JPH04107836U - ウエーハハンドリング用ツール - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 〔目的〕 チヤックホルダの溝加工精度むらをなくし、
多数枚のウェーハチヤック、その一部の取外し、取付け
あるいは交換を短時間に容易にする。 〔構成〕 チヤックホルダ４に、先端部に爪３を有する
多数枚のウェーハチヤック２の基部とこれらの基部間に
介在せしめたスペーサ８とをネジ類７により圧着する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は半導体製造装置のウェーハハンドリングに用いるツールに関する。

【０００２】

【従来の技術】

図５は従来ツールの一例を示す説明用簡略横断平面図、図６はその説明用簡略 側面図である。 従来ツールは、チヤックホルダ４に等ピッチで設けられた溝内に、放電加工に より高精度に加工された多数枚，例えば25枚のウェーハチヤック２の基部を差し 込み、それぞれチヤック固定金具５と固定ボルト６によりチヤックホルダ４に強 固に固定された構成になっている。

【０００３】 このような従来ツールを用いて等ピッチ，例えば６ｍｍのピッチで並設された 多数枚，例えば25枚のウェーハ１を一括して掬い上げ、これらのウェーハ１を処 理用ボートに移し替えたり、また当該ボートより元の位置に戻したりする場合、 25枚のウェーハ１を掬い上げるためには25枚の石英またはＳｉＣ製のウェーハチ ヤック２をウェーハ１に触れることなく、６ｍｍのピッチで並設された25枚のウ ェーハ１の間に挿入しなければならない。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかし上記のような従来ツールにあっては、チヤックホルダ４の溝の加工精度 がウェーハチヤック２の先端のピッチ精度に大きく影響を及ぼし、例えばチヤッ クホルダ４の溝とウェーハチヤック２との間に0.１ｍｍの隙間があると、ウェー ハチヤック２の先端では1.３ｍｍのずれを生じるため、ウェーハチヤック２を６ ｍｍのピッチで並設された25枚のウェーハ１間に挿入するとき、ウェーハチヤッ ク２がウェーハ１に接触したり、チヤック２の爪３にウェーハ１が入らなかった りしてこれらのウェーハを掬い上げることができない。そのためチヤックホルダ ４とウェーハチヤック２との組立精度を向上する必要がある。

【０００５】 また、各ウェーハチヤック２はチヤックホルダ４にそれぞれチヤック固定金具 ５で固定しているので、25枚のウェーハチヤック２の取外し、取付けに手間を要 するばかりでなく、そのうちの一部を取外したり取付けたりすることができない という課題があった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案ツールは上記の課題を解決するため、図１〜図４示のようにチヤックホ ルダ４に、先端部に爪３を有する多数枚のウェーハチヤック２の基部をそれぞれ スペーサ８を介在せしめて並設すると共にチヤックホルダ４に、各ウェーハチヤ ック２の基部とこれらの基部間に介在せしめたスペーサ８とをネジ類７により圧 着せしめてなる構成としたものである。

【０００７】

【作 用】

このような構成とすることによりウェーハチヤック２の先端でのピッチのバラ ツキを生じさせるチヤックホルダ４の溝加工精度むらが削除できることになる。 また、多数枚のウェーハチヤック２の基部とこれらの基部間に介在せしめたスペ ーサ８はチヤックホルダ４にネジ類７により圧着されているだけなので、ネジ類 ７の締付けを緩め、あるいはネジ類７を締付けることにより多数枚のウェーハチ ヤック２の取外し、取付けが従来よりも短時間に容易にでき、その一部の取外し 、取付けもあるいは交換も容易に行えることになる。

【０００８】

【実施例】

以下図面により本考案の実施例を説明する。 図１は本考案ツールの一実施例を示す説明用簡略横断平面図、図２はその説明 用簡略側面図である。４はチヤックホルダで、このチヤックホルダ４には、先端 部に爪３を有する多数枚、例えば25枚の石英製ウェーハチヤック２の基部がそれ ぞれ光学研磨により平面度を出した石英スペーサ８を介在せしめて並設され、か つチヤックホルダ４に、各ウェーハチヤック２の基部とこれらの基部間及び前記 チヤックホルダ４の両側内面との間に介在せしめた石英スペーサ８及び樹脂スペ ーサ８ａがネジ類例えばボルト７により圧着されている。

【０００９】 また、チヤックホルダ４に、各ウェーハチヤック２，石英スペーサ８及び樹脂 スペーサ８ａの落下防止用ピン９がネジ類７と併設されている。この落下防止用 ピン９はステンレス製で、その表面は厚さ0.１５ｍｍのポリエチレンテレフタレ ートコーティングされている。

【００１０】 本実施例はこのような構成であるから、例えば２台の縦形拡散装置に、それぞ れウェーハ１を供給するウェーハハンドリング装置のハンドリング用ツールとし て使用することができる。本ツールをロボットの手先にハンドとして取りつけ、 １回のロード，アンロードで25枚のウェーハ１を一括して移し替えることができ る。

【００１１】 ウェーハチヤック２の先端でのピッチのバラツキを生じさせるチヤックホルダ ４の溝加工精度むらが削除できることになる。換言すればウェーハチヤック２の 先端のピッチの精度は石英スペーサ８の加工精度のみで決まり、チヤックホルダ ４に等ピッチの溝を設けた場合より精度を向上させることができる。

【００１２】 また、25枚のウェーハチヤック２の基部とこれらの基部間に介在せしめた石英 スペーサ８及び両側の樹脂スペーサ８ａはチヤックホルダ４にボルト７により圧 着されているだけなので、ボルト７の締付けを緩め、あるいはボルト７を締付け ることにより25枚のウェーハチヤック２の取外し、取付けが従来よりも短時間に 容易にでき、その一部の取外し、取付けもあるいは交換も容易に行えることにな る。そのため一部のウェーハチヤック２をフッ酸などで洗浄する時に大変便利で ある。ウェーハチヤック２の取外し、取付け時に取外す必要のないウェーハチヤ ック２，スペーサ８，８ａは落下防止用ピン９により脱落が防止され安全に取付 け取外しができる。

【００１３】 この場合、ウェーハチヤック２の離脱はボルト７による締付け力に比例した摩 擦力で防止されることは勿論である。また各ウェーハチヤック２の基部間に介在 させた石英スペーサ８の面は摩擦力を増大させるために砂目仕上げとすることが 望ましい。

【００１４】 図３はその他の実施例を示す説明用簡略横断平面図、図４はその説明用簡略側 面図である。 この実施例は、各ウェーハチヤック２の基部一面にスペーサ８を一体に設けて なる例であり、各ウェーハチヤック２及びスペーサ８はカーボン母材を加工し、 その表面に高温状態で高純度ＳｉＣ膜をコートしてなる。

【００１５】 この実施例によれば、各ＳｉＣ製ウェーハチヤック２の基部一面にＳｉＣスペ ーサ８を一体に形成してなるので、上記実施例に比しスペーサ８の部品数だけ部 品点数を低減でき、加工性が良好になる。しかし、各ウェーハチヤック２とスペ ーサ８は全体をカーボン母材で加工した後、高純度ＳｉＣ膜をコートして得られ るが、コート処理は高温状態で行うため精度に悪影響を及ぼし、加工精度は上記 実施例に比して低下することになる。

【００１６】

【考案の効果】

上述の説明より明らかなように本考案によれば、ウェーハチヤック２の先端の ピッチの精度はスペーサ８の加工精度のみで決まり、チヤックホルダ４に等ピッ チの溝を設けた場合より精度を向上させることができる。

【００１７】 また、多数枚のウェーハチヤック２の基部とこれらの基部間に介在せしめたス ペーサ８はチヤックホルダ４にネジ類により圧着されているだけなので、ネジ類 ７の締付けを緩め、あるいはネジ類７を締付けることにより多数枚のウェーハチ ヤック２の取外し、取付けが従来よりも短時間に容易にでき、その一部の取外し 、取付けも、あるいは交換も容易に行えるばかりでなく、従来よりもチヤックホ ルダ４の構造を簡略化できる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案ツールの一実施例を示す説明用簡略平面
図である。

【図２】その説明用簡略側面図である。

【図３】その他の実施例を示す説明用簡略横断平面図で
ある。

【図４】その説明用簡略側面図である。

【図５】従来ツールの一例を示す説明用簡略平面図であ
る。

【図６】その説明用簡略側面図である。

【符号の説明】

１ ウェーハ ２ （石英またはＳｉＣ製）ウェーハチヤック ３ 爪 ４ チヤックホルダ ７ ネジ類（ボルト） ８ 石英またはＳｉＣスペーサ ８ａ 樹脂スペーサ

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【手続補正書】

【提出日】平成３年６月２４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【図２】

【図４】

【図３】

【図５】

【図６】

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 チヤックホルダ（４）に、先端部に爪
   （３）を有する多数枚のウェーハチヤック（２）の基部
   をそれぞれスペーサ（８）を介在せしめて並設すると共
   にチヤックホルダ（４）に、各ウェーハチヤック（２）
   の基部とこれらの基部間に介在せしめたスペーサ（８）
   とをネジ類（７）により圧着せしめてなるウェーハハン
   ドリング用ツール。
2. 【請求項２】 各ウェーハチヤック（２）の基部一面に
   スペーサ（８）を一体に設けてなる請求項１記載のウェ
   ーハハンドリング用ツール。
3. 【請求項３】 チヤックホルダ４に、各ウェーハチヤッ
   ク２及びスペーサ８の落下防止用ピン９をネジ類７と併
   設してなる請求項１，２のいずれかに記載のウェーハハ
   ンドリング用ツール。