JPH05297148A - 粒子加速器のスクリーンモニタ装置 - Google Patents
粒子加速器のスクリーンモニタ装置Info
- Publication number
- JPH05297148A JPH05297148A JP10325692A JP10325692A JPH05297148A JP H05297148 A JPH05297148 A JP H05297148A JP 10325692 A JP10325692 A JP 10325692A JP 10325692 A JP10325692 A JP 10325692A JP H05297148 A JPH05297148 A JP H05297148A
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- Japan
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- screen
- filter
- beam line
- light
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 ビームライン９中に配置されるスクリーン３
０の上流側に、所定の波長以下のＸ線を透過させるとと
もにそれより長波長の放射光の透過を阻止するフィルタ
３１を、スクリーンとともにビームラインに対して進入
退出可能に設ける。上記のフィルタとしては安価なアル
ミニウムやニッケルの薄膜もしくは薄板を採用し得る。 【効果】 実際に利用するべくモニタの必要なＸ線のみ
がフィルタを透過してスクリーンに到達し、モニタの不
要な長波長の放射光はスクリーンに達することがない。
したがって、それら長波長の放射光の影響を受けること
なく、実際に利用するＸ線の光軸の位置のみを高精度で
モニタすることができる。
０の上流側に、所定の波長以下のＸ線を透過させるとと
もにそれより長波長の放射光の透過を阻止するフィルタ
３１を、スクリーンとともにビームラインに対して進入
退出可能に設ける。上記のフィルタとしては安価なアル
ミニウムやニッケルの薄膜もしくは薄板を採用し得る。 【効果】 実際に利用するべくモニタの必要なＸ線のみ
がフィルタを透過してスクリーンに到達し、モニタの不
要な長波長の放射光はスクリーンに達することがない。
したがって、それら長波長の放射光の影響を受けること
なく、実際に利用するＸ線の光軸の位置のみを高精度で
モニタすることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シンクロトロン等の粒
子加速器の光取り出しラインであるビームライン中に設
けられて、そのビームライン中の放射光の位置をモニタ
するためのスクリーンモニタ装置に関する。
子加速器の光取り出しラインであるビームライン中に設
けられて、そのビームライン中の放射光の位置をモニタ
するためのスクリーンモニタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、直径が１０ｍ以下の比較的小型の
粒子加速器としてシンクロトロンが開発されつつあり、
そのようなシンクロトロンから放射される放射光である
シンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）を利用して、たとえ
ば超ＬＳＩ回路の製造、医療分野における診断、分子解
析、構造解析等の様々な分野への適用が期待されてい
る。
粒子加速器としてシンクロトロンが開発されつつあり、
そのようなシンクロトロンから放射される放射光である
シンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）を利用して、たとえ
ば超ＬＳＩ回路の製造、医療分野における診断、分子解
析、構造解析等の様々な分野への適用が期待されてい
る。
【０００３】図３はシンクロトロンの概要を示すもので
あって、電子銃等の電子発生装置１で発生させた電子ビ
ームを直線加速器（ライナック）２で光速近くに加速
し、偏向電磁石３で偏向させてインフレクタ４を介して
蓄積リングである真空ダクト５に入射する。真空ダクト
５に入射した電子ビームは高周波加速空洞６によりエネ
ルギを与えられながら収束電磁石７で収束され、偏向電
磁石８で偏向されて真空ダクト５内を周回し続ける。そ
して、偏向電磁石８で偏向される際にＳＯＲ光が発生
し、それが光取り出しラインであるビームライン９を介
してたとえば露光装置１０に出射されて利用されるので
ある。
あって、電子銃等の電子発生装置１で発生させた電子ビ
ームを直線加速器（ライナック）２で光速近くに加速
し、偏向電磁石３で偏向させてインフレクタ４を介して
蓄積リングである真空ダクト５に入射する。真空ダクト
５に入射した電子ビームは高周波加速空洞６によりエネ
ルギを与えられながら収束電磁石７で収束され、偏向電
磁石８で偏向されて真空ダクト５内を周回し続ける。そ
して、偏向電磁石８で偏向される際にＳＯＲ光が発生
し、それが光取り出しラインであるビームライン９を介
してたとえば露光装置１０に出射されて利用されるので
ある。
【０００４】上記のような粒子加速器においては、ＳＯ
Ｒ光がビームライン９中の所定の軌道を通るかどうかを
運転開始当初にモニタしてアライメントを行う必要があ
り、そのためのスクリーンモニタ装置をビームライン９
の要所に設置するようにしている。
Ｒ光がビームライン９中の所定の軌道を通るかどうかを
運転開始当初にモニタしてアライメントを行う必要があ
り、そのためのスクリーンモニタ装置をビームライン９
の要所に設置するようにしている。
【０００５】図４は従来一般に採用されているスクリー
ンモニタ装置の一例を示す。これは、ビームライン９に
対して所定角度傾斜するようなスクリーン１５を、ビー
ムライン９内に進入、退出させるべくビームライン９に
対して昇降自在（図４においては紙面の表裏方向に移動
自在）に設けるとともに、そのスクリーン１５の側方に
カメラ１６をスクリーン１５側に向けて設けた構成のも
のである。そのスクリーン１５はたとえば図５に示すよ
うに、ガラス等の基板１７の表面に水平基準線１８およ
び垂直基準線１９を描いてそれらに目盛２０を付した構
成のものである。符号２１は原点である。なお、スクリ
ーン１５の表面にはＳＯＲ光が当たると光る蛍光物質が
塗布されている。
ンモニタ装置の一例を示す。これは、ビームライン９に
対して所定角度傾斜するようなスクリーン１５を、ビー
ムライン９内に進入、退出させるべくビームライン９に
対して昇降自在（図４においては紙面の表裏方向に移動
自在）に設けるとともに、そのスクリーン１５の側方に
カメラ１６をスクリーン１５側に向けて設けた構成のも
のである。そのスクリーン１５はたとえば図５に示すよ
うに、ガラス等の基板１７の表面に水平基準線１８およ
び垂直基準線１９を描いてそれらに目盛２０を付した構
成のものである。符号２１は原点である。なお、スクリ
ーン１５の表面にはＳＯＲ光が当たると光る蛍光物質が
塗布されている。
【０００６】上記のスクリーンモニタ装置によりＳＯＲ
光の光軸のモニタを行う際には、図４に示すようにスク
リーン１５をビームライン９中に配置したうえで、ビー
ムライン９の上流側からＳＯＲ光Ｓをスクリーン１５の
表面に対して照射する。すると、ＳＯＲ光Ｓが当った位
置が光るのでその位置をカメラ１６により観測すること
でＳＯＲ光Ｓの光軸の位置を確認し、それに基づいて必
要に応じて光軸修正やアライメントを行うのである。そ
のような作業が終了した後には、スクリーン１５をビー
ムライン９内から退出させ、通常運転に移行する。
光の光軸のモニタを行う際には、図４に示すようにスク
リーン１５をビームライン９中に配置したうえで、ビー
ムライン９の上流側からＳＯＲ光Ｓをスクリーン１５の
表面に対して照射する。すると、ＳＯＲ光Ｓが当った位
置が光るのでその位置をカメラ１６により観測すること
でＳＯＲ光Ｓの光軸の位置を確認し、それに基づいて必
要に応じて光軸修正やアライメントを行うのである。そ
のような作業が終了した後には、スクリーン１５をビー
ムライン９内から退出させ、通常運転に移行する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
なＳＯＲ光Ｓは、比較的長波長の遠赤外線から極めて短
波長のＸ線までの広範囲の波長を含むいわゆるホワイト
な光（より厳密には電磁波）であるが、上記のようなシ
ンクロトロンのビームライン９中においてはそれら各波
長の光の光軸が水平方向に若干広がる現象を生じる。つ
まり、ＳＯＲ光Ｓのうち、遠赤外線や赤外線、可視光線
等の比較的長波長の光の光軸の位置と、Ｘ線等の短波長
の光の光軸の位置とは必ずしも一致せず、僅かにずれて
しまうことが通常である。
なＳＯＲ光Ｓは、比較的長波長の遠赤外線から極めて短
波長のＸ線までの広範囲の波長を含むいわゆるホワイト
な光（より厳密には電磁波）であるが、上記のようなシ
ンクロトロンのビームライン９中においてはそれら各波
長の光の光軸が水平方向に若干広がる現象を生じる。つ
まり、ＳＯＲ光Ｓのうち、遠赤外線や赤外線、可視光線
等の比較的長波長の光の光軸の位置と、Ｘ線等の短波長
の光の光軸の位置とは必ずしも一致せず、僅かにずれて
しまうことが通常である。
【０００８】そして、ビームライン９から露光装置１０
に取り出して実際に利用する光としては波長が比較的短
いＸ線であることが多く、したがって、そのようなＸ線
のビームライン９中における位置を特に厳密にモニタす
ることが必要なのであるが、従来のスクリーンモニタ装
置による場合には、どのような波長の光が当たってもス
クリーン１５が一様に光ってしまうので、ＳＯＲ光Ｓの
うちのＸ線のみを他の光から区別してモニタするような
ことができるものではなかった。
に取り出して実際に利用する光としては波長が比較的短
いＸ線であることが多く、したがって、そのようなＸ線
のビームライン９中における位置を特に厳密にモニタす
ることが必要なのであるが、従来のスクリーンモニタ装
置による場合には、どのような波長の光が当たってもス
クリーン１５が一様に光ってしまうので、ＳＯＲ光Ｓの
うちのＸ線のみを他の光から区別してモニタするような
ことができるものではなかった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の事情に鑑み、本発
明のスクリーンモニタ装置は、スクリーンの上流側に、
所定の波長以下のＸ線を透過させるとともにそれより長
波長の放射光の透過を阻止するフィルタをスクリーンと
ともにビームラインに対して進入退出可能に設けたこと
を特徴とするものである。この場合、フィルタとして
は、アルミニウムやニッケル等の金属材料からなる薄膜
もしくは薄板を用いると良い。
明のスクリーンモニタ装置は、スクリーンの上流側に、
所定の波長以下のＸ線を透過させるとともにそれより長
波長の放射光の透過を阻止するフィルタをスクリーンと
ともにビームラインに対して進入退出可能に設けたこと
を特徴とするものである。この場合、フィルタとして
は、アルミニウムやニッケル等の金属材料からなる薄膜
もしくは薄板を用いると良い。
【００１０】
【作用】本発明の装置では、モニタを行う必要のあるＸ
線はフィルタを透過してスクリーンに達するが、モニタ
を行う必要のない長波長の可視光線や赤外線はフィルタ
により遮蔽されてスクリーンに達することがない。つま
り、モニタの不要な放射光がスクリーンに達することを
フィルタにより阻止し、実際に利用するＸ線のみをスク
リーンに到達させてそれをモニタし、必要に応じて光軸
修正やアライメントを行う。
線はフィルタを透過してスクリーンに達するが、モニタ
を行う必要のない長波長の可視光線や赤外線はフィルタ
により遮蔽されてスクリーンに達することがない。つま
り、モニタの不要な放射光がスクリーンに達することを
フィルタにより阻止し、実際に利用するＸ線のみをスク
リーンに到達させてそれをモニタし、必要に応じて光軸
修正やアライメントを行う。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１および図２を
参照して説明する。本実施例のスクリーンモニタ装置
は、図３に示したようなシンクロトロンのビームライン
９に設けられるものであって、スクリーン３０と、その
上流側に設けられたフィルタ３１と、カメラ等の観察機
器３２とから構成されている。
参照して説明する。本実施例のスクリーンモニタ装置
は、図３に示したようなシンクロトロンのビームライン
９に設けられるものであって、スクリーン３０と、その
上流側に設けられたフィルタ３１と、カメラ等の観察機
器３２とから構成されている。
【００１２】スクリーン３０は、図４および図５に示し
た従来のものと同様に、ビームライン９内に進入退出可
能なようにビームライン９に対して昇降可能（図１にお
いては紙面の表裏方向に移動可能）に設けられるととも
に、ビームライン９の軸線に対して傾斜状態で配置さ
れ、かつ、ビームライン９の上流側を向く表面には蛍光
塗料が塗布されてそこには基準線や目盛が描かれてい
る。
た従来のものと同様に、ビームライン９内に進入退出可
能なようにビームライン９に対して昇降可能（図１にお
いては紙面の表裏方向に移動可能）に設けられるととも
に、ビームライン９の軸線に対して傾斜状態で配置さ
れ、かつ、ビームライン９の上流側を向く表面には蛍光
塗料が塗布されてそこには基準線や目盛が描かれてい
る。
【００１３】一方、上記のフィルタ３１は、たとえばア
ルミニウムやニッケル等の金属材料からなる薄膜もしく
は薄板であって、所定の波長以下のＸ線は透過させる
が、それより長波長の可視光線や赤外線等の透過は阻止
するためのものである。このフィルタ３１の材質や厚み
寸法は、透過させるべきＸ線（換言すれば遮蔽するべき
ＳＯＲ光）の波長に応じて適宜設定すれば良いが、通常
は数μｍ〜数十μｍ程度の厚みの金属薄膜を用いること
が良い。また、このフィルタ３１は、図２に示すよう
に、上記のスクリーン３０とともに駆動レバー３３に対
して連結されていて、その駆動レバー３３を昇降させる
ことによりスクリーン３０とフィルタ３１とを昇降させ
てビームライン９に対して進入、退出させる構成となっ
ている。
ルミニウムやニッケル等の金属材料からなる薄膜もしく
は薄板であって、所定の波長以下のＸ線は透過させる
が、それより長波長の可視光線や赤外線等の透過は阻止
するためのものである。このフィルタ３１の材質や厚み
寸法は、透過させるべきＸ線（換言すれば遮蔽するべき
ＳＯＲ光）の波長に応じて適宜設定すれば良いが、通常
は数μｍ〜数十μｍ程度の厚みの金属薄膜を用いること
が良い。また、このフィルタ３１は、図２に示すよう
に、上記のスクリーン３０とともに駆動レバー３３に対
して連結されていて、その駆動レバー３３を昇降させる
ことによりスクリーン３０とフィルタ３１とを昇降させ
てビームライン９に対して進入、退出させる構成となっ
ている。
【００１４】上記構成のスクリーンモニタ装置では、ビ
ームライン９を通るＳＯＲ光Ｓのうち、所望の波長以下
のＸ線のみがフィルタ３１を透過してスクリーン３０に
達し、それより長波長のＳＯＲ光はフィルタ３１により
遮蔽されてスクリーン３０に達することがない。したが
って、スクリーン３０の表面の光った位置をカメラ３２
により観察することによって、モニタを行う必要のない
可視光線や赤外線等の長波長の光の影響を受けることな
く、実際に利用するＸ線の光軸の位置のみを高精度でモ
ニタすることができ、それに基づいて必要に応じて光軸
の修正やアライメントを確実に行い得る。また、フィル
タ３１としては安価なアルミニウムやニッケルの薄膜も
しくは薄板を用いることで十分であるので、設備費の増
大を招くこともないし、図４に示したような既設のスク
リーンモニタ装置に対してフィルタ３１を付加する改修
も容易に行うことができる。
ームライン９を通るＳＯＲ光Ｓのうち、所望の波長以下
のＸ線のみがフィルタ３１を透過してスクリーン３０に
達し、それより長波長のＳＯＲ光はフィルタ３１により
遮蔽されてスクリーン３０に達することがない。したが
って、スクリーン３０の表面の光った位置をカメラ３２
により観察することによって、モニタを行う必要のない
可視光線や赤外線等の長波長の光の影響を受けることな
く、実際に利用するＸ線の光軸の位置のみを高精度でモ
ニタすることができ、それに基づいて必要に応じて光軸
の修正やアライメントを確実に行い得る。また、フィル
タ３１としては安価なアルミニウムやニッケルの薄膜も
しくは薄板を用いることで十分であるので、設備費の増
大を招くこともないし、図４に示したような既設のスク
リーンモニタ装置に対してフィルタ３１を付加する改修
も容易に行うことができる。
【００１５】なお、上記実施例では、フィルタ３１をス
クリーン３０の直前の位置に配置してそれらを駆動レバ
ー３３により一体に昇降させる構成としたが、フィルタ
３１の位置はスクリーン３０の上流側である限りにおい
て適宜で良い。また、スクリーン３０とフィルタ３１と
を各々別に昇降させるようにしても良いし、それらを昇
降させるための駆動機構も駆動レバー３３によるものの
他、適宜の構成が可能である。
クリーン３０の直前の位置に配置してそれらを駆動レバ
ー３３により一体に昇降させる構成としたが、フィルタ
３１の位置はスクリーン３０の上流側である限りにおい
て適宜で良い。また、スクリーン３０とフィルタ３１と
を各々別に昇降させるようにしても良いし、それらを昇
降させるための駆動機構も駆動レバー３３によるものの
他、適宜の構成が可能である。
【００１６】
【発明の効果】以上で説明したように、本発明のスクリ
ーンモニタ装置は、ビームライン中に配置されるスクリ
ーンの上流側に、所定の波長以下のＸ線を透過させると
ともにそれより長波長の放射光の透過を阻止するフィル
タをスクリーンとともにビームラインに対して進入退出
可能に設けた構成であるから、実際に利用するべきＸ線
のみがフィルタを透過してスクリーンに到達し、モニタ
の不要な長波長の放射光はスクリーンに達することがな
く、したがって、それら長波長の放射光の影響を受ける
ことなく、実際に利用するＸ線の光軸の位置のみを高精
度でモニタすることができる、という効果を奏する。そ
して、フィルタとして安価なアルミニウムやニッケルの
薄膜もしくは薄板を用いることにより、設備費の増大を
招くことがないし、既設のスクリーンモニタ装置に対し
てフィルタを付加する改修も容易に可能である。
ーンモニタ装置は、ビームライン中に配置されるスクリ
ーンの上流側に、所定の波長以下のＸ線を透過させると
ともにそれより長波長の放射光の透過を阻止するフィル
タをスクリーンとともにビームラインに対して進入退出
可能に設けた構成であるから、実際に利用するべきＸ線
のみがフィルタを透過してスクリーンに到達し、モニタ
の不要な長波長の放射光はスクリーンに達することがな
く、したがって、それら長波長の放射光の影響を受ける
ことなく、実際に利用するＸ線の光軸の位置のみを高精
度でモニタすることができる、という効果を奏する。そ
して、フィルタとして安価なアルミニウムやニッケルの
薄膜もしくは薄板を用いることにより、設備費の増大を
招くことがないし、既設のスクリーンモニタ装置に対し
てフィルタを付加する改修も容易に可能である。
【図１】本発明の実施例であるスクリーンモニタ装置の
概略構成を示す平面図である。
概略構成を示す平面図である。
【図２】同装置におけるスクリーンとフィルタを示す斜
視図である。
視図である。
【図３】シンクロトロンの概要を示す平面図である。
【図４】従来のスクリーンモニタ装置の一例を示す平面
図である。
図である。
【図５】従来のスクリーンの例を示す図である。
９ ビームライン ３０ スクリーン ３１ フィルタ ３２ カメラ（観察機器） Ｓ ＳＯＲ光（放射光）。
Claims (2)
- 【請求項１】 粒子加速器における放射光取り出しライ
ンであるビームライン中にスクリーンを進入退出可能に
設け、そのスクリーンの表面に対する放射光の照射位置
をカメラ等の観察機器により観察することによって、ビ
ームライン中における放射光の位置をモニタする装置で
あって、前記スクリーンの上流側に、所定の波長以下の
Ｘ線を透過させるとともにそれより長波長の放射光の透
過を阻止するフィルタを前記スクリーンとともにビーム
ラインに対して進入退出可能に設けたことを特徴とする
粒子加速器のスクリーンモニタ装置。 - 【請求項２】 前記フィルタは、アルミニウムやニッケ
ル等の金属材料からなる薄膜もしくは薄板であることを
特徴とする請求項１に記載の粒子加速器のスクリーンモ
ニタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10325692A JPH05297148A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | 粒子加速器のスクリーンモニタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10325692A JPH05297148A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | 粒子加速器のスクリーンモニタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05297148A true JPH05297148A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14349367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10325692A Withdrawn JPH05297148A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | 粒子加速器のスクリーンモニタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05297148A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07159543A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-23 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 粒子加速器のビームモニタ装置 |
| KR101438165B1 (ko) * | 2013-06-13 | 2014-09-05 | 이비테크(주) | 선형가속기를 이용한 x-선 전환장치 |
| WO2017199385A1 (ja) * | 2016-05-19 | 2017-11-23 | 三菱電機株式会社 | 粒子線治療装置用のビームモニタ及び粒子線治療装置 |
-
1992
- 1992-04-22 JP JP10325692A patent/JPH05297148A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07159543A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-23 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 粒子加速器のビームモニタ装置 |
| KR101438165B1 (ko) * | 2013-06-13 | 2014-09-05 | 이비테크(주) | 선형가속기를 이용한 x-선 전환장치 |
| WO2017199385A1 (ja) * | 2016-05-19 | 2017-11-23 | 三菱電機株式会社 | 粒子線治療装置用のビームモニタ及び粒子線治療装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990706 |