JPH055352U - セラミツクス製定盤への移動用金枠の固定構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 セラミックス製定盤１１の周囲に配設される
移動用金枠１２の固定構造において、セラミックス製定
盤１１の周辺部に切欠き１１ａ、１１ｂが形成され、切
欠き１１ａ、１１ｂに金枠１２を構成する上枠１２ａと
下枠１２ｂが当接し、これら上枠１２ａ、下枠１２ｂ及
びセラミックス製定盤１１を締結する締結具１３がセラ
ミックス製定盤１１の周辺部に複数個配設されているセ
ラミックス製定盤１１の移動用金枠１２の固定構造。 【効果】 加熱、冷却を繰り返しても、エポキシ樹脂系
接着剤２４を使用していないのでエポキシ樹脂系接着剤
２４の劣化を引き起こすことがなく、固定構造が確実に
維持され、セラミックス製定盤１１が移動用金枠２２か
らはずれて落下し、セラミックス製定盤１１が破損する
といったことは起こらず、かつウェハに傷がついたりす
ることも防止することができ、セラミックス製定盤１１
への移動用金枠１２の固定構造の寿命を長くすることが
できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はセラミックス製定盤への移動用金枠の固定構造、より詳細にはシリコ ンやガリウム砒素ウェハの表面研磨の際に使用されるセラミックス製定盤の周囲 に配設される移動用金枠の固定構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来からシリコンウェハ等のラッピング研磨はセラミックス製の定盤上で行な われており、ウェハは前記定盤上に低融点ワックスによって固定されている。従 って、ウェハの前記定盤上への固定、研磨等の加工及び前記定盤からの取りはず しのためには前記定盤を電熱ヒータ側から研磨装置側へ、あるいは逆に移動され る必要があり、その移動のために、図３に示したように、セラミックス製定盤２ １に移動用の金枠２２が取り付けられる。

【０００３】 円板形状のセラミックス製定盤２１の側面には複数個の凹部２１ａが形成され ており、セラミックス製定盤２１の周辺部には断面形状略コの字状の移動用の金 枠２２が配設されている。また、金枠２２にはセラミックス製定盤２１の凹部２ １ａと重なり合う部分に孔２２ａが形成されており、セラミックス製定盤２１の 凹部２１ａ及び金枠２２と接触するセラミックス製定盤２１の側面とにエポキシ 樹脂系接着剤２４が配置され、セラミックス製定盤２１と金枠２２とは複数個の ネジ２３とエポキシ樹脂系接着剤系接着剤２４とによって締結されている。なお 、金枠２２はロボットによるセラミックス製定盤２１の移動のために用いられる ものである。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上記したセラミックス製定盤２１への移動用金枠２２の固定構造においては、 セラミックス製定盤２１と金枠２２との締結にエポキシ樹脂系接着剤２４が使用 されており、加熱、冷却の繰り返しによりエポキシ樹脂系接着剤２４が劣化する こととなる。このため、劣化したエポキシ樹脂系接着剤２４の破片が研磨加工中 の製品に入り込み製品に傷を付けるという課題があった。

【０００５】 また、エポキシ樹脂系接着剤２４の劣化により金枠２２からセラミックス製定 盤２１がはずれて、ロボットで移動中にセラミックス製定盤２１が落下し、セラ ミックス製定盤２１及びセラミックス製定盤２１に固定されているシリコンウェ ハ等が破損するという課題もあった。

【０００６】 本考案はこのような課題に鑑み考案されたものであって、エポキシ樹脂系接着 剤の劣化によるセラミックス製定盤の破損が防止され、かつウェハの傷や破損を 防止することができるようなセラミックス製定盤への移動用金枠の固定構造を提 供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために本考案に係るセラミックス製定盤への移動用金枠の 固定構造は、セラミックス製定盤の周囲に配設される移動用金枠の固定構造にお いて、前記セラミックス製定盤の周辺部に切欠きが形成され、該切欠きに前記金 枠を構成する上枠と下枠とが当接し、これら上枠、下枠及び前記セラミックス製 定盤を締結する締結具が前記セラミックス製定盤の周辺部に複数個配設されてい ること特徴としている。

【０００８】

【作用】

上記した構成によれば、セラミックス製定盤の周囲に配設される移動用金枠へ の固定構造において、前記セラミックス製定盤の周辺部に切欠きが形成され、該 切欠きに前記金枠を構成する上枠と下枠とが当接し、これら上枠、下枠及び前記 セラミックス製定盤を締結する締結具がセラミックス製定盤の周辺部に複数個配 設されており、従来のようにエポキシ樹脂系接着剤を使用していないので、加熱 、冷却を繰り返しても、エポキシ樹脂系接着剤の劣化を引き起こすことがなく、 従ってエポキシ樹脂系接着剤の劣化により前記金枠から前記セラミック製定盤が はずれてしまうといったことも起こらず、前記セラミックス製定盤やウェハの破 損が防止され、かつ劣化樹脂片によるウェハの傷も防止される。

【０００９】

【実施例】

以下、本考案に係るセラミックス製定盤への移動用金枠の固定構造の実施例を 図面に基づいて説明する。 図１は本考案に係るセラミックス製定盤への移動用金枠の固定構造を示した概 略断面図、図２は平面図であり、図中１１は肉厚円板状のセラミックス製定盤を 示している。セラミックス製定盤１１の周辺部には全周にわたり切欠き１１ａ、 １１ｂが形成され、さらに所定間隔ごとに複数個の孔１１ｃ、本実施例では８個 の孔１１ｃが形成されている。また、これら切欠き１１ａ、１１ｂには金枠１２ を構成する複数個の孔１２ｃ及びネジ孔１２ｄが形成された上枠１２ａと下枠１ ２ｂとが当接しており、上枠１２ａ及び下枠１２ｂがセラミックス製定盤１１に ネジ１３のネジ孔１２ｄへの螺合によって固定されている。なお、上枠１２ａ、 下枠１２ｂ及びセラミックス製定盤１１の固定は図２に示したように、セラミッ クス製定盤１１の表側からと裏側からとのネジ１３の挿入方向を一つおきにする ことにより、より安定したものとなる。また、上枠１２ａ、下枠１２ｂ及びセラ ミックス製定盤１１の固定はネジ１３のネジ孔１２ｄへの螺合により行なったが 、ネジ１３のみに限定されることはなく、ボルト、ナットあるいはその他のネジ １３以外の締結具をもちいることも可能である。

【００１０】 このように構成されたセラミックス製定盤１１への移動用金枠１２の固定構造 を使用した場合、加熱、冷却の繰り返しを１００回行なってもセラミックス製定 盤１１への移動用金枠１２の固定構造には何の変化も見られず、引き続いて使用 することができた。

【００１１】 一方、エポキシ樹脂系接着剤２４を用いた従来のセラミックス製定盤２１の移 動用金枠２２の固定構造では、上記実施例と同じ条件で加熱、冷却の繰り返しを ２５回行なうことにより、エポキシ樹脂系接着剤２４が劣化し、移動用金枠２２ がゆるんで取り替えが必要となった。

【００１２】 このように上記実施例に係る固定構造では、加熱、冷却を繰り返しても、エポ キシ樹脂系接着剤２４を使用していないのでエポキシ樹脂系接着剤２４の劣化を 引き起こすことがなく、固定構造が確実に維持され、セラミックス製定盤１１が 移動用金枠２２からはずれて落下し、セラミックス製定盤１１が破損するといっ たことは起こらず、かつウェハに傷がついたりすることも防止することができ、 セラミックス製定盤１１への移動用金枠１２の固定構造の寿命を長くすることが できる。

【００１３】

【考案の効果】

以上詳述したように本考案に係るセラミックス製定盤への移動用金枠の固定構 造にあっては、セラミックス製定盤の周囲に配設される移動用金枠の固定構造に おいて、前記セラミックス製定盤の周辺部に切欠きが形成され、該切欠きに前記 金枠を構成する上枠と下枠とが当接し、これら上枠、下枠及び前記セラミックス 製定盤を締結する締結具が前記セラミックス製定盤の周辺部に複数個配設されて いるので、加熱、冷却を繰り返しても、エポキシ樹脂系接着剤を使用していない のでエポキシ樹脂系接着剤の劣化を引き起こすことがなく、固定構造が確実に維 持され、セラミックス製定盤が移動用金枠からはずれて落下し、セラミックス製 定盤が破損するといったことは起こらず、かつウェハに傷がついたりすることも 防止することができ、セラミックス製定盤への移動用金枠の固定構造の寿命を長 くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るセラミックス製定盤への移動用金
枠の固定構造の実施例を示す概略断面図である。

【図２】セラミックス製定盤への移動用金枠の固定構造
を示した平面図である。

【図３】従来のセラミックス製定盤への移動用金枠の固
定構造を示す概略断面図である。

【符号の説明】

１１ セラミックス製定盤 １１ａ、１１ｂ 切欠き １２ 金枠 １２ａ 上枠 １２ｂ 下枠 １３ ネジ（締結具）

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 セラミックス製定盤の周囲に配設される
   移動用金枠の固定構造において、前記セラミックス製定
   盤の周辺部に切欠きが形成され、該切欠きに前記金枠を
   構成する上枠と下枠とが当接し、これら上枠、下枠及び
   前記セラミックス製定盤を締結する締結具が前記セラミ
   ックス製定盤の周辺部に複数個配設されていることを特
   徴とするセラミックス製定盤への移動用金枠の固定構
   造。