JP3479201B2 - 組立式ウエハ用ボート及びその取付治具 - Google Patents
組立式ウエハ用ボート及びその取付治具Info
- Publication number
- JP3479201B2 JP3479201B2 JP9279097A JP9279097A JP3479201B2 JP 3479201 B2 JP3479201 B2 JP 3479201B2 JP 9279097 A JP9279097 A JP 9279097A JP 9279097 A JP9279097 A JP 9279097A JP 3479201 B2 JP3479201 B2 JP 3479201B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding rod
- hole
- round nut
- mounting
- wafer boat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
エハ用ボート及びその取付治具に関する。
ス特性の更なる高信頼性が求められるようになってい
る。このため、熱処理工程で使用するウエハ用ボート
も、益々高性能のものが必要になってきた。
に優れ、高純度で汚染物質を放出しないものが用いられ
る。シリコン、石英ガラス、炭化珪素等の材料が一般に
用いられている。
のため半導体ウエハと反応せず、また高純度のものを得
やすい利点を有している。しかし、シリコンは、硬く且
つ脆い材料であり、また部品と部品の融着も困難であ
る。
の横型ウエハ支持装置は、保持棒と、保持棒取付用穴を
設けた一対の固定板とを、コの字型又はI字型の楔で着
脱自在に組み立てる方式になっている。
きた際に、当該部品のみを交換して他の部品は引き続き
使用できる点である。
59−40443号の方式は、縦型ボートには不向きで
ある。なぜなら、当該ボートでは保持棒の柄部が固定板
から突出しており、これを縦型ボートとして使用するた
めには、縦型ボートを載置するボートテーブルを上記突
出部を収容する複雑な形状とすることが必要となるから
である。
は、楔に応力が集中し易いため、楔が損傷し易く、その
損傷部からパーティクルが発生する不具合もあった。
固定式の横型組立式キャリアボートを開示している。
品処理に用いるためのキャリアであって、保持棒は加工
が容易なテフロンなどの柔軟材料で形成されている。そ
れゆえ、このボートはウエハの熱処理には使用できな
い。
明は、ネジ固定式で組立が容易であり、パーティクルが
発生し難い組立式ウエハ用ボート及びその取付治具を提
供することを目的としている。
載置用の溝を設けた保持棒と、保持棒固定用の取付穴を
設けた固定板とを組立てる構成の組立式半導体ウエハ用
ボートにおいて、保持棒の端部にネジ部を形成し、全体
的に円筒形で端面に回転用小孔を有する丸形ナットを用
いて、保持棒を固定板に取付ける構成にし、前記各部材
をシリコン、石英ガラス、及び炭化珪素から選んだ材料
で形成し、かつ、保持棒の両端に係合される2つの固定
板のうち少なくとも一方の固定板の取付穴を円形状穴部
と矩形状穴部からなる2重構造とし、かつ、これに係合
する保持棒の端部のネジ部の根元に矩形状穴部に対応す
る係合部を形成し、組立時に保持棒の係合部と矩形状穴
部を係合させる構成になっていることを特徴とする組立
式ウエハ用ボートを要旨としている。
は、ウエハ載置用の溝を設けた保持棒と、保持棒固定用
の取付穴を設けた固定板とを組立てる構成の組立式半導
体ウエハ用ボートにおいて、保持棒の端部にネジ部を形
成し、全体的に円筒形で端面に回転用小孔を有する丸形
ナットを用いて、保持棒を固定板に取付ける構成にし、
前記各部材をシリコン、石英ガラス、及び炭化珪素から
選んだ材料で形成することを特徴としている。
ナット全体が実質的に固定板の取付穴に収容される構成
にすることが好ましい。
状穴部からなる2重構造とし、保持棒のネジ部の根元に
矩形状穴部に対応する係合部を形成し、組立時に保持棒
の係合部と矩形状穴部を係合させる構成にすることが好
ましい。
回転させるための取付治具であって、丸形ナットの回転
用小孔に対応する小突起部を有し、シリコン、石英ガラ
ス、及び炭化珪素から選んだ材料で構成されることを特
徴としている。
する。図1は、本発明による組立式ウエハ用縦型ボート
の下固定板付近を示す組立図である。
と、下固定板21と、上固定板(図示せず)、保持棒1
1を固定するための丸形ナット31から構成されてい
る。保持棒11、固定板21及び丸形ナット31は、シ
リコン、石英ガラス及び炭化珪素から選んだ材料で形成
される。これらの材料は、硬く脆い材料であるので、欠
けや割れを防止するため角部や突出部には適宜Rや面取
りを施してあるが、図面ではその一部のみを示した。
ン単結晶のみからなる組立式ウエハ用ボートにおいて最
適なものである。
板21、丸形ナット31、ナット回転工具41を示して
いる。
あり、ウエハ載置用の溝12が一定間隔で多数形成され
ている。保持棒11の上下端には円柱状部分17,15
が設けてあり、そこにネジ部16,14が形成されてい
る。下端のネジ部14の根元には、断面矩形の係合部1
3が形成されている。ネジ部14の直径は、この係合部
13の短辺よりも小さい。
4個の取付穴22を有している。取付穴22は、円周に
沿って片側寄りに約70゜間隔で配置されている。
部23からなる2重構造になっている。矩形状穴部23
は、保持棒11のネジ部14の根元の係合部13に対応
している。また、円形状穴部24は、丸形ナット31に
対応し、固定時には丸形ナット31を収容する構成にな
っている。
成され、熱応力を緩和する働きを持っている。図3にそ
の具体例を示す。
穴部が小径の円形状穴部になっている以外は、下固定板
21と同様である。
あって、その内周には保持棒のネジ部14,16に対応
したネジ部32が形成されている。丸形ナット31の端
面には、2個の回転用小孔33が形成されている。回転
用小孔33は円形状の孔である。
の取付穴の円形状穴部24の径と深さに対応している。
状であり、その側面には平面部44が対称位置に形成さ
れている。この平面部44は、回転力を加えるのに役立
つ。ナット回転工具41の先端面には、円筒型の小突起
42が2個形成されている。この小突起42の位置及び
形状は、丸形ナット31の回転用小孔33に対応してい
る。
丸形ナット31の回転用小孔33に差し込み、工具41
の側面を把持して回転力を加えれば、丸形ナット31を
所望の方向に回転させることができる。
角形のナット形状を採用した場合には、これを締めるス
パナの微妙な締め付け調整が難しいことや、角が欠け易
い等の不具合が確認された。さらに、その場合には、上
下固定板の保持棒係合用穴をスパナの挿入分だけ大きく
しなければならず、そのため六角形ナットと係合用穴と
の間に隙間が生じ洗浄の際に汚染が付き易くなる。他
方、丸形ナットにスリットを形成し、シリコン製ドライ
バーで締め付けを試みたが、スリットの角が破損し易
く、やはりパーティクルの原因となることが分った。
ば、丸形ナットのネジ固定方式を採用したので、ナット
が欠け難く、パーティクルの発生を抑えることができる
ので、ウエハの歩留りを向上できる。
ト全体が取付穴に収容されるようにした場合には、汚染
が付着する隙間がなくなるので、ウエハの歩留りをさら
に向上できる。また、固定板からの突出部分がなくなる
ので、縦型ボートの垂直セットが容易にできる。
を用いることにより、微妙な締め付け調整が可能とな
り、ネジ山の破損を防止することができる。
例に限定されない。例えば、本発明の組立式ウエハ用ボ
ートは、横型ボートにも適応可能である。丸形ナットの
回転用小孔は、3個以上あっても良い。また、保持棒の
数は、4本に限らず、3本又は5本以上あっても良い。
更に、保持棒は全体的に断面円形でも断面輪状のパイプ
形状でも良く、固定板は、矩形板状でも良い。
定板付近を示す組立図。
(B)が下面図、(C)が上面図、(D)が横面図、
(E)が溝を示す拡大断面図。
(B)が(A)のMON断面図、(C)が取付穴を示す
拡大図、(D)が取付穴の拡大断面図。
図、(B)が断面図。
を示す図で、(A)が側面図、(B)が上面図、(C)
が軸方向断面図。
Claims (3)
- 【請求項1】 ウエハ載置用の溝を設けた保持棒と、保
持棒固定用の取付穴を設けた固定板とを組立てる構成の
組立式半導体ウエハ用ボートにおいて、保持棒の端部に
ネジ部を形成し、全体的に円筒形で端面に回転用小孔を
有する丸形ナットを用いて、保持棒を固定板に取付ける
構成にし、前記各部材をシリコン、石英ガラス、及び炭
化珪素から選んだ材料で形成し、かつ、保持棒の両端に
係合される2つの固定板のうち少なくとも一方の固定板
の取付穴を円形状穴部と矩形状穴部からなる2重構造と
し、かつ、これに係合する保持棒の端部のネジ部の根元
に矩形状穴部に対応する係合部を形成し、組立時に保持
棒の係合部と矩形状穴部を係合させる構成になっている
ことを特徴とする組立式ウエハ用ボート。 - 【請求項2】 保持棒を丸形ナットで固定した時に、丸
形ナット全体が実質的に固定板の取付穴に収容される構
成になっていることを特徴とする請求項1に記載の組立
式ウエハ用ボート。 - 【請求項3】 請求項1に記載の丸形ナットを回転させ
るための取付治具であって、丸形ナットの回転用小孔に
対応する小突起部を有し、シリコン、石英ガラス、及び
炭化珪素から選んだ材料で構成されることを特徴とする
取付治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9279097A JP3479201B2 (ja) | 1997-03-28 | 1997-03-28 | 組立式ウエハ用ボート及びその取付治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9279097A JP3479201B2 (ja) | 1997-03-28 | 1997-03-28 | 組立式ウエハ用ボート及びその取付治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10273399A JPH10273399A (ja) | 1998-10-13 |
JP3479201B2 true JP3479201B2 (ja) | 2003-12-15 |
Family
ID=14064222
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9279097A Expired - Fee Related JP3479201B2 (ja) | 1997-03-28 | 1997-03-28 | 組立式ウエハ用ボート及びその取付治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3479201B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101141939B1 (ko) * | 2009-12-22 | 2012-05-04 | 하나실리콘(주) | 이중 너트 체결구조를 포함하는 실리콘 적재 조립체 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1171905A1 (en) * | 1999-04-15 | 2002-01-16 | Integrated Materials, Inc. | Silicon fixtures for wafer processing and method of fabrication |
US6811040B2 (en) * | 2001-07-16 | 2004-11-02 | Rohm And Haas Company | Wafer holding apparatus |
KR101035552B1 (ko) * | 2011-03-24 | 2011-05-23 | (주)상아프론테크 | 솔라웨이퍼 카세트 |
CN118166327A (zh) * | 2024-01-17 | 2024-06-11 | 无锡松煜科技有限公司 | 一种用于硼扩散过程的碳化硅桨装置 |
-
1997
- 1997-03-28 JP JP9279097A patent/JP3479201B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101141939B1 (ko) * | 2009-12-22 | 2012-05-04 | 하나실리콘(주) | 이중 너트 체결구조를 포함하는 실리콘 적재 조립체 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10273399A (ja) | 1998-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2005340251A (ja) | プラズマ処理装置用のシャワープレート及びプラズマ処理装置 | |
TWI486101B (zh) | 用於一電漿處理設備之元件 | |
KR20130002985U (ko) | 샤워헤드 전극 | |
JP3479201B2 (ja) | 組立式ウエハ用ボート及びその取付治具 | |
JP2009170938A (ja) | ウェーハ処理用シリコン固定具およびその製造方法 | |
US6113704A (en) | Substrate-supporting device for semiconductor processing | |
JP3544481B2 (ja) | 半導体製造用炭化珪素質組立ウェーハボート | |
KR101141939B1 (ko) | 이중 너트 체결구조를 포함하는 실리콘 적재 조립체 | |
JP2000049144A (ja) | プラズマ処理装置用電極板 | |
JP3280437B2 (ja) | 縦型ボート | |
JPS60193156A (ja) | 磁気デイスクの取付け構造 | |
JPH09237781A (ja) | 熱処理用ボ−ト | |
WO2017061122A1 (ja) | 単結晶炭化ケイ素基板の加熱処理容器及びエッチング方法 | |
JP2000252580A (ja) | 長尺材料の表面処理用治具、該冶具の補助具及び長尺材料の両面に薄膜を形成する方法 | |
JPS6339093B2 (ja) | ||
JPH0265122A (ja) | 半導体基板支持ボート | |
JP3568017B2 (ja) | ウエハボート | |
JP3332168B2 (ja) | 縦型ボート及びその製造方法 | |
JP5109725B2 (ja) | 縦型熱処理装置用基板保持具の支持構造、縦型熱処理装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP7347071B2 (ja) | 基板固定装置および基板固定方法 | |
JP2701615B2 (ja) | 半導体拡散炉用ウェハボートの製造方法 | |
JP2000012297A (ja) | プラズマ処理装置用電極板 | |
JP3102586B2 (ja) | ボート用テーブル | |
JP2001189280A (ja) | ウェーハボートおよびウェーハボートを用いた熱処理装置 | |
JPH10311315A (ja) | シリコン製ネジ類 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003 Year of fee payment: 5 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003 Year of fee payment: 5 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003 Year of fee payment: 5 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091003 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091003 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101003 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121003 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131003 Year of fee payment: 10 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131003 Year of fee payment: 10 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |