JPS61261480A - ダイヤモンド被覆部材 - Google Patents
ダイヤモンド被覆部材Info
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- JPS61261480A JPS61261480A JP10115885A JP10115885A JPS61261480A JP S61261480 A JPS61261480 A JP S61261480A JP 10115885 A JP10115885 A JP 10115885A JP 10115885 A JP10115885 A JP 10115885A JP S61261480 A JPS61261480 A JP S61261480A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、ダイヤモンド状カーボン及び／又はダイヤモ
ンドからなる被覆層を形成したダイヤモンド被覆部材に
関する。
ンドからなる被覆層を形成したダイヤモンド被覆部材に
関する。
（従来の技術）
従来、ダイヤモンド状カーボン及び／又はダイヤモンド
からなる被覆層の形成方法としては、大別すると特開昭
５３−１０３９４及び特開昭５６−２２６１６に開示さ
れているようなダイヤモンド又はカーボンを加熱蒸着し
て被覆層を形成する。所謂内相合成法と特開昭５８−９
１１００に開示されているような炭化水素と水素の混合
ガスを加熱して炭化水素の熱分解によりダイヤモンドの
被覆層を形成する、所謂気相合成法がある。
からなる被覆層の形成方法としては、大別すると特開昭
５３−１０３９４及び特開昭５６−２２６１６に開示さ
れているようなダイヤモンド又はカーボンを加熱蒸着し
て被覆層を形成する。所謂内相合成法と特開昭５８−９
１１００に開示されているような炭化水素と水素の混合
ガスを加熱して炭化水素の熱分解によりダイヤモンドの
被覆層を形成する、所謂気相合成法がある。
これらの方法を利用して各種の基材表面にダイヤモンド
の被覆層を形成したダイヤモンド被覆部材の提案が多数
行なわれている。この内、気相合成法によって基材表面
にダイヤモンドの被覆層を形成した工具部材の提案が特
開昭５９−１５９９８１で行なわれている。
の被覆層を形成したダイヤモンド被覆部材の提案が多数
行なわれている。この内、気相合成法によって基材表面
にダイヤモンドの被覆層を形成した工具部材の提案が特
開昭５９−１５９９８１で行なわれている。
（発明が解決しようとする問題点）
一般に、ダイヤモンドは他の物質との濡れ性が著しく悪
く、又熱膨張率が小さく、更にダイヤモンド中への他派
子の拡散が少ないなどのために各種の基材表面にダイヤ
モンド状カーボン及び／又はダイヤモンドの被塑層を形
成するのが非常に困難であるといわれている。そこで、
本発明者は、気相合成法においてダイヤモンドの被覆層
を形成する場合のダイヤモンドの形成要因を検討した所
、気相合成法で使用するガスの種類及び純度、全ガス量
、ガス流量、ガス分解条件の他にダイヤモンド被覆層を
形成するための基材の表面状態と材質による影響が大き
いことを見い出した。
く、又熱膨張率が小さく、更にダイヤモンド中への他派
子の拡散が少ないなどのために各種の基材表面にダイヤ
モンド状カーボン及び／又はダイヤモンドの被塑層を形
成するのが非常に困難であるといわれている。そこで、
本発明者は、気相合成法においてダイヤモンドの被覆層
を形成する場合のダイヤモンドの形成要因を検討した所
、気相合成法で使用するガスの種類及び純度、全ガス量
、ガス流量、ガス分解条件の他にダイヤモンド被覆層を
形成するための基材の表面状態と材質による影響が大き
いことを見い出した。
この内、ダイヤモンド被覆層を形成するための基材の表
面状態については、本発明者が特願昭５９−２４４５４
０で提供しており、ダイヤモンド被覆層を形成するため
の材質については、例えば特開昭５８−９１１００で開
示されている方法ではＳｔ又はＭｏを基材とし、特開昭
５９−１５９９８１’ｔ’はＷ 、 Ｎ ｂ 、 Ｔ
ａ 、 Ｖ 、 Ｃｒ又はＨｆを基材として使用してい
る。このようにＳｉや周期律表４ａ、５ａ、Ｂａ族の金
属であるＴｉ 、Ｚｒ、Ｈｆ 、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ
。
面状態については、本発明者が特願昭５９−２４４５４
０で提供しており、ダイヤモンド被覆層を形成するため
の材質については、例えば特開昭５８−９１１００で開
示されている方法ではＳｔ又はＭｏを基材とし、特開昭
５９−１５９９８１’ｔ’はＷ 、 Ｎ ｂ 、 Ｔ
ａ 、 Ｖ 、 Ｃｒ又はＨｆを基材として使用してい
る。このようにＳｉや周期律表４ａ、５ａ、Ｂａ族の金
属であるＴｉ 、Ｚｒ、Ｈｆ 、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ
。
Ｍ ｏ 、 Ｗなどを基材とし、この基材の表面に気相
合成法によってダイヤモンドの被覆層を形成する場合、
基材と加熱分解して励起された炭素ガス及び水素ガスが
容易に反応する。すなわち、ダイヤモンドの核形成に作
用する活性化された炭素ガスはＳｉや周期律表４ａ、５
ａ、６ａ族の金属からなる基材との反応に使用されるた
めにダイヤモンドの成長速度が非常に遅くなるという問
題がある。また、ダイヤモンドの核が生成して、ダイヤ
モンドが成長するときに促進作用をする活性化された水
素ガスは、Ｓｔや周期律表４ａ、５ａ。
合成法によってダイヤモンドの被覆層を形成する場合、
基材と加熱分解して励起された炭素ガス及び水素ガスが
容易に反応する。すなわち、ダイヤモンドの核形成に作
用する活性化された炭素ガスはＳｉや周期律表４ａ、５
ａ、６ａ族の金属からなる基材との反応に使用されるた
めにダイヤモンドの成長速度が非常に遅くなるという問
題がある。また、ダイヤモンドの核が生成して、ダイヤ
モンドが成長するときに促進作用をする活性化された水
素ガスは、Ｓｔや周期律表４ａ、５ａ。
６ａ族の金属からなる基材に吸収されてしまうためにダ
イヤモンドの被覆層中にグラファイトやアモルファス状
カーボンが残存してくるという問題がある。
イヤモンドの被覆層中にグラファイトやアモルファス状
カーボンが残存してくるという問題がある。
本発明は、上述のような問題点を解決したもので、具体
的には炭素ガス及び水素ガスとの反応性の悪い金属部材
の表面に良質なダイヤモンドの被Ｗｉ層を形成したダイ
ヤモンド被覆部材の提供を目的とするものである。
的には炭素ガス及び水素ガスとの反応性の悪い金属部材
の表面に良質なダイヤモンドの被Ｗｉ層を形成したダイ
ヤモンド被覆部材の提供を目的とするものである。
（問題点を解決するための手段）
ダイヤモンドの被覆層を形成するには、それを形成する
ための基材の材質に大きく影響するという知見を得た。
ための基材の材質に大きく影響するという知見を得た。
そこで、本発明者は各種の材質からなる基材の表面にダ
イヤモンドの被覆層を形成することを試みた所、気相合
成法によって生ずる分解励起した炭素と励起した水素が
基材と反応し、この反応の強弱によって生成するダイヤ
モンド被覆層の質、形状、密度及び成長速度が異なって
くるという知見を得た。この知見に基づいて本発明を完
成するに至ったものである。
イヤモンドの被覆層を形成することを試みた所、気相合
成法によって生ずる分解励起した炭素と励起した水素が
基材と反応し、この反応の強弱によって生成するダイヤ
モンド被覆層の質、形状、密度及び成長速度が異なって
くるという知見を得た。この知見に基づいて本発明を完
成するに至ったものである。
すなわち１本発明のダイヤモンド被覆部材は、Ａｕ、Ａ
ｇ、Ｃｕ又はこれらの相互合金もしくはＡｕ、Ａｇ、Ｃ
ｕの少なくとも１種を主成分とする合金からなる金属部
材の表面にダイヤモンド状カーボン及び／又はダイヤモ
ンドからなる被覆層を形成したことを特徴とするもので
ある。ここで使用するＡｕ 、Ａｇ 、Ｃｕ又はこれら
の相互合金もしくはＡｕ、Ａｇ、Ｃｕの少なくとも１種
を主成分とする合金からなる金属部材は、用途によって
膜状、線状、板状又は塊状など種々の形状のものに応用
できる０例えば、膜状のものにして応用すると、本発明
のダイヤモンド被覆部材は、ガラス、金属１合金、セラ
ミックス又は複合材料からなる基材の表面にＡｕ 、Ａ
ｇ 、Ｃｕ又はこれらの相互合金もしくはＡｕ、Ａｇ、
Ｃｕの少なくとも１種を主成分とする合金からなる金属
部材から選ばれた単層又は複層でなる内層と該内層の表
面にダイヤモンド状カーボン及び／又はダイヤモンドか
らなる被覆層を形成したものとなる。
ｇ、Ｃｕ又はこれらの相互合金もしくはＡｕ、Ａｇ、Ｃ
ｕの少なくとも１種を主成分とする合金からなる金属部
材の表面にダイヤモンド状カーボン及び／又はダイヤモ
ンドからなる被覆層を形成したことを特徴とするもので
ある。ここで使用するＡｕ 、Ａｇ 、Ｃｕ又はこれら
の相互合金もしくはＡｕ、Ａｇ、Ｃｕの少なくとも１種
を主成分とする合金からなる金属部材は、用途によって
膜状、線状、板状又は塊状など種々の形状のものに応用
できる０例えば、膜状のものにして応用すると、本発明
のダイヤモンド被覆部材は、ガラス、金属１合金、セラ
ミックス又は複合材料からなる基材の表面にＡｕ 、Ａ
ｇ 、Ｃｕ又はこれらの相互合金もしくはＡｕ、Ａｇ、
Ｃｕの少なくとも１種を主成分とする合金からなる金属
部材から選ばれた単層又は複層でなる内層と該内層の表
面にダイヤモンド状カーボン及び／又はダイヤモンドか
らなる被覆層を形成したものとなる。
このような金属部材の表面にダイヤモンド状カーボン及
び／又はダイヤモンドからなる被ｒｒＩｅを形成させる
と被覆層の形成工程において、金属部材を構成している
Ａｕ 、Ａｇ 、Ｃｕが励起された炭素及び励起された
水素と殆んど反応しなく、このために励起された炭素は
殆んどがダイヤモンドの核形成のために消費されること
になり、ダイヤモンドの核形成密度が高くなる。また、
ダイヤモンドの核形成密度の高い状態にある所に励起さ
れた水素が充満されることにより、ダイヤモンドの核生
成及び成長がより促進される。このために本発明のダイ
ヤモンド被覆部材は、緻密で良質なダイヤモンド被覆層
が形成されている。
び／又はダイヤモンドからなる被ｒｒＩｅを形成させる
と被覆層の形成工程において、金属部材を構成している
Ａｕ 、Ａｇ 、Ｃｕが励起された炭素及び励起された
水素と殆んど反応しなく、このために励起された炭素は
殆んどがダイヤモンドの核形成のために消費されること
になり、ダイヤモンドの核形成密度が高くなる。また、
ダイヤモンドの核形成密度の高い状態にある所に励起さ
れた水素が充満されることにより、ダイヤモンドの核生
成及び成長がより促進される。このために本発明のダイ
ヤモンド被覆部材は、緻密で良質なダイヤモンド被覆層
が形成されている。
ダイヤモンド状カーボン及び／又はダイヤモンドからな
る被覆層を形成させるための金属部材の表面は、ＪＩ’
Ｓ・ＢＯ６０１の記載に基づく表面アテサで、その表面
アラサを平均１０００Å以下にするとダイヤモンドの核
生成密度がより一層高くなると共に金属部材と被覆層と
の密着性もすぐれたものになる。このような本発明のダ
イヤモンド被覆部材は、耐摩耗性、高熱伝導性及び高電
気絶縁性などの被覆層の特性を充分に発揮することがで
きるものである。
る被覆層を形成させるための金属部材の表面は、ＪＩ’
Ｓ・ＢＯ６０１の記載に基づく表面アテサで、その表面
アラサを平均１０００Å以下にするとダイヤモンドの核
生成密度がより一層高くなると共に金属部材と被覆層と
の密着性もすぐれたものになる。このような本発明のダ
イヤモンド被覆部材は、耐摩耗性、高熱伝導性及び高電
気絶縁性などの被覆層の特性を充分に発揮することがで
きるものである。
ここで述べてきたＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ又はこれらの相互合
金もしくはＡｕ 、Ａｇ 、Ｃｕの少なくとも１種を主
成分とする合金からなる金属部材は、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ
それぞれの単−金属又はＡｕ−Ａｇ 、Ａｕ−Ｃｕ 、
Ａｇ−Ｃｕの合金もしくはＡｕ、Ａｇ、Ｃｕの少なくと
も１種を５０体積％以上含有した合金１例えば各種の黄
銅、青銅、洋白、銀合金又は金合金などを示すものであ
る。
金もしくはＡｕ 、Ａｇ 、Ｃｕの少なくとも１種を主
成分とする合金からなる金属部材は、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ
それぞれの単−金属又はＡｕ−Ａｇ 、Ａｕ−Ｃｕ 、
Ａｇ−Ｃｕの合金もしくはＡｕ、Ａｇ、Ｃｕの少なくと
も１種を５０体積％以上含有した合金１例えば各種の黄
銅、青銅、洋白、銀合金又は金合金などを示すものであ
る。
特に、ガラス、金属２合金、セラミックス又は複合材料
からなる基材の表面に上述のような金属部材の単層又は
複層でなる内層を形成し、該内層の表面にダイヤモンド
状カーボン及び／又はダイヤモンドからなる被覆層を形
成した本発明のダイヤモンド被覆部材の場合は、金属部
材からなる内層をイオンブレーティング、スパッタリン
グ、真空蒸着又はメッキによって形成することができる
。この場合、ガラス、金属９合金、セラミックス又は複
合材料からなる基材は、内層及び被覆層を形成するとき
の温度に耐えられる物質にする必要があり、例えばガラ
スでは石英ガラス、パイレックスなどの耐熱ガラス、金
属では周期律表４ａ、５ａ、Ｓａ族金属、Ｆｅ、Ｎｉ、
Ｇｏなどの融点が１０００℃以上のもの、合金ではステ
ンレス、鋳鉄、高速度鋼、工具鋼、耐熱合金、焼結ハイ
ス、サーメット、超硬合金など、セラミックスではＡｌ
２Ｏ３基セラミツクス、ＺｒＯ２基セラミックスなどの
酸化物系セラミックス又はＳｉ３Ｎ４基セラミックス、
ＳｉＣ基セラミックス、Ｔ ｉＣ基セラミックス、高密
度窒化ホウ素基焼結体、ダイヤモンド基焼結体などの非
酸化物系セラミックスがあり、複合材料としては異種材
種を２種以上接合したような複合材料並びに上述の金属
９合金又はセラミックスの表面に異種の金属１合金もし
くは金属化合物の被膜を形成させたもの、具体的には上
述°の金属９合金又はセラミックスの表面に周期律表４
ａ、５ａ、６ａ族金属の炭化物、窒化物、酸化物、硼化
物、ケイ化物又はこれらの相互固溶体並びに酸化アルミ
ニウム、窒化アルミニウム、窒化ケイ素の少なくとも１
種からなる単層又は複層でなる０、１〜２０．ｐｍ程度
の被膜を形成さ２せた複合材料である。
からなる基材の表面に上述のような金属部材の単層又は
複層でなる内層を形成し、該内層の表面にダイヤモンド
状カーボン及び／又はダイヤモンドからなる被覆層を形
成した本発明のダイヤモンド被覆部材の場合は、金属部
材からなる内層をイオンブレーティング、スパッタリン
グ、真空蒸着又はメッキによって形成することができる
。この場合、ガラス、金属９合金、セラミックス又は複
合材料からなる基材は、内層及び被覆層を形成するとき
の温度に耐えられる物質にする必要があり、例えばガラ
スでは石英ガラス、パイレックスなどの耐熱ガラス、金
属では周期律表４ａ、５ａ、Ｓａ族金属、Ｆｅ、Ｎｉ、
Ｇｏなどの融点が１０００℃以上のもの、合金ではステ
ンレス、鋳鉄、高速度鋼、工具鋼、耐熱合金、焼結ハイ
ス、サーメット、超硬合金など、セラミックスではＡｌ
２Ｏ３基セラミツクス、ＺｒＯ２基セラミックスなどの
酸化物系セラミックス又はＳｉ３Ｎ４基セラミックス、
ＳｉＣ基セラミックス、Ｔ ｉＣ基セラミックス、高密
度窒化ホウ素基焼結体、ダイヤモンド基焼結体などの非
酸化物系セラミックスがあり、複合材料としては異種材
種を２種以上接合したような複合材料並びに上述の金属
９合金又はセラミックスの表面に異種の金属１合金もし
くは金属化合物の被膜を形成させたもの、具体的には上
述°の金属９合金又はセラミックスの表面に周期律表４
ａ、５ａ、６ａ族金属の炭化物、窒化物、酸化物、硼化
物、ケイ化物又はこれらの相互固溶体並びに酸化アルミ
ニウム、窒化アルミニウム、窒化ケイ素の少なくとも１
種からなる単層又は複層でなる０、１〜２０．ｐｍ程度
の被膜を形成さ２せた複合材料である。
本発明のダイヤモンド被覆部材における製造方法は、Ａ
ｕ、Ａｇ、Ｃｕ又はこれらの相互合金もしくはＡｕ、Ａ
ｇ、Ｃｕの少なくとも１！ｉを主成分とする合金からな
、る金属部材の表面にダイヤモンド状カーボン及び／又
はダイヤモンドからなる被覆層を形成する場合には、金
属部材の表面を従来から使用されている砥石又は砥粒に
よって平均ｔｏｏｏÅ以下の表面アラサにして蒸留水及
び有機溶剤で洗浄乾燥後、その表面に従来から行なわれ
ている気相合成法によってダイヤモンド状カーボン及び
／又はダイヤモンドからなる被覆層を形成することがで
きる。また、ガラス、金属９合金、セラミックス又は複
合材料からなる基材の表面にＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ又はこれ
らの相互合金もしくはＡｕ、Ａｇ、Ｃｕの少なくとも１
種を主成分とする合金からなる金属部材から選ばれた単
層又は複層でなる内層とこの内層の表面にダイヤモンド
状カーボン及び／又はダイヤモンドからなる被覆層を形
成する場合には、基材の表面を蒸留水及び有機溶剤で洗
浄乾燥後、その表面に従来から行なわれている真空蒸着
、イオンブレーティング。
ｕ、Ａｇ、Ｃｕ又はこれらの相互合金もしくはＡｕ、Ａ
ｇ、Ｃｕの少なくとも１！ｉを主成分とする合金からな
、る金属部材の表面にダイヤモンド状カーボン及び／又
はダイヤモンドからなる被覆層を形成する場合には、金
属部材の表面を従来から使用されている砥石又は砥粒に
よって平均ｔｏｏｏÅ以下の表面アラサにして蒸留水及
び有機溶剤で洗浄乾燥後、その表面に従来から行なわれ
ている気相合成法によってダイヤモンド状カーボン及び
／又はダイヤモンドからなる被覆層を形成することがで
きる。また、ガラス、金属９合金、セラミックス又は複
合材料からなる基材の表面にＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ又はこれ
らの相互合金もしくはＡｕ、Ａｇ、Ｃｕの少なくとも１
種を主成分とする合金からなる金属部材から選ばれた単
層又は複層でなる内層とこの内層の表面にダイヤモンド
状カーボン及び／又はダイヤモンドからなる被覆層を形
成する場合には、基材の表面を蒸留水及び有機溶剤で洗
浄乾燥後、その表面に従来から行なわれている真空蒸着
、イオンブレーティング。
スパッタリング又はメッキによって内層を形成し、次い
で気相合成法によってダイヤモンド状カーボン及び／又
はダイヤモンドからなる被覆層を形成したり、又は内層
の表面を砥粒又は砥石で平均１０００＾の表面アラサに
して後被覆層を形成する。ここで述べているダイヤモン
ド状カーボンとはダイヤモンドと殆んど同等の特性を有
するカーボンを示す。
で気相合成法によってダイヤモンド状カーボン及び／又
はダイヤモンドからなる被覆層を形成したり、又は内層
の表面を砥粒又は砥石で平均１０００＾の表面アラサに
して後被覆層を形成する。ここで述べているダイヤモン
ド状カーボンとはダイヤモンドと殆んど同等の特性を有
するカーボンを示す。
（作用）
本発明のダイヤモンド被覆部材は、炭素及び水素との反
応性の低い金属部材の表面にダイヤモンド被覆層を形成
したものであることからダイヤモンド被覆工程では励起
された炭素のＣ−Ｃ結合がＳＰ３軌道によるダイヤモン
ド結晶化になりやすく、このために非常に良質なダイヤ
モンドの被′ｍＲとなっている。このことから、本発明
のダイヤモンド被覆材料の被覆層は、緻密で微細な結晶
粒子からなる膜状の被覆層になり、しかも高硬度性、耐
摩耗性、高熱伝導性及び高電気絶縁性がよりすぐれたも
のになっている。
応性の低い金属部材の表面にダイヤモンド被覆層を形成
したものであることからダイヤモンド被覆工程では励起
された炭素のＣ−Ｃ結合がＳＰ３軌道によるダイヤモン
ド結晶化になりやすく、このために非常に良質なダイヤ
モンドの被′ｍＲとなっている。このことから、本発明
のダイヤモンド被覆材料の被覆層は、緻密で微細な結晶
粒子からなる膜状の被覆層になり、しかも高硬度性、耐
摩耗性、高熱伝導性及び高電気絶縁性がよりすぐれたも
のになっている。
（実施例）
実施例Ｉ
Ｍｏ、ＷＣ−１０％Ｃｏ合金、Ｃｕでなる約１３Ｘ １
３Ｘ５寸法の試料表面をそれぞれダイヤモンド砥粒で研
磨して平均５００人の表面アラサにした後蒸留水及びア
ルコールで洗浄乾燥した。
３Ｘ５寸法の試料表面をそれぞれダイヤモンド砥粒で研
磨して平均５００人の表面アラサにした後蒸留水及びア
ルコールで洗浄乾燥した。
これらの各試料をフィラメント温度２０００℃。
試料表面温度９２０℃、水素ガス１００Ｊ／ｗｉｎ。
メタンガス０ 、７−／ｗｉｎ、圧力２０Ｔｏ ｒ ｒ
の熱フィラメントの気相合成法によりダイヤモンドから
なる被覆層を形成させた。その結果、Ｍｏの表面には０
．７ｐｍ厚さのダイヤモンド被覆層が形成され、ｗｃ−
ｔｏ％Ｃｏ合金の表面には殆んどダイヤモンドは確認さ
れず、Ｃｕの表面には自形面を有する約２．０４ｍの厚
さのダイヤモンド被覆層が形成されていた。
の熱フィラメントの気相合成法によりダイヤモンドから
なる被覆層を形成させた。その結果、Ｍｏの表面には０
．７ｐｍ厚さのダイヤモンド被覆層が形成され、ｗｃ−
ｔｏ％Ｃｏ合金の表面には殆んどダイヤモンドは確認さ
れず、Ｃｕの表面には自形面を有する約２．０４ｍの厚
さのダイヤモンド被覆層が形成されていた。
実施例２
Ｗ、５ｉ０２．Ｓｉ及びＡｕでなる約
１ｏｘｓｘｔの板状試料表面をそれぞれ洗浄乾燥後マイ
クロ波出力３００Ｗ、圧力３０Ｔｏｒｒ。
クロ波出力３００Ｗ、圧力３０Ｔｏｒｒ。
水素ガス３００ ｗＱ／＠ｉｆ１． ｘ−タンガス１．
２ｍＱ／ｍｉｎ、反応時間１０時間でプラズマＣＶＤ法
によりダイヤモンドの被ｉ２層を形成させた。これらの
各試料のダイヤモンド被覆層をラマン分光分析によって
測定した所、Ｗ、ＳｉＯ２、Ｓｉの各試料表面に形成し
たダイヤモンド被覆層は、非晶質炭素の混在が認められ
たのに対し、Ａｕ試料表面に形成してダイヤモンド被覆
層は、炭素の混在のない良質なダイヤモンドであった。
２ｍＱ／ｍｉｎ、反応時間１０時間でプラズマＣＶＤ法
によりダイヤモンドの被ｉ２層を形成させた。これらの
各試料のダイヤモンド被覆層をラマン分光分析によって
測定した所、Ｗ、ＳｉＯ２、Ｓｉの各試料表面に形成し
たダイヤモンド被覆層は、非晶質炭素の混在が認められ
たのに対し、Ａｕ試料表面に形成してダイヤモンド被覆
層は、炭素の混在のない良質なダイヤモンドであった。
実施例３
Ｍｏ板とＭｏ板の表面にスパッタ法により５ｐｍ厚さの
Ｃｕを被覆した各試料にマイクロ波出力３００Ｗ 、圧
力４０Ｔｏ ｒ ｒ 、水素ガスｉｏ。
Ｃｕを被覆した各試料にマイクロ波出力３００Ｗ 、圧
力４０Ｔｏ ｒ ｒ 、水素ガスｉｏ。
ｍｌＪ／ｓｉｎ、メタンガスＯ−５ｍＱ ／ｗｉｎ ＋
反応時間２０厘ｉｎの条件でダイヤモンドを被覆した。
反応時間２０厘ｉｎの条件でダイヤモンドを被覆した。
このようにして得られた２種類の試料のダイヤモンド被
覆層の特性値を測定した結果、Ｍｏ板に直接ダイヤモン
ド被覆層を形成した試料に比較してＭｏ板の表面にＣｕ
を被覆した後ダイヤモンド被覆層を形成した試料の方が
ダイヤモンド被覆層の電気絶縁性及び熱伝導性がすぐれ
ていた。
覆層の特性値を測定した結果、Ｍｏ板に直接ダイヤモン
ド被覆層を形成した試料に比較してＭｏ板の表面にＣｕ
を被覆した後ダイヤモンド被覆層を形成した試料の方が
ダイヤモンド被覆層の電気絶縁性及び熱伝導性がすぐれ
ていた。
（発明の効果）
以上の結果、本発明のダイヤモンド被覆部材は、不純物
のない良質のダイヤモンド被覆層を有する材料であり、
この被覆層の高硬度性、耐摩耗性、高熱伝導性及び高電
気絶縁性を応用してヒートシンク、半導体用マウント、
レコード針又はオーディオやビディオなどのピックアッ
プ用レバーなど電気部品用材料もしくは電子部品用材料
関係に利用できる。また、工具鋼、超硬合金、サーメッ
ト、セラミックス又は複合材料からなる基材の表面に内
層を形成し、この内層の表面にダイヤモンド被覆層を形
成した本発明のダイヤモンド被覆部材は、耐摩耗用工具
又は切削用工具をはじめとする各種の工具部品に利用す
ることができる産業上有用な材料である。
のない良質のダイヤモンド被覆層を有する材料であり、
この被覆層の高硬度性、耐摩耗性、高熱伝導性及び高電
気絶縁性を応用してヒートシンク、半導体用マウント、
レコード針又はオーディオやビディオなどのピックアッ
プ用レバーなど電気部品用材料もしくは電子部品用材料
関係に利用できる。また、工具鋼、超硬合金、サーメッ
ト、セラミックス又は複合材料からなる基材の表面に内
層を形成し、この内層の表面にダイヤモンド被覆層を形
成した本発明のダイヤモンド被覆部材は、耐摩耗用工具
又は切削用工具をはじめとする各種の工具部品に利用す
ることができる産業上有用な材料である。
第１図は、実施例２で測定したラマン分光分析による回
折線を示す。 図中（ａ）は、Ｗ板の表面に形成したダイヤモンド被覆
層の回折線を示し、（ｂ）は、Ａｕ板の表面に形成した
ダイヤモンド被覆層の回折線を示す。 特許出願人 東芝タンガロイ株式会社 第１図 ＋ｔｏｏ ｒｓＤｏ ｔ３０Ｄ ｔ
１００５Ｌ ４文 （ｃｆす
折線を示す。 図中（ａ）は、Ｗ板の表面に形成したダイヤモンド被覆
層の回折線を示し、（ｂ）は、Ａｕ板の表面に形成した
ダイヤモンド被覆層の回折線を示す。 特許出願人 東芝タンガロイ株式会社 第１図 ＋ｔｏｏ ｒｓＤｏ ｔ３０Ｄ ｔ
１００５Ｌ ４文 （ｃｆす
Claims (4)
- （１）Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ又はこれらの相互合金もしくは
Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕの少なくとも１種を主成分とする合金
からなる金属部材の表面にダイヤモンド状カーボン及び
／又はダイヤモンドからなる被覆層を形成したことを特
徴とするダイヤモンド被覆部材。 - （２）上記金属部材の表面が平均１０００Å以下の表面
アラサであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のダイヤモンド被覆部材。 - （３）ガラス、金属、合金、セラミックス又は複合材料
からなる基材の表面にＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ又はこれらの相
互合金もしくはＡｕ、Ａｇ、Ｃｕの少なくとも１種を主
成分とする合金からなる金属部材から選ばれた単層又は
複層でなる内層と該内層の表面にダイヤモンド状カーボ
ン及び／又はダイヤモンドからなる被覆層を形成したこ
とを特徴とするダイヤモンド被覆部材。 - （４）上記内層の表面が平均１０００Å以下の表面アラ
サであることを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の
ダイヤモンド被覆部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10115885A JPS61261480A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | ダイヤモンド被覆部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10115885A JPS61261480A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | ダイヤモンド被覆部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61261480A true JPS61261480A (ja) | 1986-11-19 |
| JPH0542508B2 JPH0542508B2 (ja) | 1993-06-28 |
Family
ID=14293236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10115885A Granted JPS61261480A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | ダイヤモンド被覆部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61261480A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01244705A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-09-29 | Mitsubishi Metal Corp | 人工ダイヤモンドコートの金合金製装飾品 |
| JPH01244706A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-09-29 | Mitsubishi Metal Corp | 人工ダイヤモンドコートの金および金合金製装飾品 |
| JPH01244707A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-09-29 | Mitsubishi Metal Corp | 人工ダイヤモンドコートの金および金合金製装飾品 |
| JPH01246332A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-10-02 | Mitsubishi Metal Corp | 人工ダイヤモンドコート装飾品用金合金 |
| US5427599A (en) * | 1987-06-09 | 1995-06-27 | International Business Machines Corporation | System for stamping an optical storage disk |
| JP2002353390A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-06 | Tokuyama Corp | ヒートシンク及びその製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0589695U (ja) * | 1992-05-11 | 1993-12-07 | ナショナル住宅産業株式会社 | 束基礎型枠 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56108876A (en) * | 1980-02-04 | 1981-08-28 | Citizen Watch Co Ltd | Silver plated exterior decorative parts for watch and their manufacture |
| JPS60114567A (ja) * | 1983-11-25 | 1985-06-21 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 硬質めつき膜の形成方法 |
| JPS61117281A (ja) * | 1984-06-27 | 1986-06-04 | サントレ−ド リミテイド | ダイヤモンドクラツド複合物体を製造するｃｖｄ法 |
-
1985
- 1985-05-13 JP JP10115885A patent/JPS61261480A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56108876A (en) * | 1980-02-04 | 1981-08-28 | Citizen Watch Co Ltd | Silver plated exterior decorative parts for watch and their manufacture |
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| JPH01244705A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-09-29 | Mitsubishi Metal Corp | 人工ダイヤモンドコートの金合金製装飾品 |
| JPH01244706A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-09-29 | Mitsubishi Metal Corp | 人工ダイヤモンドコートの金および金合金製装飾品 |
| JPH01244707A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-09-29 | Mitsubishi Metal Corp | 人工ダイヤモンドコートの金および金合金製装飾品 |
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| JP2002353390A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-06 | Tokuyama Corp | ヒートシンク及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0542508B2 (ja) | 1993-06-28 |
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