JPH0535099Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は、たとえばウエハーにレジスト液を
塗布するレジスト塗布装置などの液剤塗布装置に
液剤を供給する場合に用いる容器に関する。

（従来の技術） レジスト塗布装置にレジスト液を供給する装置
として、第４図に示すものが知られている。

これは、往復動型ポンプ２０の吸引作動によつ
て、容器１に収容したレジスト液２１をフイルタ
ー２２を介して吸入したのち、このレジスト液２
１をポンプ２０の吐出作動によつてサツクバツク
バルブ２３を介してレジスト塗布装置２４に圧送
するよう構成されたものである。

そして、前記容器１は、吸液パイプ２５を備え
たキヤツプ２とこれに対して着脱交換可能な容器
本体３とから構成されていて、レジスト液２１が
消費されると、容器本体３のみが新しい満杯の容
器本体と取り替えられる。

（考案が解決しようとする問題点） 上記のように、容器本体のみを取り替える際、
吸液パイプ２５の下端吸入口が一旦大気中に開放
されるために、吸液パイプに空気が入ることがあ
り、これが次の運転によつて配管中に送り込まれ
てしまい、ポンプ２０によるレジスト液の圧送不
良や、湿布装置２４での液のボタ落ちを招いてい
た。

本考案は、容器本体の取り替え時における空気
のかみこみを防止するためになされたものであ
る。

（問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本考案において
は、液剤吸入径路に配管接続されたキヤツプと、
これに着脱される容器本体とからなり、前記キヤ
ツプには着脱された容器本体の底部近くに至る吸
液パイプを備え、この吸液パイプの下端に開口さ
れた吸入口には開閉弁を装備し、この開閉弁の弁
子もしくは吸液パイプの下部のいずれか一方の部
材を弁開閉方向に変位自在にするとともに、前記
一方の部材には、キヤツプへの容器本体の装着に
よつて容器本体の一部に接当して該部材を開弁方
向に変位させる開閉操作部を設けた。

（作用） 上記構成によると、キヤツプに対して容器本体
を取り外すと吸液パイプ下端の吸入口が自動的に
閉じられ、逆に、キヤツプに容器本体を装着する
と吸入口が自動的に開かれる。

（実施例） 第１図に本考案に係る液剤供給用容器１の全体
断面が示される。

この容器１は、キヤツプ２とこれに下方よりネ
ジ込み着脱される容器本体３とからなつている。
キヤツプ２には吸液パイプ４が貫通固着されてい
て、その上方突出端が液剤吸入径路を形成するパ
イプ５に接続固定されている。

吸液パイプ４は容器本体３の底部近くにまで延
出されていて、その下端の吸入口６には開閉弁７
が備えられている。

この開閉弁７はキヤツプ２に固定された弁子８
に対して吸液パイプ４の下部を上下させることで
開閉する構造となつており、その開閉操作部がキ
ヤツプ２内に組み込まれている。

つまり、前記弁子８からは支持ロツド９が吸液
パイプを挿通して上方に延出され、支持ロツド９
先端が吸液パイプ４の上端近くの内部に、通液可
能な支持部材１０を介して固定されている。

この支持部材１０より下方箇所において、吸液
パイプ４には蛇腹状の伸縮部１１が形成され、こ
の伸縮部１１が短縮されることで、吸液パイプ４
の下部が弁子８に対して上方に離間変位して開閉
弁７が開かれ、伸縮部１１が伸長することで吸液
パイプ４の下部が弁子８に対して下方に接近変位
して開閉弁７が閉じられるようになつている。

また、前記伸縮部１１を伸縮作動させる開閉操
作部が次のように構成されている。

前記伸縮部１１の直下箇所には吸液パイプ４に
密封プレート１２が固着されるとともに、このプ
レート１２とキヤツプ２内面との間にコイルバネ
１３が介在され、このバネ１３によつて伸縮部１
１が伸長付勢されている。この実施例では密封プ
レート１２が開閉操作部となつている。

そして、容器本体３がキヤツプ２に対して適正
にネジ込み装着された状態では、第１図に示すよ
うに、容器本体３の上端によつて密封プレート１
２がバネ１３に抗して突き上げられることで伸縮
部１１が強制圧縮され、吸液パイプ４が上昇変位
（開弁作動）するのである。なお、容器本体３の
適正装着状態では密封プレート１２の全周が上下
のシール材１４，１５によつて封止され、容器内
と外気との連通が完全に遮断される。

そして、液剤消費に伴なう容器交換のために、
第３図に示すように、容器本体３がキヤツプ２か
ら外されると、密封プレート１２に対する突き上
げ作用が解除されるために、バネ１３によつて吸
液パイプ４が下降変位（閉弁作動）するのであ
る。

（別実施例） 前記開閉弁及びこれの操作部の構造は上記以外
に各種のものが考えられる。

(1) 前記吸液パイプ４を内外二重筒状に構成し、
内パイプをキヤツプに固定し、外パイプを内パ
イプに対してシール材を介して上下スライド自
在に構成し、この外パイプを前記実施例と同様
な手段で上下動させ、外パイプの下端を前記固
定の弁子８に対して圧接離間させて開閉する開
閉弁を構成することもできる。

(2) キヤツプに固定した吸液パイプ４に対して弁
子８を上下動可能かつ閉弁付勢する一方、弁子
８には容器本体３の底部に接当しうる突棒状の
操作部を設け、この操作部と容器本体３の内底
面との接当によつて弁子８を突き上げて開弁
し、内底面との接触解除によつて自閉させるよ
うに構成することもできる。

（考案の効果） 以上説明したように、本考案によれば、容器本
体の取り外しに伴なつて自動的に吸入口が閉じら
れるので、容器交換時の空気のかみこみがなくな
り、これに伴なう各種トラブルを未然に防止する
ことができるようになつた。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案に係る液剤供給用容器の断面
図、第２図は第１図における−線断面図、第
３図は容器交換時の要部断面図、第４図は液剤供
給装置の一例を示すフロー図である。 ２……キヤツプ、３……容器本体、４……吸液
パイプ、７……開閉弁、８……弁子、１１……伸
縮部、１２……密封プレート（開閉操作部）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 液剤吸入径路に配管接続されたキヤツプと、こ
   れに着脱される容器本体とからなり、前記キヤツ
   プには着脱された容器本体の底部近くに至る吸液
   パイプを備え、この吸液パイプの下端に開口され
   た吸入口には開閉弁を装備し、この開閉弁の弁子
   もしくは吸液パイプの下部のいずれか一方の部材
   を弁開閉方向に変位自在にするとともに、前記一
   方の部材には、キヤツプへの容器本体の装着によ
   つて容器本体の一部に接当して該部材を開弁方向
   に変位させる開閉操作部を設けたことを特徴とす
   る液剤供給用容器。