JPH05342862A - ダイナミックランダムアクセスメモリ装置 - Google Patents

ダイナミックランダムアクセスメモリ装置

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JPH05342862A
JPH05342862A JP4144044A JP14404492A JPH05342862A JP H05342862 A JPH05342862 A JP H05342862A JP 4144044 A JP4144044 A JP 4144044A JP 14404492 A JP14404492 A JP 14404492A JP H05342862 A JPH05342862 A JP H05342862A
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clock signal
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memory cell
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 改善されたリフレッシュコントロール回路2
0を備えたダイナミックランダムアクセスメモリ(DR
AM)が開示される。セルフリフレッシュコントロール
回路15は、通常のセルフリフレッシュモードにおける
リフレッシュ周期を規定するクロック信号φ0を発生す
る発振回路13と、テストモードにおけるリフレッシュ
周期を規定するクロック信号φtを発生する発振回路1
6とを備える。電源電圧Vccレベルよりも高い高電圧
がRAS入力端子22に与えられたとき、テストモード
検出回路19が高レベルの信号CTEを出力し、トラン
スミッションゲート18がオンする。 【効果】 セルフリフレッシュ機能確認テストにおい
て、リフレッシュカウンタが通常のセルフリフレッシュ
モードにおけるよりもより短いリフレッシュ周期を有す
るリフレッシュアドレスを発生できるので、テストを行
なうのに要する時間が短縮され得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、一般にダイナミック
ランダムアクセスメモリ装置に関し、特に、セルフリフ
レッシュ機能を有するダイナミックランダムアクセスメ
モリ装置のテスト時間を短縮するための改善に関する。
【0002】
【従来の技術】ダイナミックランダムアクセスメモリ
(以下「DRAM」という)は、1つのメモリセルが、
1個のスイッチングトランジスタと、1個のデータ記憶
キャパシタとによって構成されるため、半導体基板にお
ける高集積化に適した半導体メモリとして広く普及して
いる。DRAMでは、データ信号がキャパシタによって
保持されるため、周期的にキャパシタにストアされたデ
ータ信号を増幅するという「リフレッシュ動作」が必要
である。近年のDRAMのほとんどは、内部的にまたは
外部からのリフレッシュ制御を必要とすることなくリフ
レッシュ動作を行なうことができる機能(一般に「セル
フリフレッシュ機能」と呼ばれる)を有している。セル
フリフレッシュ機能を有するDRAMの一例は、本願と
同じ出願人に付与された米国特許番号4,933,90
7に開示されている。
【0003】図5は、この発明の背景を示すDRAMの
ブロック図である。図5を参照して、このDRAM10
0は、行および列に配設された4,718,592個の
メモリセルを備えたメモリセルアレイ1と、メモリセル
アレイ1内のワード線を選択するための行デコーダ2
と、アクセスされるべきメモリセルの列を選択するため
の列デコーダ3と、外部から時分割態様で与えられるア
ドレス信号を受けるアドレスバッファ4と、メモリセル
アレイ1に接続されたセンスリフレッシュアンプ5と、
メモリセルアレイ1内のビット線と入力バッファ7およ
び出力バッファ8との間を選択的に接続するためのIO
ゲート回路6とを含む。図5において、ライン100
は、半導体基板をも示している。
【0004】クロック信号発生器9は、外部から与えら
れるロウアドレスストローブ信号/RASおよびカラム
アドレスストローブ信号/CASに応答して、DRAM
100内の回路を制御するためのさまざまなクロック信
号を発生する。リフレッシュコントロール回路10は、
クロック信号発生器9から与えられるリフレッシュ制御
信号Srに応答して動作し、リフレッシュアドレス信号
REFを発生する。
【0005】書込動作において、外部から与えられるデ
ータ信号DQ0ないしDQ8は、入力バッファ7を介し
てIOゲート回路6に与えられる。列デコーダ3は、ア
ドレスバッファ4を介して与えられる列アドレス信号C
A0ないしCA8をデコードすることにより、IOゲー
ト回路6内の1つのスイッチング回路(図示せず)を選
択的に導通させる。したがって、データ信号がメモリセ
ルアレイ1内のビット線(図示せず)に与えられる。行
デコーダ2は、アドレスバッファ4を介して与えられる
行アドレス信号RA0ないしRA9をデコードし、図示
されていない1本のワード線を選択的に活性化させる。
したがって、ビット線上のデータ信号が、行デコーダ2
および列デコーダ3によって指定されたメモリセル(図
示せず)に書込まれる。
【0006】読出動作において、行デコーダ2によって
指定されたメモリセルから、ストアされていたデータ信
号がビット線(図示せず)上に与えられる。ビット線上
のデータ信号はセンスリフレッシュアンプ5により増幅
される。列デコーダ3が、IOゲート回路6内の1つの
スイッチング回路(図示せず)を選択的に導通させるの
で、増幅されたデータ信号が出力バッファ8に与えられ
る。したがって、メモリセルアレイ1内にストアされた
データが、出力バッファ8を介して外部に出力される。
【0007】図6は、従来のビット線周辺回路の一部を
示す回路図である。図7は、図6に示した動作を説明す
るためのタイミングチャートである。図6に示したビッ
ト線周辺回路に関する記載は、1985年に開催された
国際固体回路会議(ISSCC85)のダイジェスト・
オブ・テクニカルペーパーズの252頁ないし253頁
に記載されている。
【0008】図6および図7を参照して、読出動作にお
いて、ワード線WLiが活性化されたとき、メモリセル
MCのスイッチングトランジスタQsがオンする。した
がって、メモリセルMC内のキャパシタCsにストアさ
れていたデータ信号が、ビット線BLj上に表われる。
トランジスタQ1ないしQ4によって構成されたセンス
アンプ5が、活性化制御信号SP およびSN に応答して
活性化されるので、ビット線BLjと/BLjとの間に
表われた微小な電位差がセンスアンプ5によって増幅さ
れる。列デコーダ3から高レベルの列選択信号Yjがト
ランジスタQ8およびQ9のゲートに与えられるので、
トランジスタQ8およびQ9がオンする。したがって、
センスアンプ5により増幅されたデータ信号がIO線対
6a,6bに与えられる。IO線対6a,6b上のデー
タ信号は、出力バッファ8に伝送される。
【0009】上記の記載では、一般の読出動作について
説明がなされたが、リフレッシュ動作においても類似の
動作が行なわれることが指摘される。しかしながら、リ
フレッシュ動作では、高レベルの列選択信号Yjが与え
られないので、トランジスタQ8およびQ9がオンしな
い。センスアンプ5により増幅されたデータ信号は、導
通されているスイッチングトランジスタQsを介してキ
ャパシタCsに再び与えられる。すなわち、キャパシタ
Csにより保持されている信号電荷は、時間の経過に従
って次第に減少されるが、センスアンプ5による周期的
な増幅および再書込みにより、信号電荷が回復される。
DRAMにおけるリフレッシュ動作は、詳細な回路にお
いて上記の態様で行なわれる。
【0010】図8は、図5に示したリフレッシュコント
ロール回路10の回路ブロック図である。図8を参照し
て、リフレッシュコントロール回路10は、カスビフォ
アラス(以下「CBR」と呼ぶ)リフレッシュコントロ
ール回路11と、セルフリフレッシュコントロール回路
12とを含む。CBRリフレッシュ動作は、外部から与
えられる信号/RASおよび/CASの立下りタイミン
グに応答して行なわれる。言換えると、CBRリフレッ
シュ動作は、外部制御のもとで実行される。CBRリフ
レッシュコントロール回路11は、図5に示したクロッ
ク信号発生器9から与えられるリフレッシュ制御信号S
rに応答して、CBRリフレッシュのためのリフレッシ
ュアドレス信号REFをアドレスバッファ4へ供給す
る。
【0011】セルフリフレッシュコントロール回路12
は、図示されていないリングオシレータによって構成さ
れる発振回路13と、発振回路13から与えられるクロ
ック信号φ0をカウントするリフレッシュ周期設定カウ
ンタ(以下「リフレッシュカウンタ」と言う)14とを
含む。CBRリフレッシュ動作が外部から要求されない
とき、CBRリフレッシュコントロール回路11からセ
ルフリフレッシュ動作を要求する信号Ssrが自動的に
発生され、セルフリフレッシュコントロール回路12に
与えられる。リフレッシュカウンタ14は、発振回路1
3から出力されるクロック信号φ0をカウントし、リフ
レッシュアドレス信号REFをアドレスバッファ4に与
える。
【0012】発振回路13は、セルフリフレッシュ要求
信号Ssrに応答して発振を開始し、数μsないし十数
μsのサイクルパルスを有するクロック信号φ0を出力
する。リフレッシュカウンタ14は、クロック信号φ0
をカウントし、百数十のサイクルパルスを含むリフレッ
シュアドレス信号REFを出力する。
【0013】セルフリフレッシュモードにおいてアドレ
スバッファ4に与えられるリフレッシュアドレス信号R
EFの循環周期は、メモリセルにストアされたデータ信
号が失われない範囲内でできるだけ長い時間長さに設定
される。その理由は、リフレッシュ動作がセンスアンプ
の活性化を伴うので、電力消費を減少させるためにはリ
フレッシュ間隔をできるだけ長く設定する必要があるか
らである。したがって、セルフリフレッシュコントロー
ル回路12内に設けられる発振回路13は、DRAMの
データ記憶能力および電力消費を考慮に入れて、長い周
期を有するリングオシレータが用いられている。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】一般に、半導体製造工
場では、製品の出荷前にさまざまなテストが行なわれ
る。DRAMにおいても、さまざまなテストが行なわれ
るのであるが、特にセルフリフレッシュ機能を有するD
RAMにおいて次のような問題が指摘される。前述のよ
うに、発振回路13は比較的長い周期を有するクロック
信号φ0を出力するので、DRAMにおいてセルフリフ
レッシュ機能が正常に行なわれていることを確認するの
に多くの時間を要する。すなわち、セルフリフレッシュ
機能確認テストでは、すべてのメモリセルにおいてスト
アされているデータ信号が、セルフリフレッシュ動作に
より、正しく保持され続けていることが確かめられる。
発振回路13が比較的長い周期のクロック信号φ0を出
力するため、リフレッシュカウンタ14から出力される
リフレッシュアドレスREFの循環周期も長い。したが
って、リフレッシュアドレスREFに従って行デコーダ
2がすべてのメモリセル行を指定するのに長い時間を要
し、セルフリフレッシュ機能確認テストに要する全体の
時間が増大されていた。
【0015】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、ダイナミックランダムアクセス
メモリ装置のセルフリフレッシュ機能確認テストに要す
る時間を短縮させることを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明にかかる
ダイナミックランダムアクセスメモリ装置は、行および
列に配設された複数のメモリセルを備えたメモリセルア
レイと、与えられたクロック信号に応答して、リフレッ
シュアドレス信号を発生するリフレッシュアドレス発生
手段と、リフレッシュアドレス信号に応答して、メモリ
セルアレイ内のリフレッシュされるべきメモリセルを指
定する指定手段と、通常のセルフリフレッシュモードに
おけるリフレッシュ周期を規定する第1の周波数を有す
る第1のクロック信号を発生する第1のクロック信号発
生手段と、第1の周波数よりも高い第2の周波数を有す
る第2のクロック信号を発生する第2のクロック信号発
生手段と、外部から与えられるテストモード信号に応答
して、第1および第2のクロック信号の一方を選択的に
リフレッシュアドレス発生手段に与える選択的供与手段
とを含む。
【0017】請求項2の発明にかかるダイナミックラン
ダムアクセスメモリ装置は、行および列に配設された複
数のメモリセルを備えたメモリセルアレイと、与えられ
たクロック信号に応答して、リフレッシュアドレス信号
を発生するリフレッシュアドレス発生手段と、リフレッ
シュアドレス信号に応答して、メモリセルアレイ内のリ
フレッシュされるべきメモリセルを指定する指定手段
と、通常のセルフリフレッシュモードにおけるリフレッ
シュ周期を規定する第1の周波数を有する第1のクロッ
ク信号を発生する第1のクロック信号発生手段と、外部
から与えられる、第1の周波数よりも高い第2の周波数
を有する第2のクロック信号を受ける手段と、外部から
与えられるテストモード信号に応答して、第1および第
2のクロック信号の一方を選択的にリフレッシュアドレ
ス発生手段に与える選択的供与手段とを含む。
【0018】請求項3の発明にかかるダイナミックラン
ダムアクセスメモリ装置は、行および列に配設された複
数のメモリセルを備えたメモリセルアレイと、与えられ
たクロック信号をカウントすることにより、リフレッシ
ュアドレス信号を発生するリフレッシュカウンタ手段
と、リフレッシュアドレス信号をデコードすることによ
り、メモリセルアレイ内のリフレッシュされるべきメモ
リセルを指定するアドレスデコーダ手段と、通常のセル
フリフレッシュモードにおけるリフレッシュ周期を規定
する第1の周波数を有する第1のクロック信号を発生
し、リフレッシュカウンタ手段に与える第1のクロック
信号発生手段と、外部から与えられるテストモード信号
に応答して、リフレッシュカウンタ手段に与えられるク
ロック信号の周波数をより高いものに変更する周波数変
更手段とを含む。
【0019】
【作用】請求項1および2の発明におけるダイナミック
ランダムアクセスメモリ装置では、外部からテストモー
ドが指定されたとき、通常のセルフリフレッシュモード
における第1の周波数よりも高い第2の周波数を有する
第2のクロック信号がリフレッシュアドレス発生手段に
与えられる。したがって、テストモードにおいて、通常
のセルフリフレッシュモードにおけるよりも短い循環周
期を有するリフレッシュアドレスをリフレッシュアドレ
ス発生手段が発生するので、セルフリフレッシュ機能確
認テストに要する時間が短縮され得る。
【0020】請求項3の発明におけるダイナミックラン
ダムアクセスメモリ装置では、テストモードにおいて、
リフレッシュカウンタ手段に与えられるクロック信号の
周波数が周波数変更手段よりもより高いものに変更され
る。したがって、リフレッシュカウンタ手段が通常のセ
ルフリフレッシュモードにおけるものよりもより短い循
環周期を有するリフレッシュアドレス信号を出力するの
で、リフレッシュ機能確認テストに要する時間が短縮さ
れ得る。
【0021】
【実施例】図1は、この発明の一実施例を示すリフレッ
シュコントロール回路の回路ブロック図である。図1を
参照して、このリフレッシュコントロール回路20は、
CBRコントロール回路11と、改善されたセルフリフ
レッシュコントロール回路15とを含む。セルフリフレ
ッシュコントロール回路15は、通常のセルフリフレッ
シュ動作におけるリフレッシュ周期を規定するクロック
信号φ0を発生する発振回路13と、外部から指定され
るテストモードにおけるリフレッシュ周期を規定するク
ロック信号φtを発生する発振回路16と、発振回路1
3および16の出力にそれぞれ接続されたトランスミッ
ションゲート17および18とを含む。
【0022】外部から信号/RAS(または場合によっ
ては信号/CAS)を受ける入力端子22に、テストモ
ード検出回路19が接続される。リフレッシュコントロ
ール回路20内に設けられた2つのトランスミッション
ゲート17および18は、テストモード検出回路19か
ら与えられるテストモード信号CTEに応答して選択的
に導通する。したがって、発振回路13および16から
発生される2つのクロック信号φ0およびφtの一方
が、選択的にリフレッシュカウンタ14にカウンタ駆動
信号φcとして与えられる。
【0023】通常のセルフリフレッシュモードにおい
て、端子22に与えられる信号/RASは、通常の高レ
ベル、すなわち電源電圧レベル(=Vcc)に維持され
る。CBRリフレッシュコントロール回路11は、セル
フリフレッシュ動作を要求する信号Ssrを自動的に出
力するので、通常のセルフリフレッシュ動作が開始され
る。テストモード検出回路19は、高電圧検出回路によ
って構成されているので、このとき低レベルのテストモ
ード信号CTEを出力する。したがって、トランスミッ
ションゲート17および18は、テストモード信号CT
Eに応答して、それぞれオンおよびオフする。したがっ
て、通常のセルフリフレッシュモードにおいては、発振
回路13から出力されるクロック信号φ0、すなわち比
較的長い周期を有するクロック信号が信号φcとしてリ
フレッシュカウンタ14に与えられる。リフレッシュカ
ウンタ14は、クロック信号φcによって規定されるリ
フレッシュ周期(すなわち循環周期)を有するリフレッ
シュアドレス信号REFを出力する。
【0024】セルフリフレッシュ機能確認テストが実行
されるとき、電源電圧Vccを超えるより高い電圧レベ
ルを有するテストモード指定信号が端子22に与えられ
る。テストモード検出回路、すなわち高電圧検出回路1
9は、端子22に与えられた高電圧に応答して、高レベ
ルのテストモード信号CTEを出力する。トランスミッ
ションゲート17および18は、信号CTEに応答して
それぞれオフおよびオンする。したがって、発振回路1
6から発生されるより高い周波数を有するクロック信号
φtがトランスミッョンゲート18を介して信号φcと
してリフレッシュカウンタ14に与えられる。その結
果、リフレッシュカウンタ14は、通常のセルフリフレ
ッシュモードにおけるよりもより短いリフレッシュ周期
(すなわち循環周期)を有するリフレッシュアドレス信
号REFを発生することができる。
【0025】より短いリフレッシュ周期を有するリフレ
ッシュアドレス信号REFが図5に示したアドレスバッ
ファ4に与えられ、行デコーダ2はセルフリフレッシュ
機能確認テストにおいて通常のセルフリフレッシュモー
ドにおけるよりもより短い時間でメモリセルアレイ1内
のすべてのメモリセル行を指定することができる。した
がって、リフレッシュカウンタ14の正常な動作が短時
間で確認でき、さらには、セルフリフレッシュ機能確認
テストに要する時間が短縮され得る。
【0026】一方、外部からCBRリフレッシュ動作が
要求されるとき、図8に示したリフレッシュコントロー
ル回路10の場合と同様に、CBRリフレッシュコント
ロール回路11からリフレッシュアドレス信号REFが
出力される。
【0027】図2は、図1に示したリフレッシュコント
ロール回路20の動作を説明するためのタイミングチャ
ートである。リフレッシュコントロール回路20の上記
の動作は、図2に示したタイミングチャートにおいて示
されている。すなわち、外部からテストモードが指定さ
れないとき、テストモード検出回路19から低レベルの
テストモード信号CTEが出力される。したがって、発
振回路13から発生されるクロック信号φ0がトランス
ミッションゲート17を介してリフレッシュカウンタ1
4に駆動信号φcとして与えられる。一方、外部からテ
ストモードが指定されるとき、テストモード検出回路1
9が高レベルのテストモード信号CTEを出力する。し
たがって、発振回路16から発生されたクロック信号φ
tがトランスミッションゲート18を介してリフレッシ
ュカウンタ14に駆動信号φcとして与えられる。
【0028】図3は、この発明のもう1つの実施例を示
すリフレッシュコントロール回路の回路ブロック図であ
る。図3を参照して、このリフレッシュコントロール回
路30は、図1に示した回路20と比較すると、発振回
路16が省かれている。すなわち、セルフリフレッシュ
コントロール回路22は、図1に示した発振回路16に
代えて、外部から与えられるクロック信号φeを受ける
ように接続される。図3に示した他の回路構成は、図1
に示したものとほぼ同じであるので説明が省略される。
【0029】外部クロック信号φeは、スペア入力端子
21を介して与えられる。クロック信号φeは、セルフ
リフレッシュ機能確認テストに要する時間を短縮させる
ため、クロック信号φ0よりも高い周波数を有してい
る。したがって、図3に示した実施例においても、外部
からテストモードが指定されたとき、外部クロック信号
φeがトランスミッションゲート18を介してリフレッ
シュカウンタ14に与えられる。その結果、図1に示し
た回路20の例と同様に、セルフリフレッシュ機能確認
テストに要する時間が短縮され得る。図3に示した回路
の動作を説明するためのタイミングチャートが、図4に
おいて示されている。
【0030】このように、図1または図3に示したリフ
レッシュコントロール回路20または30およびテスト
モード検出回路19を図5に示したようなDRAMに適
用することにより、セルフリフレッシュ機能確認テスト
において、より短いリフレッシュ周期、または循環周期
を有するリフレッシュアドレスREFをアドレスバッフ
ァ4に与えることができる。その結果、行デコーダ2に
よりメモリセルアレイ1内のすべてのメモリセル行がよ
り短い時間で指定され得るので、リフレッシュカウンタ
14の正常な動作を短時間で確認でき、したがってセル
フリフレッシュ機能確認テストを短時間で終了させるこ
とができる。スペア入力端子21がDRAMにおいて残
されているとき、図3に示したリフレッシュコントロー
ル回路30が用いられるが、そのような端子21が残さ
れていなくても、図1に示したリフレッシュコントロー
ル回路20が用いられ得る。このことは、入力端子を増
加させることなくテスト時間を短縮できることを意味す
る。
【0031】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、外部
からテストモードが指定されたとき、通常のセルフリフ
レッシュモードにおけるよりもより高い周波数を有する
クロック信号がリフレッシュアドレス発生手段に与えら
れるので、ダイナミックランダムアクセスメモリ装置に
おけるセルフリフレッシュ機能確認テストに要する時間
が短縮され得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示すリフレッシュコント
ロール回路の回路ブロック図である。
【図2】図1に示された回路の動作を説明するためのタ
イミングチャートである。
【図3】この発明のもう1つの実施例を示すリフレッシ
ュコントロール回路の回路ブロック図である。
【図4】図3に示した回路の動作を説明するためのタイ
ミングチャートである。
【図5】この発明の背景を示すDRAMのブロック図で
ある。
【図6】従来のビット線周辺回路の一部を示す回路図で
ある。
【図7】図6に示した回路の動作を説明するためのタイ
ミングチャートである。
【図8】図5に示したリフレッシュコントロール回路の
回路ブロック図である。
【符号の説明】
11 CBRリフレッシュコントロール回路 13 発振回路(通常のセルフリフレッシュモード用) 14 リフレッシュカウンタ 15 セルフリフレッシュコントロール回路 16 発振回路(テストモード用) 17,18 トランスミッションゲート 19 テストモード検出回路 20 リフレッシュコントロール回路 22 RAS信号入力端子

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 セルフリフレッシュ機能を有するダイナ
    ミックランダムアクセスメモリ装置であって、 行および列に配設された複数のメモリセルを備えたメモ
    リセルアレイと、 与えられたクロック信号に応答して、リフレッシュアド
    レス信号を発生するリフレッシュアドレス発生手段と、 リフレッシュアドレス信号に応答して、前記メモリセル
    アレイ内のリフレッシュされるべきメモリセルを指定す
    る指定手段と、 通常のセルフリフレッシュモードにおけるリフレッシュ
    周期を規定する第1の周波数を有する第1のクロック信
    号を発生する第1のクロック信号発生手段と、 前記第1の周波数よりも高い第2の周波数を有する第2
    のクロック信号を発生する第2のクロック信号発生手段
    と、 外部から与えられるテストモード信号に応答して、前記
    第1および第2のクロック信号の一方を選択的に前記リ
    フレッシュアドレス発生手段に与える選択的供与手段と
    を含む、ダイナミックランダムアクセスメモリ装置。
  2. 【請求項2】 セルフリフレッシュ機能を有するダイナ
    ミックランダムアクセスメモリ装置であって、 行および列に配設された複数のメモリセルを備えたメモ
    リセルアレイと、 与えられたクロック信号に応答して、リフレッシュアド
    レス信号を発生するリフレッシュアドレス発生手段と、 リフレッシュアドレス信号に応答して、前記メモリセル
    アレイ内のリフレッシュされるべきメモリセルを指定す
    る指定手段と、 通常のセルフリフレッシュモードにおけるリフレッシュ
    周期を規定する第1の周波数を有する第1のクロック信
    号を発生する第1のクロック信号発生手段と、 前記第1の周波数よりも高い第2の周波数を有し、かつ
    外部から与えられる第2のクロック信号を受ける手段
    と、 外部から与えられるテストモード信号に応答して、前記
    第1および第2のクロック信号の一方を選択的に前記リ
    フレッシュアドレス発生手段に与える選択的供与手段と
    を含む、ダイナミックランダムアクセスメモリ装置。
  3. 【請求項3】 セルフリフレッシュ機能を有するダイナ
    ミックランダムアクセスメモリ装置であって、 行および列に配設された複数のメモリセルを備えたメモ
    リセルアレイと、 与えられたクロック信号をカウントすることにより、リ
    フレッシュアドレス信号を発生するリフレッシュカウン
    タ手段と、 リフレッシュアドレス信号をデコードすることにより、
    前記メモリセルアレイ内のリフレッシュされるべきメモ
    リセルを指定するアドレスデコーダ手段と、 通常のセルフリフレッシュモードにおけるリフレッシュ
    周期を規定する第1の周波数を有する第1のクロック信
    号を発生し、前記リフリッシュカウンタ手段に与える第
    1のクロック信号発生手段と、 外部から与えられるテストモード信号に応答して、前記
    リフレッシュカウンタ手段に与えられるクロック信号の
    周波数をより高いものに変更する周波数変更手段とを含
    む、ダイナミックランダムアクセスメモリ装置。
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