JPH0548192A - 半導体レーザ装置 - Google Patents

半導体レーザ装置

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Publication number
JPH0548192A
JPH0548192A JP18094391A JP18094391A JPH0548192A JP H0548192 A JPH0548192 A JP H0548192A JP 18094391 A JP18094391 A JP 18094391A JP 18094391 A JP18094391 A JP 18094391A JP H0548192 A JPH0548192 A JP H0548192A
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JP
Japan
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chip
semiconductor laser
laser device
high frequency
submount
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Pending
Application number
JP18094391A
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English (en)
Inventor
Shoji Onishi
昭二 大西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高周波で駆動するときにLDチップの抵抗を
下げるようにする。 【構成】 LDチップ3の裏面電極部3aにSiO2
どの絶縁物5を設け、この絶縁物5を、その裏面電極部
3aと基台の一部をなす導電体からなるサブマウント2
との接合面の一部に介在させる。これにより、この絶縁
物5が容量成分として作用し、その容量成分が、LDチ
ップ3内のオーミック抵抗と基板との合成抵抗RPに対
して並列に挿入される。そのため、高周波印加時にその
Pの値を小さくでき、遮断周波数を向上させることが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体レーザ装置に関
し、特にそのレーザダイオードチップの組立構造に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体レーザ装置の組立て構造を
図4に示す。この従来の半導体レーザ装置は、図4に示
すように、Agブロック1上にサブマウント2を介して
レーザダイオード(以下、LDと省略する)チップ3を
ハンダ付けして取付け、そのLDチップ3の表面電極よ
りAg線4を介してステム(図示せず)へ接続するよう
に組立られているのが一般的である。
【0003】このような半導体レーザ装置においてAg
ブロック1に駆動電源の+(プラス)、Ag線4にその
−(マイナス)をつなぎ電流を流すと、電流はAgブロ
ック1,サブマウント2,LDチップ3,Ag線4を通
り、LDチップ3はレーザ発振を行い前後に光を出射す
る。なお、図5に図4の等価回路を示す。同図中L1
Ag線4つまりワイヤのインダクタンス、CP はサブマ
ウント2の容量、C1 はメサ部の接合容量、R1 はチャ
ンネル抵抗、RP はLDチップ3内のオーミック抵抗と
基板との合成抵抗である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体レーザ装
置は図4のように構成されており、これを等価回路で表
すと図5のようになり、図4のLDチップ3内の基板の
抵抗Rpが比較的大きくなる。そのため、高周波で使用
する場合にはそのRpの値を小さくする必要があった。
【0005】本発明は上記のような問題点を解消するた
めになされたもので、高周波印加時にLDチップ内の基
板の抵抗Rpを小さくして遮断周波数を向上させた半導
体レーザ装置を得ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体レー
ザ装置は、LDチップの裏面電極部に絶縁物を挟み込む
ことによって容量成分をもたせるようにしたものであ
る。
【0007】
【作用】本発明においては、LDチップ内の基板の抵抗
pと並列に容量成分が挿入されることにより、その容
量成分が高周波印加時にバイパスとして働き、高周波が
通りやすくなる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例を図について説明す
る。図1は本発明による半導体レーザ装置の一実施例を
示す外観図であり、図2はそのLDチップの裏面電極よ
り見た図である。これらの図において、1はAgブロッ
ク、2はこのAgブロック1上にハンダ付けされたサブ
マウント、3はサブマウント2上にハンダ付けされたL
Dチップ、4はLDチップ3からステムに接続するため
のAg線、5はLDチップ3の裏面電極部3aに被着さ
れたSiO2などの絶縁物であり、この絶縁物5は図2
に示すように枠形状に形成されていて、LDチップ裏面
電極部3aの中央部分がサブマウント2に接合されるも
のとなっている。
【0009】すなわち、この実施例の半導体レーザ装置
が図4に示した従来例のものと異なる点は、LDチップ
3の裏面電極部3aの外周部にSiO2などの絶縁物5
を設け、この裏面電極部3aと基台の一部をなす導電体
からなるサブマウント2との接合面の一部に前記絶縁物
5を介在させるように構成したことである。
【0010】このように構成された半導体レーザ装置に
よると、Agブロック1に駆動電源の+(プラス)、A
g線4にその−(マイナス)をつなぎ電流を流すと、電
流はAgブロック1,サブブマウント2、LDチップ
3,Ag線4を通り、LDチップ3は従来例と同様にレ
ーザ発振を行う。そして、これに高周波を印加した場合
にはAgブロック1,サブマウント2,絶縁物5,LD
チップ3,Ag線4と高周波が通る。
【0011】このとき、LDチップ3の裏面電極部3a
とサブマウント2との接合面の一部にはSiO2などの
絶縁物5が介在されているので、その絶縁物5が容量成
分として作用する。このため、その容量成分C2が、図
3に示すように、LDチップ3内のオーミック抵抗と基
板との合成抵抗RPに対して並列に挿入される。その結
果、高周波印加時にそのRPの値を小さくすることがで
きる。なお、図3において図5と同一記号は同一のもの
を示し、その詳細は省略する。
【0012】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、LDチッ
プをその裏面電極を導電体に接合して組立てた構造の半
導体レーザ装置において、LDチップの裏面電極とその
導電体との接合面の一部分に絶縁物を介在させることに
より、LDチップに容量成分が付加されるので、高周波
を印加した時に抵抗成分が低下する。そのため、遮断周
波数を向上させることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による半導体レーザ装置の一実施例を示
す外観図である。
【図2】図1のLDチップ裏面電極より見た図である。
【図3】図1の実施例の等価回路を示す図である。
【図4】従来の半導体レーザ装置の一例を示す図であ
る。
【図5】図4の等価回路を示す図である。
【符号の説明】
1 Agブロック 2 サブマウント 3 LDチップ 3a 裏面電極部 4 Ag線 5 絶縁物(SiO2

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザダイオードチップをその裏面電極
    を導電体に接合して組立てた構造の半導体レーザ装置に
    おいて、前記レーザダイオードチップの裏面電極と前記
    導電体との接合面の一部分に絶縁物を介在させたことを
    特徴とする半導体レーザ装置。
JP18094391A 1991-07-22 1991-07-22 半導体レーザ装置 Pending JPH0548192A (ja)

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JP18094391A JPH0548192A (ja) 1991-07-22 1991-07-22 半導体レーザ装置

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JPH0548192A true JPH0548192A (ja) 1993-02-26

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ID=16091993

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JP18094391A Pending JPH0548192A (ja) 1991-07-22 1991-07-22 半導体レーザ装置

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