JP7130536B2 - 試料保持具 - Google Patents
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Description
前記セラミック体は、前記支持ピンが挿入される貫通孔を複数有しており、
該貫通孔は、
前記セラミック体の径方向に伸びた形状であり、
前記セラミック体の中心側に、前記支持ピンの中心と前記セラミック体の中心を結ぶ直線に垂直な直線部と、該直線部に続く両側に丸みを帯びた角部とを有し、
前記セラミック体の平面視において、前記セラミック体の中心に対して点対称に位置している部分を有することを特徴とする。
前記セラミック体は、前記支持ピンが挿入される貫通孔を複数有しており、
該貫通孔は、
前記セラミック体の径方向に伸びた形状であり、
前記セラミック体の中心側に、前記支持ピンの中心と前記セラミック体の中心を結ぶ直線に垂直な直線部と、該直線部に続く両側に丸みを帯びた角部とを有し、
前記セラミック体の平面視において、前記セラミック体の中心に対して点対称に位置している部分を有することを特徴とする。
2 発熱抵抗体
3 ベースプレート
4 支持部材
5A,6A,6B 支持ピン
10,20,30 試料保持具
A 固定ピン
Claims (3)
- 円板状のセラミック体と、
該セラミック体の内部または一方の主面に位置する発熱抵抗体と、
前記セラミック体の前記一方の主面に対向して位置するベースプレートと、
該ベースプレートに固定され前記セラミック体を支持する支持部材と、
前記ベースプレートに固定された複数の支持ピンと、を備えており、
前記セラミック体は、前記支持ピンが挿入される貫通孔を複数有しており、
該貫通孔は、
前記セラミック体の径方向に伸びた形状であり、
前記セラミック体の中心側に、前記支持ピンの中心と前記セラミック体の中心を結ぶ直線に垂直な直線部と、該直線部に続く両側に丸みを帯びた角部とを有し、
前記セラミック体の平面視において、前記セラミック体の中心に対して点対称に位置している部分を有することを特徴とする試料保持具。 - 円板状のセラミック体と、
該セラミック体の内部または一方の主面に位置する発熱抵抗体と、
前記セラミック体の前記一方の主面に対向して位置するベースプレートと、
該ベースプレートに固定され前記セラミック体を支持する支持部材と、
前記支持部材に固定された複数の支持ピンと、を備えており、
前記セラミック体は、前記支持ピンが挿入される貫通孔を複数有しており、
該貫通孔は、
前記セラミック体の径方向に伸びた形状であり、
前記セラミック体の中心側に、前記支持ピンの中心と前記セラミック体の中心を結ぶ直線に垂直な直線部と、該直線部に続く両側に丸みを帯びた角部とを有し、
前記セラミック体の平面視において、前記セラミック体の中心に対して点対称に位置している部分を有することを特徴とする試料保持具。 - 前記貫通孔は、前記セラミック体の側面に開口する切り欠きであることを特徴とする請求項1または2に記載の試料保持具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018225130A JP7130536B2 (ja) | 2018-11-30 | 2018-11-30 | 試料保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018225130A JP7130536B2 (ja) | 2018-11-30 | 2018-11-30 | 試料保持具 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020088327A JP2020088327A (ja) | 2020-06-04 |
JP7130536B2 true JP7130536B2 (ja) | 2022-09-05 |
Family
ID=70908949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018225130A Active JP7130536B2 (ja) | 2018-11-30 | 2018-11-30 | 試料保持具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
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Families Citing this family (2)
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CN115055305B (zh) * | 2022-07-05 | 2023-06-27 | 青岛凯瑞电子有限公司 | 一种陶瓷金属外壳镀金控制设备 |
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JP2004327079A (ja) | 2003-04-21 | 2004-11-18 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 燃料電池 |
JP2006231784A (ja) | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Tdk Corp | 樹脂成形品 |
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-
2018
- 2018-11-30 JP JP2018225130A patent/JP7130536B2/ja active Active
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