JPH10214583A - 走査形電子顕微鏡 - Google Patents

走査形電子顕微鏡

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JPH10214583A
JPH10214583A JP1668697A JP1668697A JPH10214583A JP H10214583 A JPH10214583 A JP H10214583A JP 1668697 A JP1668697 A JP 1668697A JP 1668697 A JP1668697 A JP 1668697A JP H10214583 A JPH10214583 A JP H10214583A
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JP
Japan
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scanning electron
observation
electron microscope
optical microscope
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JP1668697A
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English (en)
Inventor
Ryuichi Tanaka
隆一 田中
Yuzo Kurome
雄三 黒目
Original Assignee
Hitachi Ltd
株式会社日立製作所
Hitachi Sci Syst:Kk
株式会社日立サイエンスシステムズ
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明の目的は生物試料をその形状変化の低減
化を図りつつ光学顕微鏡観察及び走査形電子顕微鏡観察
により広倍率範囲に亘って効率的に観察することを可能
にするのに適した走査形電子顕微鏡を提供すりことにあ
る。 【解決手段】電子銃2から放出される電子ビ−ムは試料
室1内の試料3に集束される。また、電子ビ−ムは二次
元的に偏向され、それによって試料3は電子ビ−ムによ
って二次元的に走査される。それによって試料3から発
生される二次電子は二次電子検出器4によって検出さ
れ、走査形電子顕微鏡観察のために画像処理装置15に
取り込まれて記憶される。一方、試料ステ−ジ5は試料
室1の壁から取外され、その取外された試料ステ−ジ5
は試料室1の壁に設けられた案内9に沿って移動され、
試料3は光学顕微鏡観察位置21に位置付けられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は走査形電子顕微鏡、
特に光学顕微鏡を有する走査形電子顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】走査形電子顕微鏡の最低観察倍率は15
倍程度である。そのため、それ以下の倍率での像観察は
光学顕微鏡に頼らざるを得ない。一般的には、数百倍以
上の倍率範囲では走査形電子顕微鏡観察が行われ、それ
以下の倍率での像観察には走査形電子顕微鏡とは独立し
た光学顕微鏡が用いられる。すなわち、数百倍以下の倍
率での像観察は走査形電子顕微鏡とは独立した光学顕微
鏡で行い、それ以上の倍率での像観察の場合は試料を走
査形電子顕微鏡の試料室内の試料ステ−ジに移し変え
て、これを走査形電子顕微鏡観察するのが一般的であ
る。
【0003】一方、試料室に光学顕微鏡を設け、この光
学顕微鏡による低倍率像を観察しながら興味ある部分を
探し出し、その部分を高倍率で走査形電子顕微鏡観察す
ることも一般的に行われる。この場合、光学顕微鏡観察
軸が走査形電子顕微鏡観察軸に対して試料上の電子ビ−
ム照射位置において交差するように傾けられているタイ
プのものと、両方の軸が平行なタイプのものとがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】走査形電子顕微鏡では
生物試料を生の状態で観察することが多く行われる。生
物試料の観察は低真空雰囲気中で行われるのが特徴であ
る。その理由は低真空中では生物試料の帯電が少なく、
鮮明な像が得られるためである。帯電が少ないのは、試
料雰囲気ガスが電子ビ−ム衝撃によってイオン化され、
試料表面はそのイオン化によって生成された電子照射に
より負に帯電するが、その負に帯電した試料表面はイオ
ン化によって生成された陽イオンによって中性化される
ためであるとされている。しかし、低真空といえども真
空に変わりはない。生物試料が真空雰囲気中に長時間置
かれると、乾燥によってその形状が損なわれる。したが
って、生物試料が真空に晒される時間はできるだけ短い
方がよい。
【0005】この点から、数百倍以下の倍率での像観察
は走査形電子顕微鏡とは独立した光学顕微鏡で行い、そ
れ以上の倍率での像観察の場合は試料を走査形電子顕微
鏡の試料室内の試料ステ−ジに移し変えて、これを走査
形電子顕微鏡観察することは好ましい。なぜならば、光
学顕微鏡観察は非真空雰囲気中、すなわち大気中、で行
うことができるからである。しかし、この場合は、光学
顕微鏡観察及び走査電子顕微鏡観察による試料の広倍率
範囲に亘る像観察を効率的に行うことが困難である。
【0006】一方、数百倍以上の倍率では走査形電子顕
微鏡観察を行い、それ以下の倍率での観察には走査形電
子顕微鏡の試料室に設けられた光学顕微鏡を用いれば、
光学顕微鏡観察及び走査形電子顕微鏡観察による広範囲
に亘る像観察を効率的に行うことができる。しかし、こ
の場合は、両方の像観察が走査形電子顕微鏡の試料室内
の真空中で行われるため、生物試料の場合、その形状変
形が生じやすいという問題がある。また、この場合は、
試料室が大型化するため、その排気に長時間かかるとい
う問題もある。更に、特に、光学顕微鏡観察中心軸が走
査形電子顕微鏡観察中心軸に対して試料上の電子ビ−ム
照射位置において交差するように傾けられているタイプ
の場合は、光学顕微鏡観察のときと走査形電子顕微鏡観
察のときとで観察角度が異なることから、光学顕微鏡観
察していた部分を倍率を上げながら走査形電子顕微鏡観
察していくと、視野がずれてしまうという問題が起こり
やすい。
【0007】本発明の目的は生物試料をその形状変化の
低減化を図りつつ光学顕微鏡観察及び走査形電子顕微鏡
観察により広倍率範囲に亘って効率的に観察することを
可能にするのに適した走査形電子顕微鏡を提供すること
にある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、試料の観察さ
れるべき部分を真空にされた試料室内の走査形電子顕微
鏡観察位置に位置づけるように前記試料を移動可能に支
持する試料ステ−ジを前記試料室壁に取外し可能に取付
け、前記走査電子顕微鏡観察位置に位置づけられた前記
試料の観察されるべき部分を走査形電子顕微鏡観察する
走査形電子顕微鏡において、前記試料ステ−ジを前記試
料室壁から取外し、その取外された試料ステ−ジを移動
させて、そのステ−ジに支持された試料を前記試料室外
の非真空雰囲気中の光学顕微鏡観察位置に位置づけ得る
ように、前記取外された試料ステ−ジを案内する案内手
段と、前記非真空雰囲気中の光学顕微鏡観察位置におい
て前記観察されるべき部分を光学顕微鏡観察する光学顕
微鏡とを備えていることを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】図1を参照するに、電子銃2から
放出される電子ビ−ムは電子レンズ7によって、真空に
された試料室1内に配置された試料3に集束される。ま
た、試料3を照射する電子ビ−ムは図示が省略されてい
る偏向器によって二次元的に偏向され、そのため試料3
は電子ビ−ムによって二次元的に走査される。それによ
って、試料3からは二次電子が放出され、二次電子検出
器4によって検出される。二次電子検出器4の出力信号
は試料3の観察されるべき部分の走査形電子顕微鏡観察
のために画像処理装置15に取り込まれて記憶される。
その記憶された信号は画像表示装置16に導かれ、該表
示装置には試料3の観察されるべき部分の二次電子像
(走査形電子顕微鏡像)が表示される。
【0010】試料3は試料室1の壁に取外し可能に取付
けられた試料ステ−ジ5に支持されている。試料ステ−
ジ5は試料3の観察されるべき部分を予め定められた位
置すなわち走査形電子顕微鏡観察位置6に位置付けるよ
うに試料3をX及びY方向すなわち水平方向に移動する
ことができるようになっている。試料3はまた、Z方向
すなわち上下方向にも移動可能にされ、更に回転及び傾
斜も可能なるようにされている。これらの駆動は試料ス
テ−ジ5のモ−タを含む駆動機構18によって行われ
る。また、駆動機構18の各駆動用のモ−タはエンコ−
ダ、タコジェネレ−タ等を備えており、これによって各
駆動の位置信号を画像処理装置15に与えるようにして
いる。
【0011】試料ステ−ジ5は試料室1の壁から取外し
て試料室3内を非真空雰囲気である大気圧にすことがで
きるようになっている。取外された試料ステ−ジ5は試
料室1の壁に設けられた案内9に沿って移動され、それ
によって試料は非真空雰囲気中の光学顕微鏡観察位置2
1に位置付け得るようにしている。図2の5aは試料3
が走査形電子顕微鏡観察位置に位置付けられたときの試
料ステ−ジを、5bは試料3が光学顕微鏡観察位置21
に位置付けられたときの試料ステ−ジをそれぞれ示す。
【0012】もちろん、試料ステ−ジ5が5aの位置に
あるときは試料室1は真空排気され得るようになってい
る。ただし、その排気系については図示が省略されてい
る。
【0013】試料ステ−ジ5には光学顕微鏡10が取付
けられ、この光学顕微鏡を用いて光学顕微鏡観察位置2
1において試料3の観察されるべき部分を光学顕微鏡観
察することができる。この光学顕微鏡の光学顕微鏡観察
中心軸11は光学顕微鏡観察位置21を通り、走査形電
子顕微鏡観察位置6を通る走査形電子顕微鏡観察中心軸
8と平行にされている。光学顕微鏡10は試料3の走査
形電子顕微鏡観察されるべき部分を探すための低倍率像
を得るのに用いられ、また、走査電子顕微鏡観察時の倍
率よりも低い倍率で観察するのにも用いられる。
【0014】光学顕微鏡10にはカラ−CCDカメラ1
2が組み込まれている。光学顕微鏡10によって観察さ
れ、その中のカラ−CCDカメラ12によって撮像され
たカラ−光学顕微鏡像信号は画像処理装置15に導かれ
て記憶されると共に、画像表示装置16に表示される。
この光学顕微鏡像は走査型電子顕微鏡像と共に異なる部
分に同時に表示されるようにしてもよいし、同じ部分に
切換えて表示されるようにしてもよい。
【0015】更に、画像処理装置15で、図2に示すよ
うに、走査形電子顕微鏡像をコントラスト情報像とブラ
イトネス情報像に分離してコントラスト情報像(A)の
みを抽出し、更にカラ−光学顕微鏡像をコントラスト情
報像と色彩情報像に分離して色彩情報像(B)のみを抽
出し、抽出されたコントラスト情報像からなる走査形電
子顕微鏡像(A)と色彩情報像からなる光学顕微鏡像
(B)とを合成し、その合成した像(C)を画像表示装
置16に表示するようにしてもよい。これによれば、試
料表面の形態と色の関係が明確となり、画像の認識が格
段と向上する。この場合、走査形電子顕微鏡観察時の倍
率と光学顕微鏡観察時の倍率は同じにされることが望ま
しく、したがって、そのような合成像が得られるのは光
学顕微鏡像が得られる最大倍率までという倍率上の制限
はあるが、さまざまな利用法が期待されている。
【0016】なお、走査形電子顕微鏡像とカラ−光学顕
微鏡像との合成については、日本電子顕微鏡学会第52
回学術講演会予稿集第153頁を参照されたい。
【0017】図3に示すように、光学顕微鏡10はその
軸の回りに回転可能(R)なるようにベ−ス30に取付
けられ、該ベ−スはつなぎ部材31にその中心の回りに
回転可能(T(X))なるように取付けられている。つ
なぎ部材31はその軸方向移動(X)が可能なるように
ベ−ス32に取付けられ、該ベ−スはつなぎ部材33に
その軸方向移動(Y)とその軸の回りでの回転(T
(Y))が可能なるように取付けられている。つなぎ部
材33はベ−ス34に取付けられ、ベ−ス34は試料ス
テ−ジ5に光学顕微鏡10の軸と平行な軸35の回りで
の回転が可能なるように取付けられている。したがっ
て、光学顕微鏡10はその軸の回りでの回転(R)及び
その軸と直交する方向(水平方向)の移動(X、Y)が
可能であるのみならず、光学顕微鏡10の軸すなわち光
学顕微鏡観察中心軸11の任意方位への傾斜(T
(X)、T(Y))の量すなわち走査形電子顕微鏡観察
中心軸8に対する平行度の調整が可能である。もちろ
ん、各部材は当該部材が可動的に結合している他の部材
に最終的にはねじ等により固定されるようになっている
が、その詳細図示は簡単化のために省略されている。
【0018】なお、試料ステ−ジ5を5aの位置に位置
付けるときはその取付けが妨げられないようにベ−ス3
0、32、34及びつなぎ部材31、33は全体的に図
示位置から90度だけ反時計方向に回転される。もちろ
ん、これらの部材は全体的に次の光学顕微鏡観察まで一
時的に試料ステ−ジ5から取外すようにしてもよい。
【0019】平行度調整によって光学顕微鏡の焦点ずれ
が生じた場合のことを考慮して、光学顕微鏡10の対物
レンズは光学顕微鏡10の軸方向に移動調整され得るよ
うになっている。また、光学顕微鏡10の対物レンズを
交換することによって倍率範囲は任意に変えられる。
【0020】図示した実施例では、試料3の観察される
べき部分の光学顕微鏡観察は非真空雰囲気である大気中
で行うことができる。また、試料3の走査形電子顕微鏡
観察と光学顕微鏡観察を行うために試料ステ−ジを案内
9に沿って移動させることにより試料3の観察されるべ
き部分を走査形電子顕微鏡観察位置6及び光学顕微鏡観
察位置21に簡単に位置付けることができる。このた
め、生物試料をその形状変化の低減化を図りつつ光学顕
微鏡観察及び走査形電子顕微鏡観察により広倍率範囲に
亘って効率的に観察することが可能となる。
【0021】光学顕微鏡観察は試料室1外の非真空雰囲
気中で行われる。このため、試料室1の大型化が避けら
れ、その排気時間の短縮化が図られる。また、光学顕微
鏡観察のときと走査形電子顕微鏡観察のときとで観察角
度が同一に調整することができるため、光学顕微鏡観察
していた部分を倍率を上げながら走査形電子顕微鏡観察
していっても、視野ずれが生じない。これは視野探しの
時間短縮に帰着する。更に、試料ステ−ジ5は走査形電
子顕微鏡観察用及び光学顕微鏡観察用として共通である
ため、コスト面でも有利である。
【0022】大形の試料台に多種の試料を載せて順次観
察を行う場合や、大形の試料の様々な部分を順次観察す
る場合がある。この場合は、まず、光学顕微鏡10を用
いてその試料を試料全体が画面に入る倍率で観察し、C
CDカメラ12からの出力信号を倍率等のデータと共に
画像処理装置15に記憶する。このメモリー画像中で観
察場所を指示することにより、画像処理装置15から試
料ステージ5を駆動する信号が出力され、前記指示位置
が光学顕微鏡観察位置21にステージ5を移動させるこ
とにより一致させる。これにより、光学顕微鏡10の対
物レンズを変更し、観察倍率を上げて観察するとき、前
記メモリー画像にて観察位置を指定するだけで、高倍率
での観察位置決めが可能になる。このメモリー画像によ
る位置指定、高倍率観察を繰り返すことにより、大形試
料の観察及び大形試料台上の多数の試料を順次観察する
ための視野探しの時間を大幅に減少させることが可能と
なる。
【0023】更に、低倍率のメモリー画像記憶後、試料
ステージ5を試料室1に取付けて観察することにより、
光学顕微鏡10と同様に、メモリー画像での観察位置指
定による走査形電子顕微鏡の観察位置決めにも使用可能
である。
【0024】これらは試料3の観察されるべき部分を走
査形電子顕微鏡観察位置6及び光学顕微鏡観察位置21
と一致させる手段なしには実現できない。
【0025】
【発明の効果】本発明によれば、生物試料をその形状変
化の低減化を図りつつ光学顕微鏡観察及び走査形電子顕
微鏡観察により広倍率範囲に亘って効率的に観察するこ
とを可能にするのに適した走査形電子顕微鏡が提供され
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による一実施例を示す走査電子顕微鏡の
構成概念図。
【図2】図1の実施例にもとづいて得られる走査形電子
顕微鏡像と光学顕微鏡像との合成画像の例を示す図。
【図3】図1の光学顕微鏡の取付け状態を示す拡大概略
斜視図。
【符号の説明】
1:試料室、2:電子銃、3:試料、4:二次電子検出
器、5:試料ステージ、6:走査形電子顕微鏡観察位
置、7:電子レンズ、8:走査形電子顕微鏡観察中心
軸、9:案内、10:光学顕微鏡、11:光学顕微鏡観
察中心軸、12:光学顕微鏡に組み込まれたCCDカメ
ラ、15:…画像処理装置、16:画像表示装置、3
0、32、34:ベ−ス、31、33:つなぎ部材。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】試料の観察されるべき部分を真空にされた
    試料室内の走査形電子顕微鏡観察位置に位置づけるよう
    に前記試料を移動可能に支持する試料ステ−ジを前記試
    料室壁に取外し可能に取付け、前記走査電子顕微鏡観察
    位置に位置づけられた前記試料の観察されるべき部分を
    走査形電子顕微鏡観察する走査形電子顕微鏡において、
    前記試料ステ−ジを前記試料室壁から取外し、その取外
    された試料ステ−ジを移動させて、そのステ−ジに支持
    された試料を前記試料室外の非真空雰囲気中の光学顕微
    鏡観察位置に位置づけ得るように、前記取外された試料
    ステ−ジを案内する案内手段と、前記非真空雰囲気中の
    光学顕微鏡観察位置において前記観察されるべき部分を
    光学顕微鏡観察する光学顕微鏡とを備えていることを特
    徴とする走査形電子顕微鏡。
  2. 【請求項2】前記光学顕微鏡は前記試料ステ−ジに取付
    けられていることを特徴とする請求項1に記載された走
    査形電子顕微鏡。
  3. 【請求項3】前記走査形電子顕微鏡観察位置における走
    査形電子顕微鏡観察中心軸と前記光学顕微鏡観察位置に
    おける光学顕微鏡観察中心軸との平行度を調整する手段
    を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載さ
    れた走査形電子顕微鏡。
  4. 【請求項4】前記試料の観察されるべき部分の走査形電
    子顕微鏡観察像及び光学顕微鏡観察像を生成し、これら
    の像を合成して表示する手段を備えていることを特徴と
    する請求項1〜3に記載された走査形電子顕微鏡。
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