CN220825293U - 热电偶的清洗冶具及清洗装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种热电偶的清洗冶具及清洗装置。热电偶包括套管以及电源线；套管呈L型，包括相连接的水平套管以及竖直套管；电源线设置于竖直套管远离水平套管的一端；热电偶的清洗冶具包括冶具主体，水平夹具以及竖直夹具，冶具主体包括水平部以及竖直部，水平部与竖直部的端部固定连接；水平夹具设置于水平部上，水平夹具用于固定水平套管；竖直夹具设置于竖直套管朝向水平套管的一侧，竖直夹具用于固定竖直套管。水平夹具设置于水平部上，水平夹具用于固定水平套管，竖直夹具设置于竖直套管朝向水平套管的一侧，竖直夹具用于固定竖直套管，电源线设置于竖直套管远离水平套管的一端，使其不易被清洁液接触，从而可以实现对热电偶的清洗。

Description

热电偶的清洗冶具及清洗装置

技术领域

本申请涉及半导体设备技术领域，特别是涉及热电偶的清洗冶具及清洗装置。

背景技术

半导体加工过程中需采用热电偶进行温度传感工作。为保证热电偶测温的准确，需保持热电偶的清洁，故需对热电偶及时进行清洗。

由于热电偶是由石英套管和尾部的电源线组成，电源线不能触碰氢氟酸清洗液，对热电偶清洗时，只能清洗热电偶的石英套管。由于热电偶具有上述结构及清洗要求，目前业内所使用的洗管机都不能用于对热电偶进行清洗，只能清洗石英件和石英管。因此，如何实现热电偶的清洗成为亟需解决的问题。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种热电偶的清洗冶具以及热电偶的清洗装置，具有能够实现热电偶进行清洗的优点。

根据一些实施例，第一方面，本申请提供一种热电偶的清洗冶具，热电偶包括套管以及电源线；套管呈L型，包括相连接的水平套管以及竖直套管；电源线设置于竖直套管远离水平套管的一端；热电偶的清洗冶具包括冶具主体，水平夹具以及竖直夹具，冶具主体包括水平部以及竖直部，水平部与竖直部的端部固定连接；水平夹具设置于水平部上，水平夹具用于固定水平套管；竖直夹具设置于竖直套管朝向水平套管的一侧，竖直夹具用于固定竖直套管。

在一些实施例中，竖直夹具的顶面低于竖直套管的顶面。

在一些实施例中，水平部与竖直部相互垂直。

在一些实施例中，水平套管的形状和竖直套管的形状均为圆柱形；竖直夹具的形状与水平夹具形状均为具有缺口的环形。

在一些实施例中，水平夹具和竖直夹具均为弹性夹具。

在一些实施例中，水平夹具的形状为半圆环形；竖直夹具的缺口的长度小于竖直夹具的外径。

在一些实施例中，水平夹具的数量为多个，多个水平夹具沿水平套管的长度方向间隔设置。

在一些实施例中，竖直夹具的数量为一个，竖直夹具与竖直部的间距小于竖直套管的长度。

根据一些实施例，第二方面，本申请还提供一种热电偶的清洗装置，包括第一方面中所述的热电偶的清洗冶具。

在一些实施例中，还包括清洗池，热电偶的清洗冶具至少部分置于清洗池中，清洗池用于盛放清洗液，清洗液的液面低于热电偶的竖直套管的顶面。

本申请实施例至少具有以下有益效果：本申请实施例中，热电偶的清洗冶具包括冶具主体，水平夹具以及竖直夹具，冶具主体包括水平部以及竖直部，水平部与竖直部的端部固定连接；水平夹具设置于水平部上，水平夹具用于固定热电偶的L型套管中的水平套管，竖直夹具设置于竖直套管朝向水平套管的一侧，竖直夹具用于热电偶的L型套管中的固定竖直套管，水平套管以及竖直套管相连接，热电偶的电源线设置于竖直套管远离水平套管的一端，使其不易被清洁液接触，从而可以实现对热电偶的清洗。

附图说明

图1为一种热电偶的结构示意图；

图2为本申请一实施例中的热电偶的清洗冶具的立体结构示意图；

图3为本申请一实施例中的热电偶的清洗冶具的俯视结构示意图；

图4为本申请一实施例中的热电偶的清洗冶具固定有热电偶时的立体结构示意图；

图5为本申请一实施例中的热电偶的清洗冶具固定有热电偶时的俯视结构示意图；

图6为本申请一实施例中的热电偶的清洗装置的结构示意图。

附图标号说明：

1、热电偶；11、套管；111、水平套管；112、竖直套管；12、电源线；2、冶具主体；21、水平部；22、竖直部；3、水平夹具；4、竖直夹具；5、清洗池；6、清洗液。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本申请所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

请参考图1，图1示出了一种热电偶1的结构示意图，热电偶1是一种测温元件，其利用将两种不同材料的电偶丝焊接起来，构成一个闭合回路，当两导体的两个执着点之间存在温差时，两者之间便产生电势差，当接上显示仪表时，仪表上就显示出同热电偶1所产生的热电动势对应的温度值。热电偶1包括套管11以及电源线12；套管11呈L型，包括相连接的水平套管111以及竖直套管112；电源线12设置于竖直套管112远离水平套管111的一端。半导体制造工业中使用的沉积炉管一般均采用热电偶1实时测量炉管温度。

沉积炉管使用一段时间后，炉管内壁及置于炉管内的器件（譬如热电偶）的表面上会有沉积化学反应附产物的结晶，为保证沉积炉管使用时的洁净度以及热电偶测量的准确性，需要定期清洗炉管内壁及置于炉管内的热电偶。例如，当炉管设备工作一段时间后，L型套管11的外壁上会附着一层非金属薄膜，从而影响温度测量的精度。故每隔一段时间，需将L型套管11拆卸，并对其进行酸洗，去除附着在L型套管11上的薄膜。由于石英套管11成L形状，有90°的弯曲，无法将L型套管11单独拆卸和清洗，目前也还没有专门用于清洗热电偶1的清洗设备，由于热电偶1的电源线12不能触碰氢氟酸清洗液6，传统的炉管所使用的洗管机都不能用于清洗热电偶1，只能清洗石英件和石英管，因此，亟需一种热电偶的清洗冶具以实现热电偶1的清洗。

基于此，本申请提供了一种热电偶的清洗冶具以及热电偶的清洗装置。能够有效解决热电偶无法清洗的问题。

请结合图1参阅图2至图5进行理解，根据一些实施例，提供了一种热电偶的清洗冶具，热电偶的清洗冶具包括冶具主体2、水平夹具3以及竖直夹具4；热电偶的清洗治具用于固定上述的热电偶1，热电偶1包括套管11以及电源线12；套管11呈L型，包括相连接的水平套管111以及竖直套管112；电源线12设置于竖直套管112远离水平套管111的一端。

此处，热电偶1的套管11呈L型可以理解为热电偶1的水平套管111以及热电偶1的竖直套管112相互垂直，水平套管111以及竖直套管112可以以固定方式连接或活动连接，热电偶1的套管11可以为石英套管11等，本领域技术人员可以根据适用的热电偶1进行适用性调整。本申请实施例不对热电偶1的具体结构作出限定。

本申请实施例中，热电偶的清洗冶具包括冶具主体2，水平夹具3以及竖直夹具4，冶具主体2包括水平部21以及竖直部22，水平部21与竖直部22的端部固定连接；水平夹具3设置于水平部21上，水平夹具3用于固定热电偶1的L型套管11中的水平套管111，竖直夹具4设置于竖直套管112朝向水平套管111的一侧，竖直夹具4用于热电偶1的L型套管11中的固定竖直套管112，水平套管111以及竖直套管112相连接，热电偶1的电源线12设置于竖直套管112远离水平套管111的一端，使其不易被清洁液接触，从而实现热电偶1的清洗。

需要说明的是，水平部21与竖直部22的连接方式此处不做限定，本领域技术人员可以根据实际应用场景自行决定采用何种连接方式。示例地，水平部21与竖直部22的连接方式可采用铆接、螺纹连接、卡接等机械组装方式。或者，水平部21与竖直部22也可以为一体成型，即采用一次性注塑成型，或一次性机加工成型等，以使包括水平部21与竖直部22的冶具主体2结构牢固。

示例地，冶具主体2的材料可以包括但不仅限于铝、铝合金、铝镁合金等质轻的金属材料，也可以为石英、氧化铝、氮化铝、碳化硅等陶瓷材料。

在一些实施例中，水平部21与竖直部22相互垂直。从而更好地固定套管11呈L型的热电偶1，以提高与热电偶1的适配度。

示例地，水平部21的宽度可以大于等于竖直部22的宽度，从而使得冶具主体有更高的稳定性。

如图4及图5所示，水平夹具3设置于水平部21上，水平夹具3用于固定水平套管111。

示例地，水平夹具3可以活动连接在冶具主体的水平部21上，例如，水平夹具3可拆卸的连接在水平部21上。示例地，水平夹具3包括水平拆卸端口，水平部21上设置有固定座，水平拆卸端口与固定座可拆卸连接。固定座上还设有锁定轴，水平拆卸端口具有用于穿设锁定轴的连接轴孔，固定座与水平拆卸端口通过锁定轴可拆卸连接。通过设置锁定轴和水平拆卸端口连接，方便拆卸，也较为稳定。进一步地，锁定轴包括相连的偏心轴段和延长轴段，偏心轴段与延长轴段的轴心不在同一直线上；固定座用以容纳偏心轴段，偏心轴段与固定座配合锁紧。将锁定轴上的偏心轴段配合锁紧，旋转即可锁紧，安装十分快捷，不需要进行对位，而且偏心轴段和连接轴孔的配合，不会因热电偶的清洗冶具在进行热电偶1清洗时产生的振动而松离开，具有更高的稳定性。当然，在其他示例中，水平夹具3也可以通过焊接或一体成型工艺形成在冶具主体的水平部21上。

在一些实施例中，水平套管111的形状可以为圆柱形；水平夹具3形状均为具有缺口的环形，以更好地固定热电偶1的水平套管111。

在一些实施例中，如图2及图3所示，水平夹具3的形状为半圆环形，以利于水平夹具3的标准化生产，从而降低生产成本。

在一些实施例中，水平夹具3的数量为多个，多个水平夹具3沿水平套管111的长度方向间隔设置，从而在水平套管111长度较长时，加强水平夹具3对于水平套管111的夹持力，从而使得水平套管111的固定更为稳定。

在一些实施例中，水平夹具3为弹性夹具。弹性夹具能够在固定套管11时产生弹性应力，从而可以避免套管11松脱，并且弹性夹具更便于热电偶1的套管11的安装与拆卸，而且能够有效避免拆卸过程中对热电偶1的套管11的损伤。

可以理解，弹性夹具由弹性材料制成，示例地，弹性夹具可以为橡胶材质；橡胶材质的弹性夹具，一方面具有很好的耐老化作用，因此长期使用具有很好的安全性，另一方面当弹性夹具夹持于热电偶1的套管11的边缘处后，不会划伤套管11；当然，弹性夹具并不仅限于是橡胶材质，还可以由其他的材质制成。例如，弹性夹具的材质也可以为铝、铜、不锈钢、铜合金或铝合金，或其他具有良好导热且有一定弹性的金属材料，从而能够在清洗过程中良好地传导可能产生的热量，避免套管11的损伤。

如图4及图5所示，竖直夹具4设置于竖直套管112朝向水平套管111的一侧，竖直夹具4用于固定竖直套管112。

相应地，竖直夹具4也可以活动连接在冶具主体的竖直部22上，例如，竖直夹具4可拆卸的连接在竖直部22上，具体结构可以参考上述水平夹具3的具体实施例，此处不做赘述。当然，在其他示例中，竖直夹具4也可以通过焊接或一体成型工艺等固定在竖直部22上。

在一些实施例中，竖直套管112的形状也可以为圆柱形；竖直夹具4的形状为具有缺口的环形，以更好地固定热电偶1的竖直套管112。

在一些实施例中，如图2及图3所示，竖直夹具4的缺口的长度可以小于竖直夹具4的外径，从而更稳定地固定热电偶1的竖直套管112，避免因热电偶的清洗冶具在进行热电偶1清洗时产生的振动而松离开，具有更高的稳定性。

在一些实施例中，竖直夹具4的顶面可以低于竖直套管112的顶面，避免电源线12在热电偶1进行清洗时能够被浸入至清洗液6中造成损伤。

在一些实施例中，竖直夹具4的数量为一个，竖直夹具4与竖直部22的间距小于竖直套管112的长度。

在一些实施例中，竖直夹具4也可以为弹性夹具。弹性夹具能够在固定套管11时产生弹性应力，从而可以避免套管11松脱，并且弹性夹具更便于热电偶1的套管11的安装与拆卸，而且能够有效避免拆卸过程中对热电偶1的套管11的损伤。

可以理解，弹性夹具由弹性材料制成，示例地，弹性夹具可以为橡胶材质；橡胶材质的弹性夹具，一方面具有很好的耐老化作用，因此长期使用具有很好的安全性，另一方面当弹性夹具夹持于热电偶1的套管11的边缘处后，不会划伤套管11；当然，弹性夹具并不仅限于是橡胶材质，还可以由其他的材质制成。

示例地，弹性夹具的材质也可以为铝、铜、不锈钢、铜合金或铝合金，或其他具有良好导热且有一定弹性的金属材料，从而能够在清洗过程中良好地传导可能产生的热量，避免套管11的损伤。

在一些实施例中，竖直部22的高度可以调节，以适应不同尺寸的热电偶1。示例地，竖直部22包括竖直伸缩组件（未示出），竖直伸缩组件用于调节竖直部22的高度。示例地，竖直部22设置有滑槽，竖直夹具4设置于滑槽上，用于滑动调节竖直夹具4的高度，从而调整竖直部22的高度。

作为示例，水平夹具3的内径和竖直夹具4的内径可以均与套管11的外径相同，以确保水平夹具3与竖直夹具4的夹持力，防止热电偶从清洗治具上掉落。

请参考图6，根据一些实施例，还提供了一种热电偶的清洗装置，包括如图1至图5所对应的实施例中的热电偶的清洗冶具。

在一些实施例中，还包括清洗池5，热电偶的清洗冶具至少部分置于清洗池5中，清洗池5用于盛放清洗液6，清洗液6的液面低于热电偶的竖直套管112的顶面，从而避免电源线12在热电偶1进行清洗时能够被浸入至清洗液6中造成损伤。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种热电偶的清洗冶具，所述热电偶包括套管以及电源线；所述套管呈L型，包括相连接的水平套管以及竖直套管；所述电源线设置于所述竖直套管远离所述水平套管的一端；其特征在于，所述热电偶的清洗冶具包括：

冶具主体，所述冶具主体包括水平部以及竖直部，所述水平部与所述竖直部的端部固定连接；

水平夹具，设置于所述水平部上，所述水平夹具用于固定所述水平套管；

竖直夹具，设置于所述竖直套管朝向所述水平套管的一侧，所述竖直夹具用于固定所述竖直套管。

2.根据权利要求1所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述竖直夹具的顶面低于所述竖直套管的顶面。

3.根据权利要求1所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述水平部与所述竖直部相互垂直。

4.根据权利要求1所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述水平套管的形状和所述竖直套管的形状均为圆柱形；所述竖直夹具的形状与所述水平夹具形状均为具有缺口的环形。

5.根据权利要求4所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述水平夹具和所述竖直夹具均为弹性夹具。

6.根据权利要求5所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述水平夹具的形状为半圆环形；所述竖直夹具的缺口的长度小于所述竖直夹具的外径。

7.根据权利要求4所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述水平夹具的数量为多个，多个所述水平夹具沿所述水平套管的长度方向间隔设置。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述竖直夹具的数量为一个，所述竖直夹具与所述竖直部的间距小于所述竖直套管的长度。

9.一种热电偶的清洗装置，其特征在于，包括如权利要求1-8中任一项所述的热电偶的清洗冶具。

10.根据权利要求9所述的热电偶的清洗装置，其特征在于，还包括清洗池，所述热电偶的清洗冶具至少部分置于所述清洗池中，所述清洗池用于盛放清洗液，所述清洗液的液面低于热电偶的竖直套管的顶面。