JP3167301B1 - ウェーハボートおよびウェーハボートを用いた熱処理装置 - Google Patents
ウェーハボートおよびウェーハボートを用いた熱処理装置Info
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- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【要約】
【課題】 ウェーハの口径が増大した場合であっても、
既存の工具を用いることができ、組み立て誤差が減少
し、かつ廉価な価格のウェーハボートおよびウェーハボ
ートを用いた熱処理装置を提供する。 【解決手段】 ウェーハ保持部５のボート支柱３への取
付を脱着可能とすることにより、ウェーハボートを精度
を要するウェーハ保持部３と比較的精度を要しないウェ
ーハボートの本体とに分割することができる。この結
果、ウェーハボートの製造工程を簡略化することができ
るため、大口径化したウェーハに対しても既存の製造設
備と技術とを用いてウェーハボートを製作することがで
きる。したがってウェーハボートの製作費用として、新
規な設備のための費用または開発のための費用をかけな
くても済むため、廉価なウェーハボートを製作すること
ができる。
既存の工具を用いることができ、組み立て誤差が減少
し、かつ廉価な価格のウェーハボートおよびウェーハボ
ートを用いた熱処理装置を提供する。 【解決手段】 ウェーハ保持部５のボート支柱３への取
付を脱着可能とすることにより、ウェーハボートを精度
を要するウェーハ保持部３と比較的精度を要しないウェ
ーハボートの本体とに分割することができる。この結
果、ウェーハボートの製造工程を簡略化することができ
るため、大口径化したウェーハに対しても既存の製造設
備と技術とを用いてウェーハボートを製作することがで
きる。したがってウェーハボートの製作費用として、新
規な設備のための費用または開発のための費用をかけな
くても済むため、廉価なウェーハボートを製作すること
ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハボートに
関し、特に半導体基板（ウェーハ）を搭載して縦型熱処
理炉に挿入する際に用いられるウェハボートに関する。
関し、特に半導体基板（ウェーハ）を搭載して縦型熱処
理炉に挿入する際に用いられるウェハボートに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＭＯＳＬＳＩまたはバイポーラＬＳＩ等
の半導体装置は、酸化工程、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）工程または拡散
工程等の多くの熱処理工程を経て製造される。その際、
ヒータと反応管とを縦に配置した縦型半導体熱処理装置
を使用する場合、ウェーハは石英またはＳｉＣウェーハ
ボート（ｗａｆｅｒ ｂｏａｔ）に搭載されて縦型熱処
理装置の反応管内に挿入される。
の半導体装置は、酸化工程、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）工程または拡散
工程等の多くの熱処理工程を経て製造される。その際、
ヒータと反応管とを縦に配置した縦型半導体熱処理装置
を使用する場合、ウェーハは石英またはＳｉＣウェーハ
ボート（ｗａｆｅｒ ｂｏａｔ）に搭載されて縦型熱処
理装置の反応管内に挿入される。
【０００３】図７は、従来のウェーハボートを示す。図
７において、符号２はウェーハボートの底板、７はウェ
ーハボートの天板、３は底板２と天板７とに溶着された
支柱、９はウェーハ、４は支柱３に形成されたウェーハ
９を保持するためのウェーハ支持フィンである。ウェー
ハ９の直径は約３００ｍｍであり、このウェーハ９に対
応する石英製ウェーハボートのウェーハ支持フィン４同
士の間隔Ａは、従来の熱処理装置の場合、約８ｍｍない
し１８ｍｍとなっている。ウェーハボートの高さＢは各
縦型半導体熱処理装置の均熱ゾーンに対応して、約７８
５ｍｍないし９４５ｍｍとなっている。従来のウェーハ
ボートを構成する支柱３、ウェーハ支持フィン４、天板
７および底板２は分離不能な一体型として製作されてい
た。
７において、符号２はウェーハボートの底板、７はウェ
ーハボートの天板、３は底板２と天板７とに溶着された
支柱、９はウェーハ、４は支柱３に形成されたウェーハ
９を保持するためのウェーハ支持フィンである。ウェー
ハ９の直径は約３００ｍｍであり、このウェーハ９に対
応する石英製ウェーハボートのウェーハ支持フィン４同
士の間隔Ａは、従来の熱処理装置の場合、約８ｍｍない
し１８ｍｍとなっている。ウェーハボートの高さＢは各
縦型半導体熱処理装置の均熱ゾーンに対応して、約７８
５ｍｍないし９４５ｍｍとなっている。従来のウェーハ
ボートを構成する支柱３、ウェーハ支持フィン４、天板
７および底板２は分離不能な一体型として製作されてい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】Ｓｉウェーハの大きさ
は近年の半導体製造技術の進歩と共に大きくなってき
た。従来はウェーハ９の直径が２００ｍｍであったもの
が、最近では３００ｍｍになり、さらに研究段階のウェ
ーハでは４００ｍｍの大きさのウェーハもある。これら
の大口径化したウェーハに対応するウェーハボートを作
成する場合、既存の製造装置または検査装置では対応で
きなくなり、新たな製造装置等のために新たな投資が必
要となる。さらに、ウェーハボートを構成する材料もよ
り多く必要となるという問題があった。
は近年の半導体製造技術の進歩と共に大きくなってき
た。従来はウェーハ９の直径が２００ｍｍであったもの
が、最近では３００ｍｍになり、さらに研究段階のウェ
ーハでは４００ｍｍの大きさのウェーハもある。これら
の大口径化したウェーハに対応するウェーハボートを作
成する場合、既存の製造装置または検査装置では対応で
きなくなり、新たな製造装置等のために新たな投資が必
要となる。さらに、ウェーハボートを構成する材料もよ
り多く必要となるという問題があった。
【０００５】ウェーハの大口径化に対応した縦型熱処理
装置用のウェーハボートもウェーハの口径に応じて大き
くなった。縦型熱処理装置の場合、ウェーハボートの部
材は石英またはＳｉＣを用いる場合が多いため、これら
の材料の使用量も増加した。さらに、成形するための工
具も今までより大きくてかつ高精度な工具が要求される
ようになったため、組み立て誤差の増加、ウェーハボー
トの価格の増大および半導体装置の製造コストの上昇を
招くという問題があった。
装置用のウェーハボートもウェーハの口径に応じて大き
くなった。縦型熱処理装置の場合、ウェーハボートの部
材は石英またはＳｉＣを用いる場合が多いため、これら
の材料の使用量も増加した。さらに、成形するための工
具も今までより大きくてかつ高精度な工具が要求される
ようになったため、組み立て誤差の増加、ウェーハボー
トの価格の増大および半導体装置の製造コストの上昇を
招くという問題があった。
【０００６】そこで、本発明の目的は、上記問題を解決
するためになされたものであり、ウェーハの口径が増大
した場合であっても、既存の工具を用いることができ、
組み立て誤差が減少し、かつ廉価な価格のウェーハボー
トおよびウェーハボートを用いた熱処理装置を提供する
ことにある。
するためになされたものであり、ウェーハの口径が増大
した場合であっても、既存の工具を用いることができ、
組み立て誤差が減少し、かつ廉価な価格のウェーハボー
トおよびウェーハボートを用いた熱処理装置を提供する
ことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明のウェーハボー
トは、ウェーハを熱処理装置へ挿入する際にウェーハを
搭載するウェーハボートであって、ウェーハボートを支
えるウェーハボート支柱部と、前記ウェーハボート支柱
部に掛合い部を用いることにより脱着可能に取りつけら
れたウェーハを保持するウェーハ保持部とを備えたもの
である。
トは、ウェーハを熱処理装置へ挿入する際にウェーハを
搭載するウェーハボートであって、ウェーハボートを支
えるウェーハボート支柱部と、前記ウェーハボート支柱
部に掛合い部を用いることにより脱着可能に取りつけら
れたウェーハを保持するウェーハ保持部とを備えたもの
である。
【０００８】ここで、この発明のウェーハボートにおい
て、前記ウェーハ保持部は、前記ウェーハボートと同一
材料で形成された取り付け部品を用いて前記ウェーハボ
ート支柱部に脱着可能に取りつけられることができるも
のである。
て、前記ウェーハ保持部は、前記ウェーハボートと同一
材料で形成された取り付け部品を用いて前記ウェーハボ
ート支柱部に脱着可能に取りつけられることができるも
のである。
【０００９】
【００１０】ここで、この発明のウェーハボートは、前
記ウェーハボート支柱部の端部と接触する板状部と、前
記ウェーハ保持部と前記板状部との間に設けられた固定
部とをさらに備えることができるものである。
記ウェーハボート支柱部の端部と接触する板状部と、前
記ウェーハ保持部と前記板状部との間に設けられた固定
部とをさらに備えることができるものである。
【００１１】ここで、この発明のウェーハボートにおい
て、前記ウェーハ保持部は、前記ウェーハボートの内部
に面する前記ウェーハボート支柱部の内側面に脱着可能
に取りつけられることができるものである。
て、前記ウェーハ保持部は、前記ウェーハボートの内部
に面する前記ウェーハボート支柱部の内側面に脱着可能
に取りつけられることができるものである。
【００１２】ここで、この発明のウェーハボートにおい
て、前記ウェーハ保持部は、前記ウェーハボートの外周
部に沿う前記ウェーハボート支柱部の側面に脱着可能に
取りつけられることができるものである。
て、前記ウェーハ保持部は、前記ウェーハボートの外周
部に沿う前記ウェーハボート支柱部の側面に脱着可能に
取りつけられることができるものである。
【００１３】この発明のウェーハボートを用いた熱処理
装置は、請求項１ないし５のいずれかに記載のウェーハ
ボ−トを用いて保持されたウェーハを熱処理するもので
ある。
装置は、請求項１ないし５のいずれかに記載のウェーハ
ボ−トを用いて保持されたウェーハを熱処理するもので
ある。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を詳細に説明する。
実施の形態を詳細に説明する。
【００１５】実施の形態１．図１は本発明の実施の形態
１におけるウェーハボートを示す。図１において、符号
２はウェーハボートの底板、７はウェーハボートの天
板、３は底板２と天板７とに各々溶着されたボート支柱
（ウェーハボート支柱部）、９はウェーハ、５はボート
支柱３に脱着可能に取りつけられたウェーハ保持部、４
はウェーハ保持部５から削り出されたウェーハ９を保持
するためのウェーハ支持フィン、６はウェーハボートと
同一の部材で形成されたナット、１と８とはウェーハボ
ートと同一の部材で形成された各々下部ボルトと上部ボ
ルト、１５は底板２とボート支柱３との溶着部である。
図１では図示の都合上、ボート支柱３方向の一部分を省
略している。
１におけるウェーハボートを示す。図１において、符号
２はウェーハボートの底板、７はウェーハボートの天
板、３は底板２と天板７とに各々溶着されたボート支柱
（ウェーハボート支柱部）、９はウェーハ、５はボート
支柱３に脱着可能に取りつけられたウェーハ保持部、４
はウェーハ保持部５から削り出されたウェーハ９を保持
するためのウェーハ支持フィン、６はウェーハボートと
同一の部材で形成されたナット、１と８とはウェーハボ
ートと同一の部材で形成された各々下部ボルトと上部ボ
ルト、１５は底板２とボート支柱３との溶着部である。
図１では図示の都合上、ボート支柱３方向の一部分を省
略している。
【００１６】図１に示されるように、本実施の形態１に
おいてはボート支柱３は３本設けられているが、ボート
支柱３の本数は何本であってもよい。ウェーハ保持部５
は上部ボルト８、下部ボルト１およびナット６（以上、
取り付け部品）を用いてボート支柱３に固定する。この
ためウェーハ保持部５はボート支柱３と脱着可能であ
り、必要に応じて分解して外すことができる。ウェーハ
保持部５の底面と底板２とは接触しており、底面２を基
準にして各ウェーハ支持フィン４の精度がでるように作
成されている。
おいてはボート支柱３は３本設けられているが、ボート
支柱３の本数は何本であってもよい。ウェーハ保持部５
は上部ボルト８、下部ボルト１およびナット６（以上、
取り付け部品）を用いてボート支柱３に固定する。この
ためウェーハ保持部５はボート支柱３と脱着可能であ
り、必要に応じて分解して外すことができる。ウェーハ
保持部５の底面と底板２とは接触しており、底面２を基
準にして各ウェーハ支持フィン４の精度がでるように作
成されている。
【００１７】図２は、図１に示されたウェーハ保持部５
を取り外したウェーハボートの本体を示す。図２で図１
と同じ符号を付した部分は同じ機能を有するため説明は
省略する。説明の便宜上、ウェーハ９は図示されておら
ず、図示の都合上、ボート支柱３方向の一部分は省略さ
れている。図２において、符号１０は下部ボルト１（図
１参照）をボート支柱３に通すための支柱部ホールであ
る。
を取り外したウェーハボートの本体を示す。図２で図１
と同じ符号を付した部分は同じ機能を有するため説明は
省略する。説明の便宜上、ウェーハ９は図示されておら
ず、図示の都合上、ボート支柱３方向の一部分は省略さ
れている。図２において、符号１０は下部ボルト１（図
１参照）をボート支柱３に通すための支柱部ホールであ
る。
【００１８】図３は、図１のウェーハ保持部５を示す。
図３で図１と同じ符号を付した部分は同じ機能を有する
ため説明は省略する。図示の都合上、一部分は省略され
ている。図３において、符号１１ａはウェーハ保持部５
をボート支柱３に取り付ける下部ボルト１のために空け
られた保持部下部ホール、１１ｂはウェーハ保持部５を
ボート支柱３に取り付ける上部ボルト８のために空けら
れた保持部上部ホール、１２は削り取られた削り取り部
分である。ボート支柱３と底板２とは溶着されているた
め、その溶着されている溶着部１５（図１参照）が盛り
上がる場合がある。そこで溶着部１５との干渉を避ける
ため、ウェーハ保持部５の背面下部の削り取り部分１２
を削りとっている。
図３で図１と同じ符号を付した部分は同じ機能を有する
ため説明は省略する。図示の都合上、一部分は省略され
ている。図３において、符号１１ａはウェーハ保持部５
をボート支柱３に取り付ける下部ボルト１のために空け
られた保持部下部ホール、１１ｂはウェーハ保持部５を
ボート支柱３に取り付ける上部ボルト８のために空けら
れた保持部上部ホール、１２は削り取られた削り取り部
分である。ボート支柱３と底板２とは溶着されているた
め、その溶着されている溶着部１５（図１参照）が盛り
上がる場合がある。そこで溶着部１５との干渉を避ける
ため、ウェーハ保持部５の背面下部の削り取り部分１２
を削りとっている。
【００１９】以上より、実施の形態１によれば、ウェー
ハ保持部５のボート支柱３への取付を脱着可能とするこ
とにより、ウェーハボートを精度を要するウェーハ保持
部３と比較的精度を要しないウェーハボートの本体とに
分割することができる。この結果、ウェーハボートの製
造工程を簡略化することができるため、大口径化したウ
ェーハに対しても既存の製造設備と技術とを用いてウェ
ーハボートを製作することができる。したがってウェー
ハボートの製作費用として、新規な設備のための費用ま
たは開発のための費用をかけなくても済むため、廉価な
ウェーハボートを製作することができる。ウェーハ保持
部５に故障が生じた場合は、ウェーハ保持部５のみ修理
または交換等すればよいため、維持費を低減させること
もできる。ウェーハボートの本体部分は単純な構造であ
るため故障しにくく補修も容易である。本発明のウェー
ハボートは必要な部分のみ補充等していけばよいため、
資源の消費を低下させることが可能であり、製作エネル
ギーの削減のみ役立ち、環境の保護にも貢献することが
できる。
ハ保持部５のボート支柱３への取付を脱着可能とするこ
とにより、ウェーハボートを精度を要するウェーハ保持
部３と比較的精度を要しないウェーハボートの本体とに
分割することができる。この結果、ウェーハボートの製
造工程を簡略化することができるため、大口径化したウ
ェーハに対しても既存の製造設備と技術とを用いてウェ
ーハボートを製作することができる。したがってウェー
ハボートの製作費用として、新規な設備のための費用ま
たは開発のための費用をかけなくても済むため、廉価な
ウェーハボートを製作することができる。ウェーハ保持
部５に故障が生じた場合は、ウェーハ保持部５のみ修理
または交換等すればよいため、維持費を低減させること
もできる。ウェーハボートの本体部分は単純な構造であ
るため故障しにくく補修も容易である。本発明のウェー
ハボートは必要な部分のみ補充等していけばよいため、
資源の消費を低下させることが可能であり、製作エネル
ギーの削減のみ役立ち、環境の保護にも貢献することが
できる。
【００２０】さらに、ウェーハ保持部５はバーナ等で溶
着されるものではないため、ウェーハ支持フィン４の配
列精度はウェーハボートに組み上げられた後も変化する
ことがなく、組み立て誤差を減少させることができる。
ウェーハ保持部５はロッド状の部品にウェーハ支持フィ
ン４を取り付けるものであるため、ウェーハ支持フィン
４の研磨、焼仕上げ等を行なう場合、従来のボート支柱
３と一体型になっているウェーハボートを製作する場合
と比較して、工具は既存のものを使用することができ
る。
着されるものではないため、ウェーハ支持フィン４の配
列精度はウェーハボートに組み上げられた後も変化する
ことがなく、組み立て誤差を減少させることができる。
ウェーハ保持部５はロッド状の部品にウェーハ支持フィ
ン４を取り付けるものであるため、ウェーハ支持フィン
４の研磨、焼仕上げ等を行なう場合、従来のボート支柱
３と一体型になっているウェーハボートを製作する場合
と比較して、工具は既存のものを使用することができ
る。
【００２１】実施の形態２．図４は、本発明の実施の形
態２におけるウェーハボートを示す。図４で図１と同じ
符号を付した部分は同じ機能を有するため説明は省略す
る。説明の便宜上、ウェーハ９は図示されておらず、図
示の都合上、ボート支柱３方向の一部分は省略されてい
る。図４において、符号１３はウェーハ保持部５をウェ
ーハボートの本体に取り付けるのに用いる掛合い（掛合
い部）、１４は底板（板状部）２にウェーハ保持部５を
固定するためのストッパー（固定部）である。図４に示
されるように、掛合い１３はその凸部がボート支柱３の
上部に形成され、その凹部がウェーハ保持部５の上部に
形成されている。ストッパー１４は基準面である底面２
からの位置ずれを防止するために設けられたものであ
る。
態２におけるウェーハボートを示す。図４で図１と同じ
符号を付した部分は同じ機能を有するため説明は省略す
る。説明の便宜上、ウェーハ９は図示されておらず、図
示の都合上、ボート支柱３方向の一部分は省略されてい
る。図４において、符号１３はウェーハ保持部５をウェ
ーハボートの本体に取り付けるのに用いる掛合い（掛合
い部）、１４は底板（板状部）２にウェーハ保持部５を
固定するためのストッパー（固定部）である。図４に示
されるように、掛合い１３はその凸部がボート支柱３の
上部に形成され、その凹部がウェーハ保持部５の上部に
形成されている。ストッパー１４は基準面である底面２
からの位置ずれを防止するために設けられたものであ
る。
【００２２】以上より、実施の形態２によれば、掛合い
１３をウェーハボート上部に設け、ストッパー１４をウ
ェーハボート下部に設けることにより、基準面である底
板２からの位置ずれを防止することができる。
１３をウェーハボート上部に設け、ストッパー１４をウ
ェーハボート下部に設けることにより、基準面である底
板２からの位置ずれを防止することができる。
【００２３】実施の形態３．図５は、本発明の実施の形
態３におけるウェーハボートを示す。図５で図１および
図４と同じ符号を付した部分は同じ機能を有するため説
明は省略する。説明の便宜上、ウェーハ９は図示されて
おらず、図示の都合上、ボート支柱３方向の一部分は省
略されている。図５において、符号１６はウェーハ保持
部５をウェーハボートの本体に取り付けるのに用いる掛
合いであって、ウェーハボート下部に設けられたもので
ある。図５に示されるように、本実施の形態３では、ウ
ェーハ保持５をウェーハボートの本体に取り付けるの
に、掛合い１３と１６とのみを用いている。本実施の形
態３においては、ウェーハ保持部５の底面部分は底板２
と接触していないが、掛合い１３と１６とを用いている
ため，実施射の形態２におけるストッパー１４は不要と
なる。
態３におけるウェーハボートを示す。図５で図１および
図４と同じ符号を付した部分は同じ機能を有するため説
明は省略する。説明の便宜上、ウェーハ９は図示されて
おらず、図示の都合上、ボート支柱３方向の一部分は省
略されている。図５において、符号１６はウェーハ保持
部５をウェーハボートの本体に取り付けるのに用いる掛
合いであって、ウェーハボート下部に設けられたもので
ある。図５に示されるように、本実施の形態３では、ウ
ェーハ保持５をウェーハボートの本体に取り付けるの
に、掛合い１３と１６とのみを用いている。本実施の形
態３においては、ウェーハ保持部５の底面部分は底板２
と接触していないが、掛合い１３と１６とを用いている
ため，実施射の形態２におけるストッパー１４は不要と
なる。
【００２４】以上より、実施の形態３によれば、掛合い
１６をさらに設けることができるため、実施の形態２の
ストッパー１４を使用しないで済ませることができる。
１６をさらに設けることができるため、実施の形態２の
ストッパー１４を使用しないで済ませることができる。
【００２５】実施の形態４．図６は、本発明の実施の形
態４におけるウェーハボートを示す。図６で図１と同じ
符号を付した部分は同じ機能を有するため説明は省略す
る。説明の便宜上、ウェーハ９は図示されておらず、図
示の都合上、ボート支柱３方向の一部分は省略されてい
る。上述の実施の形態１ないし３においては、ウェーハ
保持部５は、ウェーハボートの中心方向に面するボート
支柱３の内側面に取りつけられていた。しかし、本実施
の形態４においては、ウェーハ保持部５は、ウェーハボ
ートの底板２の外周部に沿うようにボート支柱３の側面
に取りつけることができる。側面であれば右側面であっ
ても左側面であってもよい。ボート支柱３の側面に取り
付けることにより、ウェーハ保持部５の取り付け作業は
実施の形態１ないし３の場合と比較して簡便とすること
ができる。ウェーハ保持部５のボート支柱３への取り付
け固定方法は、上述された上部ボルト８、下部ボルト
１、ナット６等のネジを用いる方法、掛合い１３とスト
ッパー１４とを用いる方法または掛合い１３と１６とを
用いる方法のいずれの方法を用いることができる。
態４におけるウェーハボートを示す。図６で図１と同じ
符号を付した部分は同じ機能を有するため説明は省略す
る。説明の便宜上、ウェーハ９は図示されておらず、図
示の都合上、ボート支柱３方向の一部分は省略されてい
る。上述の実施の形態１ないし３においては、ウェーハ
保持部５は、ウェーハボートの中心方向に面するボート
支柱３の内側面に取りつけられていた。しかし、本実施
の形態４においては、ウェーハ保持部５は、ウェーハボ
ートの底板２の外周部に沿うようにボート支柱３の側面
に取りつけることができる。側面であれば右側面であっ
ても左側面であってもよい。ボート支柱３の側面に取り
付けることにより、ウェーハ保持部５の取り付け作業は
実施の形態１ないし３の場合と比較して簡便とすること
ができる。ウェーハ保持部５のボート支柱３への取り付
け固定方法は、上述された上部ボルト８、下部ボルト
１、ナット６等のネジを用いる方法、掛合い１３とスト
ッパー１４とを用いる方法または掛合い１３と１６とを
用いる方法のいずれの方法を用いることができる。
【００２６】以上より、実施の形態４によれば、ウェー
ハ保持部５をボート支柱３の側面に取り付けることがで
きるため、ウェーハ保持部５の取り付け作業を簡便にす
ることができる。
ハ保持部５をボート支柱３の側面に取り付けることがで
きるため、ウェーハ保持部５の取り付け作業を簡便にす
ることができる。
【００２７】以上説明された本発明のウェーハボートを
用いた、ウェーハを熱処理する熱処理装置を構成するこ
とができる。
用いた、ウェーハを熱処理する熱処理装置を構成するこ
とができる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のウェーハ
ボートおよびウェーハボートを用いた熱処理装置によれ
ば、ウェーハ保持部５とウェーハボートの本体とを分割
することにより、ウェーハの口径が増大した場合であっ
ても、既存の工具を用いることができ、組み立て誤差が
減少し、かつ廉価な価格のウェーハボートおよびウェー
ハボートを用いた熱処理装置を提供することができる。
ボートおよびウェーハボートを用いた熱処理装置によれ
ば、ウェーハ保持部５とウェーハボートの本体とを分割
することにより、ウェーハの口径が増大した場合であっ
ても、既存の工具を用いることができ、組み立て誤差が
減少し、かつ廉価な価格のウェーハボートおよびウェー
ハボートを用いた熱処理装置を提供することができる。
【図１】 本発明の実施の形態１における］ウェーハボ
ートを示す図である。
ートを示す図である。
【図２】 図１に示されたウェーハ保持部５を取り外し
たウェーハボートの本体を示す図である。
たウェーハボートの本体を示す図である。
【図３】 図１のウェーハ保持部５を示す図である。
【図４】 本発明の実施の形態２におけるウェーハボー
トを示す図である。
トを示す図である。
【図５】 本発明の実施の形態３におけるウェーハボー
トを示す図である。
トを示す図である。
【図６】 本発明の実施の形態４におけるウェーハボー
トを示す図である。
トを示す図である。
【図７】 従来のウェーハボートを示す図である。
１ 下部ボルト、 ２ 底板、 ３ ボート支柱、 ４
ウウェーハ支持フィン、 ５ ウェーハ保持部、 ６
ナット、 ７ 天板、 ８ 上部ボルト、 ９Ｓｉウェ
ーハ、 １０ 支柱部ホール、 １１ａ 保持部下部ホ
ール、 １１ｂ 保持部上部ホール、 １２ 削り取り
部分、 １３、１６ 掛合い、 １４ストッパー、 １
５ 溶着部。
ウウェーハ支持フィン、 ５ ウェーハ保持部、 ６
ナット、 ７ 天板、 ８ 上部ボルト、 ９Ｓｉウェ
ーハ、 １０ 支柱部ホール、 １１ａ 保持部下部ホ
ール、 １１ｂ 保持部上部ホール、 １２ 削り取り
部分、 １３、１６ 掛合い、 １４ストッパー、 １
５ 溶着部。
Claims (6)
- 【請求項１】 ウェーハを熱処理装置へ挿入する際にウ
ェーハを搭載するウェーハボートであって、 ウェーハボートを支えるウェーハボート支柱部と、 前記ウェーハボート支柱部に掛合い部を用いることによ
り脱着可能に取りつけられたウェーハを保持するウェー
ハ保持部とを備えたことを特徴とするウェーハボート。 - 【請求項２】 前記ウェーハ保持部は、前記ウェーハボ
ートと同一材料で形成された取り付け部品を用いて前記
ウェーハボート支柱部に脱着可能に取りつけられたこと
を特徴とする請求項１記載のウェーハボート。 - 【請求項３】 前記ウェーハボート支柱部の端部と接触
する板状部と、 前記ウェーハ保持部と前記板状部との間に設けられた固
定部とをさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の
ウェーハボート。 - 【請求項４】 前記ウェーハ保持部は、前記ウェーハボ
ートの内部に面する前記ウェーハボート支柱部の内側面
に脱着可能に取りつけられたことを特徴とする請求項１
ないし３のいずれかに記載のウェーハボート。 - 【請求項５】 前記ウェーハ保持部は、前記ウェーハボ
ートの外周部に沿う前記ウェーハボート支柱部の側面に
脱着可能に取りつけられたことを特徴とする請求項１な
いし３のいずれかに記載のウェーハボート。 - 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれかに記載のウ
ェーハボ−トを用いて保持されたウェーハを熱処理する
熱処理装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37744799A JP3167301B1 (ja) | 1999-12-29 | 1999-12-29 | ウェーハボートおよびウェーハボートを用いた熱処理装置 |
| KR1020000054762A KR20010067190A (ko) | 1999-12-29 | 2000-09-19 | 웨이퍼 보우트 및 웨이퍼 보우트를 이용한 열 처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37744799A JP3167301B1 (ja) | 1999-12-29 | 1999-12-29 | ウェーハボートおよびウェーハボートを用いた熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3167301B1 true JP3167301B1 (ja) | 2001-05-21 |
| JP2001189280A JP2001189280A (ja) | 2001-07-10 |
Family
ID=18508829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37744799A Expired - Fee Related JP3167301B1 (ja) | 1999-12-29 | 1999-12-29 | ウェーハボートおよびウェーハボートを用いた熱処理装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP3167301B1 (ja) |
| KR (1) | KR20010067190A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011139127A2 (ko) * | 2010-05-07 | 2011-11-10 | 나노세미콘(주) | 웨이퍼 처리 장치의 이중 보트 구조 |
| JP2015510064A (ja) * | 2012-03-15 | 2015-04-02 | ポーパ，ペトレＰＯＰＡ， Ｐｅｔｒｅ | Ｐ型矩形システム（ｐｓｓ） |
| KR20180100632A (ko) * | 2016-02-10 | 2018-09-11 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기판 처리 장치, 기판 유지구, 적재구 및 반도체 장치의 제조 방법 |
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|---|---|---|---|---|
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1999
- 1999-12-29 JP JP37744799A patent/JP3167301B1/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-09-19 KR KR1020000054762A patent/KR20010067190A/ko not_active Application Discontinuation
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| WO2011139127A2 (ko) * | 2010-05-07 | 2011-11-10 | 나노세미콘(주) | 웨이퍼 처리 장치의 이중 보트 구조 |
| WO2011139127A3 (ko) * | 2010-05-07 | 2012-03-01 | 나노세미콘(주) | 웨이퍼 처리 장치의 이중 보트 구조 |
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| KR102253522B1 (ko) * | 2016-02-10 | 2021-05-18 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기판 처리 장치, 기판 유지구, 적재구 및 반도체 장치의 제조 방법 |
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|---|---|
| JP2001189280A (ja) | 2001-07-10 |
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