JP2000012297A - プラズマ処理装置用電極板 - Google Patents
プラズマ処理装置用電極板Info
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- JP2000012297A JP2000012297A JP10177478A JP17747898A JP2000012297A JP 2000012297 A JP2000012297 A JP 2000012297A JP 10177478 A JP10177478 A JP 10177478A JP 17747898 A JP17747898 A JP 17747898A JP 2000012297 A JP2000012297 A JP 2000012297A
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- screw
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ねじを取外すことなく、装置への取付け、取
外しが可能であり、電極板の交換や洗浄時における取付
け、取外し作業が容易であるプラズマ処理装置用電極板
を提供する。 【解決手段】 平行平板型プラズマ処理装置にねじで固
定して使用される電極板において、電極板に設けられた
電極板取付穴を、取付ねじの頭部が通過可能な大径部と
電極板を固定可能な小径部とを有する構造とする。
外しが可能であり、電極板の交換や洗浄時における取付
け、取外し作業が容易であるプラズマ処理装置用電極板
を提供する。 【解決手段】 平行平板型プラズマ処理装置にねじで固
定して使用される電極板において、電極板に設けられた
電極板取付穴を、取付ねじの頭部が通過可能な大径部と
電極板を固定可能な小径部とを有する構造とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体素子製造時の
ドライエッチング工程、ＣＶＤ工程等に使用されるプラ
ズマ処理装置用電極板に関する。
ドライエッチング工程、ＣＶＤ工程等に使用されるプラ
ズマ処理装置用電極板に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に半導体素子製造時のドライエッチ
ング工程等に使用される平行平板型プラズマ処理装置用
電極板は、セラミック、炭素、シリコン等の円盤状素材
からなっており、円盤の中央部にプロセスガスを吹出す
ための多数の貫通小穴を有し、外周部には電極板をねじ
で装置に固定するための複数のねじ取付穴を有する構成
になっている。
ング工程等に使用される平行平板型プラズマ処理装置用
電極板は、セラミック、炭素、シリコン等の円盤状素材
からなっており、円盤の中央部にプロセスガスを吹出す
ための多数の貫通小穴を有し、外周部には電極板をねじ
で装置に固定するための複数のねじ取付穴を有する構成
になっている。
【０００３】ここで、ねじ取付穴の径は、製作上の寸法
精度や取付上の位置決め精度に余裕を持たせるため、ね
じ部の径より多少大きめの径になっているのが普通であ
る。
精度や取付上の位置決め精度に余裕を持たせるため、ね
じ部の径より多少大きめの径になっているのが普通であ
る。
【０００４】平行平板型プラズマ処理装置において、電
極板は消耗部品であり、定期的に部品交換のため、装置
への取付け、取外しが行われている。
極板は消耗部品であり、定期的に部品交換のため、装置
への取付け、取外しが行われている。
【０００５】一般的な構成の電極板は、放電面の直径が
６〜８インチで、外周部にねじ取付穴が８〜１２個程度
並んで配置されており、装置への電極板の取付け、取外
しに際し、ねじの取付け、取外しに手間がかかるという
問題がある。さらに今後、被処理物の大径化にともない
電極板が大径化すると、ねじの数も増え、取付け、取外
しに時間を要するようになってくる。
６〜８インチで、外周部にねじ取付穴が８〜１２個程度
並んで配置されており、装置への電極板の取付け、取外
しに際し、ねじの取付け、取外しに手間がかかるという
問題がある。さらに今後、被処理物の大径化にともない
電極板が大径化すると、ねじの数も増え、取付け、取外
しに時間を要するようになってくる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ねじを取外
すことなく、装置への取付け、取外しが可能であり、電
極板の交換や洗浄時における取付け、取外し作業が容易
であるプラズマ処理装置用電極板を提供するものであ
る。
すことなく、装置への取付け、取外しが可能であり、電
極板の交換や洗浄時における取付け、取外し作業が容易
であるプラズマ処理装置用電極板を提供するものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、平行平板型プ
ラズマ処理装置にねじで固定して使用される電極板にお
いて、電極板に設けられた電極板取付穴が、取付ねじの
頭部が通過可能な大径部と電極板を固定可能な小径部と
を有することを特徴とするプラズマ処理装置用電極板に
関する。
ラズマ処理装置にねじで固定して使用される電極板にお
いて、電極板に設けられた電極板取付穴が、取付ねじの
頭部が通過可能な大径部と電極板を固定可能な小径部と
を有することを特徴とするプラズマ処理装置用電極板に
関する。
【０００８】本発明はまた、大径部においてねじの頭部
を通した後、電極板を平行移動させて定位置に固定する
ように小径部が形成された電極板取付穴を有する前記プ
ラズマ処理装置用電極板に関する。
を通した後、電極板を平行移動させて定位置に固定する
ように小径部が形成された電極板取付穴を有する前記プ
ラズマ処理装置用電極板に関する。
【０００９】本発明はまた、大径部においてねじの頭部
を通した後、電極板を回転移動させて定位置に固定する
ように小径部が形成された電極板取付穴を有する前記プ
ラズマ処理装置用電極板に関する。
を通した後、電極板を回転移動させて定位置に固定する
ように小径部が形成された電極板取付穴を有する前記プ
ラズマ処理装置用電極板に関する。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の電極板に設けられた各電
極板取付穴は、その一部に取付ねじの頭部が通過可能な
大径部を有し、また、ねじを締め付け電極板を固定する
目的から、通常のねじ穴同様、ねじ部の径より大きくね
じの頭部の径より小さな径の小径部も有している。図２
は本発明の電極板の電極板取付穴の一例を示す拡大平面
図で、３は取付ねじの頭部が通過可能な大きさを有する
大径部であり、４はねじ部の径より大きくねじの頭部の
径より小さな径の小径部である。また、５はねじの移動
を容易にするための座ぐり部である。本発明の電極板を
取付ける際には、例えば、取付ねじを緩めた状態で大径
部５からねじの頭部を通した後、ねじの頭部が電極板取
付穴の小径部４にくるように電極板をずらし、次いでね
じを締付ける。また、取外しの際には、例えば、ねじを
緩め、ねじの頭部が電極板取付穴の大径部３にくるよう
に電極板をずらすことで、容易に電極板の取外しができ
る。
極板取付穴は、その一部に取付ねじの頭部が通過可能な
大径部を有し、また、ねじを締め付け電極板を固定する
目的から、通常のねじ穴同様、ねじ部の径より大きくね
じの頭部の径より小さな径の小径部も有している。図２
は本発明の電極板の電極板取付穴の一例を示す拡大平面
図で、３は取付ねじの頭部が通過可能な大きさを有する
大径部であり、４はねじ部の径より大きくねじの頭部の
径より小さな径の小径部である。また、５はねじの移動
を容易にするための座ぐり部である。本発明の電極板を
取付ける際には、例えば、取付ねじを緩めた状態で大径
部５からねじの頭部を通した後、ねじの頭部が電極板取
付穴の小径部４にくるように電極板をずらし、次いでね
じを締付ける。また、取外しの際には、例えば、ねじを
緩め、ねじの頭部が電極板取付穴の大径部３にくるよう
に電極板をずらすことで、容易に電極板の取外しができ
る。
【００１１】電極板取付穴は、電極板に複数設けられて
いるが、各々の取付け穴の関係は、電極板を平行移動さ
せて定位置に固定できるように、あるいは電極板を回転
移動してして定位置に固定できるように配置することが
好ましい。前者の例を図１に、後者の例を図３に示す。
いるが、各々の取付け穴の関係は、電極板を平行移動さ
せて定位置に固定できるように、あるいは電極板を回転
移動してして定位置に固定できるように配置することが
好ましい。前者の例を図１に、後者の例を図３に示す。
【００１２】本発明のブラズマ処理装置用電極板の大き
さは、装置の仕様等により決定され、特に制限されない
が、通常、外径２００〜３５０ｍｍ、厚さが３〜７ｍｍ
の円板形のものが使用される。
さは、装置の仕様等により決定され、特に制限されない
が、通常、外径２００〜３５０ｍｍ、厚さが３〜７ｍｍ
の円板形のものが使用される。
【００１３】また、電極板の取付穴の数は、装置の仕様
等により決定され、特に制限はないが、通常、８〜２４
個設けられる。
等により決定され、特に制限はないが、通常、８〜２４
個設けられる。
【００１４】取付穴において、大径部は、ねじの頭部が
通過可能な大きさであれば、特に制限はないが、ねじ頭
部の直径よりも０．５ｍｍ〜５ｍｍ程度大きな直径の穴
であることが好ましい。例えば、Ｍ３ネジ（頭部の直径
約６．５ｍｍのもの）では、直径が７〜１０ｍｍ程度の
穴が好ましい。
通過可能な大きさであれば、特に制限はないが、ねじ頭
部の直径よりも０．５ｍｍ〜５ｍｍ程度大きな直径の穴
であることが好ましい。例えば、Ｍ３ネジ（頭部の直径
約６．５ｍｍのもの）では、直径が７〜１０ｍｍ程度の
穴が好ましい。
【００１５】一方、小径部は、ねじの頭部が通過するこ
となく、ねじにより電極板をしっかり固定できる大きさ
であればよく特に制限はないが、大径部ではめあわせた
ねじが、定位置までスムースに移動できる幅を有するこ
とが好ましく、ねじ部（ねじ切りのされた部分）の直径
より、０．５〜２ｍｍ程度大きな幅であることが好まし
い。例えば前記Ｍ３ネジ（ねじ部の直径約２．９ｍｍ）
のものであれば３．４〜４．５ｍｍの幅を有することが
好ましい。
となく、ねじにより電極板をしっかり固定できる大きさ
であればよく特に制限はないが、大径部ではめあわせた
ねじが、定位置までスムースに移動できる幅を有するこ
とが好ましく、ねじ部（ねじ切りのされた部分）の直径
より、０．５〜２ｍｍ程度大きな幅であることが好まし
い。例えば前記Ｍ３ネジ（ねじ部の直径約２．９ｍｍ）
のものであれば３．４〜４．５ｍｍの幅を有することが
好ましい。
【００１６】本発明のブラズマ処理装置用電極板の材質
には特に制限はなく、例えば、単結晶シリコン、多結晶
シリコン、ガラス状炭素、黒鉛、炭化珪素等のセラミッ
ク材、金属材等を使用することができる。
には特に制限はなく、例えば、単結晶シリコン、多結晶
シリコン、ガラス状炭素、黒鉛、炭化珪素等のセラミッ
ク材、金属材等を使用することができる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
するが、本発明はこれに限定されるものではない。
するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１８】実施例１ 外径φ２０３ｍｍ、厚み３ｍｍのガラス状炭素製基盤の
Ｐ．Ｃ．Ｄ．（電極板の中心を中心とした、各取付穴の
中心を通る円の直径）１７０ｍｍの位置に、図１に示す
ような形状の大径部がφ８ｍｍ、小径部がφ４ｍｍ（幅
４ｍｍ）、座ぐり深さが１．５ｍｍで、大径部の端から
小径部の端までの長さ（すなわち、穴の長さ）が１６ｍ
ｍ、大径部の端から座ぐりの端までの長さが１８ｍｍの
電極板取付穴を図１に示すような配置に８個設けて、本
発明の実施例１の電極板とした。１はガス吹き出し穴が
設けられている範囲である。
Ｐ．Ｃ．Ｄ．（電極板の中心を中心とした、各取付穴の
中心を通る円の直径）１７０ｍｍの位置に、図１に示す
ような形状の大径部がφ８ｍｍ、小径部がφ４ｍｍ（幅
４ｍｍ）、座ぐり深さが１．５ｍｍで、大径部の端から
小径部の端までの長さ（すなわち、穴の長さ）が１６ｍ
ｍ、大径部の端から座ぐりの端までの長さが１８ｍｍの
電極板取付穴を図１に示すような配置に８個設けて、本
発明の実施例１の電極板とした。１はガス吹き出し穴が
設けられている範囲である。
【００１９】本発明の電極板を取付ける際には、取付ね
じを緩めた状態で電極板取付穴の大径部からねじの頭部
を通した後、ねじの頭部が電極板取付穴の小径部にくる
ように電極板を平行移動させて締付けた。また、取外し
の際には、ねじを緩め、ねじの頭部が電極板取付穴の大
径部にくるように電極板を平行移動させることで、容易
に電極板の取外しができた。
じを緩めた状態で電極板取付穴の大径部からねじの頭部
を通した後、ねじの頭部が電極板取付穴の小径部にくる
ように電極板を平行移動させて締付けた。また、取外し
の際には、ねじを緩め、ねじの頭部が電極板取付穴の大
径部にくるように電極板を平行移動させることで、容易
に電極板の取外しができた。
【００２０】なお、用いたねじはＭ３ネジ（ねじの頭部
の直径約６．５ｍｍ、ねじ部の直径約２．９ｍｍ）であ
る。
の直径約６．５ｍｍ、ねじ部の直径約２．９ｍｍ）であ
る。
【００２１】実施例２ 外径φ２０３ｍｍ、厚み３ｍｍのガラス状炭素製基盤の
Ｐ．Ｃ．Ｄ．１７０ｍｍの位置に、図３に示すような配
置に、実施例１と同一の大きさと形状の電極板取付穴を
８個設けて、本発明の実施例２の電極板とした。
Ｐ．Ｃ．Ｄ．１７０ｍｍの位置に、図３に示すような配
置に、実施例１と同一の大きさと形状の電極板取付穴を
８個設けて、本発明の実施例２の電極板とした。
【００２２】本発明の電極板を取付ける際には、取付ね
じ（Ｍ３ネジ）を緩めた状態で電極板取付穴の大径部か
らねじの頭部を通した後、ねじの頭部が電極板取付穴の
小径部にくるように電極板を回転移動させて締付けた。
また、取外しの際には、ねじを緩め、ねじの頭部が電極
板取付穴の大径部にくるように電極板を回転移動させる
ことで、容易に電極板の取外しができた。
じ（Ｍ３ネジ）を緩めた状態で電極板取付穴の大径部か
らねじの頭部を通した後、ねじの頭部が電極板取付穴の
小径部にくるように電極板を回転移動させて締付けた。
また、取外しの際には、ねじを緩め、ねじの頭部が電極
板取付穴の大径部にくるように電極板を回転移動させる
ことで、容易に電極板の取外しができた。
【００２３】比較例 外径φ２０３ｍｍ、厚み３ｍｍのガラス状炭素製基盤の
Ｐ．Ｃ．Ｄ．１７０ｍｍの位置に、図４に示すような形
状のφ４ｍｍの電極板取付穴を図４に示すように８個所
設けて、比較例の電極板とした。
Ｐ．Ｃ．Ｄ．１７０ｍｍの位置に、図４に示すような形
状のφ４ｍｍの電極板取付穴を図４に示すように８個所
設けて、比較例の電極板とした。
【００２４】比較例の電極板を取付ける際には、装置に
電極板を当てた後、一本ずつねじ（Ｍ３ネジ）を電極板
取付穴に挿入し、締付けていった。取外しの際には、一
本ずつねじを外してから電極板を取外した。
電極板を当てた後、一本ずつねじ（Ｍ３ネジ）を電極板
取付穴に挿入し、締付けていった。取外しの際には、一
本ずつねじを外してから電極板を取外した。
【００２５】
【発明の効果】本発明の電極板によれば、装置への電極
板の取付、取外しに際し、ねじを一本ずつ取付け、ま
た、取外してゆくこれまでの方法と比べて電極板の取付
け、取外しに要する時間を大幅に短縮することができ
る。また、装置への電極板の取付、取外しに際し、取付
ねじを下に落としてしまうようなミスを防止することが
できる。
板の取付、取外しに際し、ねじを一本ずつ取付け、ま
た、取外してゆくこれまでの方法と比べて電極板の取付
け、取外しに要する時間を大幅に短縮することができ
る。また、装置への電極板の取付、取外しに際し、取付
ねじを下に落としてしまうようなミスを防止することが
できる。
【図１】本発明の電極板の一例を示す平面図。
【図２】電極板取付穴の拡大平面図。
【図３】本発明の電極板の一例を示す平面図。
【図４】従来の電極板の一例を示す平面図。
１ ガス吹出し穴が設けられている範囲 ２ 電極板取付穴 ３ 大径部 ４ 小径部 ５ 座ぐり部
Claims (3)
- 【請求項１】 平行平板型プラズマ処理装置にねじで固
定して使用される電極板において、電極板に設けられた
電極板取付穴が、取付ねじの頭部が通過可能な大径部と
電極板を固定可能な小径部とを有することを特徴とする
プラズマ処理装置用電極板。 - 【請求項２】 大径部においてねじの頭部を通した後、
電極板を平行移動させて定位置に固定するように小径部
が形成された電極板取付穴を有する請求項１記載のプラ
ズマ処理装置用電極板。 - 【請求項３】 大径部においてねじの頭部を通した後、
電極板を回転移動させて定位置に固定するように小径部
が形成された電極板取付穴を有する請求項１記載のプラ
ズマ処理装置用電極板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10177478A JP2000012297A (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | プラズマ処理装置用電極板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10177478A JP2000012297A (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | プラズマ処理装置用電極板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000012297A true JP2000012297A (ja) | 2000-01-14 |
Family
ID=16031625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10177478A Pending JP2000012297A (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | プラズマ処理装置用電極板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000012297A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020078680A (ko) * | 2001-04-07 | 2002-10-19 | 주식회사 기림세미텍 | 에칭장치용 전극 어셈블리 |
| JP2002324781A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Shin Etsu Chem Co Ltd | プラズマ装置用電極板 |
| JP2015026743A (ja) * | 2013-07-26 | 2015-02-05 | パナソニック株式会社 | プラズマ処理装置 |
-
1998
- 1998-06-24 JP JP10177478A patent/JP2000012297A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020078680A (ko) * | 2001-04-07 | 2002-10-19 | 주식회사 기림세미텍 | 에칭장치용 전극 어셈블리 |
| JP2002324781A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Shin Etsu Chem Co Ltd | プラズマ装置用電極板 |
| JP4540250B2 (ja) * | 2001-04-25 | 2010-09-08 | 信越化学工業株式会社 | プラズマ装置用電極板 |
| JP2015026743A (ja) * | 2013-07-26 | 2015-02-05 | パナソニック株式会社 | プラズマ処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050304 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060828 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060906 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070109 |