JPS59108250A - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
- Publication number
- JPS59108250A JPS59108250A JP21817082A JP21817082A JPS59108250A JP S59108250 A JPS59108250 A JP S59108250A JP 21817082 A JP21817082 A JP 21817082A JP 21817082 A JP21817082 A JP 21817082A JP S59108250 A JPS59108250 A JP S59108250A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- aperture
- electron beam
- motor
- converging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査電子顕微鏡やＸ線マイクロアナライザー等
の電子線装置に関する。
の電子線装置に関する。
現在使用されている走査電子顕微鏡やＸ線マイクロアナ
ライザーにおいては、試料照射電流の可変範囲を１０”
Ａ ｍｐから１０（Ａｌ１１程瓜まで確保する必要が
ある。その為、このような装置においては、電子銃と対
物レンズとの間に通常２段の収束レンズを設け、これら
収束レンズの励磁強１哀を変化させて、電子線の拡がり
角の大きさを変化させることにより、絞りを通過して試
料に照射される電子線電流を調節するようにしている。
ライザーにおいては、試料照射電流の可変範囲を１０”
Ａ ｍｐから１０（Ａｌ１１程瓜まで確保する必要が
ある。その為、このような装置においては、電子銃と対
物レンズとの間に通常２段の収束レンズを設け、これら
収束レンズの励磁強１哀を変化させて、電子線の拡がり
角の大きさを変化させることにより、絞りを通過して試
料に照射される電子線電流を調節するようにしている。
ところが、この調節の際に収束レンズを強励磁にづると
、収束レンズ内の電子線は大きく拡がり、収束レンズの
軸に沿って設（プられたライナーチューブ壁面−に衝突
し、多くの散乱電子を発生する。この散乱電子の一部は
対物レンズの絞りを通過して試料に照射され、像質の低
下をもたらすため、従来の電子線装置においては、第１
図に示す構成をとることににす、このような事態を回避
している。
、収束レンズ内の電子線は大きく拡がり、収束レンズの
軸に沿って設（プられたライナーチューブ壁面−に衝突
し、多くの散乱電子を発生する。この散乱電子の一部は
対物レンズの絞りを通過して試料に照射され、像質の低
下をもたらすため、従来の電子線装置においては、第１
図に示す構成をとることににす、このような事態を回避
している。
即ち、第１図に示す如き、第１．第２収束レンズのレン
ズヨーク１、第１．第２収束レンズの励磁コイル部２ａ
、２ｂ、スペーサ３ａ 、３ｂ等からなる収束レンズの
軸に沿って取り付けられたライナーチューブ４の内側に
、絞り保持金具５８゜５ｂによって、固定絞り６．７．
８をスペーサ−９ａ 、’９ｂ 、９ｃを介して取りイ
」す、これら固定絞り６，７．８によって拡がった電子
線をカットして散乱電子線が試料にできるだけ到達しな
いようにしている。
ズヨーク１、第１．第２収束レンズの励磁コイル部２ａ
、２ｂ、スペーサ３ａ 、３ｂ等からなる収束レンズの
軸に沿って取り付けられたライナーチューブ４の内側に
、絞り保持金具５８゜５ｂによって、固定絞り６．７．
８をスペーサ−９ａ 、’９ｂ 、９ｃを介して取りイ
」す、これら固定絞り６，７．８によって拡がった電子
線をカットして散乱電子線が試料にできるだけ到達しな
いようにしている。
しかしながら、このような従来の装置においては以下の
ような欠点がある。
ような欠点がある。
（１）絞りで囲まれた部分が袋状になるため、チコーブ
内の真空度が悪く、絞りやチューブ内壁における］ンタ
ミネーションの成長速度が迷い。その為頻繁なりリーニ
ングが必要となり、装置稼働率が低い。
内の真空度が悪く、絞りやチューブ内壁における］ンタ
ミネーションの成長速度が迷い。その為頻繁なりリーニ
ングが必要となり、装置稼働率が低い。
（２）細くて長いデユープ内に複数の絞りとスペーサー
とを交互に積み重ねて組み立てな（）ればならないため
、精度特に絞り穴の光軸Ｃに対する同心性を出すことが
非常に困難であり、そのため、レンズ強度を変化させた
際に電子線中心が光軸に対して移動し、装置が非常に使
用しにくいものとなる。
とを交互に積み重ねて組み立てな（）ればならないため
、精度特に絞り穴の光軸Ｃに対する同心性を出すことが
非常に困難であり、そのため、レンズ強度を変化させた
際に電子線中心が光軸に対して移動し、装置が非常に使
用しにくいものとなる。
本発明は、このような従来の欠点を解決すべくなされた
もので、電子銃と、該電子銃よりの電子線を収束するた
めの収束レンズと、該収束レンズによって収束された電
子線を細く絞って試料に照射ツるための対物レンズとを
楯１えた装置にＪ３いて、前記電子銃と前記収束レンズ
との間に設（プられその大きさを変化させることのでき
る絞りと、該絞りの大きざを前記対物レンズの励磁強度
に連動して自動的に変化させる手段とを具備することを
特徴としている。
もので、電子銃と、該電子銃よりの電子線を収束するた
めの収束レンズと、該収束レンズによって収束された電
子線を細く絞って試料に照射ツるための対物レンズとを
楯１えた装置にＪ３いて、前記電子銃と前記収束レンズ
との間に設（プられその大きさを変化させることのでき
る絞りと、該絞りの大きざを前記対物レンズの励磁強度
に連動して自動的に変化させる手段とを具備することを
特徴としている。
双手本発明の原理を第２図（ａ）及び第２図（ｂ）に示
づ光線図を用い−Ｃ説明する。
づ光線図を用い−Ｃ説明する。
第２図において、１０は電子銃であり、電子銃１０を出
射した電子線ＥＢは拡がりながら下方に進行し、開口自
動制御絞り１１に射突してそのうちの一部はこの絞りを
通過する。この絞り１１の絞り穴の大ぎさは収束レンズ
の励磁強度と連動して自動的に変化するようになってい
る。即ち、第２図（ａ ）に示ずように、試料照射電流
を犬きくするため収束レンズの励磁を弱くする場合には
、絞りの直径が大きくなり、又、第２しＩ（ｂ）に示す
ように照射電流を小さくするため収束レンズの励磁を強
くする場合には、絞りの直径が小さくなるように制御覆
る。このような構成となせば、間口自動制御絞り１１を
通過した電子線の直径は収束レンズ１２．１３の励磁の
強度に従って変化するが、前述した如く絞り１１の直径
は収束レンズの励磁が弱い場合には大きく、逆に強い揚
台には小さくな→ように制御されるので、電子線はライ
ナーデユープ１４の壁面に釘突Ｊることはない。
射した電子線ＥＢは拡がりながら下方に進行し、開口自
動制御絞り１１に射突してそのうちの一部はこの絞りを
通過する。この絞り１１の絞り穴の大ぎさは収束レンズ
の励磁強度と連動して自動的に変化するようになってい
る。即ち、第２図（ａ ）に示ずように、試料照射電流
を犬きくするため収束レンズの励磁を弱くする場合には
、絞りの直径が大きくなり、又、第２しＩ（ｂ）に示す
ように照射電流を小さくするため収束レンズの励磁を強
くする場合には、絞りの直径が小さくなるように制御覆
る。このような構成となせば、間口自動制御絞り１１を
通過した電子線の直径は収束レンズ１２．１３の励磁の
強度に従って変化するが、前述した如く絞り１１の直径
は収束レンズの励磁が弱い場合には大きく、逆に強い揚
台には小さくな→ように制御されるので、電子線はライ
ナーデユープ１４の壁面に釘突Ｊることはない。
収束レンズ系を出射した電子線は対物絞り１５により最
終的にその直径を制限されＩＣ後、対物レンズ１６によ
って試料１７上にフォーカスされる。
終的にその直径を制限されＩＣ後、対物レンズ１６によ
って試料１７上にフォーカスされる。
上で説明した原理が実現し得るものであることを、以下
に説明する。
に説明する。
通常の収束レンズ系にＪ３いては、第１．第２の収束レ
ンズ１２．１３の焦点距ｆｆ１ｆ＋、ｆ２はレンズ電源
を共通の単一電源で済ませるため連動しており、従って
両者はｆ 、 ＝ｋｔ’２という関係で結びつけられる
。ここで、ｋは第２収束レンズ１３とクロスオーバー像
間の距離ｂ２の変化を小さくするため通常１以上にとら
れている。このような系においては、開口自動制御絞り
１１から対物レンズ絞り１５０間で電子線の１所面の直
１そが最大となるのは、第２図（ａ ）の場合には第１
収束レンズ１３の中心である。又、同図（ｂ’）の場合
には対物絞り１５上である。そこで、第１収束レンズ１
２の中心及び対物レンズ絞り１５上における電子線断面
の半径を各々ｄａ、ｄｂ、ライナーチューブの半径をＤ
灸とすると、電子線がライナーチューブ壁面に衝突しな
いためにｔｉｔ、レンズ系の全可変範囲に渡ってｄａ＜
Ｄｃ且つｄｂ＜Ｄｉであれば良いことが明らかである。
ンズ１２．１３の焦点距ｆｆ１ｆ＋、ｆ２はレンズ電源
を共通の単一電源で済ませるため連動しており、従って
両者はｆ 、 ＝ｋｔ’２という関係で結びつけられる
。ここで、ｋは第２収束レンズ１３とクロスオーバー像
間の距離ｂ２の変化を小さくするため通常１以上にとら
れている。このような系においては、開口自動制御絞り
１１から対物レンズ絞り１５０間で電子線の１所面の直
１そが最大となるのは、第２図（ａ ）の場合には第１
収束レンズ１３の中心である。又、同図（ｂ’）の場合
には対物絞り１５上である。そこで、第１収束レンズ１
２の中心及び対物レンズ絞り１５上における電子線断面
の半径を各々ｄａ、ｄｂ、ライナーチューブの半径をＤ
灸とすると、電子線がライナーチューブ壁面に衝突しな
いためにｔｉｔ、レンズ系の全可変範囲に渡ってｄａ＜
Ｄｃ且つｄｂ＜Ｄｉであれば良いことが明らかである。
とこ−ろで、第１収束レンズと絞り１１の距離は小さい
ため間口自動制御絞り１１の穴径をｌ） ｃとり−ると
ｄａ！ｌ）ｃと見なして良く、従ってｄａ＜Ｄｃなる条
件はＤｃの最大値をＤｉより充分小ざく設定１′ること
により容易に満たづことができる。そこで、もう一方の
条件であるｄｂ＜ＤＱを渦たし得ることについて説明づ
る。
ため間口自動制御絞り１１の穴径をｌ） ｃとり−ると
ｄａ！ｌ）ｃと見なして良く、従ってｄａ＜Ｄｃなる条
件はＤｃの最大値をＤｉより充分小ざく設定１′ること
により容易に満たづことができる。そこで、もう一方の
条件であるｄｂ＜ＤＱを渦たし得ることについて説明づ
る。
対物絞り１５の半径をＤＯ１電子銃１０の輝度を８１第
２収束レンズ１３ににつて形成されるクロスオーバー像
の半径をｄ２、第２収束レンズ１３ど対物絞り１５間の
距離を１、第２収束レンス゛１３とこのレンズによって
形成されるクロス７ｔ −バー像間の距離を１）２とり
ると、対物絞り１５を通過Ｊる電子線電流１は となる。ところ−Ｃ，第１．第２収東レンズ１２゜１３
の倍率ｍ１．ｍ２とすると、第２収束レンズによ−って
形成されるクロスオーバー像の半径ｄ２は電子銃のクロ
スオーバー半径ｄＣを用いて、ｄ ２ ＝ｍ ＩＩＩＩ
２ ｄ Ｃ と表されるため、前記■は以下のように書きかえ但し、
１−は電子銃と対物絞り間の距“姉である。
２収束レンズ１３ににつて形成されるクロスオーバー像
の半径をｄ２、第２収束レンズ１３ど対物絞り１５間の
距離を１、第２収束レンス゛１３とこのレンズによって
形成されるクロス７ｔ −バー像間の距離を１）２とり
ると、対物絞り１５を通過Ｊる電子線電流１は となる。ところ−Ｃ，第１．第２収東レンズ１２゜１３
の倍率ｍ１．ｍ２とすると、第２収束レンズによ−って
形成されるクロスオーバー像の半径ｄ２は電子銃のクロ
スオーバー半径ｄＣを用いて、ｄ ２ ＝ｍ ＩＩＩＩ
２ ｄ Ｃ と表されるため、前記■は以下のように書きかえ但し、
１−は電子銃と対物絞り間の距“姉である。
又、この式は第１．第２収束レンズをオフにした時に対
物絞り１５を３ｉＥ＋８”４る電流ＩＯを用（１て以下
のように古きかえられる。
物絞り１５を３ｉＥ＋８”４る電流ＩＯを用（１て以下
のように古きかえられる。
一方対物絞り１５に黒用される電子線Ｅ［３の半径ｄｂ
は電子銃１０と開口自動制御絞り１１間のと表せる。従
って上記（３） （４） ＪＫＪ−ｊつしＣＬ；Ｌ以
下のように書き換えられる。
は電子銃１０と開口自動制御絞り１１間のと表せる。従
って上記（３） （４） ＪＫＪ−ｊつしＣＬ；Ｌ以
下のように書き換えられる。
従つ（、先のｄｂ＜ｌ）文なる条イ１（よａ、 ＝ −
Ｖ″Ｔ″Ｄｃ ’ ０４−’−（θ １ と占ぎ換えられる。
Ｖ″Ｔ″Ｄｃ ’ ０４−’−（θ １ と占ぎ換えられる。
最近の走査電子顕微鏡あるｌ／１（ま×銭Ｉマイク］」
アナライザーにｄづいては、Ｆフ’Ｉｏｌ基、１０Ｉ）
＼ら１／１００まで約３桁にわたる可変化１１１１をイ
ｊりる。
アナライザーにｄづいては、Ｆフ’Ｉｏｌ基、１０Ｉ）
＼ら１／１００まで約３桁にわたる可変化１１１１をイ
ｊりる。
従ッテ、ｄｂを一定とＪるＪｚうなりｃのｔｌｒｌｌ
ｉｌｌを１１あうとすれば、Ｄａの可変範囲ｂ ３１ｉ
になり実現（ま困難になる。そこで、ｄｂを−５１と′
？Ｉ−ることなく、ｄｂをｒの増加と共（こｌｊ 真因
（こ減少づるようにＪれば、Ｄｃの可変範囲を２４行（
呈１■（こ１〔（１えることができる。例えばΩ；／Ｌ
＝１／３で、□ａカ３ ｍｍヨＶ）僅かに大きい装＠（
こｉＪ３１７）で、ｆ「ワ２〒１−一１０のときｄ ｂ
＝０．３ｍｍを許し１コｌＦｒ、Ｄｃ＝ｉｍｌｎｒあ
り、又ｍ＝１／１００のとき（Ｉｂ＝ ３ ｍｍまで許
したとすれば、Ｄｃ＝１０μｍとなるから、Ｄｃに要求
される可変範囲は１０ｆｚＩＩＩから１１１Ｉｍとなる
ため、開口自動制御絞り１１の絞りの大きさを機械的に
変化ざＵ゛ることが製作上充分可能であることが分る。
ｉｌｌを１１あうとすれば、Ｄａの可変範囲ｂ ３１ｉ
になり実現（ま困難になる。そこで、ｄｂを−５１と′
？Ｉ−ることなく、ｄｂをｒの増加と共（こｌｊ 真因
（こ減少づるようにＪれば、Ｄｃの可変範囲を２４行（
呈１■（こ１〔（１えることができる。例えばΩ；／Ｌ
＝１／３で、□ａカ３ ｍｍヨＶ）僅かに大きい装＠（
こｉＪ３１７）で、ｆ「ワ２〒１−一１０のときｄ ｂ
＝０．３ｍｍを許し１コｌＦｒ、Ｄｃ＝ｉｍｌｎｒあ
り、又ｍ＝１／１００のとき（Ｉｂ＝ ３ ｍｍまで許
したとすれば、Ｄｃ＝１０μｍとなるから、Ｄｃに要求
される可変範囲は１０ｆｚＩＩＩから１１１Ｉｍとなる
ため、開口自動制御絞り１１の絞りの大きさを機械的に
変化ざＵ゛ることが製作上充分可能であることが分る。
又、このときｄｃは０゜３ｍｍから３ｍｍまで変化づ−
るが、ｄ Ｃが最小の０゜３１１ｍの場合でもその大き
さは、通常の対物絞りの半径の約３ （ｇあるから、レ
ンズ強度の切換えに伴う電子線の移動を前向しても、電
子線の照剣領戚から対物絞りの絞り穴が外れる恐れは無
い。Ｄｃの上限と下限の値は上述のように定まるが、≠
二Σ１ｏの中間の値に対してＤｃの値をどのようにとる
かは任意性があるので、最も簡単（＝実現できるものが
グアましい。
るが、ｄ Ｃが最小の０゜３１１ｍの場合でもその大き
さは、通常の対物絞りの半径の約３ （ｇあるから、レ
ンズ強度の切換えに伴う電子線の移動を前向しても、電
子線の照剣領戚から対物絞りの絞り穴が外れる恐れは無
い。Ｄｃの上限と下限の値は上述のように定まるが、≠
二Σ１ｏの中間の値に対してＤｃの値をどのようにとる
かは任意性があるので、最も簡単（＝実現できるものが
グアましい。
第３図は、このような原理に見づく本発明の一実施例を
説明づ−るためのもので、この図において第１図及び第
２図と同一の構成要素に対しては同一番月が付されてい
る。同図において、１１は前述した開口自動制御絞りで
あり、この絞り１１はモータ１８によりその絞り穴の大
きさを変えられるようになっている。間口自動制谷０絞
り１１を更に詳細に示したちの１）（、第４図である。
説明づ−るためのもので、この図において第１図及び第
２図と同一の構成要素に対しては同一番月が付されてい
る。同図において、１１は前述した開口自動制御絞りで
あり、この絞り１１はモータ１８によりその絞り穴の大
きさを変えられるようになっている。間口自動制谷０絞
り１１を更に詳細に示したちの１）（、第４図である。
冨３４図（こ’６−Ｉいて、２１ａ 、２１ｂ ｌまガ
イ１シ゛レール２３ａ。
イ１シ゛レール２３ａ。
２３１〕に治って移動でさるように保持さ４ｔノこ一ス
４の遮蔽板であり、この遮蔽板の各々に（よ３角状の切
り欠き２４ａ、２４ｂが設りられており、これらが車ね
合されて矩形の絞り穴２５が形成される。
４の遮蔽板であり、この遮蔽板の各々に（よ３角状の切
り欠き２４ａ、２４ｂが設りられており、これらが車ね
合されて矩形の絞り穴２５が形成される。
口れら遮蔽板２１ａ、２１ｂはバネ２２【こまって互い
（こ引き含ねされていると共に、こ＋しら遮１反２１ａ
、２１ｂの端帽コ設りられたチー１＜ ？ｔｌＳ ２
６ａ、２６１１こは駆動棒２７が接触し−ｃ Ｊ３つ、
この駆動棒の挿入量に従って、絞り穴２５の人８″さが
制御されるようになっている。第３図（こＪ３（プるモ
ータ１８はこの駆動棒２Ｇを移動りるｌこめの動力源と
して働く。第３図に戻って、１９（まモータの回転を制
御うるためのモータ制御電源である。
（こ引き含ねされていると共に、こ＋しら遮１反２１ａ
、２１ｂの端帽コ設りられたチー１＜ ？ｔｌＳ ２
６ａ、２６１１こは駆動棒２７が接触し−ｃ Ｊ３つ、
この駆動棒の挿入量に従って、絞り穴２５の人８″さが
制御されるようになっている。第３図（こＪ３（プるモ
ータ１８はこの駆動棒２Ｇを移動りるｌこめの動力源と
して働く。第３図に戻って、１９（まモータの回転を制
御うるためのモータ制御電源である。
２０は第１．第２の収束レンズの励磁強度を１ｌｌＪ管
ＩＩリ−るためのレンズ電源であり、このレンズ電源（
よれるようになっている。レンズ電源２０よりのこに供
給されており、このモータ制御電源１９は調節ノブ２０
ａの切換えに基づくレンズ電源２０の出力信相の変化に
連動してモータ１８を回転さ駄、前記絞り穴２５の大ぎ
さが以下の式を渦づように制御覆る。
ＩＩリ−るためのレンズ電源であり、このレンズ電源（
よれるようになっている。レンズ電源２０よりのこに供
給されており、このモータ制御電源１９は調節ノブ２０
ａの切換えに基づくレンズ電源２０の出力信相の変化に
連動してモータ１８を回転さ駄、前記絞り穴２５の大ぎ
さが以下の式を渦づように制御覆る。
但し、Ａ、ＢはＤａが上述したような上限値及びＦ限値
をどる際に、第（６）式を）６１すように定められる定
数て・ある。この式を第（５）式に代入どなり、ｄｂが
’ＦＴ７Ｔ７ の増加と共に単調に減少するという先
に示した条件を満すことが明らかである。
をどる際に、第（６）式を）６１すように定められる定
数て・ある。この式を第（５）式に代入どなり、ｄｂが
’ＦＴ７Ｔ７ の増加と共に単調に減少するという先
に示した条件を満すことが明らかである。
このＪ：うな構成となせは、操作者が試料に照ｑ］され
る電子線電流を変化させるため、調節ノブ２０ａを操作
してＷフ］−の値を切換えると、モータ制御電源′１９
に供給される信号値が変化するため、この変化に連動し
てモータ制御電源１９よりモータ１８を所定量回転させ
るための制御信号が供給され、その結果モータ１８が回
転して駆動棒２７が所定量挿１１）１され、絞り穴２５
の人きざは第（７）式のように変化する。このようにし
−Ｃ１試オ′３１に照射される電子線電流の大ぎさを自
由に調節覆ることが（゛きるが、本発明の装置において
は、ライナーチコーブ内の固定絞りを除くことができる
ため、以下のような効果を有している。
る電子線電流を変化させるため、調節ノブ２０ａを操作
してＷフ］−の値を切換えると、モータ制御電源′１９
に供給される信号値が変化するため、この変化に連動し
てモータ制御電源１９よりモータ１８を所定量回転させ
るための制御信号が供給され、その結果モータ１８が回
転して駆動棒２７が所定量挿１１）１され、絞り穴２５
の人きざは第（７）式のように変化する。このようにし
−Ｃ１試オ′３１に照射される電子線電流の大ぎさを自
由に調節覆ることが（゛きるが、本発明の装置において
は、ライナーチコーブ内の固定絞りを除くことができる
ため、以下のような効果を有している。
（１）チ１−ブ内を１ｖ力真空に保つことができるため
、コンタミネーションの発生を抑えることができる。従
って、クリーニング頻度を大幅に減らずことができる。
、コンタミネーションの発生を抑えることができる。従
って、クリーニング頻度を大幅に減らずことができる。
（２）排気経路に袋部がなくなったため、全鏡１；；１
内の真空度を高めることができる。
内の真空度を高めることができる。
（３）固定絞りの偏心によるレンズ電流切換え時の電子
線中心軸の移動を無くすことができるため、操作性を向
上させることができる。
線中心軸の移動を無くすことができるため、操作性を向
上させることができる。
（４）使用されない電子線の大部分を、電子銃の直下に
配置された開口自動制御絞りで取り除いてしまうため、
散乱電子線が試料照射電子線に混入する割合を飛躍的に
少くできるので、像質を飛躍的に向上させることができ
る。
配置された開口自動制御絞りで取り除いてしまうため、
散乱電子線が試料照射電子線に混入する割合を飛躍的に
少くできるので、像質を飛躍的に向上させることができ
る。
（５）対物絞りに照射される電子線電流を大幅に少くす
ることができる。従って、対物絞りから発生し試料に照
射されるＸ線を少なくできるため、電子線の照射に基づ
いて試料がら発生ずるＸ線を検出して、Ｘ線分析する際
の分析精度を向上させることができる。
ることができる。従って、対物絞りから発生し試料に照
射されるＸ線を少なくできるため、電子線の照射に基づ
いて試料がら発生ずるＸ線を検出して、Ｘ線分析する際
の分析精度を向上させることができる。
尚、上）ホした実施例においては、開口自動制御絞りと
し−Ｃ１２枚の遮蔽板の距離を変化させて、絞り穴の大
ぎざを調節するものを用いたが、例えば、イの各々が幅
が連続的に変化Ｊるドーナツ状のスリブ１〜を右づる２
枚の遮蔽円板を、各スリットの交差する部分によって絞
り穴が形成されるように取り付（プ、これら遮蔽円板を
回転させて絞り穴の大ぎさを調節覆る型のものを用いて
も良い。
し−Ｃ１２枚の遮蔽板の距離を変化させて、絞り穴の大
ぎざを調節するものを用いたが、例えば、イの各々が幅
が連続的に変化Ｊるドーナツ状のスリブ１〜を右づる２
枚の遮蔽円板を、各スリットの交差する部分によって絞
り穴が形成されるように取り付（プ、これら遮蔽円板を
回転させて絞り穴の大ぎさを調節覆る型のものを用いて
も良い。
第１図は、従）１（の一実施例を説明づるための図、第
２Ｎ−）及び第２図（ｂ）は本発明の詳細な説明Ｊるた
めの光線図、第３図は、本発明の一実施例を説明りるた
めの図、第４図は、聞［１自動制御絞りを詳細に説明す
るための図である。 １：レンズヨーク、２ａ、２ｂ：励磁コイル部、３ａ、
３ｂ、９ａ、９ｂ、９ｃ ニスペーサ−１４゜１４ニ
ライナーデユープ、５ａ 、 ５ｂ ：絞り保持金具、
６．７，８．：固定絞り、１０：電子銃、１１：開口自
動制御絞り、１２．１３：集束レンズ、１５：対物絞り
、１６：対物レンズ、１７：試料、１８：モータ、１９
：モータ制御型ｊｌｊｌｊ、２０：レンズ電源、２０ａ
：調節ノブ、２１ａ、２１ｂ：遮蔽板、２２：バネ、
２３ａ 、２３１＋ ： ガイドＬ／−ル、２４ａ 、
２４ｂ ：切り欠き、２５：校り穴、２６ａ 、２６ｂ
：テーパ一部、２７：駆動棒。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊Ｉｉｐ −人 第１図 ｔｂ
２Ｎ−）及び第２図（ｂ）は本発明の詳細な説明Ｊるた
めの光線図、第３図は、本発明の一実施例を説明りるた
めの図、第４図は、聞［１自動制御絞りを詳細に説明す
るための図である。 １：レンズヨーク、２ａ、２ｂ：励磁コイル部、３ａ、
３ｂ、９ａ、９ｂ、９ｃ ニスペーサ−１４゜１４ニ
ライナーデユープ、５ａ 、 ５ｂ ：絞り保持金具、
６．７，８．：固定絞り、１０：電子銃、１１：開口自
動制御絞り、１２．１３：集束レンズ、１５：対物絞り
、１６：対物レンズ、１７：試料、１８：モータ、１９
：モータ制御型ｊｌｊｌｊ、２０：レンズ電源、２０ａ
：調節ノブ、２１ａ、２１ｂ：遮蔽板、２２：バネ、
２３ａ 、２３１＋ ： ガイドＬ／−ル、２４ａ 、
２４ｂ ：切り欠き、２５：校り穴、２６ａ 、２６ｂ
：テーパ一部、２７：駆動棒。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊Ｉｉｐ −人 第１図 ｔｂ
Claims (1)
- 電子銃と、該電子銃よりの電子線を収束するための収束
レンズと、該収束レンズによって収束された電子線を細
く絞って試料に照ｌＪＪづるための対物レンズとを備え
た装置において、前記電子銃と前記収束レンズとの間に
設（プられその大ぎざを変化させることのできる絞りと
、該絞りの大きさを前記対物レンズの励磁強庶に連動し
て自動的に変化させる手段とを具面することを特徴とす
る電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21817082A JPS59108250A (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21817082A JPS59108250A (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 電子線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59108250A true JPS59108250A (ja) | 1984-06-22 |
Family
ID=16715720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21817082A Pending JPS59108250A (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59108250A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02100252A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-12 | Jeol Ltd | 電子線装置における開き角制御装置 |
| JPH02210745A (ja) * | 1988-08-04 | 1990-08-22 | Electroscan Corp | 電子スプレー開口円板 |
| JP2016004733A (ja) * | 2014-06-19 | 2016-01-12 | 株式会社島津製作所 | 電子ビーム装置並びに電子ビーム装置の制御装置及び制御方法 |
-
1982
- 1982-12-13 JP JP21817082A patent/JPS59108250A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02210745A (ja) * | 1988-08-04 | 1990-08-22 | Electroscan Corp | 電子スプレー開口円板 |
| JPH02100252A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-12 | Jeol Ltd | 電子線装置における開き角制御装置 |
| JP2016004733A (ja) * | 2014-06-19 | 2016-01-12 | 株式会社島津製作所 | 電子ビーム装置並びに電子ビーム装置の制御装置及び制御方法 |
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