JPH0555091U - 出射ｓｏｒ光用のビームモニタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 光取り出しライン９の先端に出射窓１１を設
けるとともに、その内面を観察するための覗き窓１３を
設ける。そして、光取り出しラインの最先端部にフラン
ジ３１によってチャンバ３２を設け、そのフランジ３１
に、ＳＯＲ光を透過させ得る第１の窓３３と可視光を透
過させ得る第２の窓３４とを設ける。また、そのフラン
ジをラインに対して相対的に径方向に変位させるための
ベローズ３５，３６をフランジの前後に設ける。 【効果】 第２の窓を光取り出しラインの軸線に合致さ
せた状態とすることで可視光を出射窓の内面に照射させ
ることができるから、その照射位置を覗き窓を通して観
察することでアライメントを容易にかつ正確に行い得
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、シンクロトロンの光取り出しラインの先端に設けられる出射窓か ら出射されるＳＯＲ光をモニタするための出射ＳＯＲ光用のビームモニタ装置に 関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

近年、直径が１０ｍ以下の比較的小型の粒子加速器としてシンクロトロンが開 発されつつあり、そのようなシンクロトロンから放射される放射光であるシンク ロトロン放射光（ＳＯＲ光）を利用して、たとえば超ＬＳＩ回路の作成、医療分 野における診断、分子解析、構造解析等の様々な分野への適用が期待されている 。

【０００３】 図４はシンクロトロンの概要を示すものであって、電子銃等の電子発生装置１ で発生させた電子ビームを直線加速器（ライナック）２で光速近くに加速し、偏 向電磁石３で偏向させてインフレクタ４を介して真空ダクトからなる蓄積リング ５に入射する。蓄積リング５に入射した電子ビームは高周波加速空洞６によりエ ネルギを与えられながら収束電磁石７で収束され、偏向電磁石８で偏向されて蓄 積リング５内を周回し続ける。そして、偏向電磁石８で偏向される際にＳＯＲ光 が発生し、それが光取り出しライン９を介してたとえば露光装置１０に出射され て利用されるのである。

【０００４】 図５は上記シンクロトロンにおける光取り出しライン９の先端部を示すもので あり、その先端にはＳＯＲ光を出射させるための出射窓１１が設けられているが 、この出射窓１１はライン９内部の高真空を維持しつつＳＯＲ光を出射させる機 能を必要とするので、ＳＯＲ光の透過率が高くかつ機械的強度に優れたベリリウ ムの薄板が装着されている。

【０００５】 また、上記のような光取り出しライン９においては、ＳＯＲ光を出射窓１１の 位置に正確に照射させるためのアライメントを行うべく、出射窓１１の内面に対 するＳＯＲ光の照射位置をモニタする必要があり、たとえば図５に示しているよ うなビームモニタ装置１２を備えることが考えられている。これは、ＳＯＲ光に 代えて可視光を出射窓１１の内面側に照射し、出射窓１１の内面に対する可視光 の照射位置を覗き窓１３を通してＣＣＤカメラ１４により監視しながらアライメ ントを行うようにしたものである。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、近年、図６に示すように、光取り出しライン９の先端部をフランジ ２０により仕切ることによってその先端側にヘリウムガスを充填するチャンバ２ １を設け、その内圧を数Ｔｏｒｒ〜大気圧程度に維持することが検討されている 。この場合、フランジ２０の中心位置にＳＯＲ光を透過させるための窓２２を設 けて、その窓２２の位置でＳＯＲ光を集光させるようにしているが、その窓２２ には、上記の出射窓１１の場合と全く同様の理由によりベリリウムの薄板を装着 する必要がある。

【０００７】 しかしながら、上記のようなチャンバ２１を設けた場合、従来のビームモニタ 装置１２ではアライメントを行うことができないものである。すなわち、上述し たように、ＳＯＲ光に代えて可視光を出射窓１１の内面に照射することでアライ メントを行おうとしても、窓２２に装着されているベリリウムは可視光を透過さ せないから、モニタ用の可視光は出射窓１１の内面には到達し得ず、したがって ＣＣＤカメラ１４によってはモニタを行うことが不可能なのである。このため、 上記のように光取り出しライン９の先端部にフランジ２０によりチャンバ２１を 設けた場合に適用し得る有効なビームモニタ装置の開発が要望されていた。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

本考案は、シンクロトロンの光取り出しラインの先端に出射窓を設けるととも に、その光取り出しラインの先端部に前記出射窓の内面側を観察するための覗き 窓を設けることにより、前記出射窓から出射されるＳＯＲ光を前記覗き窓を通し てモニタするためのビームモニタ装置において、前記ラインの先端部をフランジ により仕切ることでそのフランジの先端側にチャンバを形成し、前記フランジに 、ライン内の真空を保持し得るとともにＳＯＲ光を透過させ得る第１の窓を設け るとともに、その第１の窓の近傍に、ライン内の真空を保持し得るとともに可視 光を透過させ得る第２の窓を設け、かつ、そのフランジを前記ラインに対して相 対的に径方向に変位させるためのベローズをフランジの前後に設けてなることを 特徴とするものである。

【０００９】

【作用】

本考案のビームモニタ装置を備える光取り出しラインでは、フランジに設けた 第１の窓を光取り出しラインの軸線に合致させ、その第１の窓を通してＳＯＲ光 を出射窓に到達させて外部に取り出す。そして、本考案のビームモニタ装置では 、第２の窓をラインの軸線に合致させ、その第２の窓を通して可視光を出射窓の 内面に照射させ、その照射位置を覗き窓を通して観察することでにアライメント を行う。

【００１０】

【実施例】

以下、本考案の一実施例を図１ないし図３を参照して説明するが、図６におい て説明したものと同一のものには同一符号を付してある。図１は本実施例のビー ムモニタ装置３０が備えられた光取り出しライン９の先端部を示す概略構成図で あって、この光取り出しライン９の先端部にはフランジ３１により仕切られるこ とでヘリウムガスが充填されるチャンバ３２が設けられている。

【００１１】 上記フランジ３１の中心位置には図３に示すように第１の窓３３が設けられ、 その第１の窓３３にはＳＯＲ光を透過させ得るとともにライン９内の真空を保持 し得る機械的強度を有するベリリウムが装着されている。また、第１の窓３３の 近傍には第２の窓３４が設けられ、その第２の窓３４には可視光を透過し得ると ともにライン内の真空を保持し得るような機械的強度を有する透光性材料たとえ ばポリイミドやカプトン等、が装着されている。

【００１２】 また、フランジ３１の前後にはそれぞれベローズ３５，３６が設けられていて 、それらベローズ３５，３６によりフランジ３１はライン９に対して相対的に径 方向に変位可能とされている。図１は第１の窓３３がライン９の軸線４０に合致 している状態を示し、図２はフランジ３１が図において上方に変位して第２の窓 ３４がライン９の軸線４０に合致している状態を示している。

【００１３】 さらに、フランジ３１の上流側の位置には、図２に示す状態で第２の窓３４を 観察するための覗き窓３７およびＣＣＤカメラ３８が備えられている。

【００１４】 上記構成の光取り出しライン９では、フランジ３１を図１に示す状態、つまり 、第１の窓３３をライン９の軸線４０に合致させた状態として、ＳＯＲ光を第１ の窓３３の位置において集光させるとともにそこに装着されているベリリウムを 透過させ、出射窓１１を通して外部に取り出して各種の光源として利用する。

【００１５】 そして、上記構成のビームモニタ装置３０は、図２に示すようにフランジ３１ を上方に変位させて第２の窓３４をライン９の軸線４０に合致させることにより 、従来のように可視光を用いることでアライメントを行い得る。つまり、図２に 示す状態では可視光は第２の窓３４を透過して出射窓１１の内面に到達し得るの で、覗き窓１３を通してＣＣＤカメラ１４により出射窓１１の内面に対する可視 光の照射位置を観察することで、正確なアライメントを行なうことができるので ある。

【００１６】 なお、このようなアライメントを行うに際しては、覗き窓３７を通してＣＣＤ カメラ３８により第２の窓３４の位置を観察することで、フランジ３１の正確な 位置決めを行えるが、これら覗き窓３７やＣＣＤカメラ３８は省略しても良い。 また、上記実施例では、フランジ３１の中心位置に第１の窓３３を設けるととも にその近傍に第２の窓３４を設けるようにしたが、それらの位置は、フランジ３ １が変位した際にそれぞれライン９の軸線４０に合致できるように設定する限り において任意である。

【００１７】

【考案の効果】

以上で説明したように、本考案は、光取り出しラインとチャンバとを仕切るフ ランジに、ＳＯＲ光を透過させ得る第１の窓と可視光を透過させ得る第２の窓と を設け、かつ、そのフランジをラインに対して相対的に径方向に変位させるため のベローズをフランジの前後に設けた構成であるから、第２の窓をラインの軸線 に合致させた状態とすることで可視光を出射窓の内面に照射させることができ、 その照射位置を覗き窓を通して観察することでアライメントを行うことができる ものであるから、光取り出しラインの先端部にチャンバを設けた場合におけるア ライメントを従来のように可視光を用いて容易にかつ正確に行い得る、という優 れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例であるビームモニタ装置が備え
られた光取り出しラインを示す概略構成図である。

【図２】同ビームモニタ装置によりモニタを行っている
状態を示す図である。

【図３】同装置におけるフランジの正面図である。

【図４】シンクロトロンの概要を示す図である。

【図５】同シンクロトンにおける光取り出しラインの先
端部の一例を示す概略構成図である。

【図６】同シンクロトンにおける光取り出しラインの先
端部の他の例を示す概略構成図である。

【符号の説明】

９ 光取り出しライン １１ 出射窓 １３ 覗き窓 １４ ＣＣＤカメラ ３０ ビームモニタ装置 ３１ フランジ ３２ チャンバ ３３ 第１の窓 ３４ 第２の窓 ３５，３６ ベローズ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 シンクロトロンの光取り出しラインの先
   端に出射窓を設けるとともに、その光取り出しラインの
   先端部に前記出射窓の内面側を観察するための覗き窓を
   設けることにより、前記出射窓から出射されるＳＯＲ光
   を前記覗き窓を通してモニタするためのビームモニタ装
   置において、前記ラインの先端部をフランジにより仕切
   ることでそのフランジの先端側にチャンバを形成し、前
   記フランジに、ライン内の真空を保持し得るとともにＳ
   ＯＲ光を透過させ得る第１の窓を設けるとともに、その
   第１の窓の近傍に、ライン内の真空を保持し得るととも
   に可視光を透過させ得る第２の窓を設け、かつ、そのフ
   ランジを前記ラインに対して相対的に径方向に変位させ
   るためのベローズをフランジの前後に設けてなることを
   特徴とする出射ＳＯＲ光用のビームモニタ装置。