JP2020088327A - 試料保持具 - Google Patents
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Abstract
Description
前記セラミック体は、前記支持ピンが挿入される貫通孔を有しており、該貫通孔が、前記セラミック体の径方向に伸びた形状であることを特徴とする。
前記セラミック体は、前記支持ピンが挿入される貫通孔を有しており、該貫通孔が、前記セラミック体の径方向に伸びた形状であることを特徴とする。
2 発熱抵抗体
3 ベースプレート
4 支持部材
5A,6A,6B 支持ピン
10,20,30 試料保持具
A 固定ピン
Claims (5)
- 円板状のセラミック体と、
該セラミック体の内部または一方の主面に位置する発熱抵抗体と、
前記セラミック体の前記一方の主面に対向して位置するベースプレートと、
該ベースプレートに固定され前記セラミック体を支持する支持部材と、
前記ベースプレートに固定された複数の支持ピンと、を備えており、
前記セラミック体は、前記支持ピンが挿入される貫通孔を有しており、
該貫通孔が、前記セラミック体の径方向に伸びた形状であることを特徴とする試料保持具。 - 円板状のセラミック体と、
該セラミック体の内部または一方の主面に位置する発熱抵抗体と、
前記セラミック体の前記一方の主面に対向して位置するベースプレートと、
該ベースプレートに固定され前記セラミック体を支持する支持部材と、
前記支持部材に固定された複数の支持ピンと、を備えており、
前記セラミック体は、前記支持ピンが挿入される貫通孔を有しており、
該貫通孔が、前記セラミック体の径方向に伸びた形状であることを特徴とする試料保持具。 - 前記貫通孔は、前記セラミック体の側面に開口する切り欠きであることを特徴とする請求項1または2に記載の試料保持具。
- 前記貫通孔の外周は、角部が丸みをおびていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の試料保持具。
- 前記貫通孔の外周は、前記支持ピンの中心と前記セラミック体の中心との間の部位において、前記支持ピンの中心と前記セラミック体の中心を結ぶ直線に垂直な直線部を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の試料保持具。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2018
- 2018-11-30 JP JP2018225130A patent/JP7130536B2/ja active Active
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