KR101377142B1 - 링 또는 원판 구조물의 세정 지그 - Google Patents

Abstract

본 발명은 링 또는 원판 구조물의 세정 지그에 관한 것으로, 링형 구조의 제1측면 프레임 및 제2측면 프레임과, 상기 제1측면 프레임과 제2측면 프레임의 사이에 결합되어 상기 제1측면 프레임과 제2측면프레임이 마주하도록 고정하는 다수의 고정축부와, 상기 고정축부의 사이에 위치하며, 탈부착이 용이하여 탈착된 상태에서 상기 제1측면 프레임 및 제2측면 프레임과 상기 다수의 고정축부가 이루는 공간에 링형 또는 원판형 구조물을 장착한 후, 다시 부착하여 상기 링형 또는 원판형 구조물의 이탈을 방지하는 안내축부를 포함한다. 본 발명은 간단한 구조를 사용하여 다수의 링형 또는 원판형의 구조물을 용이하게 적재할 수 있어, 작업자가 동시에 다수의 링형 또는 원판형 구조물을 세정할 수 있도록 함으로써, 세정 작업에 소요되는 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

Description

링 또는 원판 구조물의 세정 지그{Cleaning jig for ring or disk structure}

본 발명은 링 또는 원판 구조물의 세정 지그에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수의 구조물을 동시에 세정할 수 있으며, 작업자의 작업 편의성을 향상시킬 수 있는 링 또는 원판 구조물의 세정 지그에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 또는 엘이디 제조장치에는 실리콘, 실리콘 카바이드 등의 재질의 원판 또는 링 구조물이 적용되는 사례들이 있다.

이와 같은 원판이나 링은 전극 또는 샤워헤드, 또는 분위기의 균일성 유지를 위한 중간 판재나 덮개로 사용될 수 있다.

상기 제조장치에 적용되는 원판형 구조물 또는 링형 구조물들은 공정이 진행되면서 공정 부산물이 증착되는 등 이물이 부착되며, 이는 공정의 불균일성을 증가시키고, 수율을 저하시키는 원인이 된다.

따라서 주기적으로 세정이 필요하며, 주로 화학약품(세정용 케미컬)에 침지시켜 세정작업을 하게 되며, 통상 비용의 절감 등을 이유로 작업자가 직접 각 원판형 구조물 또는 링형 구조물을 케미컬에 침지시켜 세정을 하게 된다.

이는 웨이퍼의 세정의 경우 이물이 잔존하지 않도록 하며, 대량의 웨이퍼를 처리하기 위해 자동화된 설비를 갖추고 있으나, 제조장비의 세정을 위한 설비들은 마련되어 있지 않은 것이 보통이기 때문이다.

상기 웨이퍼를 동시에 적재하여 이동이나 다른 처리를 위한 카세트 장치들은 등록특허 10-0135049호 등 다양한 예가 있으나, 제조장비의 특정 부품을 위한 세정 지그에 대하여 공개된 바가 없다.

이러한 이유로 다양한 용도로 사용되고 있는 원판형 또는 링형 구조물들을 각각 작업자가 세정하기 때문에 작업시간이 지연되는 문제점이 있었다.

상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 과제는, 다수의 원판형 또는 링형 구조물들을 동시에 세정할 수 있으며, 안전성을 보다 향상시킨 링 또는 원판 구조물의 세정 지그를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명 링 또는 원판 구조물의 세정 지그는, 링 또는 원판 구조물의 세정 지그에 관한 것으로, 링형 구조의 제1측면 프레임 및 제2측면 프레임과, 상기 제1측면 프레임과 제2측면 프레임의 사이에 결합되어 상기 제1측면 프레임과 제2측면프레임이 마주하도록 고정하는 다수의 고정축부와, 상기 고정축부의 사이에 위치하며, 탈부착이 용이하여 탈착된 상태에서 상기 제1측면 프레임 및 제2측면 프레임과 상기 다수의 고정축부가 이루는 공간에 링형 또는 원판형 구조물을 장착한 후, 다시 부착하여 상기 링형 또는 원판형 구조물의 이탈을 방지하는 안내축부를 포함한다.

본 발명은, 간단한 구조를 사용하여 다수의 링형 또는 원판형의 구조물을 용이하게 적재할 수 있어, 작업자가 동시에 다수의 링형 또는 원판형 구조물을 세정할 수 있도록 함으로써, 세정 작업에 소요되는 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 링 또는 원판 구조물의 세정 지그의 사시도이다.
도 2는 도 1의 분리 사시도이다.
도 3은 도 1의 일부 상세 구성도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 링 또는 원판 구조물의 세정 지그에 구조물이 장착된 상태의 사시도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 링 또는 원판 구조물의 세정 지그에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 링 또는 원판 구조물의 세정 지그의 사시도이고, 도 2는 도 1의 분리 사시도이며, 도 3은 도 1의 일부 상세 구성도이다.

도 1 내지 도 3을 각각 참조하면 한 쌍의 원형 링 구조의 제1 및 제2측면 프레임(10,20)과, 상기 제1 및 제2측면 프레임(10,20)의 사이를 연결하여 고정되며, 각각 다수의 고정홈(31)이 마련된 고정축부(30)와, 상기 제1 및 제2측면 프레임(10,20)의 사이를 연결하되, 적어도 일측의 이탈과 체결이 용이한 안내축부(40)와, 상기 다수의 고정축부(30) 중 180도 방향에 위치하는 두 고정축부(30)에 양단이 고정되는 손잡이(50)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 링 또는 원판 구조물의 세정 지그의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 제1 및 제2측면 프레임(10,20)은 각각 동일한 구조를 가지는 것으로 링 형상의 구조이며, 상기 고정축부(30)가 볼트(11)에 의해 체결될 수 있는 체결공(12,22)이 각각 마련되어 있다.

즉 상기 제1 및 제2측면 프레임(10,20)은 본 발명의 링 또는 원판 구조물의 세정 지그의 외형을 이루는 것이며, 그 사이에 상기 고정축부(30)가 결합되어 견고하게 고정된다.

상기 고정축부(30)는 모두 네 개가 구비됨이 바람직하며, 특히 가장 상부측에 위치하는 두 고정축부(30)는 모두 동일한 높이인 상기 제1 및 제2측면 프레임(10,20) 높이의 절반에 해당하는 위치에 결합되어 있는 것이 바람직하다.

이는 두 고정축부(30)가 원형 링인 제1 및 제2측면 프레임(10,20)의 중심에 대하여 상호 180도 회전한 방향에 위치함을 뜻한다.

이는 링형 또는 원판형 구조물을 장착하거나 탈거하기 용이하도록 하기 위한 것이며, 상기 고정축부(30) 각각에는 장착될 링형 또는 원판형 구조물이 삽입되는 다수의 고정홈(31)이 마련되어 있다. 상기 고정홈(31)의 수는 조절할 수 있으며, 특히 장착될 링형 또는 원판형 구조물의 두께와 수량을 고려하여 그 고정축부(30)는 다양하게 제작되고, 교체될 수 있다.

상기 가장 상부측에 위치하는 두 고정축부(30)에는 손잡이(50)의 양단이 함께 볼트(11)로 고정되며, 작업자가 세정 작업을 보다 용이하게 할 수 있게 된다.

또한 상기 상호 180도 회전한 방향에 위치하는 두 고정축부(30)의 사이의 중앙부에 해당하는 제1측면 프레임(10)과 제2측면 프레임(20)에는 상기 도 3에 도시한 바와 같이 직경이 서로 다른 원형의 홀이 중첩된 구조의 착탈홀(13,23)이 마련되어 있다.

상기 착탈홀(13,23)의 직경이 더 큰 홀을 통해 상기 안내축부(40)가 삽입되고, 그 안내 축부를 착탈홀(13,23)의 직경이 더 작은 홀측으로 밀어 넣어 고정하게 된다.

상기 안내축부(40)의 양단은 걸림턱(41)이 마련된 것이며, 상기 고정축부(30)와는 다르게 고정홈이 마련되어 있지 않은 구조로 한다.

도 4는 본 발명에 링형 또는 원판형 구조물이 장착된 상태의 사시도이다.

도 4와 같이 본 발명에는 다수의 링형 또는 원판형 구조물(1)이 상기 고정축부(30)의 고정홈(31)에 가장자리 일부가 끼워진 상태로 고정된다.

이와 같은 장착상태를 가지기 위해서, 작업자는 상기 안내축부(40)를 착탈홀(13,23)의 직경이 더 큰 홀측으로 밀어 안내축부(40)를 제거하고, 링형 또는 원판형 구조물(1)을 각 고정축부(30)의 고정홈(31)에 맞춰 삽입 장착한다.

상기 링형 또는 원판형 구조물(1)의 장착이 완료된 상태에서 다시 안내축부(40)를 착탈홀(13,23)의 직경이 더 큰 홀에 삽입하고, 직경이 더 작은 홀측으로 밀어 상기 걸림턱(41)에 의해 고정될 수 있도록 한다.

이처럼 결합된 상태에서 작업자는 손잡이(50)를 잡고, 상기 장착된 링형 또는 원판형 구조물(1)들이 케미컬에 침지될 수 있도록 하여 다수의 링형 또는 원판형 구조물(1)들을 동시에 세정할 수 있게 된다.

또한 낱장으로 링형 또는 원판형 구조물(1)을 세정처리할 때 작업자의 실수에 의한 파손이 발생할 염려가 있었으나, 본 발명은 간단하지만 견고한 결합구조의 세정 지그를 제공하여 링형 또는 원판형 구조물(1)의 파손을 방지할 수 있게 된다.

아울러 상기 제1측면 프레임(10), 제2측면 프레임(20)과 상기 고정축부(30) 및 안내축부(40)가 이루는 공간에는 케미컬의 유입이 용이한 구조이며, 원활한 세정이 이루어질 수 있다.

전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.

10:제1측면 프레임 11:볼트
12,22:체결공 13,23:착탈홀
30:고정축부 31:고정홈
40:안내축부 41:걸림턱
50:손잡이

Claims (4)

1. 링형 구조의 제1측면 프레임 및 제2측면 프레임;
   상기 제1측면 프레임과 제2측면 프레임의 사이에 결합되어 상기 제1측면 프레임과 제2측면프레임이 마주하도록 고정하는 다수의 고정축부; 및
   상기 고정축부의 사이에 위치하며, 탈부착이 용이하여 탈착된 상태에서 상기 제1측면 프레임 및 제2측면 프레임과 상기 다수의 고정축부가 이루는 공간에 링형 또는 원판형 구조물을 장착한 후, 다시 부착하여 상기 링형 또는 원판형 구조물의 이탈을 방지하는 안내축부를 포함하는 링 또는 원판 구조물의 세정 지그.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 고정축부 중 선택된 두 고정축부의 일단에 각각 양단부가 고정되는 손잡이를 더 포함하는 링 또는 원판 구조물의 세정 지그.
   
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 고정축부에는,
   다수의 고정홈이 마련되어 상기 링형 또는 원판형 구조물의 가장자리 일부가 삽입 고정되는 것을 특징으로 하는 링 또는 원판 구조물의 세정 지그.
   
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 안내축부는 양단에 걸림턱이 마련된 것이며,
   상기 제1측면 프레임과 제2측면 프레임에 각각 마련되며, 직경이 다른 두 홀이 일부 중첩되어 위치하는 구조의 착탈홀에 삽입되는 것을 특징으로 하는 링 또는 원판 구조물의 세정 지그.

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