JP2015026743A - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015026743A JP2015026743A JP2013156100A JP2013156100A JP2015026743A JP 2015026743 A JP2015026743 A JP 2015026743A JP 2013156100 A JP2013156100 A JP 2013156100A JP 2013156100 A JP2013156100 A JP 2013156100A JP 2015026743 A JP2015026743 A JP 2015026743A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- substrate
- flange
- plasma processing
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
101 筐体
102 電極体
103 レール
104 プラズマ発生用電源部
106 載置体
107 接続体
108 穴
109 貫通孔
111 基体
112 蓋体
113 絶縁部材
114 シール部材
119 排気口
131 鍔部
139 外部レール
141 高周波電源部
142 自動整合器
161 突出部
171 第一フランジ
172 第二フランジ
173 軸部
181 第一穴
182 第二穴
183 長穴
191 収容穴
200 基板
Claims (2)
- 基板を収容する筐体と、
前記筐体に収容される基板の背方に配置される電極体と、
前記電極体と前記基板との間に配置され、前記基板が載置される絶縁体からなる板状の載置体と、
前記載置体の表面に一方向に延在して載置状態で配置され、基板の搬送経路を形成し、処理中の基板を保持する絶縁体からなるレールと、
前記筐体内にプラズマを発生させるプラズマ発生手段とを備えるプラズマ処理装置であって、
前記載置体と前記レールとを接続する棒状の絶縁体からなる接続体であって、前記載置体の厚さ方向に延在し、一端部に第一フランジと他端部に前記第一フランジよりも径の大きい第二フランジとを備える接続体を備え、
前記載置体、および、前記レールのいずれか一方に、前記第一フランジと係合するだるま穴が設けられ、
前記載置体、および、前記レールの他方に、前記第一フランジが通過可能で前記第二フランジは貫通できない貫通孔が設けられている
プラズマ処理装置。 - 前記載置体は、前記基板の搬送経路側に向かって突出する突出部を備え、
前記レールは、下端部が前記突出部の側壁に当接した状態で配置される
請求項1に記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013156100A JP6160820B2 (ja) | 2013-07-26 | 2013-07-26 | プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013156100A JP6160820B2 (ja) | 2013-07-26 | 2013-07-26 | プラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015026743A true JP2015026743A (ja) | 2015-02-05 |
JP6160820B2 JP6160820B2 (ja) | 2017-07-12 |
Family
ID=52491167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013156100A Active JP6160820B2 (ja) | 2013-07-26 | 2013-07-26 | プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6160820B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018051549A (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | プラズマ処理装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6053112U (ja) * | 1983-09-21 | 1985-04-15 | 日立照明株式会社 | 照明器具の吊下げ装置 |
JPH11122438A (ja) * | 1997-10-15 | 1999-04-30 | Canon Inc | 画像読み取り装置及び画像形成装置 |
JP2000012297A (ja) * | 1998-06-24 | 2000-01-14 | Hitachi Chem Co Ltd | プラズマ処理装置用電極板 |
US6113736A (en) * | 1999-04-02 | 2000-09-05 | Mosel Vitelic Inc. | Gas ring apparatus for semiconductor etching |
US6926803B2 (en) * | 2002-04-17 | 2005-08-09 | Lam Research Corporation | Confinement ring support assembly |
JP2006228773A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2008226514A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2009185586A (ja) * | 2008-02-08 | 2009-08-20 | Kitatani Kensetsu Kk | 木造耐震壁 |
JP2013134885A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Panasonic Corp | プラズマ処理装置、および、プラズマ処理方法 |
JP3186039U (ja) * | 2010-09-24 | 2013-09-19 | ラム リサーチ コーポレーション | プラズマ処理チャンバのためのプラズマ閉じ込めリングアセンブリ |
-
2013
- 2013-07-26 JP JP2013156100A patent/JP6160820B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6053112U (ja) * | 1983-09-21 | 1985-04-15 | 日立照明株式会社 | 照明器具の吊下げ装置 |
JPH11122438A (ja) * | 1997-10-15 | 1999-04-30 | Canon Inc | 画像読み取り装置及び画像形成装置 |
JP2000012297A (ja) * | 1998-06-24 | 2000-01-14 | Hitachi Chem Co Ltd | プラズマ処理装置用電極板 |
US6113736A (en) * | 1999-04-02 | 2000-09-05 | Mosel Vitelic Inc. | Gas ring apparatus for semiconductor etching |
US6926803B2 (en) * | 2002-04-17 | 2005-08-09 | Lam Research Corporation | Confinement ring support assembly |
JP2006228773A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2008226514A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2009185586A (ja) * | 2008-02-08 | 2009-08-20 | Kitatani Kensetsu Kk | 木造耐震壁 |
JP3186039U (ja) * | 2010-09-24 | 2013-09-19 | ラム リサーチ コーポレーション | プラズマ処理チャンバのためのプラズマ閉じ込めリングアセンブリ |
JP2013134885A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Panasonic Corp | プラズマ処理装置、および、プラズマ処理方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018051549A (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | プラズマ処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6160820B2 (ja) | 2017-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6032649B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
US20150024671A1 (en) | Efem and load port | |
US9887115B2 (en) | Substrate processing apparatus, cover opening and closing mechanism,shielding mechanism, and method for purging container | |
JP5884035B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR20120109413A (ko) | 덮개 개폐 장치 | |
TW201341579A (zh) | 成膜裝置 | |
KR102107282B1 (ko) | 성막 장치 | |
JP2006351619A (ja) | 被処理物供給装置及び被処理物供給方法 | |
KR20070109791A (ko) | 플라즈마 처리장치 | |
JP6160820B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
TW201820516A (zh) | 真空處理裝置 | |
US10672593B2 (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing method | |
JP5995205B2 (ja) | プラズマ処理装置、および、プラズマ処理方法 | |
JP4239990B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR102462916B1 (ko) | 기판 반출입 장치, 기판 처리 장치 및 기판 반송 용기의 제전 방법 | |
TWI518750B (zh) | Ion beam irradiation device | |
TWI575600B (zh) | 基板處理設備及基板處理方法 | |
CN107887248B (zh) | 等离子体处理装置以及等离子体处理方法 | |
CN107689336B (zh) | 盖体和使用了该盖体的基板处理装置 | |
JP6671034B2 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
US10784075B2 (en) | Ion beam irradiation apparatus | |
JP7122551B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP7300609B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
CN114127332B (zh) | 负载锁定装置 | |
JP7122601B2 (ja) | プラズマ処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20150225 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160719 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170518 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170523 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170530 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6160820 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |