JPH056116Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔概要〕 グリーンシートセラミツク基板の積層型構造で
あつて、グリーンシートとほぼ同サイズの積層型
の外周部に積層時のグリーンシートの逃げ溝を有
する構成とし、均一な積層を可能とする。

〔産業上の利用分野〕

本考案はグリーンシートを積層してセラミツク
基板を製造するための積層型の構造に関するもの
で、さらに詳しく言えば、均一な積層体を作る積
層型に関するものである。

多層セラミツク基板を製造する方法として、各
層を構成するための複数枚のグリーンシートにつ
いて、穴明け、バアイアホールの充填、及び印刷
等の各工程を行つた後、複数枚のグリーンシート
を積み重ねて加圧・積層し、その積層体を焼成す
ることによりセラミツク基板としている。

そこで、この加圧・積層のための装置におい
て、グリーンシートを積み重ねた状態で位置決め
及び保持し且つ加圧力をグリーンシートに伝える
ために、上型及び下型からなる積層型が使用され
る。

〔従来の技術〕

積層型としては、従来は例えば第５図に示すよ
うな下型１０及び上型２０からなるものが使用さ
れている。

下型１０は、箱型であつて、積層対象のグリー
ンシート１の外形寸法とほぼ同サイズの内径の内
部空間を有するとともに、その底面は全面に渡つ
て平坦な内部底面１１をなす。

上型２０は、下型１０の内部空間に嵌合し且つ
グリーンシート１の外形とほぼ同サイズの外径を
有するとともに、その底面は全面に渡つて平坦な
底面２１をなす。

１３は、下型１０に固定された基準ピン、２３
は上型２０に設けた基準ピン逃げ穴を、それぞれ
示す。

下型１０及び上型２０は、図示しないホツトプ
レスに取り付けて矢印Ｐで示す加圧動作が可能と
なつている。

この従来の積層型により積層を行うには、上型
２０を下型１０から一旦引き上げた状態で、セラ
ミツク基板を構成すべき複数枚のグリーンシート
１であつて、予め穴明け、バアイアホールの充填
及び印刷等の工程を経たものを、下型１０内に積
み重ねる。

このとき、グリーンシート１は基準ピン１３に
嵌合して位置決めされ、最下層のグリーンシート
１の下面はその全面において下型１０の内部底面
１１に接触しており、各グリーンシート１の側面
は下型１０の内面に接することにより外形ガイド
される状態となつている。

下型１０及び上型２０は、積層時にグリーンシ
ート１の位置ずれが生じないように、下型１０の
内部空間の内径及び上型２０の外径がいずれもグ
リーンシート１の外径に合わせて同サイズになる
ように、厳格な寸法管理の下で作られている。

そこで、グリーンシート１は基準ピン１３と外
形ガイドとによつて位置合わせをしている。

そこで、上型２０をホツトプレスにより押し下
げて、グリーンシート１に一定圧、例えば400〜
600Kg／cm²程度の圧力にて加圧を行い、これによ
りグリーンシート１を積層する。積層型から取り
出したグリーンシート１は焼成を経てセラミツク
基板とする。

従つて、グリーンシート１は、積層時には、下
型１０と上型２０との間に構成される空間にぴつ
たりとはまつた状態で、下型１０及び上型２０か
ら押圧されることにより、グリーンシート１は外
側に向けて圧力が加わる状態となる。

その結果、上型２０の降下による加圧の進行に
連れて、グリーンシート１は、その外周部が中央
部よりも先に密度が高くなる。

従つて、グリーンシート１の外周部が高密度に
なつたために上型２０の上記所定の加圧力と均衡
する状態となつたとき、上型２０の降下移動は停
止するが、グリーンシート１の中央部は外周部よ
りもはるかに低い密度に止どまる。

従つて、積層されたグリーンシート１の外周部
と中央部との間に密度差が生じる。

従つて、この積層されたグリーンシートを、そ
の後上記のように焼成すると、焼成後の収縮率の
ばらつきや、剥離が生じる恐れがあり、これが不
良品や実装後の障害の原因となる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

この従来方式では積層時にグリーンシートの外
周部に向かう圧力が懸かるので、均一な積層が出
来ず、従つて、焼成後の収縮率のばらつきや剥離
が生じるという問題点がある。

本考案は、このような点に鑑みて創作されたも
ので、グリーンシートとほぼ同サイズの積層型の
外周部に積層時のグリーンシートの逃げ溝を設け
ることにより均一な積層を行い、これによりセラ
ミツク基板の品質を向上し得るグリーンシートセ
ラミツク基板の積層型構造を提供することを目的
としている。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案のグリーンシートセラミツク基板の積層
型構造は、下型の内部底面または上型の底面のい
ずれか一方もしくは両方が、その外周部にグリー
ンシートを逃げるための逃げ溝が設けてある。

〔作用〕

下型の内部底面の外周部または上型の底面の外
周部に逃げ溝が設けてあるから、下型と上型との
間でグリーンシートを加圧したとき、グリーンシ
ートが外周部に向けて押圧されることにより外周
部に向けて移動しても、逃げ溝がグリーンシート
の溜り場となる。

従つて、グリーンシートの外周部と中央部との
間に密度差が生じない。

従つて、外周部も中央部も均一な積層体が得ら
れる。

従つて、これを焼成した後、収縮率のばらつき
がなく、また剥離もなく、セラミツク基板の品質
が向上する。

さらに、下型に設けられる基準ピンは、グリー
ンシートを貫通し、加圧工程におけるグリーンシ
ート間のパターンずれを防止する。

〔実施例〕

第１図及び第２図は本考案の実施例であつて、
第１図は下型内にグリーンシートを積み重ねて加
圧を行う前の状態を示す第２図の−線断面
図、第２図は第１図の−線に沿う下型１０の
断面図である。

この実施例では、下型１０の内部底面１１の外
周部には、４辺を環状に連続する形状でグリーン
シートを逃げるための逃げ溝１２が設けてあり、
上型２０の底面２１にも同様にその外周部に環状
に連続する形状でグリーンシートを逃げるための
逃げ溝２２が設けてある。

下型１０と上型２０とは、ホツトプレスにてグ
リーンシートを加圧・積層のための相対的に接近
する移動が可能である。

従つて、積層時に下型１０内に入れたグリーン
シート１を、下型１０と上型２０との間で加圧す
るとき、外周部に向けて押し出されたグリーンシ
ート１の部分は、逃げ溝１２または逃げ溝２２内
に逃げるから、グリーンシートの型当りがなくな
り、従つて、グリーンシートの中央部から外周部
までの全面に渡つて均一な密度の積層が可能であ
る。

第３図は、第２の実施例であり、上型２０に逃
げ溝２２を設け、下型１０の逃げ溝を省略したも
のである。

この実施例では、上型２０の底面２１にだけ逃
げ溝２２を加工するから、積層型の製造が容易化
される。

第３図は第１図及び第２図の下型１０側の逃げ
溝を省略した変形例ととらえることができるが、
第１図及び第２図に他の変形を行つた第３の実施
例として、下型１０にだけ逃げ溝１２を設け、上
型２０の逃げ溝を省略した構造としてもよい。

第４図は第４の実施例であり、下型１０には第
１図及び第２図と同様の逃げ溝１２を設け、上型
２０は、その外周部から積層時におけるグリーン
シート１の逃げに必要な幅だけ取り除くことによ
り上型２０の外径を減じた構造となしたものであ
り、第１図及び第２図の上型２０の逃げ溝２２の
高さを下型１０の上部よりも高い位置まで延長し
たものとしてとらえることができる。従つて、積
層時には下型１０の内部と上型２０の側面との隙
間はグリーンシート１の逃げを許容する逃げ溝と
なり、従つて、この実施例でも上記各実施例と同
様に均一な積層が可能である。

〔考案の効果〕

以上述べてきたように、本考案によれば、簡易
な構成で、下型または上型のいずれか一方もしく
は両方に設けた逃げ溝を積層時のグリーンシート
の溜り場とすることにより均一な積層体を作るこ
とができ、その後焼成を経て製造したセラミツク
基板の品質を向上し得るものであつて、実用的に
は極めて有用である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す第２図の−
線断面図、第２図は第１図の−線断面図、第
３図は他の実施例を示す断面図、第４図は更に他
の実施例を示す断面図、第５図は従来構造の断面
図である。 第１図から第４図までにおいて、１はグリーン
シート、１０は下型、１１は下型の内部底面、１
２は下型に設けたグリーンシートの逃げ溝、２０
は上型、２１は上型の底面、２２は上型に設けた
グリーンシートの逃げ溝、である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 グリーンシートを収納するための凹部を備えた
   下型と、該下型に対して相対的に接近移動し得る
   上型とからなり、複数枚のグリーンシートを該下
   型内に積み重ね、該複数枚のグリーンシートを該
   下型の内部底面と該上型の底面との間で加圧して
   積層体を製造するグリーンシートセラミツク基板
   の積層型構造において、 該下型の該内部底面には、各グリーンシートを
   貫通し、かつ、上型の基準ピン逃げ穴に挿通して
   上型をガイドする基準ピンを突設するとともに、
   下型の内部底面又は上型の底面の少なくともいず
   れか一方には、その外周部に該グリーンシートを
   逃げるための逃げ溝が設けてあることを特徴とす
   るグリーンシートセラミツク基板の積層型構。