JPH0545857B2 - - Google Patents
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- JPH0545857B2 JPH0545857B2 JP61073038A JP7303886A JPH0545857B2 JP H0545857 B2 JPH0545857 B2 JP H0545857B2 JP 61073038 A JP61073038 A JP 61073038A JP 7303886 A JP7303886 A JP 7303886A JP H0545857 B2 JPH0545857 B2 JP H0545857B2
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/24—Means for preventing or suppressing noise
-
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- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F8/00—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying
- F24F8/10—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying by separation, e.g. by filtering
- F24F8/108—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying by separation, e.g. by filtering using dry filter elements
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
この発明は、クリーンルームの関連機器として
クリーンルーム内に清浄空気を供給する清浄空気
送風装置の構成に関する。
クリーンルーム内に清浄空気を供給する清浄空気
送風装置の構成に関する。
昨今では半導体を中心とする電子工業、食品工
業、医療分野、さらにはフアインケミカル、バイ
オテクノロジーを扱う研究、生産分野等を対象に
頭記したクリーンルームが広範囲に適用されるよ
うになつている。かかるクリーンルームでは塵
埃、雑細菌等の影響を無くすために超清浄空間を
形成することが要求され、このためにクリーンユ
ニツトと呼ばれる清浄空気送風装置を通じて清浄
化された空気を室内に供給する方式が一般に採用
されている。 ここで前記清浄空気送風装置は、送風機と該送
風機の吐出側に結合されたHEPAフイルタとし
ての集塵フイルタを装備のチヤンバとの組立体と
して構成されており、送風機で吸い込んだ空気を
集塵フイルタを通じて清浄化した上でクリーンル
ーム内に給気する。ここでクリーンルーム内で必
要な清浄特性を達成するためには、室内の作業域
に発生した塵埃が清浄空気送風装置から給気され
る清浄空気流によつて速やかに作業域外に排出さ
れ、乱流、渦流等に起因する塵埃の残留を生じな
いことが必要条件であり、かつこのためには清浄
空気送風装置からの給気流の層流形成、すなわち
フイルタからの吹出し気流の風速分布バランス、
給気流の整流特性が重要な要素の一つである。さ
らに加えて最近ではクリーンルーム内における生
産設備の大規模化から室内で行われる各種工程毎
に清浄空気送風装置を設備するケースが多く、こ
のために作業環境維持の観点からも騒音発生源と
なる送風機を内蔵した清浄空気送風装置の消音性
能が機器を評価する上で重要なテーマとなつてい
る。 ところで上記した清浄空気送風装置として、従
来では第４図、第５図、ないし第６図のように構
成したものが実施されている。ここで１は送風
機、２は送風機１を収容した筐体、３は筐体２の
空気吸込口に装備した前段のフイルタ、４はその
空気吹出口に主除塵フイルタとしてのHEPAフ
イルタ５を装備して前記送風機１の吐出側に連接
結合されたチヤンバであり、これら部品を組合せ
て清浄空気送風装置が構成されている。またかか
る清浄空気送風装置の運転に伴う騒音の消音、お
よび給気流の整流を行うために、第４図の構成で
はチヤンバ４の内壁面全域に吸音材６を張り付け
て送風機１から発生するチヤンバ４内で騒音を吸
音するようにするとともに、チヤンバ４の内部の
中間に空気通路を横切るように空気整流体として
多孔板７が装備されている。これに対して第５図
の構成は空気整流体としてガイドベーン８を配備
したものである。さらに第６図の構成では、送風
機１の吐出側とHEPAフイルタ５を装備のチヤ
ンバ４との間に吸音材６を張り付けた吸音チヤン
バ９を介在設置して構成されている。 しかして前記第４図、第５図に示した構成で
は、多孔板７、ガイドベーン８に関して高い空気
整流性能を得るために送風機１の吐出開口の位置
および寸法、吐出風速等によつて多孔板の開口
率、多孔板の取付け角度、およびガイドベーンの
長さ寸法、曲率、取付けピツチ等を変える必要が
あり、その最適値の決定には多くの実験を繰り返
し行うなど多大な労力を要する。さらに加えてこ
れら空気整流体は送風機１からの吐出空気流の慣
性力の影響を受け易い送風機吐出口に近い位置に
配置されている関係から、均等な風速分布と高い
空気整流効果を得るには圧力バランス、したがつ
て高い通風損失を与えないと実現が難しく、この
結果として送風機の容量が増大すると言つた欠点
がある。また吸音性能に関しては、チヤンバ内の
吸音材貼り付け面積が大となるので製作コストが
嵩み、しかも送風機１の吐出口からHEPAフイ
ルタ５に至る間の通風経路内には殆ど障害物がな
いために送風機１に発生した騒音がフイルタ５を
透過して吹出し側に漏出し易く、充分な消音効果
が得られない。これに対して第６図に示した構成
では、内部に通風迷路を形成した専用の吸音チヤ
ンバ９を装備しているので前記例と比べて消音効
果が大である反面、吸音チヤンバ９の内部構造が
複雑で製作コストが増大する、空気整流効果が低
い、さらには該吸音チヤンバ内での通風損失が大
きく送風機の容量増大化を招く等の欠点がある。
業、医療分野、さらにはフアインケミカル、バイ
オテクノロジーを扱う研究、生産分野等を対象に
頭記したクリーンルームが広範囲に適用されるよ
うになつている。かかるクリーンルームでは塵
埃、雑細菌等の影響を無くすために超清浄空間を
形成することが要求され、このためにクリーンユ
ニツトと呼ばれる清浄空気送風装置を通じて清浄
化された空気を室内に供給する方式が一般に採用
されている。 ここで前記清浄空気送風装置は、送風機と該送
風機の吐出側に結合されたHEPAフイルタとし
ての集塵フイルタを装備のチヤンバとの組立体と
して構成されており、送風機で吸い込んだ空気を
集塵フイルタを通じて清浄化した上でクリーンル
ーム内に給気する。ここでクリーンルーム内で必
要な清浄特性を達成するためには、室内の作業域
に発生した塵埃が清浄空気送風装置から給気され
る清浄空気流によつて速やかに作業域外に排出さ
れ、乱流、渦流等に起因する塵埃の残留を生じな
いことが必要条件であり、かつこのためには清浄
空気送風装置からの給気流の層流形成、すなわち
フイルタからの吹出し気流の風速分布バランス、
給気流の整流特性が重要な要素の一つである。さ
らに加えて最近ではクリーンルーム内における生
産設備の大規模化から室内で行われる各種工程毎
に清浄空気送風装置を設備するケースが多く、こ
のために作業環境維持の観点からも騒音発生源と
なる送風機を内蔵した清浄空気送風装置の消音性
能が機器を評価する上で重要なテーマとなつてい
る。 ところで上記した清浄空気送風装置として、従
来では第４図、第５図、ないし第６図のように構
成したものが実施されている。ここで１は送風
機、２は送風機１を収容した筐体、３は筐体２の
空気吸込口に装備した前段のフイルタ、４はその
空気吹出口に主除塵フイルタとしてのHEPAフ
イルタ５を装備して前記送風機１の吐出側に連接
結合されたチヤンバであり、これら部品を組合せ
て清浄空気送風装置が構成されている。またかか
る清浄空気送風装置の運転に伴う騒音の消音、お
よび給気流の整流を行うために、第４図の構成で
はチヤンバ４の内壁面全域に吸音材６を張り付け
て送風機１から発生するチヤンバ４内で騒音を吸
音するようにするとともに、チヤンバ４の内部の
中間に空気通路を横切るように空気整流体として
多孔板７が装備されている。これに対して第５図
の構成は空気整流体としてガイドベーン８を配備
したものである。さらに第６図の構成では、送風
機１の吐出側とHEPAフイルタ５を装備のチヤ
ンバ４との間に吸音材６を張り付けた吸音チヤン
バ９を介在設置して構成されている。 しかして前記第４図、第５図に示した構成で
は、多孔板７、ガイドベーン８に関して高い空気
整流性能を得るために送風機１の吐出開口の位置
および寸法、吐出風速等によつて多孔板の開口
率、多孔板の取付け角度、およびガイドベーンの
長さ寸法、曲率、取付けピツチ等を変える必要が
あり、その最適値の決定には多くの実験を繰り返
し行うなど多大な労力を要する。さらに加えてこ
れら空気整流体は送風機１からの吐出空気流の慣
性力の影響を受け易い送風機吐出口に近い位置に
配置されている関係から、均等な風速分布と高い
空気整流効果を得るには圧力バランス、したがつ
て高い通風損失を与えないと実現が難しく、この
結果として送風機の容量が増大すると言つた欠点
がある。また吸音性能に関しては、チヤンバ内の
吸音材貼り付け面積が大となるので製作コストが
嵩み、しかも送風機１の吐出口からHEPAフイ
ルタ５に至る間の通風経路内には殆ど障害物がな
いために送風機１に発生した騒音がフイルタ５を
透過して吹出し側に漏出し易く、充分な消音効果
が得られない。これに対して第６図に示した構成
では、内部に通風迷路を形成した専用の吸音チヤ
ンバ９を装備しているので前記例と比べて消音効
果が大である反面、吸音チヤンバ９の内部構造が
複雑で製作コストが増大する、空気整流効果が低
い、さらには該吸音チヤンバ内での通風損失が大
きく送風機の容量増大化を招く等の欠点がある。
この発明は上記の点にかんがみなされたもので
あり、従来装置の欠点を除去し、簡単かつ巧みな
構造で空気整流性能、消音性能を高め、これによ
りクリーンルーム内への給気流風速バランス、整
流性能の向上と併せて低騒音化が図れるようにし
た低コストで保守性にも優れた清浄空気送風装置
を提供することを目的とする。
あり、従来装置の欠点を除去し、簡単かつ巧みな
構造で空気整流性能、消音性能を高め、これによ
りクリーンルーム内への給気流風速バランス、整
流性能の向上と併せて低騒音化が図れるようにし
た低コストで保守性にも優れた清浄空気送風装置
を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明によれば、
送風機と、該送風機の吐出側に連接された集塵フ
イルタを装備のチヤンバとの組立体として成る清
浄空気送風装置において、前記チヤンバの空気吹
出口に装備された集塵フイルタの全面域を覆つて
その上流面側に近接して設けられた空気整流体
と、該空気整流体との間に所定間隔の通風間〓を
隔ててその上流側に対向して設けられた空気不透
過性で前記送風機から前記集塵フイルタへの通風
路を仕切る吸音体と、前記空気整流体と前記吸音
体とを連結し且つ前記空気整流体と前記吸音体と
の間の周面開口部を覆う多孔板から成る支持部材
と、を備えるものとする。
送風機と、該送風機の吐出側に連接された集塵フ
イルタを装備のチヤンバとの組立体として成る清
浄空気送風装置において、前記チヤンバの空気吹
出口に装備された集塵フイルタの全面域を覆つて
その上流面側に近接して設けられた空気整流体
と、該空気整流体との間に所定間隔の通風間〓を
隔ててその上流側に対向して設けられた空気不透
過性で前記送風機から前記集塵フイルタへの通風
路を仕切る吸音体と、前記空気整流体と前記吸音
体とを連結し且つ前記空気整流体と前記吸音体と
の間の周面開口部を覆う多孔板から成る支持部材
と、を備えるものとする。
次にこの発明の実施例を図面に付いて詳細に説
明する。第１図は実施例の構成断面図、第２図は
第１図における要部の拡大図、第３図は第１図の
実施例による実機試験から得た運転特性図であ
り、図中第４図ないし第６図と同一ないし同等な
部材には同じ符号が付してある。まず第１図にお
いて、送風機１の吐出側に連接結合されたチヤン
バ４の空気吹出口にはフイルタ本体５１を周囲枠
体５２に装荷した除塵用のHEPAフイルタ５が
装備されている。一方、かかるフイルタ５に対し
てその全面域を覆うようにフイルタ本体５１の上
流面側には多孔板としてなる空気整流体１０が密
着ないし僅かな間隙を隔てて近接配備され、さら
に該空気整流体１０に対面してその上流側には所
定間隔ｈを隔てて符号１１で示す吸音体が配備さ
れている。ここで吸音体１１は第２図のようにグ
ラスウール等の繊維を採用した吸音効果の高い吸
音材１２を空気不透過性である金属板ないしプラ
スチツク板の遮蔽板１３の表面に貼着したもの、
あるいは空気不透過性の吸音材を遮蔽板の裏張り
無しにそのまま使用したものとして成る。なお該
吸音体１１での吸音効果を高めるために、吸音体
１１の面積は少なくとも空気整流体１０の面積の
0.8倍以上に選定されている。 また前記の空気整流体１０と吸音体１１とは符
号１４で示す支持部材を介して一体に組立てられ
ており、かつこの組立体が前記したフイルタ５の
周囲枠５２の上に締結ねじ１５を介して着脱可能
に取付け支持されている。さらに吸音体１１は支
持部材１４に対して前記間隔ｈを可変調節できる
ように支持してある。なおこの取付け位置調節手
段として例えば支持部材１４側に長溝を開口し、
この長溝内で締結ねじ１６を介して吸音体１１が
支持部材１４に固定されている。一方、前記の支
持部材１４は空気整流体１０と吸音体１１との間
の周面を覆う多孔板のように通風損失を著しく増
大させない形状と材質で構成されている。かかる
構成により空気整流体１０と吸音体１１との間に
は所定間隔ｈに定めた通風間隙１７が画成される
ことになる。 次に上記構成による空気整流、並びにその吸音
作用に付いて説明すると、まず送風機１の吐出口
からチヤンバ４内に流入する風速V1の吐出気流
はチヤンバ４内で拡散して流れる。これにより空
気流の慣性力が低下し、その風速もV2に低下し
てフイルタ５の近傍に到達し、ここから前記した
空気整流体１０と吸音体１１との間の全周域より
比較的狭い通風間隙１７を通つて空気整流体１０
の面上に流れ込むようになる。しかもこの場合に
前記のように風速V2はV1に比べて小に低下して
おり、かつ通風間隙１７の周囲各地点での風速は
送風機１の吐出口直後地点とは異なり風速のバラ
ツキも小さくなる。しかも前記通風間隙１７の周
囲開口部での通風損失も少なくて圧力分布が均等
となるので、通風間隙１７の周囲から流れ込む空
気流の風速V3は各地点で殆どバラツキがなく均
一な風速分布を示すようになる。さらに通風間隙
１７の周囲開口部の圧力分布が均一であることに
より、空気整流体１０と吸音体１１と間に仕切ら
れた通風路内の圧力分布も均一となる。これによ
り空気整流体１０は充分な整流効果を発揮し、フ
イルタ５を透過してクリーンルーム内に吹き出す
給気流の風速V4はフイルタ５の全面域で均一と
なり、この結果として高い整流効果と風速バラン
スが得られるようになる。 また上記構成による消音特性に付いては、騒音
発生源である送風機１の吐出口における騒音レベ
ルＰ１とフイルタ５を透過して外方に漏出伝播す
る騒音レベルＰ２との差、つまり消音性能は、(a)
送風機１の吐出口開口面積、(b)チヤンバ４の内容
積、(c)前記通風間隙１７の断面積、(d)吸音体１０
の吸音率、(e)フイルタ５の吸音率等のフアクタに
よつて決まるが、ここで前記(a)、(e)を定条件とす
れば、(c)、(d)の条件が消音性能に大きく影響する
ようになる。しかも前記構成では、空気整流体１
０と吸音体１１との間に画成された通風路が吸音
体１１を隔てて送風機１の吐出口との間に通風迷
路を形成しており、かつ通風間隙１７の周囲開口
面積がフイルタ５の通風面積に対して充分小さく
設徹されているので、これにより通風間隙１７を
通過してフイルタ５側へ伝播する騒音量を低く抑
え、吸音体１１による吸音作用と併せてチヤンバ
４内での騒音減衰効果を高めることができるよう
になる。 次に前記の空気整流効果、騒音低減効果に対す
る評価を確認するために本発明者が第１図の装置
に付いて行つた実機試験に基づく運転特性図を第
３図に示す。なお図中、Ｐ２はHEPAフイルタ
５の吹出側で測定した騒音レベル、Ｖ４はフイル
タ５の吹出風速の平均値、δは前記平均風速に対
する上下限値のバラツキ割合を表す。さらに第３
図の図中右端側には前記各特性と対比して従来装
置による特性値を示してある。この運転特性図か
らも判るように、前記した通風間隙１７の間隔ｈ
を縮小させると、通風間隙１７の周囲開口面積が
減じるために該部での通風損失が増してフイルタ
５からの吹出風速平均値が若干低下するが、該通
風間隙内空間の圧力分布がより一層均一化される
のフイルタ５からの吹出風速分布の均一性が向上
するとともに、チヤンバ４内での騒音減衰量も高
まつて騒音の低減効果が増すようになる。一方、
前記通風間隙１７の間隔ｈを増加させると逆な特
性を示すようになる。このように空気整流体１０
と吸音体１１との間に通風路を画成する通風間隙
１７の間隔ｈをパラメータとしてこの間隔ｈを適
正値に調節するだけの簡単な操作で、清浄空気送
風装置に要求される必要な空気整流性能、消音性
能を与えることができるようになる。なおこの間
隔値の適正範囲は第３図における斜線で囲まれた
領域hoとして表され、この設定範囲では従来装
置の運転特性と比べて、騒音レベルＰ２で5dB(A)
以上、吹出風速のバラツキδで±20％以上の改善
効果が得られるようになる。 さらに先記のように空気整流体１０と吸音体１
１とは支持部材１４を介して一体に組立てた上で
HEPAフイルタ５の枠に取付け支持されており、
したがつてこれら各部品はフイルタ５と一緒にチ
ヤンバ４から容易に引き出すことができ、前記し
た通風間隙１７の調節操作も含めた保守、点検作
業が容易に行え、そのメインテナンス性が向上す
る。しかも空気整流体１０、吸音体１１の所要面
積寸法はHEPAフイルタ５の通風面積を基準に
一義的に決定されるので製作が容易である等、そ
の簡易な構造と併せて製作コストの低減化が図れ
る。
明する。第１図は実施例の構成断面図、第２図は
第１図における要部の拡大図、第３図は第１図の
実施例による実機試験から得た運転特性図であ
り、図中第４図ないし第６図と同一ないし同等な
部材には同じ符号が付してある。まず第１図にお
いて、送風機１の吐出側に連接結合されたチヤン
バ４の空気吹出口にはフイルタ本体５１を周囲枠
体５２に装荷した除塵用のHEPAフイルタ５が
装備されている。一方、かかるフイルタ５に対し
てその全面域を覆うようにフイルタ本体５１の上
流面側には多孔板としてなる空気整流体１０が密
着ないし僅かな間隙を隔てて近接配備され、さら
に該空気整流体１０に対面してその上流側には所
定間隔ｈを隔てて符号１１で示す吸音体が配備さ
れている。ここで吸音体１１は第２図のようにグ
ラスウール等の繊維を採用した吸音効果の高い吸
音材１２を空気不透過性である金属板ないしプラ
スチツク板の遮蔽板１３の表面に貼着したもの、
あるいは空気不透過性の吸音材を遮蔽板の裏張り
無しにそのまま使用したものとして成る。なお該
吸音体１１での吸音効果を高めるために、吸音体
１１の面積は少なくとも空気整流体１０の面積の
0.8倍以上に選定されている。 また前記の空気整流体１０と吸音体１１とは符
号１４で示す支持部材を介して一体に組立てられ
ており、かつこの組立体が前記したフイルタ５の
周囲枠５２の上に締結ねじ１５を介して着脱可能
に取付け支持されている。さらに吸音体１１は支
持部材１４に対して前記間隔ｈを可変調節できる
ように支持してある。なおこの取付け位置調節手
段として例えば支持部材１４側に長溝を開口し、
この長溝内で締結ねじ１６を介して吸音体１１が
支持部材１４に固定されている。一方、前記の支
持部材１４は空気整流体１０と吸音体１１との間
の周面を覆う多孔板のように通風損失を著しく増
大させない形状と材質で構成されている。かかる
構成により空気整流体１０と吸音体１１との間に
は所定間隔ｈに定めた通風間隙１７が画成される
ことになる。 次に上記構成による空気整流、並びにその吸音
作用に付いて説明すると、まず送風機１の吐出口
からチヤンバ４内に流入する風速V1の吐出気流
はチヤンバ４内で拡散して流れる。これにより空
気流の慣性力が低下し、その風速もV2に低下し
てフイルタ５の近傍に到達し、ここから前記した
空気整流体１０と吸音体１１との間の全周域より
比較的狭い通風間隙１７を通つて空気整流体１０
の面上に流れ込むようになる。しかもこの場合に
前記のように風速V2はV1に比べて小に低下して
おり、かつ通風間隙１７の周囲各地点での風速は
送風機１の吐出口直後地点とは異なり風速のバラ
ツキも小さくなる。しかも前記通風間隙１７の周
囲開口部での通風損失も少なくて圧力分布が均等
となるので、通風間隙１７の周囲から流れ込む空
気流の風速V3は各地点で殆どバラツキがなく均
一な風速分布を示すようになる。さらに通風間隙
１７の周囲開口部の圧力分布が均一であることに
より、空気整流体１０と吸音体１１と間に仕切ら
れた通風路内の圧力分布も均一となる。これによ
り空気整流体１０は充分な整流効果を発揮し、フ
イルタ５を透過してクリーンルーム内に吹き出す
給気流の風速V4はフイルタ５の全面域で均一と
なり、この結果として高い整流効果と風速バラン
スが得られるようになる。 また上記構成による消音特性に付いては、騒音
発生源である送風機１の吐出口における騒音レベ
ルＰ１とフイルタ５を透過して外方に漏出伝播す
る騒音レベルＰ２との差、つまり消音性能は、(a)
送風機１の吐出口開口面積、(b)チヤンバ４の内容
積、(c)前記通風間隙１７の断面積、(d)吸音体１０
の吸音率、(e)フイルタ５の吸音率等のフアクタに
よつて決まるが、ここで前記(a)、(e)を定条件とす
れば、(c)、(d)の条件が消音性能に大きく影響する
ようになる。しかも前記構成では、空気整流体１
０と吸音体１１との間に画成された通風路が吸音
体１１を隔てて送風機１の吐出口との間に通風迷
路を形成しており、かつ通風間隙１７の周囲開口
面積がフイルタ５の通風面積に対して充分小さく
設徹されているので、これにより通風間隙１７を
通過してフイルタ５側へ伝播する騒音量を低く抑
え、吸音体１１による吸音作用と併せてチヤンバ
４内での騒音減衰効果を高めることができるよう
になる。 次に前記の空気整流効果、騒音低減効果に対す
る評価を確認するために本発明者が第１図の装置
に付いて行つた実機試験に基づく運転特性図を第
３図に示す。なお図中、Ｐ２はHEPAフイルタ
５の吹出側で測定した騒音レベル、Ｖ４はフイル
タ５の吹出風速の平均値、δは前記平均風速に対
する上下限値のバラツキ割合を表す。さらに第３
図の図中右端側には前記各特性と対比して従来装
置による特性値を示してある。この運転特性図か
らも判るように、前記した通風間隙１７の間隔ｈ
を縮小させると、通風間隙１７の周囲開口面積が
減じるために該部での通風損失が増してフイルタ
５からの吹出風速平均値が若干低下するが、該通
風間隙内空間の圧力分布がより一層均一化される
のフイルタ５からの吹出風速分布の均一性が向上
するとともに、チヤンバ４内での騒音減衰量も高
まつて騒音の低減効果が増すようになる。一方、
前記通風間隙１７の間隔ｈを増加させると逆な特
性を示すようになる。このように空気整流体１０
と吸音体１１との間に通風路を画成する通風間隙
１７の間隔ｈをパラメータとしてこの間隔ｈを適
正値に調節するだけの簡単な操作で、清浄空気送
風装置に要求される必要な空気整流性能、消音性
能を与えることができるようになる。なおこの間
隔値の適正範囲は第３図における斜線で囲まれた
領域hoとして表され、この設定範囲では従来装
置の運転特性と比べて、騒音レベルＰ２で5dB(A)
以上、吹出風速のバラツキδで±20％以上の改善
効果が得られるようになる。 さらに先記のように空気整流体１０と吸音体１
１とは支持部材１４を介して一体に組立てた上で
HEPAフイルタ５の枠に取付け支持されており、
したがつてこれら各部品はフイルタ５と一緒にチ
ヤンバ４から容易に引き出すことができ、前記し
た通風間隙１７の調節操作も含めた保守、点検作
業が容易に行え、そのメインテナンス性が向上す
る。しかも空気整流体１０、吸音体１１の所要面
積寸法はHEPAフイルタ５の通風面積を基準に
一義的に決定されるので製作が容易である等、そ
の簡易な構造と併せて製作コストの低減化が図れ
る。
以上述べたようにこの発明によれば、上記の構
成を採用した結果、チヤンバ内で前記の空気整流
体と吸音体との間に画成された通風間隙の位置で
は送風機からの吐出し空気流の慣性力の影響を殆
ど受けずに該間隙の通風風速を均等化させること
ができ、これにより空気整流体の整流効果を高め
て除塵フイルタからの吹出風速の均一性を大幅に
向上することができるとともに、併せて前記通風
間隙を狭めることにより送風機で発生した騒音を
吸音体によりチヤンバ内で効果的に吸音減衰させ
てフイルタの吹出側に漏出する騒音の低減化に大
きく寄与し得る等、空気整流性能、消音性能に関
して評価の高い清浄空気送風装置を提供すること
ができる。
成を採用した結果、チヤンバ内で前記の空気整流
体と吸音体との間に画成された通風間隙の位置で
は送風機からの吐出し空気流の慣性力の影響を殆
ど受けずに該間隙の通風風速を均等化させること
ができ、これにより空気整流体の整流効果を高め
て除塵フイルタからの吹出風速の均一性を大幅に
向上することができるとともに、併せて前記通風
間隙を狭めることにより送風機で発生した騒音を
吸音体によりチヤンバ内で効果的に吸音減衰させ
てフイルタの吹出側に漏出する騒音の低減化に大
きく寄与し得る等、空気整流性能、消音性能に関
して評価の高い清浄空気送風装置を提供すること
ができる。
第１図はこの発明の実施例による清浄空気送風
装置全体の構成断面図、第２図は第１図における
要部の拡大図、第３図は第１図の構成による運転
特性図、第４図、第５図および第６図はそれぞれ
従来における清浄空気送風装置の構成断面図であ
る。各図において、 １：送風機、４：チヤンバ、５：除塵フイルタ
としてのHEPAフイルタ、５１：フイルタ本体、
５２：周囲枠、１０：空気整流体、１１：吸音
体、１２：吸音材、１３：遮蔽板、１４：支持部
材、１７：通風間隙。
装置全体の構成断面図、第２図は第１図における
要部の拡大図、第３図は第１図の構成による運転
特性図、第４図、第５図および第６図はそれぞれ
従来における清浄空気送風装置の構成断面図であ
る。各図において、 １：送風機、４：チヤンバ、５：除塵フイルタ
としてのHEPAフイルタ、５１：フイルタ本体、
５２：周囲枠、１０：空気整流体、１１：吸音
体、１２：吸音材、１３：遮蔽板、１４：支持部
材、１７：通風間隙。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 送風機と、該送風機の吐出側に連接された集
塵フイルタを装備のチヤンバとの組立体として成
る清浄空気送風装置において、前記チヤンバの空
気吹出口に装備された集塵フイルタの全面域を覆
つてその上流面側に近接して設けられた空気整流
体と、該空気整流体との間に所定間隔の通風間〓
を隔ててその上流側に対向して設けられた空気不
透過性で前記送風機から前記集塵フイルタへの通
風路を仕切る吸音体と、前記空気整流体と前記吸
音体とを連結し且つ前記空気整流体と前記吸音体
との間の周面開口部を覆う多孔板から成る支持部
材と、を備えたことを特徴とする清浄空気送風装
置。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の清浄空気送風装
置において、所定間隔の通風間〓が10〜35mmであ
り、空気整流体と対向する吸音体の面積が前記空
気整流体の面積の0.8倍以上であることを特徴と
する清浄空気送風装置。 ３ 特許請求の範囲第１項記載の清浄空気送風装
置において、吸音体が通風路を仕切る遮蔽板と該
遮蔽板の表面に貼着した吸音材との結合材として
成ることを特徴とする清浄空気送風装置。 ４ 特許請求の範囲第１項記載の清浄空気送風装
置において、空気整流体と吸音体とが支持部材を
介して一体に組立てられ、かつ該組立体が集塵フ
イルタの周囲枠上に取付け支持されていることを
特徴とする清浄空気送風装置。 ５ 特許請求の範囲第４項記載の清浄空気送風装
置において、支持部材に対し吸音体が空気整流体
との間の通風間〓を可変調節可能に取付け支持さ
れていることを特徴とする清浄空気送風装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61073038A JPS62228827A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 清浄空気送風装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61073038A JPS62228827A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 清浄空気送風装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62228827A JPS62228827A (ja) | 1987-10-07 |
| JPH0545857B2 true JPH0545857B2 (ja) | 1993-07-12 |
Family
ID=13506789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61073038A Granted JPS62228827A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 清浄空気送風装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62228827A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0497296B1 (de) * | 1991-02-01 | 1996-04-03 | Meissner & Wurst GmbH & Co. Lufttechnische Anlagen Gebäude- und Verfahrenstechnik | Filter-Ventilator-Einrichtung zur Verwendung bei Reinräumen |
| US6023938A (en) * | 1998-09-15 | 2000-02-15 | Carrier Corporation | Refrigeration or air conditioning unit with noise reducing grille |
| JP3931753B2 (ja) * | 2002-07-18 | 2007-06-20 | ダイキン工業株式会社 | 空気吹出ユニット |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6071833A (ja) * | 1983-09-29 | 1985-04-23 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 分解式送風装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59123232U (ja) * | 1983-02-09 | 1984-08-20 | 高砂熱学工業株式会社 | フイルタユニツト |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP61073038A patent/JPS62228827A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6071833A (ja) * | 1983-09-29 | 1985-04-23 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 分解式送風装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62228827A (ja) | 1987-10-07 |
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Legal Events
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