 토출 장치에 가까이 위치시키는 것이 바람직하다. 헤드모듈 거치 장치를 움직일 수 있는 바퀴 등을 포함하는 이동부(300)를 설치하면, 용액 토출 장치의 근처로 헤드모듈 거치 장치를 이동시킬 수 있다. 또한 헤드 모듈을 별도의 보관장소로 이동하여 보관하는 경우에도 안전하게 이송할 수 있다.
이와 같이, 세 번째 실시예의 헤드모듈 거치 장치는 장치에서 분리된 헤드모듈에 잔류하는 용액을 제거하여 잔류 용액에 의한 헤드모듈의 고장을 방지한다. 또한 거치부 내부의 기체까지 배출하여 정화함으로써 용액에 포함된 해로운 물질이 기화되어 인체에 해를 끼치는 것을 방지할 수 있다. 그리고 복수의 거치부를 구비함으로써, 여러 개의 헤드모듈을 거치할 수 있다. 나아가 헤드모듈 거치 장치를 이동할 수 있기 때문에 헤드모듈의 제거 및 이송이 편리해지는 효과가 있다.
도 6은 본 발명의 네 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치의 구조를 설명하기 위한 단면 모식도이다.
본 실시예의 헤드모듈 거치 장치는 위쪽의 거치부(100)와 아래쪽의 장치부(200)로 구성된다.
거치부(100)는 헤드모듈을 거치하는 부분으로서, 헤드모듈을 거치할 수 있는 공간과 헤드모듈 관리를 위한 구성들이 설치된다. 본 실시예에서는 복수의 거치부(100)가 설치되며, 세부적인 구성은 도 1에 도시된 구조를 참조하여 설명한다. 또한 본 실시예는 추가적으로 일반거치대(400)가 설치되며, 일반거치대(400)는 도 1에 도시된 구성들이 포함되지 않은 거치대이다. 일반거치대(400)는 액체 토출 장치에서 사용되다가 분리된 헤드모듈이 아닌 새로운 헤드모듈이 거치되는 부분으로서 용액을 흡입하고 가스를 배출하는 구성이 불필요하다.
장치부(200)는 헤드모듈을 관리하기 위한 장치들이 설치되며, 거치부(100)에 연결되어 헤드모듈을 관리한다.
거치부(100)는 하우징으로서 거치대(110)와 커버(120)를 포함한다.
거치대(110)는 거치부(100)의 외벽인 하우징의 하부를 구성하며, 그 위치가 고정되어 있고, 내부에 장치부(200)와 연결되는 다양한 구조물을 포함한다. 거치대(110)는 헤드모듈을 안정적으로 보관할 수 있도록 소정의 높이 이상의 측벽을 구비하는 것이 바람직하다.
커버(120)는 거치부(100)의 외벽인 하우징의 상부를 구성하며, 거치대(110)의 위쪽에 설치와 제거가 가능하도록 구성하거나, 거치대(110)에 결합된 상태에서 커버(120)를 열고 닫을 수 있도록 구성한다. 커버(120)를 제거 또는 개방한 상태에서 거치부(100)의 내부에 헤드모듈을 거치하거나 거치부(100)의 내부에서 헤드모듈을 제거하는 작업을 수행할 수 있다.
또한, 이후에 자세하게 설명하겠지만 커버(120) 내부의 기체가 외부로 누설되지 않도록 기밀성을 갖도록 구성되고, 특히, 커버(120)가 거치대(110)에 설치되거나 닫힌 상태에서 내부의 기체가 외부로 누설되지 않도록 커버(120)와 거치대(110) 사이에 기밀성이 유지되도록 구성한다.
커버(120)는 내부에 헤드모듈이 거치되어있는지 여부를 확인할 수 있도록 투명 또는 반투명한 재질로 구성할 수 있다. 이때, 헤드모듈에 사용되는 용액의 특성에 따라서 자외선을 차단할 필요가 있을 수 있으므로, 자외선 차단하는 재질 또는 자외선 차단 코팅을 입힌 재질을 적용하는 것이 바람직하다. 자외선의 차단과 함께 모든 빛을 차단해야하는 경우에는 불투명한 재질로 커버를 구성할 수도 있으나, 이 경우에는 내부에 헤드모듈이 거치되어있는지 여부를 감지하여 표시하는 표시장치를 설치하는 것이 바람직하다.
거치대(110)의 내부에는 헤드모듈의 관리를 위한 구성들로서, 노즐석션부(130)와 가스흡입부(140) 및 가스주입부(150)가 형성된다.
노즐석션부(130)는 헤드모듈의 노즐로부터 용액을 석션하여 외부로 제거하기 위한 구성이다. 노즐석션부(130)는 노즐 주위를 밀폐하기 위한 밀폐링(134)과 용액을 외부로 석션하기 위한 석션관(132)이 형성된다.
헤드모듈에서 노즐은 일반적으로 하부에 돌출되어 있다. 이에 따라서 헤드모듈을 그대로 바닥에 놓으면 노즐이 먼저 바닥에 닿게 되어, 노즐의 손상이 발생할 뿐만이 아니라 헤드모듈이 옆으로 넘어지는 사태가 발생한다.
본 실시예는 거치대(110)가 소정의 높이 이상의 벽을 갖도록 구성하여 헤드모듈이 옆으로 넘어지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 노즐석션부(130)는 노즐의 주변을 둘러싸도록 위치하여 노즐이 바닥과 충돌하여 파손되는 것을 막는 동시에 노즐의 주변을 밀폐하여 석션 작업의 효율을 높이는 밀폐링(134)을 포함한다.
그리고 밀폐링(134)에 의해서 밀폐된 공간을 형성하는 헤드모듈 하부의 공간에는 외부의 석션장치와 연결되어 노즐로부터 잉크를 석션하는 석션관(132)이 형성된다.
가스흡입부(140)는 헤드모듈에 사용된 용액이 기화된 가스가 외부로 노출되지 않도록 배출하는 구성요소이며, 밀폐링(134)의 외부에 형성된 관로로 구성된다.
헤드모듈을 거치대(110)로 이동시키는 과정 등에서 용액이 거치부(100)의 내부로 유입될 수도 있고, 헤드모듈의 외부에 묻어있던 용액이 거치부(100)의 내부에서 기화되는 등으로 인하여 거치부(100)의 내부에 용액으로부터 유발된 가스가 채워진다. 용액에서 유발된 가스들은 인체에 해로운 물질들이 포함되는 경우가 많기 때문에, 이후에 작업자가 커버(120)를 제거하거나 여는 과정에서 내부에 채워진 가스를 흡입하는 것을 방지할 필요가 있다.
본 실시예는 밀폐링(134)의 외부에 거치부(100) 내부의 가스를 흡입하여 제거할 수 있는 관로인 가스흡입부(140)를 형성하여, 유해한 가스를 모아서 정화시킴으로써 작업자가 유해가스를 흡입하는 문제를 방지한다.
가스주입부(150)는 거치대(110)에 설치된 헤드모듈에 가스를 주입하여 헤드모듈에 잔류하는 용액의 배출을 돕기 위한 구성이다.
본 실시예의 헤드모듈 거치 장치는, 앞서 설명한 것과 같이 헤드모듈에 잔류하는 용액을 노즐석션부(130)가 노즐을 통해서 석션하여 제거하지만, 노즐을 통한 석션만으로는 잔류 용액을 제거하는 속도가 느리거나 힘들 수 있다.
이에 본 실시예는 헤드모듈에 잉크를 주입하는 주입부를 통하여 가스를 주입함으로써 헤드모듈에 잔류하는 용액의 배출을 돕는 구성인 가스주입부(150)를 추가하였다.
이때, 헤드모듈의 소정 위치에 형성된 용액 주입구에 연결되어 가스를 주입하는 튜브를 사용하며, 외부에서 주입되는 가스를 튜브로 보내서 헤드모듈로 주입하기 위한 가스주입관로(152)를 포함한다.
장치부(200)는 컴프레셔(210), 이젝터(220), 가스필터(230) 및 폐액통(240)을 포함한다. 장치부(200)의 각 구성들은 거치부(100)의 구성들과 서로 연결되며, 본 실시예는 복수의 거치부(100)를 구비하기 때문에 장치부(200)의 각 구성들은 복수의 구성들과 연결된다. 복수의 거치부(100)와 장치부(200)의 구성들이 연결되는 형태는 제한되지 않으며 일반적인 유체의 연결방법이 적용될 수 있다.
컴프레셔(210)는 기체를 압축시켜서 압력을 높여서 이송하는 장치이며, 본 실시예에서는 기체를 압축시켜서 가스주입부(150)로 제공한다. 상기한 가스주입부(150)에 가스를 공급할 수 있는 것이면 일반적인 컴프레셔 장치를 제한 없이 적용할 수 있다. 헤드모듈에 따라서 컴프레셔(210)가 공급하는 가스의 압력이 소정 값 이상일 것이 요구될 수도 있다. 컴프레셔(210)에서 가스주입관로(152) 및 가스주입부(150)로 연결되는 구성은 일반적인 가스 배관을 적용할 수 있다.
이젝터(220)는 가스를 포함하는 유체를 끌어내는 장치이며, 노즐석션부(130)와 가스흡입부(140)를 통해서 용액과 용액이 기화된 가스를 거치부(100)의 외부로 배출한다. 용액과 가스를 배출할 수 있는 것이면 일반적인 이젝터 장비를 제한 없이 적용할 수 있다. 이젝터(220)는 노즐석션부(130)의 석션관(132) 및 가스흡입부(140)의 관로에 연결되며, 이들이 연결되는 구성은 일반적인 가스 및 액체의 배관을 적용할 수 있다. 노즐석션부(130)에서 석션되는 물질은 잔류 용액과 기체가 혼합되어 있으므로 기액분리기를 사용하여 용액과 기체를 분리한다.
가스필터(230)는 가스흡입부(140)에서 흡입된 가스와 노즐석션부(130)에서 흡입되어 기액분리기에서 분리된 기체에서 인체에 해로운 물질을 제거한다.
가스흡입부(140)에서 흡입된 가스는 누출된 용액이 기화되어 포함되고, 노즐석션부(130)에서 흡입되어 분리된 기체에도 용액에서 기화된 물질이 포함된다. 앞서 설명한 것과 같이, 용액에는 인체에 해로운 물질이 포함될 수 있기 때문에, 그대로 외부로 배출하는 것은 위험하며, 가스필터(230)를 통해서 인체에 해로운 물질을 모두 제거한다.
폐액통(240)은 노즐석션부(130)에서 흡입되어 분리된 액체를 수집한다. 헤드모듈에 잔류하는 용액을 노즐석션부(130)를 통해서 석션한 액체는 인체에 해로운 물질이 포함될 수 있으므로 함부로 폐기할 수는 없으며, 별도의 폐액통(240)에 수집하여 필요한 처리를 수행하여야 한다.
이와 같이, 네 번째 실시예의 헤드모듈 거치 장치는 장치에서 분리된 헤드모듈에 잔류하는 용액을 제거하여 잔류 용액에 의한 헤드모듈의 고장을 방지한다. 또한 거치부 내부의 기체까지 배출하여 정화함으로써 용액에 포함된 해로운 물질이 기화되어 인체에 해를 끼치는 것을 방지할 수 있다. 그리고 복수의 거치부를 구비함으로써, 여러 개의 분리된 헤드모듈과 새로운 헤드모듈을 거치할 수 있다.
도 7은 본 발명의 다섯 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치의 구조를 설명하기 위한 단면 모식도이다.
본 실시예의 헤드모듈 거치 장치는 위쪽의 거치부(100)와 아래쪽의 장치부(200) 및 이동부(300)로 구성된다.
거치부(100)는 헤드모듈을 거치하는 부분으로서, 헤드모듈을 거치할 수 있는 공간과 헤드모듈 관리를 위한 구성들이 설치된다. 본 실시예에서는 복수의 거치부(100)가 설치되며, 세부적인 구성은 도 1에 도시된 구조를 참조하여 설명한다. 또한 본 실시예는 추가적으로 일반거치대(400)가 설치되며, 일반거치대(400)는 도 1에 도시된 구성들이 포함되지 않은 거치대이다. 일반거치대(400)는 액체 토출 장치에서 사용되다가 분리된 헤드모듈이 아닌 새로운 헤드모듈이 거치되는 부분으로서 용액을 흡입하고 가스를 배출하는 구성이 불필요하다.
장치부(200)는 헤드모듈을 관리하기 위한 장치들이 설치되며, 거치부(100)에 연결되어 헤드모듈을 관리한다.
이동부(300)는 헤드모듈 거치장치의 위치를 이동할 수 있도록 하는 부분이다.
거치부(100)는 하우징으로서 거치대(110)와 커버(120)를 포함한다.
거치대(110)는 거치부(100)의 외벽인 하우징의 하부를 구성하며, 그 위치가 고정되어 있고, 내부에 장치부(200)와 연결되는 다양한 구조물을 포함한다. 거치대(110)는 헤드모듈을 안정적으로 보관할 수 있도록 소정의 높이 이상의 측벽을 구비하는 것이 바람직하다.
커버(120)는 거치부(100)의 외벽인 하우징의 상부를 구성하며, 거치대(110)의 위쪽에 설치와 제거가 가능하도록 구성하거나, 거치대(110)에 결합된 상태에서 커버(120)를 열고 닫을 수 있도록 구성한다. 커버(120)를 제거 또는 개방한 상태에서 거치부(100)의 내부에 헤드모듈을 거치하거나 거치부(100)의 내부에서 헤드모듈을 제거하는 작업을 수행할 수 있다.
또한, 이후에 자세하게 설명하겠지만 커버(120) 내부의 기체가 외부로 누설되지 않도록 기밀성을 갖도록 구성되고, 특히, 커버(120)가 거치대(110)에 설치되거나 닫힌 상태에서 내부의 기체가 외부로 누설되지 않도록 커버(120)와 거치대(110) 사이에 기밀성이 유지되도록 구성한다.
커버(120)는 내부에 헤드모듈이 거치되어있는지 여부를 확인할 수 있도록 투명 또는 반투명한 재질로 구성할 수 있다. 이때, 헤드모듈에 사용되는 용액의 특성에 따라서 자외선을 차단할 필요가 있을 수 있으므로, 자외선 차단하는 재질 또는 자외선 차단 코팅을 입힌 재질을 적용하는 것이 바람직하다. 자외선의 차단과 함께 모든 빛을 차단해야하는 경우에는 불투명한 재질로 커버를 구성할 수도 있으나, 이 경우에는 내부에 헤드모듈이 거치되어있는지 여부를 감지하여 표시하는 표시장치를 설치하는 것이 바람직하다.
거치대(110)의 내부에는 헤드모듈의 관리를 위한 구성들로서, 노즐석션부(130)와 가스흡입부(140) 및 가스주입부(150)가 형성된다.
노즐석션부(130)는 헤드모듈의 노즐로부터 용액을 석션하여 외부로 제거하기 위한 구성이다. 노즐석션부(130)는 노즐 주위를 밀폐하기 위한 밀폐링(134)과 용액을 외부로 석션하기 위한 석션관(132)이 형성된다.
헤드모듈에서 노즐은 일반적으로 하부에 돌출되어 있다. 이에 따라서 헤드모듈을 그대로 바닥에 놓으면 노즐이 먼저 바닥에 닿게 되어, 노즐의 손상이 발생할 뿐만이 아니라 헤드모듈이 옆으로 넘어지는 사태가 발생한다.
본 실시예는 거치대(110)가 소정의 높이 이상의 벽을 갖도록 구성하여 헤드모듈이 옆으로 넘어지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 노즐석션부(130)는 노즐의 주변을 둘러싸도록 위치하여 노즐이 바닥과 충돌하여 파손되는 것을 막는 동시에 노즐의 주변을 밀폐하여 석션 작업의 효율을 높이는 밀폐링(134)을 포함한다.
그리고 밀폐링(134)에 의해서 밀폐된 공간을 형성하는 헤드모듈 하부의 공간에는 외부의 석션장치와 연결되어 노즐로부터 잉크를 석션하는 석션관(132)이 형성된다.
가스흡입부(140)는 헤드모듈에 사용된 용액이 기화된 가스가 외부로 노출되지 않도록 배출하는 구성요소이며, 밀폐링(134)의 외부에 형성된 관로로 구성된다.
헤드모듈을 거치대(110)로 이동시키는 과정 등에서 용액이 거치부(100)의 내부로 유입될 수도 있고, 헤드모듈의 외부에 묻어있던 용액이 거치부(100)의 내부에서 기화되는 등으로 인하여 거치부(100)의 내부에 용액으로부터 유발된 가스가 채워진다. 용액에서 유발된 가스들은 인체에 해로운 물질들이 포함되는 경우가 많기 때문에, 이후에 작업자가 커버(120)를 제거하거나 여는 과정에서 내부에 채워진 가스를 흡입하는 것을 방지할 필요가 있다.
본 실시예는 밀폐링(134)의 외부에 거치부(100) 내부의 가스를 흡입하여 제거할 수 있는 관로인 가스흡입부(140)를 형성하여, 유해한 가스를 모아서 정화시킴으로써 작업자가 유해가스를 흡입하는 문제를 방지한다.
가스주입부(150)는 거치대(110)에 설치된 헤드모듈에 가스를 주입하여 헤드모듈에 잔류하는 용액의 배출을 돕기 위한 구성이다.
본 실시예의 헤드모듈 거치 장치는, 앞서 설명한 것과 같이 헤드모듈에 잔류하는 용액을 노즐석션부(130)가 노즐을 통해서 석션하여 제거하지만, 노즐을 통한 석션만으로는 잔류 용액을 제거하는 속도가 느리거나 힘들 수 있다.
이에 본 실시예는 헤드모듈에 잉크를 주입하는 주입부를 통하여 가스를 주입함으로써 헤드모듈에 잔류하는 용액의 배출을 돕는 구성인 가스주입부(150)를 추가하였다.
이때, 헤드모듈의 소정 위치에 형성된 용액 주입구에 연결되어 가스를 주입하는 튜브를 사용하며, 외부에서 주입되는 가스를 튜브로 보내서 헤드모듈로 주입하기 위한 가스주입관로(152)를 포함한다.
장치부(200)는 컴프레셔(210), 이젝터(220), 가스필터(230) 및 폐액통(240)을 포함한다. 장치부(200)의 각 구성들은 거치부(100)의 구성들과 서로 연결되며, 본 실시예는 복수의 거치부(100)를 구비하기 때문에 장치부(200)의 각 구성들은 복수의 구성들과 연결된다. 복수의 거치부(100)와 장치부(200)의 구성들이 연결되는 형태는 제한되지 않으며 일반적인 유체의 연결방법이 적용될 수 있다.
컴프레셔(210)는 기체를 압축시켜서 압력을 높여서 이송하는 장치이며, 본 실시예에서는 기체를 압축시켜서 가스주입부(150)로 제공한다. 상기한 가스주입부(150)에 가스를 공급할 수 있는 것이면 일반적인 컴프레셔 장치를 제한 없이 적용할 수 있다. 헤드모듈에 따라서 컴프레셔(210)가 공급하는 가스의 압력이 소정 값 이상일 것이 요구될 수도 있다. 컴프레셔(210)에서 가스주입관로(152) 및 가스주입부(150)로 연결되는 구성은 일반적인 가스 배관을 적용할 수 있다.
이젝터(220)는 가스를 포함하는 유체를 끌어내는 장치이며, 노즐석션부(130)와 가스흡입부(140)를 통해서 용액과 용액이 기화된 가스를 거치부(100)의 외부로 배출한다. 용액과 가스를 배출할 수 있는 것이면 일반적인 이젝터 장비를 제한 없이 적용할 수 있다. 이젝터(220)는 노즐석션부(130)의 석션관(132) 및 가스흡입부(140)의 관로에 연결되며, 이들이 연결되는 구성은 일반적인 가스 및 액체의 배관을 적용할 수 있다. 노즐석션부(130)에서 석션되는 물질은 잔류 용액과 기체가 혼합되어 있으므로 기액분리기를 사용하여 용액과 기체를 분리한다.
가스필터(230)는 가스흡입부(140)에서 흡입된 가스와 노즐석션부(130)에서 흡입되어 기액분리기에서 분리된 기체에서 인체에 해로운 물질을 제거한다.
가스흡입부(140)에서 흡입된 가스는 누출된 용액이 기화되어 포함되고, 노즐석션부(130)에서 흡입되어 분리된 기체에도 용액에서 기화된 물질이 포함된다. 앞서 설명한 것과 같이, 용액에는 인체에 해로운 물질이 포함될 수 있기 때문에, 그대로 외부로 배출하는 것은 위험하며, 가스필터(230)를 통해서 인체에 해로운 물질을 모두 제거한다.
폐액통(240)은 노즐석션부(130)에서 흡입되어 분리된 액체를 수집한다. 헤드모듈에 잔류하는 용액을 노즐석션부(130)를 통해서 석션한 액체는 인체에 해로운 물질이 포함될 수 있으므로 함부로 폐기할 수는 없으며, 별도의 폐액통(240)에 수집하여 필요한 처리를 수행하여야 한다.
이동부(300)는 장치의 하부에 설치된 바퀴 등을 포함하며, 헤드모듈 거치 장치의 위치를 움직일 수 있도록 한다. 헤드모듈은 크기가 크고 무거우며, 분리한 뒤에 용액의 누출 등이 발생할 수 있으므로, 용액 토출 장치에서 분리할 때에 헤드모듈 거치 장치를 용액 토출 장치에 가까이 위치시키는 것이 바람직하다. 헤드모듈 거치 장치를 움직일 수 있는 바퀴 등을 포함하는 이동부(300)를 설치하면, 용액 토출 장치의 근처로 헤드모듈 거치 장치를 이동시킬 수 있다. 또한 헤드 모듈을 별도의 보관장소로 이동하여 보관하는 경우에도 안전하게 이송할 수 있다.
이와 같이, 다섯 번째 실시예의 헤드모듈 거치 장치는 장치에서 분리된 헤드모듈에 잔류하는 용액을 제거하여 잔류 용액에 의한 헤드모듈의 고장을 방지한다. 또한 거치부 내부의 기체까지 배출하여 정화함으로써 용액에 포함된 해로운 물질이 기화되어 인체에 해를 끼치는 것을 방지할 수 있다. 그리고 복수의 거치부를 구비함으로써, 여러 개의 분리된 헤드모듈과 새로운 헤드모듈을 거치할 수 있다. 나아가 헤드모듈 거치 장치를 이동할 수 있기 때문에 헤드모듈의 제거 및 이송이 편리해지는 효과가 있다.
도 8은 본 발명의 여섯 번째 실시예에 따른 헤드모듈 거치 장치의 구조를 설명하기 위한 단면 모식도이다.
도시된 여섯 번째 실시예는 도 1에 도시된 실시예에서, 가스주입부와 컴프레셔가 제외된 구성이다.
헤드모듈 중에는 외부에서 용액을 주입하는 용액주입부가 없는 경우도 있으며, 이러한 헤드모듈의 경우에는 가스주입부와 컴프레셔가 없는 헤드모듈 거치 장치로 충분하다.
이상 본 발명을 바람직한 실시예를 통하여 설명하였는데, 상술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화가 가능함은 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 보호범위는 특정 실시예가 아니라 특허청구범위에 기재된 사항에 의해 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술적 사상도 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 거치부 110: 거치대
120: 커버 130: 노즐석션부
132: 석션관 134: 밀폐링
140: 가스흡입부 150: 가스주입부
152: 가스주입관로 200: 장치부
210: 컴프레셔 220: 이젝터
230: 가스필터 240: 폐액통
300: 이동부 400: 일반거치대

Claims (4)

  1. 용액 토출 장치에서 분리된 노즐을 포함하는 헤드모듈을 거치하여 보관하는 장치로서,
    헤드모듈을 거치하는 거치부;
    거치부에 연결되는 장치들로 구성된 장치부; 및
    장치를 이동할 수 있는 바퀴를 포함하며,
    상기 거치부는,
    하부 하우징인 거치대;
    상부 하우징으로서 외부의 자외선이 내부로 들어가는 것을 차단하며, 거치대를 개폐하는 커버;
    거치대에 헤드모듈 주변을 둘러싸도록 배치되어 헤드모듈을 거치할 수 있으며, 헤드모듈의 하부에 노즐이 위치되는 밀폐공간을 형성하는 밀폐링;
    상기 거치대를 관통하여 밀폐공간에 연결되며, 밀폐공간을 감압하여 헤드모듈에 잔류한 용액을 노즐로부터 배출하여 석션하는 석션관;
    상기 거치대를 관통하여 밀폐공간의 외부에 연결되며, 커버와 거치대로 형성된 내부공간을 감압하여 가스를 외부로 배출하는 가스흡입관; 및
    헤드모듈의 용액 주입관에 연결되어 헤드모듈 내부로 가스를 주입할 수 있는 가스주입부를 포함하고,
    상기 장치부는,
    상기 석션관 및 상기 가스흡입관에 연결되어 유체를 거치부의 외부로 배출하는 이젝터; 및
    상기 가스주입부로 가스를 주입하는 컴프레셔를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드모듈 거치 장치.
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  4. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970021284U (ko) * 1995-11-13 1997-06-18 잉크제트 프린터의 카트리지청소기
KR101989375B1 (ko) 2018-11-16 2019-06-14 주식회사 고산테크 잉크젯 헤드의 잉크 순환 공급 시스템 및 방법
KR20210143977A (ko) * 2020-05-20 2021-11-30 삼성디스플레이 주식회사 잉크젯 노즐 세정 장치 및 이를 이용하는 잉크젯 노즐 세정 방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017196794A (ja) * 2016-04-27 2017-11-02 理想科学工業株式会社 印刷装置の洗浄装置

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