JP2013055089A - 静電チャック装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】静電チャック本体11が、その静電吸着面12の外側周縁部の固定地点においてベース(水冷プレート20)に移動不能に固定されると共に、固定地点から離れた可動地点においてベースに対してスライド移動可能に連結されるので、この静電チャック装置10を高温のウェハプロセスに使用した際の静電チャック本体の熱膨張が吸収され、破損や反り、歪みなどを発生させない。一例として、静電チャック本体に固定される可動ポスト26がベースの長穴(貫通穴23)をスライド移動可能に挿通する。静電チャック本体とベースとの間に所定の高さ間隔が保持され、これらの間にリフレクタなどの中間部品を配置可能である。
【選択図】図1
Description
11 静電チャック本体
12 静電吸着面
13 発熱層(ヒータパターン)
14 下方部
15 上方部
16,17(17a〜17c),18 貫通穴
19 ツバ部
20 水冷プレート(ベース)
21 水路
22 ボルト螺着穴
23(23a〜23c) 貫通穴(長穴)
24 貫通穴
25 固定ポスト
25a 突出部
25b 雄ネジ部
26 可動ポスト
26a 可動軸部
26b 下端突出部
26c 下端の雄ネジ部
26d 上方突出部
27 給電ボルト
28,29 固定ボルト
30 ワッシャ
31 ナット
32 リフレクタ(中間部材の一例)
33 プラテンリング
34 貫通穴
35 固定ポスト
36 貫通穴(長穴)
37 ワッシャ
38,39 ナット
Claims (12)
- 表面に静電吸着面を有する静電チャック本体と、ベースと、静電吸着面の外側周縁部の第一の地点において静電チャック本体をベースに固定する固定側連結手段と、静電吸着面の外側周縁部の前記第一の地点とは離れた第二の地点において静電チャック本体をベースに対して略平行方向にスライド移動可能に連結する可動側連結手段とを有することを特徴とする静電チャック装置。
- 前記可動側連結手段は、静電チャック本体に固定されると共にベースに対してスライド移動可能に連結されることを特徴とする、請求項1記載の静電チャック装置。
- 前記第二の地点に対応する地点において前記ベースを厚さ方向に貫通する貫通穴が形成され、前記可動側連結手段は、前記第二の地点において静電チャック本体に固定されると共に、ベースの貫通穴をスライド移動可能に貫通することを特徴とする、請求項2記載の静電チャック装置。
- 前記ベースの貫通穴は、前記第一の地点と前記第二の地点とに対応する地点を結ぶ直線の延長方向に長手軸を有する長穴として形成されることを特徴とする、請求項3記載の静電チャック装置。
- 前記ベースの貫通穴は、前記可動側連結手段を前記第一の地点と前記第二の地点とに対応する地点を結ぶ直線の延長方向に沿って移動可能とする寸法を有するものとして形成されることを特徴とする、請求項3記載の静電チャック装置。
- 前記可動側連結手段は、ベースに固定されると共に静電チャック本体に対してスライド移動可能に連結されることを特徴とする、請求項1記載の静電チャック装置。
- 前記第二の地点において前記静電チャックを厚さ方向に貫通する貫通穴が形成され、前記可動側連結手段は、前記第二の地点に対応する地点において前記ベースに固定されると共に、静電チャック本体の貫通穴をスライド移動可能に貫通することを特徴とする、請求項6記載の静電チャック装置。
- 前記静電チャック本体の貫通穴は、前記第一の地点と前記第二の地点とを結ぶ直線の延長方向に長手軸を有する長穴として形成されることを特徴とする、請求項7記載の静電チャック装置。
- 前記静電チャック本体の貫通穴は、前記可動側連結手段を少なくとも前記第一の地点と前記第二の地点とを結ぶ直線の延長方向に沿って移動可能とする寸法を有するものとして形成されることを特徴とする、請求項7記載の静電チャック装置。
- 前記固定側連結手段および前記可動側連結手段により静電チャック本体とベースとの間に所定の高さ間隔が保持されていることを特徴とする、請求項1ないし9のいずれか一に記載の静電チャック装置。
- 前記固定側連結手段および可動側連結手段は同一長さのポストを有し、これらポストによって前記所定の高さ間隔が保持されることを特徴とする、請求項10記載の静電チャック装置。
- 前記可動側連結手段は、前記固定側連結手段が設けられる第一の地点から見て所定角度を隔てた複数の第二の地点に設けられることを特徴とする、請求項1ないし11のいずれか一に記載の静電チャック装置。
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