JPH03273200A - 端部放出型ｘ線顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は走査電子顕微鏡などの電子線走査装置を用い
る端部放出型Ｘ線顕微鏡に関するものである。

［従来の技術］ 第２図は本願と同１コ出願された本願出願人と同一出願
人の特許出願〈以下、同日出願という）「微小Ｘ線発生
装置」の概要を示す断面図で、図に１３いて（２）は電
子線、（５）は薄膜ターゲット、〈５ａ〉は保持基板、
（８）は観察試料、（１１〉は透過Ｘ線、（１２）はＸ
線フィルム、（２０）は電子線の拡散領域、＜２１）は
透過電子を示す。

この同日出願の要旨は薄膜ターゲットを用いた、いわゆ
る薄膜型のｘ　ｉｉ発生装置を投影Ｘ＠顕微鏡などに用
いる場合の問題点となる、薄膜ターゲットを透過して試
料に到達する電子線やターゲットで発生ずる熱により、
試料がダメージを受けないように、薄膜ターゲット〈５
〉の端部に電子線（２）を照射し、この端部側面から発
生するＸ線をＸ線源に用いることとした発明である。

［発明が解決しようとする課題］ 上述のように同日出願にかかる発明では、Ｈｆｌターゲ
ットの端部を捜し出し、そこに１確に電子線を照射する
必要がある。また長時間の使用により端部がダメージを
受けてしまった場合には、新しい端部を捜し出し、電子
線の照射位置を新しい端部に正確に持っていく必要があ
るが、このような動作を機械的に行わせる装置を精成す
ることは、扱歯的に大変難しいという問題点があった。

この発明はかかる課題を解決するためになされたもので
、いつでも容易に薄膜ターゲットの端部に電子線を照射
することができる端部放出型Ｘ線顕微鏡を得ることを目
的としている。

［課題を解決するための手段］ この発明にかかる端部放出型Ｘ線顕微鏡は、電子線走査
装置を用い、薄膜ターゲットを二次電子像で観察しなが
らその端部を捜し出すこととしたものである。

［作用］ この発明においては、電子線走査装置を用い、薄膜ター
ゲラ１〜を二次電子像で観察しながら端部を捜し出すこ
ととしたので、適当な倍率に拡大した薄膜ターゲットの
二次電子像を目で観察しながらターゲット駆動機構を操
作して端部を捜し出すことができ、この場合二次電子像
のスポット位置がＸ線発生源となるので、操作性を著し
く向上させることが可能となる。

Ｅ実施例］ 以下、この発明の一実施例を図面を用いて説明する。第
１図はこの発明の一実施例を示す断面図で、第２図と同
一符号は同−又は相当部分を示し、図において（１）は
電子銃、（３）は電子レンズ、（４〉は偏向器、（６）
はターゲット駆動８！楕、（７）はアパーチャ、（９）
は試料駆動機構、（１０）はターゲラ１〜（５）から発
生した二次電子、（１１）はターゲット〈５〉の端部側
面から発生しアパーチャ（７）を介して試料り８）を透
過した透過Ｘ線、（１２）はＸＩＩＡフィルム、（１３
〉はＸ線フィルム（１２）のフィルム交換機構、（１４
）は二次電子検出器、　（１５）はＸ線シャッタ、（１
６）は排気装置を示す。

この実施例にかかる端部放出型Ｘ線顕微鏡は、第１図に
示すように走査電子顕微鏡に代表される電子線走査装置
を用い、電子線走査装置における観察試料を置く部分に
薄膜ターゲット（５）を配置し、この薄膜ターゲット（
５）の端部に垂直な方向から電子線（２）を照射し、こ
の薄膜ターゲラ）−（５）の端部側面から発生するＸ線
をＸ線源としている。

従って既存の電子線走査装置に、アパーチャ〈７〉観察
試料（８）を配置してそれを駆動する試料駆動機ｔＭ（
９）　、　Ｘ線フィルム〈１２〉およびフィルＪい交換
機構（１３〉などを設けることで構成することができ、
従って既存の電子線走査装置へ容易に組み込むことがで
き、或は既存の電子線走査装置のアタッチメントとして
精成することも可能となる。

次に動作について説明する。薄膜ターゲット（５）の上
を偏向器（４）を用いて電子線（２〉を走査し、発生し
た二次電子〈１０）を二次電子検出器（１４）で受け、
ターゲット（５）の表面の二次電子像を観察装置（図示
せず〉で観察する。この場合、所望の倍率に拡大して観
察を行うと良い、そしてターゲット駆動機構（６）を操
作し、薄膜ターゲット〈５）を移動させながら二次電子
像でターゲット（５）の端部を捜し出し、ここに電子線
（２）をスポットで照射する。この場合二次電子像の観
察スポットとＸ線発生源とは、ともに電子線（２〉の照
射位置となるので、いつでも容易に所望の端部にＸ線発
生源をもって行くことができる。

ターゲラ！−（５）の端部側面より発生したＸ線は、ア
パーチャ（７〉で制限され、観察試料（８〉に照射され
、試料（８）を透過した透過Ｘ線（１１）がＸ線フィル
ム（１２）へ露光する。Ｘ線フィルム（１２）／＼の露
先時間はＸ線シャッタ（１５）により行う。

第３図はターゲット駆動機構〈６）を用いて薄膜ターゲ
ット（５）を傾斜させた例を示す断面図で、このように
薄膜ターゲット（５）を傾斜させることにより、保護基
板（５ａ）からのＸ線の発生を防止して更にＸ線源を微
小にすることができ、このような方法も二次電子像を観
察しながらターゲット駆動機構〈６）を操作することで
容易に実施できることになる。

第４図は、例えば極細線状の繊維などの観察を行う場合
に、比較的強度の強いライン状のＸ線源を得る方法を示
す斜視図で、図に示すようにアパーチャ（７〉をスリッ
ト状のものと交換し、偏向器（４）を用いて電子線（２
〉を薄膜ターゲット（５）の端部で同一線状に繰り返し
走査させることで容易に実施できることになる。

［発明の効果］ この発明は以上説明したように、電子線走査装置を用い
、薄膜ターゲットを二次電子像で観察しながらその端部
を捜し出すこととしたので、いつでも容易に薄膜ターゲ
ットの端部に電子線を照射することができ、さらに薄膜
ターゲットを傾斜させて、より微小なＸ線源を得たり、
繊維などの観察を行う場合に比較的強度の強いライン状
Ｘ線源を得たりすることが容易にできるようになる。

また既存の電子線走査装置へ容易に組み込むことができ
、電子線走査装置のアタッチメントとして構成すること
もできる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第２図は同
日出願の構成を示す断面図、第３図は薄層ターゲットを
傾斜させた例を示す断面図、第４ＦＡ！よライン状のＸ
線源を得る方法を示す斜視図である。 図において（１）は電子銃、（２）は電子線、（３）は
電子レンズ、（４）は偏向器、（５）は薄膜ターゲット
、（６）はターゲット駆動機構、（７）はアパーチャ、
（８〉は観察試料、〈す〉は試料駆動！！１ｍ、（ｌＯ
）は二次電子、〈１１）は透過Ｘ線、（１２）はＸ線フ
ィルム、（１３）はフィルム交換機構、（１４）は二次
電子検出器、（１５）はＸ線シャッタ、（１６）は排気
装置。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示すものと
する。 第１図 第２図 １６　排気装置 ２：電子線 ５：薄膜ターゲット ２０、電子線の拡散領域 ２１、透過電子 ５ａ：護持基板 ８：観察試料 １１：透過Ｘ線 １２・　Ｘ線フィルム

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 電子線走査装置の観察試料を配設する位置に、この試料
   に代えて配置されるＸ線発生用のターゲット、 上記電子線走査装置を用いて上記ターゲット上に電子線
   を走査し、該ターゲットの二次電子像を得る電子線走査
   手段、 上記手段により得られた上記ターゲットの二次電子像を
   観察しながら上記ターゲットの端部を探索し、この端部
   に電子線を照射する電子線照射手段、 上記手段により上記端部側面から放出されるＸ線をＸ線
   源とするＸ線源設定手段、 を備えた端部放出型Ｘ線顕微鏡。