JPH0627953Y2 - Ｉｃ用ボート - Google Patents
Ｉｃ用ボートInfo
- Publication number
- JPH0627953Y2 JPH0627953Y2 JP1988153413U JP15341388U JPH0627953Y2 JP H0627953 Y2 JPH0627953 Y2 JP H0627953Y2 JP 1988153413 U JP1988153413 U JP 1988153413U JP 15341388 U JP15341388 U JP 15341388U JP H0627953 Y2 JPH0627953 Y2 JP H0627953Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- boat
- wafer supporting
- scale
- fixing plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 イ．産業上の利用分野 本考案はＩＣ用ボートに関するものである。
ロ．従来の技術 従来、ＩＣ用ボートとしてはキャリアーボートとマザー
ボートがあり、多数のウエハーを収納するため、多数の
溝を設けたウエハー支持杆を平行上に且つ断面船底型に
配置し両端を固定板に固定しているのがキャリアーボー
トで、マザーボートにはウエハー支持杆の変わりに単な
る支持杆を用いてある。然してＩＣ加工に際して、高温
及び各種薬品使用のため、耐熱性、耐薬品性の材料が要
求され、且つその寸法も高精度が求められているため、
高純度石英硝子が一般的に使用されている。然も変形を
避け、精度を高めるため、全ての部分を熔着固定してい
る。
ボートがあり、多数のウエハーを収納するため、多数の
溝を設けたウエハー支持杆を平行上に且つ断面船底型に
配置し両端を固定板に固定しているのがキャリアーボー
トで、マザーボートにはウエハー支持杆の変わりに単な
る支持杆を用いてある。然してＩＣ加工に際して、高温
及び各種薬品使用のため、耐熱性、耐薬品性の材料が要
求され、且つその寸法も高精度が求められているため、
高純度石英硝子が一般的に使用されている。然も変形を
避け、精度を高めるため、全ての部分を熔着固定してい
る。
ハ．解決すべき問題点 石英硝子は、耐熱性、耐薬品性は極めて優れているが、
エッチング、洗浄による摩耗、高温による変形は避けら
れず、又耐衝撃性には多少問題がある。殊に、多数の支
持溝形成部は極めて薄く形成されるため、破損すること
は避けられない。然るに、ウエハー製造に於いて、ウエ
ハーはキャリアーボートごと又は、さらにマザーボート
に載せ製造装置に装着されるため、その一部でも破損す
ると、製造課程に於いて使用される薬品の流れ、加熱温
度にむらが出て、均質な加工が妨げられる虞れがある。
従って、その一部でも破損があれば、ボートとして使用
できないので、破棄しなければならない。石英硝子は、
その加工が困難であり、且つ材料も高価であるので、ボ
ートも極めて高価なものとなり、その破棄による経済的
損失は非常に大きい。
エッチング、洗浄による摩耗、高温による変形は避けら
れず、又耐衝撃性には多少問題がある。殊に、多数の支
持溝形成部は極めて薄く形成されるため、破損すること
は避けられない。然るに、ウエハー製造に於いて、ウエ
ハーはキャリアーボートごと又は、さらにマザーボート
に載せ製造装置に装着されるため、その一部でも破損す
ると、製造課程に於いて使用される薬品の流れ、加熱温
度にむらが出て、均質な加工が妨げられる虞れがある。
従って、その一部でも破損があれば、ボートとして使用
できないので、破棄しなければならない。石英硝子は、
その加工が困難であり、且つ材料も高価であるので、ボ
ートも極めて高価なものとなり、その破棄による経済的
損失は非常に大きい。
ニ．問題点を解決するための手段 そこで本考案に於ては、耐熱、耐薬品性を有する石英硝
子、シリコンカーバイド、窒化シリコン等を使用し、簡
単容易に組み立てできる構成と為し、一部破損の場合に
は、その部分の部品のみを容易に取り替え出来る様に
し、極めて高価なボートの破棄を回避し経済的損失を防
ぐと共に各部分品の一括生産により、生産コストの低減
を計れる外、熔着の如き面倒な組立加工を要さず、簡単
に組立出来るようにしたもので、ウエハー支持杆、固定
板、補強板、適宜の目盛を設けた目盛棒を夫々耐熱、耐
薬品性材にて別個に形成し、前記ウエハー支持杆は両端
に挿通部を形成し、前記固定板に設けた挿通孔に挿通さ
せると共に、前記固定板の前記挿通孔外側に設けた透孔
に前記目盛棒の係合部を挿通させ、係止部にて固定させ
る一方、前記目盛棒に適宜数の前記補強板を挿通させ且
つ前記補強板に前記ウエハー支持杆を係止させたことを
特徴とする ホ．実施例 以下図に示すキャリアーボートの一実施例により本考案
を詳細に説明する。１はウエハー支持杆で、丸棒乃至角
棒状に形成し、多数の支持溝１１、１１・・・・を適宜
間隔に窄設してある。該支持溝１１はウエハー２が挿入
される巾とし、その間隔はウエハー２及加工法により定
められる。又、ウエハー支持杆１の両端にはやや細くし
た挿通部１２、１２を設けてある。又場合により挿通部
１２の先端に螺子部を設ける場合もある。マザーボート
の場合、ウエハー支持杆１は単なる丸棒乃至角棒で支持
溝を必要としない。３は固定板で、下部に脚部３１、３
１、上部には把持部３２を設けてある外、前記挿通部１
２、１２・・・の挿通孔３３、３３・・・・を窄設して
ある。該挿通孔３３、３３・・・は固定板３を貫通して
もよいし、しなくてもよい。該挿通孔３３、３３・・
は、ウエハー２を数点で支える舟底型に配置するのがよ
い。３４、３４は目盛棒４の両端に設けた係合部として
の螺子部４１、４１の挿通部で、固定板３の外側下方に
設けてある。目盛棒４は適宜の目盛４２、４２・・・を
刻設乃至マークしてあり、キャリー移動の際の感知マー
クとして使用される。５は補強板で、目盛棒４の挿通部
５１、５１及ウエハー支持杆１の係合孔５２、５２を設
け、挿通部５１にはテーパーピン５３の挿入孔が設けら
れている。６は係止部としてのナットであるが、係止部
は係合部の型に応じ例えば係止部が透孔であれば、ピン
を用いることができる。以上の各部品は石英硝子、シリ
コンカーバイド、窒化シリコン、高純度アルミナ、シリ
コンカーバイドを石英硝子にて被覆したもの等が使用さ
れる。
子、シリコンカーバイド、窒化シリコン等を使用し、簡
単容易に組み立てできる構成と為し、一部破損の場合に
は、その部分の部品のみを容易に取り替え出来る様に
し、極めて高価なボートの破棄を回避し経済的損失を防
ぐと共に各部分品の一括生産により、生産コストの低減
を計れる外、熔着の如き面倒な組立加工を要さず、簡単
に組立出来るようにしたもので、ウエハー支持杆、固定
板、補強板、適宜の目盛を設けた目盛棒を夫々耐熱、耐
薬品性材にて別個に形成し、前記ウエハー支持杆は両端
に挿通部を形成し、前記固定板に設けた挿通孔に挿通さ
せると共に、前記固定板の前記挿通孔外側に設けた透孔
に前記目盛棒の係合部を挿通させ、係止部にて固定させ
る一方、前記目盛棒に適宜数の前記補強板を挿通させ且
つ前記補強板に前記ウエハー支持杆を係止させたことを
特徴とする ホ．実施例 以下図に示すキャリアーボートの一実施例により本考案
を詳細に説明する。１はウエハー支持杆で、丸棒乃至角
棒状に形成し、多数の支持溝１１、１１・・・・を適宜
間隔に窄設してある。該支持溝１１はウエハー２が挿入
される巾とし、その間隔はウエハー２及加工法により定
められる。又、ウエハー支持杆１の両端にはやや細くし
た挿通部１２、１２を設けてある。又場合により挿通部
１２の先端に螺子部を設ける場合もある。マザーボート
の場合、ウエハー支持杆１は単なる丸棒乃至角棒で支持
溝を必要としない。３は固定板で、下部に脚部３１、３
１、上部には把持部３２を設けてある外、前記挿通部１
２、１２・・・の挿通孔３３、３３・・・・を窄設して
ある。該挿通孔３３、３３・・・は固定板３を貫通して
もよいし、しなくてもよい。該挿通孔３３、３３・・
は、ウエハー２を数点で支える舟底型に配置するのがよ
い。３４、３４は目盛棒４の両端に設けた係合部として
の螺子部４１、４１の挿通部で、固定板３の外側下方に
設けてある。目盛棒４は適宜の目盛４２、４２・・・を
刻設乃至マークしてあり、キャリー移動の際の感知マー
クとして使用される。５は補強板で、目盛棒４の挿通部
５１、５１及ウエハー支持杆１の係合孔５２、５２を設
け、挿通部５１にはテーパーピン５３の挿入孔が設けら
れている。６は係止部としてのナットであるが、係止部
は係合部の型に応じ例えば係止部が透孔であれば、ピン
を用いることができる。以上の各部品は石英硝子、シリ
コンカーバイド、窒化シリコン、高純度アルミナ、シリ
コンカーバイドを石英硝子にて被覆したもの等が使用さ
れる。
その組立および使用方法について説明すれば、固定板３
の挿通孔３３・・・にウエハー支持杆１、１・・・の挿
通部１２、１２・・を挿入する。一方、目盛棒４、４を
その螺子部４１、４１により固定板３の挿通部３４、３
４に挿通させ外側より螺通したナット６、６により固定
する。目盛棒４には、補強板５、５がその挿通部５１、
５１により挿通保持され、その底部５５は固定板３の脚
部３１、３１と同一面にある如く形成してある。又、補
強板５、５に設けられた係合孔５２、５２には、ウエハ
ー支持杆１、１・・が係合支承されている。次いで、ウ
エハー支持杆１、１・・及目盛棒４、４の他端を前記と
同様に他の固定板３の挿通孔３３、３３・・・及挿通部
３４、３４に挿入及挿通し、目盛棒４、４の係合部とし
ての螺子部４１、４１を係止部としてのナット６、６に
より締め付け固定させ形成させる。この際、ウエハー支
持杆１、１の支持溝１１、１１はウエハー２が円形なら
ば、その円形に対応する円上に配置され、且つ全ての支
持溝１１、１１・・・が平行で、然も対応する支持溝１
１、１１・・は同一平面上に配置される必要がある。
の挿通孔３３・・・にウエハー支持杆１、１・・・の挿
通部１２、１２・・を挿入する。一方、目盛棒４、４を
その螺子部４１、４１により固定板３の挿通部３４、３
４に挿通させ外側より螺通したナット６、６により固定
する。目盛棒４には、補強板５、５がその挿通部５１、
５１により挿通保持され、その底部５５は固定板３の脚
部３１、３１と同一面にある如く形成してある。又、補
強板５、５に設けられた係合孔５２、５２には、ウエハ
ー支持杆１、１・・が係合支承されている。次いで、ウ
エハー支持杆１、１・・及目盛棒４、４の他端を前記と
同様に他の固定板３の挿通孔３３、３３・・・及挿通部
３４、３４に挿入及挿通し、目盛棒４、４の係合部とし
ての螺子部４１、４１を係止部としてのナット６、６に
より締め付け固定させ形成させる。この際、ウエハー支
持杆１、１の支持溝１１、１１はウエハー２が円形なら
ば、その円形に対応する円上に配置され、且つ全ての支
持溝１１、１１・・・が平行で、然も対応する支持溝１
１、１１・・は同一平面上に配置される必要がある。
その使用方法はウエハー２、２・・・を、ウエハー支持
溝１１、１１・・・に挿通支承させ、キャリアーごと製
造装置に装着するものである。
溝１１、１１・・・に挿通支承させ、キャリアーごと製
造装置に装着するものである。
ヘ考案の作用及効果 上記の如き本考案によれば、ウエハー支持杆、固定板、
補強板、適宜の目盛を設けた目盛棒を夫々耐熱、耐薬品
性材にて別個に形成し、前記ウエハー支持杆は両端に挿
通部を形成し、前記固定板に設けた挿通孔に挿通させる
と共に、前記固定板の前記挿通孔外側に設けた透孔に前
記目盛棒の係合部を挿通させ、係止部にて固定させる一
方、前記目盛棒に適宜数の前記補強板を挿通させ且つ前
記補強板に前記ウエハー支持杆を係止させたので、一部
を破損した場合、一方の固定板側のナットの螺脱によ
り、支持杆その他の部品を容易に差し替え、且つ容易に
復元させることができる。従って破損し易いウエハー支
持杆の損傷の際にも、キャリアー全体を破棄する必要な
く、一部のみ取り替えにより、再び組立使用することが
でき、経済上の利益は極めて大である。
補強板、適宜の目盛を設けた目盛棒を夫々耐熱、耐薬品
性材にて別個に形成し、前記ウエハー支持杆は両端に挿
通部を形成し、前記固定板に設けた挿通孔に挿通させる
と共に、前記固定板の前記挿通孔外側に設けた透孔に前
記目盛棒の係合部を挿通させ、係止部にて固定させる一
方、前記目盛棒に適宜数の前記補強板を挿通させ且つ前
記補強板に前記ウエハー支持杆を係止させたので、一部
を破損した場合、一方の固定板側のナットの螺脱によ
り、支持杆その他の部品を容易に差し替え、且つ容易に
復元させることができる。従って破損し易いウエハー支
持杆の損傷の際にも、キャリアー全体を破棄する必要な
く、一部のみ取り替えにより、再び組立使用することが
でき、経済上の利益は極めて大である。
第一図は本考案一実施例斜面図、第二図は同上一部拡大
分解斜面図、第三図は同上他実施例斜面である。
分解斜面図、第三図は同上他実施例斜面である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭53−148283（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−4227（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−42833（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−23731（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】ウエハー支持、固定板、補強板、適宜の
目盛を設けた目盛棒を夫々耐熱、耐薬品性材にて別個に
形成し、前記ウエハー支持杆は両端に挿通部を形成し、
前記固定板に設けた挿通孔に挿通させると共に、前記固
定板の前記挿通孔外側に設けた透孔に前記目盛棒の係合
部を挿通させ、係止部にて固定させる一方、前記目盛棒
に適宜数の前記補強板を挿通させ且つ前記補強板に前記
ウエハー支持杆を係止させたことを特徴とするＩＣ用ボ
ート。 - 【請求項２】ウエハー支持杆の適宜数の挿通部に係合部
を設け、固定板外側から係止部により締着したことを特
徴とする請求項１に記載のＩＣ用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988153413U JPH0627953Y2 (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | Ｉｃ用ボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988153413U JPH0627953Y2 (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | Ｉｃ用ボート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02104630U JPH02104630U (ja) | 1990-08-20 |
| JPH0627953Y2 true JPH0627953Y2 (ja) | 1994-07-27 |
Family
ID=31429231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988153413U Expired - Fee Related JPH0627953Y2 (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | Ｉｃ用ボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0627953Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7450646B2 (ja) * | 2020-02-07 | 2024-03-15 | 京セラ株式会社 | ウェハーボート |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53148283A (en) * | 1977-05-30 | 1978-12-23 | Toshiba Ceramics Co | Silicon wafer jig |
| JPS5920629U (ja) * | 1982-07-30 | 1984-02-08 | 株式会社テクニスコ | 拡散治具 |
| JPS5923731U (ja) * | 1982-08-05 | 1984-02-14 | 株式会社テクニスコ | 拡散治具 |
| JPS5940443U (ja) * | 1982-09-08 | 1984-03-15 | 三井造船株式会社 | 赤道リング建造用吊足場 |
| JPS614227A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-10 | Sharp Corp | ウエハ−ボ−ト位置検出方式 |
| JPS6142833U (ja) * | 1984-08-21 | 1986-03-19 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置用ウエハ保持具 |
| JPS63228636A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-09-22 | Toshiba Corp | ウエハ移載装置 |
-
1988
- 1988-11-25 JP JP1988153413U patent/JPH0627953Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02104630U (ja) | 1990-08-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI93177B (fi) | Kiinnityslaite työstökoneessa työstettäviä työkappaleita varten sekä kiinnityslista | |
| FI93178C (fi) | Laite työkappaleen kiinnittämiseksi asemaltaan määritellysti työstöpöydälle | |
| ITVE970023A1 (it) | Dispositivo di marcatura amovibile per stampi | |
| JPH0627953Y2 (ja) | Ｉｃ用ボート | |
| JPH0249341A (ja) | 粒子ビームリトグラフイ装置 | |
| KR100291048B1 (ko) | 가진시험기장착용지그 | |
| US5282221A (en) | High temperature heating element standoff | |
| JP3479201B2 (ja) | 組立式ウエハ用ボート及びその取付治具 | |
| US6940533B2 (en) | Thermal print head alignment method and apparatus | |
| KR100189960B1 (ko) | 반도체 제작용 베이킹용 케리어 | |
| US3860229A (en) | Register pin unit | |
| JPH01317581A (ja) | 篩振盪器における篩固定装置 | |
| JP3568017B2 (ja) | ウエハボート | |
| JPS6125960Y2 (ja) | ||
| KR920002196Y1 (ko) | 봉상 소재 브레이징용 지그 | |
| GB2330099A (en) | Crystallization grain selection device for use in casting monocrystalline components | |
| WO1990008022A1 (en) | Exchangeable mould | |
| KR20010067190A (ko) | 웨이퍼 보우트 및 웨이퍼 보우트를 이용한 열 처리 장치 | |
| JPS6223086Y2 (ja) | ||
| JPH04203996A (ja) | センサアレイ | |
| US2624096A (en) | Adjustable wale construction for septic tank forms | |
| JPH0314048Y2 (ja) | ||
| JPH118203A (ja) | ウエハボート | |
| JPH079374Y2 (ja) | ウエハ支持具 | |
| US3208152A (en) | Gaging device for electrolysis cell |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |