JPH0540742U - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、クリーンルームや恒温室に関し、
室内の清浄度を効率良く高める、しかも温度分布を均一
にするクリーンルームを提供することを目的とする。 【構成】 所定の清浄度にすべくフィルターで塵を除去
し室内３に臨ませた吹出口２及び吸入口４を介して清浄
空気を循環させる空調機１を備えてなるクリーンルーム
において、前記清浄空気の吹出口２を室内３の下部に設
け、前記吸入口４を室内３の上部に設けて、清浄空気の
室内での流れを下から上へとしたことに存する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、クリーンルームや恒温室に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、クリーンルームと称される無塵室装置における清浄空気の循環方式は、 図４に示すように、天井の吹出口２からチャンバーを介して清浄空気が室内３に 吹き出し、該清浄空気は床下へと導かれ吸入口４より空調機１へと流れて循環す るようになっている。

【０００３】 また、室内の上部側壁の吹出口から清浄空気を吹き出して、下方の側壁等に設 けられた吸入口から排出されるような方式においても、清浄空気は上から下へと 流れるものが一般的であった。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上述のクリーンルームの清浄空気の循環方式では、清浄空気の 流れが上から下へと流れるので、室内３で発熱や発塵を伴う装置６や作業者７が 存在すると、微細な塵は熱により上昇し、前記下へ流れる清浄空気と上昇する塵 とが互いに衝突して、結果的に塵が拡散してしまう。 従って、塵の拡散を強制的に防止しようとすると、空調機の出力を高めて清浄 空気の流速を早めて熱対流を抑制しなければならないので、清浄度を高めるため に無駄なエネルギーを費やすと言った欠点が存在した。

【０００５】 本考案は、上記の課題に鑑みてなされたもので、室内の清浄度を効率良く高め る、しかも温度分布を均一にするクリーンルームを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案の上記課題を解決し上記目的を達成するための要旨は、所定の清浄度に すべくフィルターで塵を除去し室内に臨ませた吹出口及び吸入口を介して清浄空 気を循環させる空調機を備えてなるクリーンルームにおいて、前記清浄空気の吹 出口を室内の下部に設け、前記吸入口を室内の上部に設けて、清浄空気の室内で の流れを下から上へとしたことに存する。

【０００７】

【作用】

室内の発熱や発塵を伴う装置等によって発生する熱対流もしくは塵が自然上昇 し、これが下から上へと流れる清浄空気の流れに乗って拡散されることなく上昇 し、室内上部の吸入口からダクトを介して空調機へと流出する。 また、塵等が拡散されることがないので、塵によって室内の装置等が汚染され ることがない。

【０００８】

【実施例】

次に、本考案について図面を参照して説明する。 図１は、本考案に係るクリーンルームの正面図、図２乃至図３は他の実施例に 係る正面図である。図において、符号１は空調機、２は吹出口、３は室内、４は 吸入口、５はダクト、６は装置等、７は作業者、８は床、９はファンユニットを 各々示している。

【０００９】 本考案のクリーンルームにおける要旨は、前記清浄空気の吹出口を室内の下部 に設け、前記吸入口を室内の上部に設けて、清浄空気の室内での流れを下から上 へとしたことである。

【００１０】 図１に示すクリーンルームは、清浄空気を乱流方式で循環させた場合の様子を 示すものである。この場合の清浄空気の流れは、高性能のフィルターを備えた空 調機１から吹出口２を介して室内３に清浄空気が吹き出され、該清浄空気は装置 ６や作業者７で発生する熱や塵を拡散させることなくこれらを包含して上方へと 流れて、吸入口４からダクト５へと導かれ前記空調機１に到り、清浄空気が循環 することになる。

【００１１】 図２に示すクリーンルームは、垂直層流方式の場合を示し、空調機１から吹き 出した清浄空気が一旦床８の下のチャンバーを介して床８の開口から室内３へと 吹き出して循環するようにしたものである。他は上述と同様である。更に図３に 示すクリーンルームは、前述した図２におけるクリーンルームの床８にファンユ ニット９を所要数追加したものである。

【００１２】 このように本考案に係るクリーンルームの実施例を示したが、これに限らず空 調機や吹出口や吸入口等の装置を種々変更が可能であり、本考案の要旨である清 浄空気を室内で下から上へと流すことを変えることなく、その他の装置を適宜使 用できるのは勿論である。

【００１３】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案に係るクリーンルームは、清浄空気の吹出口を室 内の下部に設け、前記吸入口を室内の上部に設けて、清浄空気の室内での流れを 下から上へとしたので、室内の各種装置や作業者により発生する熱もしくは塵が 拡散されることなく清浄空気とともに上昇して室外へ排出されることになり、前 記熱や塵等の排出が促進される。また、発生した塵が拡散されないので他の装置 を汚染することが防止される。

【００１４】 更に、前記装置等により発生した熱や塵が効率よく排出されるので、従来と同 じ温度や清浄度にする場合に空調機の出力を低くしても同じ効果が得られるので 、省エネルギー対策として有効である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るクリーンルームの正面図である。

【図２】他の実施例に係る正面図である。

【図３】他の実施例に係る正面図である。

【図４】従来例に係るクリーンルームの正面図である。

【符号の説明】

１ 空調機、２ 吹出口、３ 室内、４ 吸入口、５
ダクト、６ 装置等、７ 作業者、８ 床、９ ファン
ユニット。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の清浄度にすべくフィルターで塵を
   除去し室内に臨ませた吹出口及び吸入口を介して清浄空
   気を循環させる空調機を備えてなるクリーンルームにお
   いて、前記清浄空気の吹出口を室内の下部に設け、前記
   吸入口を室内の上部に設けて、清浄空気の室内での流れ
   を下から上へとしたことを特徴としてなるクリーンルー
   ム。