JPH0644100U

JPH0644100U - 粒子加速器のゲートバルブ

Info

Publication number: JPH0644100U
Application number: JP8005592U
Authority: JP
Inventors: 瑞穂井田
Original assignee: 石川島播磨重工業株式会社
Priority date: 1992-11-19
Filing date: 1992-11-19
Publication date: 1994-06-10

Abstract

(57)【要約】【目的】機器等の配置スペースが少なくて済みしかも
コストダウンも図れる粒子加速器のゲートバルブを提供
する。【構成】粒子加速器のビームあるいは光の通路となる
真空ダクト（１１）に設けられて真空ダクトを気密に遮
断するゲートバルブ（２０）である。板状の弁体（２
３）の一側面でありかつ閉弁時においてビームあるいは
光が入射される側の側面にはスクリーン（２５）が取り
付けられ、弁箱（２１）にはスクリーンへのビームある
いは光の照射状況を観測するための覗き窓（２２ｃ）が
設けられている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、シンクロトロン等の粒子加速器の真空ダクト中に配置されるゲートバルブに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

近年、直径が１０ｍ以下の比較的小型の粒子加速器としてシンクロトロンが開発されつつあり、そのようなシンクロトロンから放射される放射光であるシンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）を利用して、たとえば超ＬＳＩの製造、医療分野における診断、分子解析、構造解析等の様々な分野への適用が期待されている。

【０００３】図３はシンクロトロンの概要を示すものであって、電子銃等の電子発生装置１で発生させた電子ビームを直線加速器（ライナック）２で光速近くに加速し、偏向電磁石３で偏向させてインフレクタ４を介して蓄積リング５に入射する。蓄積ダクト５に入射した電子ビームは高周波加速空洞６によりエネルギを与えられながら収束電磁石７で収束され、偏向電磁石８で偏向されて蓄積ダクト５内を周回し続ける。そして、偏向電磁石８で偏向される際にＳＯＲ光が発生し、それが光取り出しライン９を介してたとえば露光装置１０に出射されて利用されるのである。

【０００４】上記のような粒子加速器においては、直線加速器２、蓄積ダクト５及び光取り出しライン９等で構成される、ビームあるいは光の通路となる真空ダクト１１は超高真空（１０ー１０Ｔｏｒｒ程度）に保たれる。このため、真空ダクト１１中に配される機器の前後等には、メンテナンス時等において他の真空ダクト部分の超高真空状態を保持するためゲートバルブが介装されるのが一般的である。

【０００５】従来使用されているゲートバルブは、真空ダクトに沿って配される、ビームあるいは光の通路部分を有する弁箱の内部に、弁体が通路部分を気密に遮断できるように出没自在に配された基本構成とされるもので、機器のメンテナンス等を行なうときには、弁体は閉状態とされて他の真空ダクト部分を超高真空に保つことができる。

【０００６】一方、上記粒子加速器においては、運転開始当初に荷電粒子ビームあるいはＳＯＲ光が真空ダクト内の所定の軌道を通っているかどうかを確かめるため、直線加速器、蓄積ダクト５等の各部にスクリーンモニタを入れてビームあるいは光の位置計測を行なっている。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

上記のように従来の粒子加速器では、真空ダクト１１にゲ−トバルブとは別個にスクリーンモニタを配置しているので、それらゲートバルブとスクリーンモニタ双方の配置スペースを確保しなければならず、ゲートバルブ等配置のため比較的広い補器類配置スペースを必要とする。また、逆に真空ダクト１１が何等の原因で長さ制限される場合には、他の機器の配置スペースが限定されることとなる。

【０００８】本考案は上記事情に鑑みてなされたもので、スクリーンモニタの機能も兼ね備え、機器等の配置スペースが少なくて済みしかもコストダウンも図れる粒子加速器のゲートバルブを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

本考案のゲートバルブは、板状の弁体の一側面でありかつ閉弁時において前記ビームあるいは光が入射される側の側面にスクリーンが取り付けられるとともに、弁箱に前記スクリーンへのビームあるいは光の照射状況を観測ための覗き窓が設けられる構成とした。

【００１０】

【作用】

本考案のゲートバルブでは、弁体にスクリーンを取り付けているのでゲートバルブ自体の機能は損なわれず、スクリーンモニタの機能をも果たすことができる。

【００１１】つまり、閉弁状態になると、弁体上に取り付けられたスクリーンが通路を遮断するように配置され、該スクリーンに真空ダクト中を通過するビームあるいは光があたる。このときの照射状況を弁箱の覗き窓からカメラあるいは目視によって観測することにより、ビーム等の実際の光軸を確認し、それに基づいて必要に応じて光軸修正やアライメントを行なうことができる。

【００１２】

【実施例】

以下、本考案の一実施例を図１及び図２を参照して説明する。本実施例のゲートバルブは、ビームが通過する真空ダクト１１中に設けられる。ゲートバルブ２０は、弁箱２１が、内部のビーム通過部分となる通路２２を真空ダクト１１に沿わせて配され、該弁箱２２の内部に弁体２３が前記通路２２を気密に遮断できるように出没自在に配された基本構成とされている。

【００１３】弁箱２１は、ビーム通過部分となる前記通路２２の前後に入口２２ａと出口２２ｂが設けられ、該通路２２の略中央部分を臨む弁箱側壁に、後述する蛍光スクリーンへのビームの照射状況を観測するための覗き窓２２ｃが設けられている。

【００１４】前記弁体２３は弁軸２４を介して手動あるいはエアー圧、油圧等を利用した図示せぬシリンダにより上下動操作されるもので、入口２２ａ側（上流側）の側面には蛍光スクリーン２５が取り付けられている。また、弁体２３は通路２２に対して斜めに傾斜して設けられ、かつ、弁箱２１との間には気密性を保つため図示せぬシール部材が介装されている。

【００１５】蛍光スクリーン２５は、酸化クロムを含んだアルミナセラミックスからなる薄板の表面に蛍光物質が塗布されてなるもので、四隅には孔２５ａが形成され、この孔２５ａに挿入されるボルトによって前記弁体２３に取り付けられている。なお、蛍光スクリーン２５には、必要に応じて、従来公知の目盛りが付された水平および垂直基準線が設けられる。また、前記弁体２２の覗き窓２０ｃには前記蛍光スクリーン２５から発せられる光を観測するためのカメラ２６が配置されている。

【００１６】したがって、本実施例の粒子加速器のゲートバルブによれば、弁体２３の側面に蛍光スクリーン２５を取り付けており、ゲートバルブ自体の機能はなんら損なわれず、機器等のメンテナンスを行なうときには、弁体２３が通路２２を遮断する閉状態とされ、他の真空ダクト部分を超高真空に保つことができる。

【００１７】また、本実施例の粒子加速器のゲートバルブは上記した弁機能の他に、スクリーンモニタの機能もあわせ持つ。すなわち、閉状態になると、弁体２３上に取り付けられた蛍光スクリーン２５が通路２２を遮断するように配され、該蛍光スクリーン２５に真空ダクト１１中を通過するビームがあたる。このときの照射状況を弁箱２１の覗き窓２２ｃからカメラによって観測することができ、これにより、ビームの実際の光軸を確認しつつそれに基づき必要に応じて、光軸修正やアライメントを行なうことができる。

【００１８】なお、上記実施例では、直線加速器や蓄積ダクトからなるビームが通過する真空ダクトに介装されるゲートバルブに本願考案が適用された例について説明したが、これに限られることなく、本願考案は、光が通過する真空ダクトである光取りだしライン９に介装されるゲートバルブにも適用可能である。

【００１９】また、上記実施例では、蛍光スクリーンへのビームあるいは光の照射状況を観測するのにカメラ２６を用いているが、これに限られることなく、直接目視により観測してもよい。

【００２０】

【考案の効果】以上で説明したように本考案のゲートバルブによれば、板状の弁体の一側面でありかつ閉弁時において前記ビームあるいは光が入射される側の側面にスクリーンが取り付けられるとともに、弁箱にスクリーンへのビームあるいは光の照射状況を観測ための覗き窓が設けられているので、弁体にスクリーンを取り付けているのでゲートバルブ自体の機能は損なわれず、スクリーンモニタの機能をも同時に果たすことができる。したがって当該ゲートバルブを備える粒子加速器では、スクリーンモニタを設置するスペースが省けることから機器等の配置スペースが少なくて済み、またしかもコストダウンも無理なく図れる等の優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例である粒子加速器のゲ−トバル
ブの概略構成を示す横断面図である。

【図２】同粒子加速器のゲートバルブの概略構成を示す
縦断面図である。

【図３】シンクロトロンの概要を示す平面図である。

【符号の説明】

１１真空ダクト２０ゲートバルブ２１弁箱２２通路２２ｃ覗き窓２３弁体２５蛍光スクリーン

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】粒子加速器のビームあるいは光の通路と
なる真空ダクトに設けられて該真空ダクトを気密に遮断
するゲートバルブであって、板状の弁体の一側面でありかつ閉弁時において前記ビー
ムあるいは光が入射される側の側面にはスクリーンが取
り付けられるとともに、弁箱には前記スクリーンへのビ
ームあるいは光の照射状況を観測するための覗き窓が設
けられていることを特徴とする粒子加速器のゲートバル
ブ。