JPH0542508B2 - - Google Patents
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- JPH0542508B2 JPH0542508B2 JP60101158A JP10115885A JPH0542508B2 JP H0542508 B2 JPH0542508 B2 JP H0542508B2 JP 60101158 A JP60101158 A JP 60101158A JP 10115885 A JP10115885 A JP 10115885A JP H0542508 B2 JPH0542508 B2 JP H0542508B2
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Landscapes
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、ダイヤモンド状カーボン及び／又は
ダイヤモンドからなる被覆層を形成したダイヤモ
ンド被覆部材に関する。
ダイヤモンドからなる被覆層を形成したダイヤモ
ンド被覆部材に関する。
（従来の技術）
従来、ダイヤモンド状カーボン及び／又はダイ
ヤモンドからなる被覆層の形成方法としては、大
別すると特開昭53−10394号公報及び特開昭56−
22616号公報に開示されているようなダイヤモン
ド又はカーボンを加熱蒸着して被覆層を形成す
る、所謂固相合成法と特開昭58−91100号公報に
開示されているような炭化水素と水素の混合ガス
を加熱して炭化水素の熱分解によりダイヤモンド
の被覆層を形成する、所謂気相合成法がある。
ヤモンドからなる被覆層の形成方法としては、大
別すると特開昭53−10394号公報及び特開昭56−
22616号公報に開示されているようなダイヤモン
ド又はカーボンを加熱蒸着して被覆層を形成す
る、所謂固相合成法と特開昭58−91100号公報に
開示されているような炭化水素と水素の混合ガス
を加熱して炭化水素の熱分解によりダイヤモンド
の被覆層を形成する、所謂気相合成法がある。
これらの方法を利用して各種の基材表面にダイ
ヤモンドの被覆層を形成したダイヤモンド被覆部
材の提案が多数行なわれている。この内、気相合
成法によつて基材表面にダイヤモンドの被覆層を
形成した工具部材の提案が特開昭59−159981号公
報で行なわれている。
ヤモンドの被覆層を形成したダイヤモンド被覆部
材の提案が多数行なわれている。この内、気相合
成法によつて基材表面にダイヤモンドの被覆層を
形成した工具部材の提案が特開昭59−159981号公
報で行なわれている。
（発明が解決しようとする問題点）
一般に、ダイヤモンドは他の物質との濡れ性が
著しく悪く、又熱膨張率が小さく、更にダイヤモ
ンド中への他原子の拡散が少ないなどのために各
種の基材表面にダイヤモンド状カーボン及び／又
はダイヤモンドの被覆層を形成するのが非常に困
難であるといわれている。そこで、本発明者は、
気相合成法においてダイヤモンドの被覆層を形成
する場合のダイヤモンドの形成要因を検討した
所、気相合成法で使用するガスの種類及び純度、
全ガス量、ガス流量、ガス分解条件の他にダイヤ
モンド被覆層を形成するための基材の表面状態と
材質による影響が大きいことを見い出した。この
内、ダイヤモンド被覆層を形成するための基材の
表面状態については、本発明者が特願昭59−
244540（特開昭61−124573号公報）で提供してお
り、ダイヤモンド被覆層を形成するための材質に
ついては、例えば特開昭58−91100号公報にはSi
又はMoを基材とすることが記載されており、特
開昭59−159981号公報にはＷ、Nb、Ta、Ｖ、Cr
又はHfを基材とすることが記載されている。こ
のようにSiや周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の金属
であるTi、Zr、Hf、Ｖ、Nb、Ta、Cr、Mo、Ｗ
などを基材とし、この基材の表面に気相合成法に
よつてダイヤモンドの被覆層を形成する場合、基
材と加熱分解して励起された炭素ガス及び水素ガ
スが容易に反応する。すなわち、ダイヤモンドの
核形成に作用する活性化された炭素ガスはSiや周
期律表４ａ，５ａ，６ａ族の金属からなる基材と
の反応に作用されるためにダイヤモンドの成長速
度が非常に遅くなるという問題がある。また、ダ
イヤモンドの核が生成して、ダイヤモンドが成長
するときに促進作用をする活性化された水素ガス
は、Siや周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の金属から
なる基材に吸収されてしまうためにダイヤモンド
の被覆層中にグラフアイトやアモルフアス状カー
ボンが残存してくるという問題がある。
著しく悪く、又熱膨張率が小さく、更にダイヤモ
ンド中への他原子の拡散が少ないなどのために各
種の基材表面にダイヤモンド状カーボン及び／又
はダイヤモンドの被覆層を形成するのが非常に困
難であるといわれている。そこで、本発明者は、
気相合成法においてダイヤモンドの被覆層を形成
する場合のダイヤモンドの形成要因を検討した
所、気相合成法で使用するガスの種類及び純度、
全ガス量、ガス流量、ガス分解条件の他にダイヤ
モンド被覆層を形成するための基材の表面状態と
材質による影響が大きいことを見い出した。この
内、ダイヤモンド被覆層を形成するための基材の
表面状態については、本発明者が特願昭59−
244540（特開昭61−124573号公報）で提供してお
り、ダイヤモンド被覆層を形成するための材質に
ついては、例えば特開昭58−91100号公報にはSi
又はMoを基材とすることが記載されており、特
開昭59−159981号公報にはＷ、Nb、Ta、Ｖ、Cr
又はHfを基材とすることが記載されている。こ
のようにSiや周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の金属
であるTi、Zr、Hf、Ｖ、Nb、Ta、Cr、Mo、Ｗ
などを基材とし、この基材の表面に気相合成法に
よつてダイヤモンドの被覆層を形成する場合、基
材と加熱分解して励起された炭素ガス及び水素ガ
スが容易に反応する。すなわち、ダイヤモンドの
核形成に作用する活性化された炭素ガスはSiや周
期律表４ａ，５ａ，６ａ族の金属からなる基材と
の反応に作用されるためにダイヤモンドの成長速
度が非常に遅くなるという問題がある。また、ダ
イヤモンドの核が生成して、ダイヤモンドが成長
するときに促進作用をする活性化された水素ガス
は、Siや周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の金属から
なる基材に吸収されてしまうためにダイヤモンド
の被覆層中にグラフアイトやアモルフアス状カー
ボンが残存してくるという問題がある。
本発明は、上述のような問題点を解決したもの
で、具体的には炭素ガス及び水素ガスとの反応性
の悪い表面アラサRmax1000Å以下の金属部材の
表面に良質なダイヤモンドの被覆層を形成したダ
イヤモンド被覆部材の提供を目的とするものであ
る。
で、具体的には炭素ガス及び水素ガスとの反応性
の悪い表面アラサRmax1000Å以下の金属部材の
表面に良質なダイヤモンドの被覆層を形成したダ
イヤモンド被覆部材の提供を目的とするものであ
る。
（問題点を解決するための手段）
ダイヤモンドの被覆層を形成するには、それを
形成するための基材の材質に大きく影響するとい
う知見を得た。そこで、本発明者は各種の材質か
らなる基材の表面にダイヤモンドの被覆層を形成
することを試みた所、気相合成法によつて生ずる
分解励起した炭素と励起した水素が基材と反応
し、この反応の強弱によつて生成するダイヤモン
ド被覆層の質、形状、密度及び成長速度が異なつ
てくるという知見を得た。この知見に基づいて本
発明を完成するに至つたものである。
形成するための基材の材質に大きく影響するとい
う知見を得た。そこで、本発明者は各種の材質か
らなる基材の表面にダイヤモンドの被覆層を形成
することを試みた所、気相合成法によつて生ずる
分解励起した炭素と励起した水素が基材と反応
し、この反応の強弱によつて生成するダイヤモン
ド被覆層の質、形状、密度及び成長速度が異なつ
てくるという知見を得た。この知見に基づいて本
発明を完成するに至つたものである。
すなわち、本発明のダイヤモンド被覆部材は、
表面アラサRmax1000Å以下でなるAu、Ag、Cu
又はこれらの相互合金もしくはAu、Ag、Cuの少
なくとも１種を主成分とする合金からなる金属部
材の表面にダイヤモンド状カーボン及び／又はダ
イヤモンドからなる被覆層を形成したことを特徴
とするものである。ここで使用するAu、Ag、Cu
又はこれらの相互合金もしくはAu、Ag、Cuの少
なくとも１種を主成分とする合金からなる金属部
材は、用途によつて膜状、線状、板状又は塊状な
ど種々の形状のものに応用できる。例えば、膜状
のものにして応用すると、本発明のダイヤモンド
被覆部材は、ガラス、金属、合金、セラミツクス
又は複合材料からなる基材の表面にAu、Ag、Cu
又はこれらの相互合金もしくはAu、Ag、Cuの少
なくとも１種を主成分とする合金からなる金属部
材から選ばれた単層又は複層でなる内層と該内層
の表面にダイヤモンド状カーボン及び／又はダイ
ヤモンドからなる被覆層を形成したものとなる。
表面アラサRmax1000Å以下でなるAu、Ag、Cu
又はこれらの相互合金もしくはAu、Ag、Cuの少
なくとも１種を主成分とする合金からなる金属部
材の表面にダイヤモンド状カーボン及び／又はダ
イヤモンドからなる被覆層を形成したことを特徴
とするものである。ここで使用するAu、Ag、Cu
又はこれらの相互合金もしくはAu、Ag、Cuの少
なくとも１種を主成分とする合金からなる金属部
材は、用途によつて膜状、線状、板状又は塊状な
ど種々の形状のものに応用できる。例えば、膜状
のものにして応用すると、本発明のダイヤモンド
被覆部材は、ガラス、金属、合金、セラミツクス
又は複合材料からなる基材の表面にAu、Ag、Cu
又はこれらの相互合金もしくはAu、Ag、Cuの少
なくとも１種を主成分とする合金からなる金属部
材から選ばれた単層又は複層でなる内層と該内層
の表面にダイヤモンド状カーボン及び／又はダイ
ヤモンドからなる被覆層を形成したものとなる。
このような金属部材の表面にダイヤモンド状カ
ーボン及び／又はダイヤモンドからなる被覆層を
形成させると被覆層の形成工程において、金属部
材を構成しているAu、Ag、Cuが励起された炭素
及び励起された水素と殆んど反応しなく、このた
めに励起された炭素は殆んどがダイヤモンドの核
形成のために消費されることになり、ダイヤモン
ドの核形成密度が高くなる。また、ダイヤモンド
の核形成密度の高い状態にある所に励起された水
素が充満されることにより、ダイヤモンドの核生
成及び成長がより促進される。このために本発明
のダイヤモンド被覆部材は、緻密で良質なダイヤ
モンド被覆層が形成されている。
ーボン及び／又はダイヤモンドからなる被覆層を
形成させると被覆層の形成工程において、金属部
材を構成しているAu、Ag、Cuが励起された炭素
及び励起された水素と殆んど反応しなく、このた
めに励起された炭素は殆んどがダイヤモンドの核
形成のために消費されることになり、ダイヤモン
ドの核形成密度が高くなる。また、ダイヤモンド
の核形成密度の高い状態にある所に励起された水
素が充満されることにより、ダイヤモンドの核生
成及び成長がより促進される。このために本発明
のダイヤモンド被覆部材は、緻密で良質なダイヤ
モンド被覆層が形成されている。
ダイヤモンド状カーボン及び／又はダイヤモン
ドからなる被覆層を形成させるための金属部材の
表面は、JIS・B0601の記載に基づく表面アラサ
で、その表面アラサを平均1000Å以下（Rmax＝
1000Å以下）にするとダイヤモンドの核生成密度
がより一層高くなると共に金属部材と被覆層との
密着性もすぐれたものになる。このような本発明
のダイヤモンド被覆部材は、耐摩耗性、高熱伝導
性及び高電気絶縁性などの被覆層の特性を充分に
発揮することができるものである。
ドからなる被覆層を形成させるための金属部材の
表面は、JIS・B0601の記載に基づく表面アラサ
で、その表面アラサを平均1000Å以下（Rmax＝
1000Å以下）にするとダイヤモンドの核生成密度
がより一層高くなると共に金属部材と被覆層との
密着性もすぐれたものになる。このような本発明
のダイヤモンド被覆部材は、耐摩耗性、高熱伝導
性及び高電気絶縁性などの被覆層の特性を充分に
発揮することができるものである。
ここで述べてきたAu、Ag、Cu又はこれらの相
互合金もしくはAu、Ag、Cuの少なくとも１種を
主成分とする合金からなる金属部材は、Au、
Ag、Cuそれぞれの単一金属又はAu−Ag、Au−
Cu、Ag−Cuの合金もしくはAu、Ag、Cuの少な
くとも１種を50体積％以上含有した合金、例えば
各種の黄銅、青銅、洋白、銀合金又は金合金など
を示すものである。
互合金もしくはAu、Ag、Cuの少なくとも１種を
主成分とする合金からなる金属部材は、Au、
Ag、Cuそれぞれの単一金属又はAu−Ag、Au−
Cu、Ag−Cuの合金もしくはAu、Ag、Cuの少な
くとも１種を50体積％以上含有した合金、例えば
各種の黄銅、青銅、洋白、銀合金又は金合金など
を示すものである。
特に、ガラス、金属、合金、セラミツクス又は
複合材料からなる基材の表面に上述のような金属
部材の単層又は複層である内層を形成し、該内層
の表面にダイヤモンド状カーボン及び／又はダイ
ヤモンドからなる被覆層を形成した本発明のダイ
ヤモンド被覆部材の場合は、金属部材からなる内
層をイオンプレーテイング、スパツタリング、真
空蒸着又はメツキによつて形成することができ
る。この場合、ガラス、金属、合金、セラミツク
ス又は複合材料からなる基材は、内層及び被覆層
を形成するときの温度に耐えられる物質にする必
要があり、例えばガラスでは石英ガラス、パイレ
ツクスなどの耐熱ガラス、金属では周期律表４
ａ，５ａ，６ａ族金属、Fe、Ni、Coなどの融点
が1000℃以上のもの、合金ではステンレス、鋳
鉄、高速度鋼、工具鋼、耐熱合金、焼結ハイス、
サーメツト、超硬合金など、セラミツクスでは
Al2O3基セラミツクス、ZrO2基セラミツクスなど
の酸化物系セラミツクス又はSi3N4基セラミツク
ス、SiC基セラミツクス、TiC基セラミツクス、
高密度窒化ホウ素基焼結体、ダイヤモンド基焼結
体などの非酸化物系セラミツクスがあり、複合材
料としては異種材種を２種以上接合したような複
合材料並びに上述の金属、合金又はセラミツクス
の表面に異種の金属、合金もしくは金属化合物の
被膜を形成させたもの、具体的には上述の金属、
合金又はセラミツクスの表面に周期律表４ａ，５
ａ，６ａ族金属の炭化物、窒化物、酸化物、硼化
物、ケイ化物又はこれらの相互固溶体並びに酸化
アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ケイ素の
少なくとも１種からなる単層又は複層でなる0.1
〜20μｍ程度の被膜を形成させた複合材料であ
る。
複合材料からなる基材の表面に上述のような金属
部材の単層又は複層である内層を形成し、該内層
の表面にダイヤモンド状カーボン及び／又はダイ
ヤモンドからなる被覆層を形成した本発明のダイ
ヤモンド被覆部材の場合は、金属部材からなる内
層をイオンプレーテイング、スパツタリング、真
空蒸着又はメツキによつて形成することができ
る。この場合、ガラス、金属、合金、セラミツク
ス又は複合材料からなる基材は、内層及び被覆層
を形成するときの温度に耐えられる物質にする必
要があり、例えばガラスでは石英ガラス、パイレ
ツクスなどの耐熱ガラス、金属では周期律表４
ａ，５ａ，６ａ族金属、Fe、Ni、Coなどの融点
が1000℃以上のもの、合金ではステンレス、鋳
鉄、高速度鋼、工具鋼、耐熱合金、焼結ハイス、
サーメツト、超硬合金など、セラミツクスでは
Al2O3基セラミツクス、ZrO2基セラミツクスなど
の酸化物系セラミツクス又はSi3N4基セラミツク
ス、SiC基セラミツクス、TiC基セラミツクス、
高密度窒化ホウ素基焼結体、ダイヤモンド基焼結
体などの非酸化物系セラミツクスがあり、複合材
料としては異種材種を２種以上接合したような複
合材料並びに上述の金属、合金又はセラミツクス
の表面に異種の金属、合金もしくは金属化合物の
被膜を形成させたもの、具体的には上述の金属、
合金又はセラミツクスの表面に周期律表４ａ，５
ａ，６ａ族金属の炭化物、窒化物、酸化物、硼化
物、ケイ化物又はこれらの相互固溶体並びに酸化
アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ケイ素の
少なくとも１種からなる単層又は複層でなる0.1
〜20μｍ程度の被膜を形成させた複合材料であ
る。
本発明のダイヤモンド被覆部材における製造方
法は、Au、Ag、Cu又はこれらの相互合金もしく
はAu、Ag、Cuの少なくとも１種を主成分とする
合金からなる金属材料の表面にダイヤモンド状カ
ーボン及び／又はダイヤモンドからなる被覆層を
形成する場合には、金属部材の表面を従来から使
用されている砥石又は砥粒によつて平均1000Å以
下の表面アラサにして蒸留水及び有機溶剤で洗浄
乾燥後、その表面に従来から行なわれている気相
合成法によつてダイヤモンド状カーボン及び／又
はダイヤモンドからなる被覆層を形成することが
できる。また、ガラス、金属、合金、セラミツク
ス又は複合材料からなる基材の表面にAu、Ag、
Cu又はこれらの相互合金もしくはAu、Ag、Cu
の少なくとも１種を主成分とする合金からなる金
属部材から選ばれた単層又は複層でなる内層とこ
の内層の表面にダイヤモンド状カーボン及び／又
はダイヤモンドからなる被覆層を形成する場合に
は、基材の表面を蒸留水及び有機溶剤で洗浄乾燥
後、その表面に従来から行なわれている真空蒸
着、イオンプレーテイング、スパツタリング又は
メツキによつて内層を形成し、該内層の表面を砥
粒又は砥石でRmax1000Å以下の表面アラサにし
た後、次いで気相合成法によつてダイヤモンド状
カーボン及び／又はダイヤモンドからなる被覆層
を形成する。ここで述べているダイヤモンド状カ
ーボンとはダイヤモンドと殆んど同等の特性を有
するカーボンを示す。
法は、Au、Ag、Cu又はこれらの相互合金もしく
はAu、Ag、Cuの少なくとも１種を主成分とする
合金からなる金属材料の表面にダイヤモンド状カ
ーボン及び／又はダイヤモンドからなる被覆層を
形成する場合には、金属部材の表面を従来から使
用されている砥石又は砥粒によつて平均1000Å以
下の表面アラサにして蒸留水及び有機溶剤で洗浄
乾燥後、その表面に従来から行なわれている気相
合成法によつてダイヤモンド状カーボン及び／又
はダイヤモンドからなる被覆層を形成することが
できる。また、ガラス、金属、合金、セラミツク
ス又は複合材料からなる基材の表面にAu、Ag、
Cu又はこれらの相互合金もしくはAu、Ag、Cu
の少なくとも１種を主成分とする合金からなる金
属部材から選ばれた単層又は複層でなる内層とこ
の内層の表面にダイヤモンド状カーボン及び／又
はダイヤモンドからなる被覆層を形成する場合に
は、基材の表面を蒸留水及び有機溶剤で洗浄乾燥
後、その表面に従来から行なわれている真空蒸
着、イオンプレーテイング、スパツタリング又は
メツキによつて内層を形成し、該内層の表面を砥
粒又は砥石でRmax1000Å以下の表面アラサにし
た後、次いで気相合成法によつてダイヤモンド状
カーボン及び／又はダイヤモンドからなる被覆層
を形成する。ここで述べているダイヤモンド状カ
ーボンとはダイヤモンドと殆んど同等の特性を有
するカーボンを示す。
（作 用）
本発明のダイヤモンド被覆部材は、炭素及び水
素との反応性の低い金属部材の表面にダイヤモン
ド被覆層を形成したものであることからダイヤモ
ンド被覆工程では励起された炭素のＣ−Ｃ結合が
SP3軌道によるダイヤモンド結晶化になりやす
く、このために非常に良質なダイヤモンドの被覆
層となつている。このことから、本発明のダイヤ
モンド被覆材料の被覆層は、緻密で微細な結晶粒
子からなる膜状の被覆層になり、しかも高硬度
性、耐摩耗性、高熱伝導性及び高電気絶縁性がよ
りすぐれたものになつている。
素との反応性の低い金属部材の表面にダイヤモン
ド被覆層を形成したものであることからダイヤモ
ンド被覆工程では励起された炭素のＣ−Ｃ結合が
SP3軌道によるダイヤモンド結晶化になりやす
く、このために非常に良質なダイヤモンドの被覆
層となつている。このことから、本発明のダイヤ
モンド被覆材料の被覆層は、緻密で微細な結晶粒
子からなる膜状の被覆層になり、しかも高硬度
性、耐摩耗性、高熱伝導性及び高電気絶縁性がよ
りすぐれたものになつている。
（実施例）
実施例 １
Mo、WC−10％Co合金、Cuでなる約13×13×
５寸法の試料表面をそれぞれダイヤモンド砥粒で
研磨してRmax500Åの表面アラサにした後蒸留
水及びアルコールで洗浄乾燥した。これらの各試
料をフイラメント温度2000℃、試料表面温度920
℃、水素ガス100ml／min、メタンガス0.7ml／
min、圧力20Torrの熱フイラメントの気相合成
法によりダイヤモンドからなる被覆層を形成させ
た。その結果、Moの表面には0.7μm厚さのダイ
ヤモンド被覆層が形成され、WC−10％Co合金の
表面には殆んどダイヤモンドは確認されず、Cu
の表面には自形面を有する約2.0μｍの厚さのダイ
ヤモンド被覆層が形成された本発明品を得た。こ
の本発明品に対し、Rmax1μｍの表面アラサの
Cuの表面に、本発明品と同様にしてダイヤモン
ド被覆層を形成した比較品を得た。こうして得た
本発明品と比較品のそれぞれの被覆層について、
引掻き試験機を用いて、10Kg荷重による引掻き試
験を行つた所、本発明品の被覆層は、殆んど剥離
しなかつたのに対し、比較品の被覆層は、大きく
剥離していた。
５寸法の試料表面をそれぞれダイヤモンド砥粒で
研磨してRmax500Åの表面アラサにした後蒸留
水及びアルコールで洗浄乾燥した。これらの各試
料をフイラメント温度2000℃、試料表面温度920
℃、水素ガス100ml／min、メタンガス0.7ml／
min、圧力20Torrの熱フイラメントの気相合成
法によりダイヤモンドからなる被覆層を形成させ
た。その結果、Moの表面には0.7μm厚さのダイ
ヤモンド被覆層が形成され、WC−10％Co合金の
表面には殆んどダイヤモンドは確認されず、Cu
の表面には自形面を有する約2.0μｍの厚さのダイ
ヤモンド被覆層が形成された本発明品を得た。こ
の本発明品に対し、Rmax1μｍの表面アラサの
Cuの表面に、本発明品と同様にしてダイヤモン
ド被覆層を形成した比較品を得た。こうして得た
本発明品と比較品のそれぞれの被覆層について、
引掻き試験機を用いて、10Kg荷重による引掻き試
験を行つた所、本発明品の被覆層は、殆んど剥離
しなかつたのに対し、比較品の被覆層は、大きく
剥離していた。
実施例 ２
Ｗ、SiO2、Si及びAuでなる約10×５×ｔの板
状試料表面を実施例１の本発明品のCuと同様に
して、表面アラサをRmax1000Åとし、それぞれ
洗浄乾燥後マイクロ波出力300W、圧力30Torr、
水素ガス300ml／min、エタンガス1.2ml／min、
反応時間10時間でプラズマCVD法によりダイヤ
モンドの被覆層を形成させた。これらの各試料の
ダイヤモンド被覆層をラマン分光分析によつて測
定した所、Ｗ、SiO2、Siの各試料表面に形成し
たダイヤモンド被覆層は、非晶質炭素の混在が認
められたのに対し、本発明品のAu試料表面に形
成したダイヤモンド被覆層は、炭素の混在のない
良質なダイヤモンドであつた。この本発明品につ
いて、実施例１と同様にして引掻き試験を行つた
所、ダイヤモンド被覆層は、殆んど剥離しなかつ
た。
状試料表面を実施例１の本発明品のCuと同様に
して、表面アラサをRmax1000Åとし、それぞれ
洗浄乾燥後マイクロ波出力300W、圧力30Torr、
水素ガス300ml／min、エタンガス1.2ml／min、
反応時間10時間でプラズマCVD法によりダイヤ
モンドの被覆層を形成させた。これらの各試料の
ダイヤモンド被覆層をラマン分光分析によつて測
定した所、Ｗ、SiO2、Siの各試料表面に形成し
たダイヤモンド被覆層は、非晶質炭素の混在が認
められたのに対し、本発明品のAu試料表面に形
成したダイヤモンド被覆層は、炭素の混在のない
良質なダイヤモンドであつた。この本発明品につ
いて、実施例１と同様にして引掻き試験を行つた
所、ダイヤモンド被覆層は、殆んど剥離しなかつ
た。
実施例 ３
Mo板とMo板の表面にスパツタ法により5μｍ
厚さのCuを被覆した後、実施例１の本発明品の
Cuと同様にして、表面アラサをRmax500Åと
し、次いで各試料マイクロ波出力300W、圧力
40Torr、水素ガス100ml／min、メタンガス0.5
ml／min、反応時間20minの条件でダイヤモンド
を被覆した。このようにして得られた２種類の試
料のダイヤモンド被覆層の特性値を測定した結
果、Mo板に直接ダイヤモンド被覆層を形成した
試料に比較してMo板の表面にCuを被覆した後ダ
イヤモンド被覆層を形成した本発明品の方がダイ
ヤモンド被覆層の電気絶縁性及び熱伝導性がすぐ
れていた。この本発明品について、実施例１と同
様にして引掻き試験を行つた所、ダイヤモンド被
覆層は、殆んど剥離しなかつた。
厚さのCuを被覆した後、実施例１の本発明品の
Cuと同様にして、表面アラサをRmax500Åと
し、次いで各試料マイクロ波出力300W、圧力
40Torr、水素ガス100ml／min、メタンガス0.5
ml／min、反応時間20minの条件でダイヤモンド
を被覆した。このようにして得られた２種類の試
料のダイヤモンド被覆層の特性値を測定した結
果、Mo板に直接ダイヤモンド被覆層を形成した
試料に比較してMo板の表面にCuを被覆した後ダ
イヤモンド被覆層を形成した本発明品の方がダイ
ヤモンド被覆層の電気絶縁性及び熱伝導性がすぐ
れていた。この本発明品について、実施例１と同
様にして引掻き試験を行つた所、ダイヤモンド被
覆層は、殆んど剥離しなかつた。
（発明の効果）
以上の結果、本発明のダイヤモンド被覆部材
は、不純物のない良質のダイヤモンド被覆層を有
する材料であり、この被覆層の高硬度性、耐摩耗
性、高熱伝導性及び高電気絶縁性を応用してヒー
トシンク、半導体用マウント、レコード針又はオ
ーデイオやビデイオなどのピツクアツプ用レバー
など電気部品用材料もしくは電子部品用材料関係
に利用できる。また、工具鋼、超硬合金、サーメ
ツト、セラミツクス又は複合材料からなる基材の
表面に内層を形成し、この内層の表面にダイヤモ
ンド被覆層を形成した本発明のダイヤモンド被覆
部材は、耐摩耗用工具又は切削用工具をはじめと
する各種の工具部品に利用することができる産業
上有用な材料である。
は、不純物のない良質のダイヤモンド被覆層を有
する材料であり、この被覆層の高硬度性、耐摩耗
性、高熱伝導性及び高電気絶縁性を応用してヒー
トシンク、半導体用マウント、レコード針又はオ
ーデイオやビデイオなどのピツクアツプ用レバー
など電気部品用材料もしくは電子部品用材料関係
に利用できる。また、工具鋼、超硬合金、サーメ
ツト、セラミツクス又は複合材料からなる基材の
表面に内層を形成し、この内層の表面にダイヤモ
ンド被覆層を形成した本発明のダイヤモンド被覆
部材は、耐摩耗用工具又は切削用工具をはじめと
する各種の工具部品に利用することができる産業
上有用な材料である。
第１図は、実施例２で測定したラマン分光分析
による回折線を示す。 図中ａは、Ｗ板の表面に形成したダイヤモンド
被覆層の回折線を示し、ｂは、Au板の表面に形
成したダイヤモンド被覆層の回折線を示す。
による回折線を示す。 図中ａは、Ｗ板の表面に形成したダイヤモンド
被覆層の回折線を示し、ｂは、Au板の表面に形
成したダイヤモンド被覆層の回折線を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 表面アラサがRmax1000Å以下でなるAu、
Ag、Cu又はこれらの相互合金もしくはAu、Ag、
Cuの少なくとも１種を主成分とする合金からな
る金属部材の表面にダイヤモンド状カーボン及
び／又はダイヤモンドからなる被覆層を形成した
ことを特徴とするダイヤモンド被覆部材。 ２ ガラス、金属、合金、セラミツクス又は複合
材料からなる基材の表面にAu、Ag、Cu又はこれ
らの相互合金もしくはAu、Ag、Cuの少なくとも
１種を主成分とする合金からなる金属部材から選
ばれた単層又は複層でなる内層を形成し、該内層
の表面アラサをRmax1000Å以下とした後、該内
層の表面にダイヤモンド状カーボン及び／又はダ
イヤモンドからなる被覆層を形成したことを特徴
とするダイヤモンド被覆部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10115885A JPS61261480A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | ダイヤモンド被覆部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10115885A JPS61261480A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | ダイヤモンド被覆部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61261480A JPS61261480A (ja) | 1986-11-19 |
| JPH0542508B2 true JPH0542508B2 (ja) | 1993-06-28 |
Family
ID=14293236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10115885A Granted JPS61261480A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | ダイヤモンド被覆部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61261480A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0589695U (ja) * | 1992-05-11 | 1993-12-07 | ナショナル住宅産業株式会社 | 束基礎型枠 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3719200A1 (de) * | 1987-06-09 | 1988-12-29 | Ibm Deutschland | Optische speicherplatte und verfahren zu ihrer herstellung |
| JP2580691B2 (ja) * | 1988-03-28 | 1997-02-12 | 三菱マテリアル株式会社 | 人工ダイヤモンドコートの金および金合金製装飾品 |
| JP2580690B2 (ja) * | 1988-03-28 | 1997-02-12 | 三菱マテリアル株式会社 | 人工ダイヤモンドコートの金合金製装飾品 |
| JP2611319B2 (ja) * | 1988-03-28 | 1997-05-21 | 三菱マテリアル株式会社 | 人工ダイヤモンドコート装飾品用金合金 |
| JP2580692B2 (ja) * | 1988-03-28 | 1997-02-12 | 三菱マテリアル株式会社 | 人工ダイヤモンドコートの金および金合金製装飾品 |
| JP4815065B2 (ja) * | 2001-05-30 | 2011-11-16 | 株式会社トクヤマ | ヒートシンク及びその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56108876A (en) * | 1980-02-04 | 1981-08-28 | Citizen Watch Co Ltd | Silver plated exterior decorative parts for watch and their manufacture |
| JPS60114567A (ja) * | 1983-11-25 | 1985-06-21 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 硬質めつき膜の形成方法 |
| JPS61117281A (ja) * | 1984-06-27 | 1986-06-04 | サントレ−ド リミテイド | ダイヤモンドクラツド複合物体を製造するｃｖｄ法 |
-
1985
- 1985-05-13 JP JP10115885A patent/JPS61261480A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56108876A (en) * | 1980-02-04 | 1981-08-28 | Citizen Watch Co Ltd | Silver plated exterior decorative parts for watch and their manufacture |
| JPS60114567A (ja) * | 1983-11-25 | 1985-06-21 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 硬質めつき膜の形成方法 |
| JPS61117281A (ja) * | 1984-06-27 | 1986-06-04 | サントレ−ド リミテイド | ダイヤモンドクラツド複合物体を製造するｃｖｄ法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0589695U (ja) * | 1992-05-11 | 1993-12-07 | ナショナル住宅産業株式会社 | 束基礎型枠 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61261480A (ja) | 1986-11-19 |
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