JP4421624B2 - 半導体製造装置及びヒータ - Google Patents
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Description
本発明の半導体製造装置において、第1の接続部と第1の電極との固定位置が、第1の面の面内方向に可動域を有し、第2の接続部と第2の電極との固定位置が、第2の面の面内方向に可動域を有することが望ましい。
図1に本実施形態の半導体製造装置の断面図を示す。図に示すように、ウェーハ1が導入される反応室2には、反応室2上方より成膜ガスとキャリアガスからなる反応ガスを供給するためのガス供給口3と、反応室2下方より反応ガスを排出するためのガス排出口4が設置されている。反応室2内部には、ウェーハ1を回転させるための回転駆動手段5と、回転駆動手段5上でウェーハ1をその外周部において保持するための環状のホルダー6が設置されており、さらに、ウェーハ1を下部より加熱するためのインヒータ7が設置されている。
図7に本実施形態の半導体製造装置の部分断面図を示す。本実施例においては、インヒータ27aに加えて、環状のホルダー26を加熱するためのアウトヒータ27bを備えている点で、実施例1と異なっている。
Claims (10)
- ウェーハを裏面から加熱するためのヒータエレメントと、
前記ヒータエレメントと一体化され、前記ヒータエレメントに電圧を印加するための第1の接続部及び第2の接続部と、
第1の面で前記第1の接続部と接触、固定され、前記第1の接続部に電圧を印加するための第1の電極と、
前記第1の面と面方向が90度異なる第2の面で前記第2の接続部と接触、固定され、前記第2の接続部に電圧を印加するための第2の電極を備えることを特徴とする半導体製造装置。 - 前記第1の接続部と前記第1の電極との固定位置が、前記第1の面の面内方向に可動域を有し、
前記第2の接続部と前記第2の電極との固定位置が、前記第2の面の面内方向に可動域を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体製造装置。 - 前記第1の接続部、前記第2の接続部、前記第1の電極及び前記第2の電極に夫々形成された開口部と、
前記第1の接続部の開口部より径が小さく、前記第1の接続部の開口部を貫通して前記第1の接続部と前記第1の電極を固定する第1のボルトと、
前記第2の接続部の開口部より径が小さく、前記第2の接続部の開口部を貫通して前記第2の接続部と前記第2の電極を固定する第2のボルトを備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体製造装置。 - ウェーハを加熱するためのヒータエレメントと、
前記ヒータエレメントと一体化され、前記ヒータエレメントに電圧を印加するための第1の接続部及び第2の接続部と、
第1の面で前記第1の接続部と接触、固定され、前記第1の接続部に電圧を印加するための第1の電極と、
第2の面で前記第2の接続部と接触固定され、前記第2の接続部に電圧を印加するための第2の電極と、
前記第1の接続部、前記第2の接続部、前記第1の電極及び前記第2の電極に夫々形成された開口部と、
前記第1の接続部の開口部より径が小さく、前記第1の接続部の開口部を貫通して前記第1の接続部と前記第1の電極を固定する第1のボルトと、
前記第2の接続部の開口部より径が小さく、前記第2の接続部の開口部を貫通して前記第2の接続部と前記第2の電極を固定する第2のボルトを備えることを特徴とする半導体製造装置。 - 前記第1の電極を固定するための第1の電極ロッドと、
前記第2の電極を固定するための第2の電極ロッドと、
前記第1の電極及び前記第2の電極を保持するためのヒータシャフトを備え、
前記ヒータシャフト上部と、前記第1の電極ロッド及び前記第2の電極ロッドの夫々のヘッド部分との間に遊びを有することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の半導体製造装置。 - 前記ヒータエレメントは、面状または環状であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の半導体製造装置。
- 前記ヒータエレメントに、炭素材、SiC材、炭素材又はSiC材にSiC被覆を施した材料を用いることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の半導体製造装置。
- ウェーハを裏面から加熱するためのヒータエレメントと、
前記ヒータエレメントと一体化され、電極に接触、固定されるための第1の面を有する第1の接続部と、
前記ヒータエレメントと一体化され、電極に接触、固定されるための第2の面を有する第2の接続部を備え、
前記第1の面と前記第2の面の面方向が90度異なることを特徴とするヒータ。 - 前記ヒータエレメントは、面状または環状であることを特徴とする請求項8のヒータ。
- 前記ヒータエレメントに、炭素材、SiC材、炭素材又はSiC材にSiC被覆を施した材料を用いることを特徴とする請求項8または請求項9に記載のヒータ。
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