JPH079285A

JPH079285A - シリコン母材の組立接続方法

Info

Publication number: JPH079285A
Application number: JP18006793A
Authority: JP
Inventors: Chieko Maehara; 智恵子前原
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1993-06-24
Filing date: 1993-06-24
Publication date: 1995-01-13

Abstract

(57)【要約】【目的】高温処理用の装置、設備に、高純度のシリコ
ンを使用するために、シリコン母材の部分を構成するシ
リコン部品を、精度よく組立接続すること。【構成】装置、設備に必要とするシリコン母材の部分
を、全て部品で構成し、それぞれの部品に、ボルトのた
めのバカ穴、あるいは、ナットのための受け穴をあける
事により、各部品を同じシリコン製のボルト、ナットで
接続し、組み立てる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、高純度材料の熱処理に
使用される装置、設備を構成する部品として好適なシリ
コン母材の組立接続方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体産業等では、高純度材料を
１０００℃以上の高温で熱処理することを必要とする工
程が数多く使われる様になって来た。これらには、石英
ガラス、カーボランダム（ＳｉＣ）等が使われ、それな
りの材能を発揮している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、熱処理工程に
おいては、金属不純物、特に、アルカリ金属類による炉
内雰囲気の汚染が大きな問題になっている。天然石英ガ
ラスは、各種の金属不純物を含有するが、それらの含有
不純物の除去が十分にできず、それらの金属不純物が石
英ガラスから拡散し、炉内雰囲気を汚染する。合成石英
ガラスは、不純物は少ないが、高価であり、高温におい
て容易に変形する。また、ＳｉＣ質セラミックは、Ｓｉ
Ｃ質焼結体の表面に、この基体からの不純物の拡散を防
止するために、ＣＶＤ法によるＳｉＣ膜を形成している
が、基体とＳｉＣ膜との微妙な熱膨張の差により、高温
処理の熱サイクルにおいて、ＳｉＣ膜に微細な亀裂が入
りやすく、亀裂が入るとＳｉＣ膜が破損して、基体から
不純物が拡散する等の問題がある。

【０００４】これらの問題から、高純度の新しい材料と
して、シリコンが期待されているが、シリコンは、極め
て硬く脆い材質であるから、随意の形状加工が出来ず、
これまで対象から外されていた。

【０００５】本発明は、装置、設備の必要とするところ
に、高純度のシリコンを使用するために、シリコン母材
の部分を構成するシリコン部品を、精度よく組立接続す
る方法を提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、装置、設備に必要とするシリコン母材の
部分を、全て部品で構成し、それぞれの部品に、ボルト
のためのバカ穴、あるいは、ナットのための受け穴（ミ
ゾ又はピット）をあける事により、各部品を同じシリコ
ン製のボルト、ナットで接続し、組み立てるものであ
る。

【０００７】

【実施例】組立接続方法を実施例により説明する。図１
は、シリコン基材１に、シリコン部材２を差し込んで立
て、それをボルト５で固定したところの断面図である。
最初に、シリコン基材１に、シリコン部材２を差し込ん
で立てるための部材用穴３と、ナットを取り付けるため
のミゾ又はピット（ナット受け穴）４をあける。ミゾ又
はピット４は、シリコン部材２を固定できるだけの幅を
残して、部材用穴３に並んであける。部材用穴３は、シ
リコン部材２を固定するのに十分な深さにする。また、
シリコン部材２がガタなく固定するように、部材用穴３
の幅は、シリコン部材２の厚さにあった幅にする。ミゾ
又はピット４は、ボルト、ナットをはめたり、外したり
できる広さがあり、ボルト、ナットが入り込んでしまう
深さにする。

【０００８】そして、シリコン基材１とシリコン部材２
に、ボルト５を通すためのバカ穴７，８をあける。バカ
穴７、８は、ボルト、ナットが、ミゾ又はピットに入り
込んでしまう深さのところにあける。

【０００９】次に、シリコン部材２を、シリコン基材１
の部材用穴３に差し込んで立て、そして、同通するバカ
穴７，８にボルト５を通し、ナット６で締めて、シリコ
ン部材２を、シリコン基材１に固定する。

【００１０】図２は、シリコン板９に、シリコン柱12を
差し込んで立て、それをボルト13で固定したところの斜
視図である。最初に、シリコン板９に、シリコン柱12を
差し込んで立てるための部材用穴10と、ピット（ナット
受け穴）11をあける。そして、シリコン板９とシリコン
柱12に、ボルト13を通すためのバカ穴をあける。次に、
シリコン柱12を、シリコン板９の部材用穴10に差し込ん
で立て、そして、ボルト13をバカ穴に通し、ナット14で
締めて、シリコン柱12を、シリコン板９に固定する。

【００１１】図３は、シリコンブロック15に、シリコン
板18を差し込んで立て、それを２本のボルト19で固定し
たところの斜視図である。最初に、シリコンブロック15
に、シリコン板18を差し込んで立てるための部材用穴16
と、ナットを受けるためのミゾ17をあける。そして、シ
リコンブロック15とシリコン板18に、ボルト19を通すた
めのバカ穴２個をあける。次に、シリコン板18を、シリ
コンブロック15の部材用穴16に差し込んで立て、そし
て、２本のボルト19を各々のバカ穴に通し、ナット20で
締めて、シリコン板18を、シリコンブロック15に固定す
る。

【００１２】図１は、シリコン部材２を、部材用穴３に
差し込んで固定した場合であるが、図４のように、シリ
コン基材１に、シリコン部材２を固定できるだけの間隔
（幅）を置いて、２個のミゾ又はピット４を並べてあ
け、シリコン部材２を、一方のミゾ又はピット４に入れ
て立て、ボルト５をバカ穴７、８に通し、ナット６で締
めて、シリコン部材２を、シリコン基材１に固定するこ
ともできる。

【００１３】また、シリコン基材１のバカ穴８は、上側
の穴側面を開放にして、ボルトを上からはめるようにす
ることもできる。同様に、シリコン部材２のバカ穴７
は、穴側面の一部を開放にして、ボルトを横（側面）か
らはめるようにすることもできる。

【００１４】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
組み立てられているので、以下の様な効果がある。シリ
コン母材にミゾ又はピットをあけて、ボルトとナットで
接続し、固定することにより、装置、設備を精度よく組
立できる。

【００１５】シリコン母材を、ボルトとナットで接続し
組み立てることにより、シリコンブロック、シリコン
板、シリコン柱等の簡単な形状の部品で構成できるの
で、各々の部品を容易に精度よく加工し、製作できる。

【００１６】各々の構成部品は、簡単な形状をしている
ことにより、部品製作時、あるいは、定期洗浄等におい
ても、容易に洗浄ができ、高純度の部品とすることがで
きる。

【００１７】ミゾ又はピット（ナット受け穴）をあけ
て、ナットでボルトを締めることにより、ボルトを締め
るためのメクラ孔がないので、定期洗浄等においても、
洗浄が容易で高純度を維持できる。

【００１８】そして、定期洗浄等において、分解組立を
繰り返しても、メクラ孔がバカになるようなこともな
く、その都度、ナットでボルトをしっかりと締めること
ができるので、いつも装置、設備を精度よく再組立でき
る。

【００１９】シリコン製のボルトとナットで組み立てる
ことにより、構成部品とボルト、ナットが同一材質で、
熱変化に対する膨張係数に差がないので、高温処理の熱
サイクルを繰り返し掛けても、装置、設備に組立ガタが
出ない。

【００２０】ボルト、ナットは、ミゾ又はピットに入り
込んで取り付けるので、ボルト、ナットの一部がシリコ
ン基材の表面に飛び出さず、シリコン基材の表面を平に
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】シリコン基材にシリコン部材を接続した実施例
を示す断面図である。

【図２】シリコン板にシリコン柱を接続した実施例を示
す斜視図である。

【図３】シリコンブロックにシリコン板を接続した実施
例を示す斜視図である。

【図４】シリコン基材にシリコン部材を接続した別の実
施例を示す断面図である。

【符号の説明】

１シリコン基材２シリコン部材９、18 シリコン板 12 シリコン柱 15 シリコンブロック５、13、19 ボルト６、14、20 ナット３、10、16 部材用穴４、11、17 ミゾ又はピット７、８ばか穴

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】装置、設備を構成するシリコン製部品の
組立に、同材質のシリコン製ボルト、ナットを用いるた
めに、部品には、あらかじめ、ミゾ又はピットの加工を
施し、これを活用、同通するバカ穴をあけ、上記ボル
ト、ナットにて締め組み立てるシリコン母材の組立接続
方法。