JPH0542236U - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents

磁気浮上搬送装置

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JPH0542236U
JPH0542236U JP9346091U JP9346091U JPH0542236U JP H0542236 U JPH0542236 U JP H0542236U JP 9346091 U JP9346091 U JP 9346091U JP 9346091 U JP9346091 U JP 9346091U JP H0542236 U JPH0542236 U JP H0542236U
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JP
Japan
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magnetic levitation
units
levitation
magnetic
transport
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JP9346091U
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Inventor
成之 白石
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体製造装置のウエハ搬送等に適用される
磁気浮上搬送装置の改良。 【構成】 導電性を有する非磁性金属より成る浮上体
を、電磁石群列上を浮上走行させる磁気浮上搬送装置に
おいて、搬送路となる上記電磁石群列や真空トンネル等
を予め規定長、規定形状の複数のユニットとして構成
し、それらユニットを組合せて搬送路を構成する。これ
により、量産性が向上し、設計も容易になって、大幅な
コストダウンが得られる。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は、半導体製造装置のウエハ搬送等に適用される磁気浮上搬送装置に関 する。
【０００２】
【従来の技術】
図３は従来の磁気浮上搬送装置の一例を示す斜視図、図４は同じく正面図であ る。これは、電磁石列（１）、浮上体（２）および電源（３）を主要構成要素と する搬送装置であり、真空中で搬送する必要がある場合は、更に真空トンネルの 態を成す管通路（４）を備えるものである。また、搬送路の用途に応じて、分岐 路、直線路、退避路等を構成し、例えば図５に示すような搬送システムを形成し ている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
図３ないし図５に示される従来の磁気浮上搬送装置では、必要とする搬送路の 形状や長さに応じて、その都度必要部品を所定の形状や長さに設計・製作してい たので、一品料理的な装置設計となり、コスト高であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本考案は、前記従来の課題を解決するために、 １）導電性を有する非磁性金属より成る浮上体を、電磁石群列上を浮上走行させ る磁気浮上搬送装置において、搬送路となる上記電磁石群列を予め規定長、規定 形状の複数のユニットとして構成し、該ユニットを組合せて搬送路を構成してな ることを特徴とする磁気浮上搬送装置； ２）上記浮上体が搬送される真空トンネルを所定形状にユニット化して搬送路を 構成することを特徴とする上記１）の磁気浮上搬送装置；ならびに ３）上記ユニットを直線用、分岐用または交叉用とすることを特徴とする上記１ ）の磁気浮上搬送装置を提案するものである。
【０００５】
【作用】
本考案は前記構成を有し、予め規定形状、規定サイズのユニットを製作するの で、量産が可能となる。また、複雑な搬送路、例えば退避路等の設計も、ユニッ トの組合せによって自在に実現でき、更に、半導体工場全体に及ぶ長大な搬送路 でも、これらユニットの組合せ延長で実現できるので、搬送システムの設計が容 易になる。
【０００６】
【実施例】
図１は本考案の一実施例を構成する搬送ユニットの例を示す。図１（ａ）は直 線用ユニット（Ｉ型）、図１（ｂ）は分岐用ユニット（Ｌ型）、図１（ｃ）は交 叉用ユニット（十字型）である。ここで（１）は電磁石列を、（４）は管通路を 含むユニットの筐体をそれぞれ示す。
【０００７】 図２は、これらのユニットで構成された磁気浮上搬送路の構成例として、半導 体処理工程におけるマルチチャンバプロセスを用いた搬送システムを示す。これ らの構成において、真空搬送を要する場合は、管通路（４）のユニット（Ｉ型、 Ｌ型、十字型）を組合わせればよい。また図示していない電源、コントローラは 各ユニットごとに設置してもよいし、全体系を統合した単一構成としてもよい。
【０００８】
【考案の効果】
本考案によれば次の効果が得られる。 １）各ユニットを予め、単一形状、単一長のものとして構成しておけば、用途に 応じてこれらのユニットを連結することにより、必要な形状、長さの搬送路を容 易につくることができる。 ２）規定形状、寸法のユニット化により量産ができるので、生産性が向上すると ともに、装置設計も容易になって、大幅なコストダウンが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（ａ）（ｂ）（ｃ）は本考案の一実施例を
構成する搬送ユニットを例示する図である。
【図２】図２は上記ユニットで構成された搬送システム
を例示する平面図である。
【図３】図３は従来の磁気浮上搬送装置の一例を示す斜
視図である。
【図４】図４は図３の正面図である。
【図５】図５は半導体ウエハ搬送に適用された従来の磁
気浮上搬送システムの一例を示す平面図である。
【符号の説明】
（１） 電磁石列 （２） 浮上体 （３） 電源 （４） 管通路（真空トンネル）

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 導電性を有する非磁性金属より成る浮上
    体を、電磁石群列上を浮上走行させる磁気浮上搬送装置
    において、搬送路となる上記電磁石群列を予め規定長、
    規定形状の複数のユニットとして構成し、該ユニットを
    組合せて搬送路を構成してなることを特徴とする磁気浮
    上搬送装置。
  2. 【請求項２】 上記浮上体が搬送される真空トンネルを
    所定形状にユニット化して搬送路を構成することを特徴
    とする請求項１記載の磁気浮上搬送装置。
  3. 【請求項３】 上記ユニットを直線用、分岐用または交
    叉用とすることを特徴とする請求項１記載の磁気浮上搬
    送装置。
JP9346091U 1991-11-14 1991-11-14 磁気浮上搬送装置 Withdrawn JPH0542236U (ja)

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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19960208