JPH05323059A - Ｘ−ｙテーブル - Google Patents
Ｘ−ｙテーブルInfo
- Publication number
- JPH05323059A JPH05323059A JP12465792A JP12465792A JPH05323059A JP H05323059 A JPH05323059 A JP H05323059A JP 12465792 A JP12465792 A JP 12465792A JP 12465792 A JP12465792 A JP 12465792A JP H05323059 A JPH05323059 A JP H05323059A
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- Japan
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- rail
- guide rails
- rails
- fixed
- traveling
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ−Ｙテ−ブルにおける固定レ−ルと走行レ
−ルと、それらを結合するエアカップリングの間におけ
る剛性を低下することなく、装置全体の高さを低くす
る。 【構成】 固定レ−ルと走行レ−ルとをエアカップリン
グで結合したＸ−Ｙテ−ブルに於いて、それらの固定レ
−ル及び走行レ−ルの少なくとも一方を水平方向の間隔
を隔ててなる平行な一対のガイドレ−ルで構成する。
−ルと、それらを結合するエアカップリングの間におけ
る剛性を低下することなく、装置全体の高さを低くす
る。 【構成】 固定レ−ルと走行レ−ルとをエアカップリン
グで結合したＸ−Ｙテ−ブルに於いて、それらの固定レ
−ル及び走行レ−ルの少なくとも一方を水平方向の間隔
を隔ててなる平行な一対のガイドレ−ルで構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は金属セラミック等を加
工する精密加工機或いは各種機器等を測定する精密測定
機などに被加工物や被測定物を取付ける際、或は半導体
を所定の位置に取付ける際等における位置決めを精密に
行うためのセラミック製エアスライダを具備するＸ−Ｙ
テーブルに関する。
工する精密加工機或いは各種機器等を測定する精密測定
機などに被加工物や被測定物を取付ける際、或は半導体
を所定の位置に取付ける際等における位置決めを精密に
行うためのセラミック製エアスライダを具備するＸ−Ｙ
テーブルに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来この種のＸＹテーブルはスライダを
摺動自在に嵌合する梁状の走行レールと、同一水平面に
所定の距離をおいて平行に配置する二筋の梁状の固定レ
ールとを互いに直交するように配置し、該走行レールを
固定レールの長手方向に沿って走行可能にエアカップリ
ングを介して結合してなるものである。
摺動自在に嵌合する梁状の走行レールと、同一水平面に
所定の距離をおいて平行に配置する二筋の梁状の固定レ
ールとを互いに直交するように配置し、該走行レールを
固定レールの長手方向に沿って走行可能にエアカップリ
ングを介して結合してなるものである。
【０００３】この種のＸ−Ｙテーブルはその性質上固定
レールの上面でエアカップリングを介してスライダにか
かる重力方向の荷重を支えると共に、該固定レールの側
面で、該スライダにかかる水平方向の荷重、即ち推力も
支えなければならない。
レールの上面でエアカップリングを介してスライダにか
かる重力方向の荷重を支えると共に、該固定レールの側
面で、該スライダにかかる水平方向の荷重、即ち推力も
支えなければならない。
【０００４】その為、該エアカップリングの内面の空隙
と対面する固定レールの上面と側面はこれらの部分の剛
性を保つために一定限度以上の面積を必要とするので、
その固定レールの断面における水平方向の長さと、重力
方向の長さも一定限度以上にする必要がある。
と対面する固定レールの上面と側面はこれらの部分の剛
性を保つために一定限度以上の面積を必要とするので、
その固定レールの断面における水平方向の長さと、重力
方向の長さも一定限度以上にする必要がある。
【０００５】このようにして固定レールは一定限度以上
の長さ方向の長さを必要とし、又Ｘ−Ｙテーブルは既に
述べた通り、走行レールと固定レールを直交するように
エアカップリングで走行自在に結合しているので、この
結合部分における重力方向の全体の高さが大きくなり、
そのため装置全体をの高さも大きくなりがちである。
の長さ方向の長さを必要とし、又Ｘ−Ｙテーブルは既に
述べた通り、走行レールと固定レールを直交するように
エアカップリングで走行自在に結合しているので、この
結合部分における重力方向の全体の高さが大きくなり、
そのため装置全体をの高さも大きくなりがちである。
【０００６】このようにしてＸ−Ｙテーブルの全体の高
さが大きくなると、それを前述の精密加工機等で位置決
めするのに使用する際、それを所定の位置に据えつける
ことが寸法上使用範囲を限定されるおそれがある。
さが大きくなると、それを前述の精密加工機等で位置決
めするのに使用する際、それを所定の位置に据えつける
ことが寸法上使用範囲を限定されるおそれがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的はエア
カップリングの前記空隙と対面する固定レールにおける
水平方向の面積と重力方向の面積を限度以下にすること
なく、即ち、その部分における剛性を充分維持しながら
固定レールの側面の重力方向の長さ、即ち高さを減少し
て、その結合部分における全体の高さを低下することで
ある。
カップリングの前記空隙と対面する固定レールにおける
水平方向の面積と重力方向の面積を限度以下にすること
なく、即ち、その部分における剛性を充分維持しながら
固定レールの側面の重力方向の長さ、即ち高さを減少し
て、その結合部分における全体の高さを低下することで
ある。
【０００８】他の目的は本装置における全体の高さを低
下して高さの低い場所でも使用可能にし、Ｘ−Ｙテーブ
ルの使用範囲を拡大することである。
下して高さの低い場所でも使用可能にし、Ｘ−Ｙテーブ
ルの使用範囲を拡大することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明の構成はスライ
ダを摺動自在に嵌合した走行レールと水平方向の距離を
隔てて互いに平行に配置する二筋の固定レールとを互い
に直交するように配置し、該走行レールを固定レールの
長手方向に沿って走行可能にエアカップリングで結合し
たＸ−Ｙテーブルに於いて、該固定レールと走行レール
の少なくとも一方を水平方向の間隔を隔てて平行に配置
してなる一対のガイドレールで構成するものである。
ダを摺動自在に嵌合した走行レールと水平方向の距離を
隔てて互いに平行に配置する二筋の固定レールとを互い
に直交するように配置し、該走行レールを固定レールの
長手方向に沿って走行可能にエアカップリングで結合し
たＸ−Ｙテーブルに於いて、該固定レールと走行レール
の少なくとも一方を水平方向の間隔を隔てて平行に配置
してなる一対のガイドレールで構成するものである。
【００１０】
【作用】スライダに作用する重力方向の荷重をエアカッ
プリングの水平方向の面状空隙を介して一対のガイドレ
ールにおける夫々の上面で支えて、走行レールを浮上す
る。
プリングの水平方向の面状空隙を介して一対のガイドレ
ールにおける夫々の上面で支えて、走行レールを浮上す
る。
【００１１】スライダに作用する水平方向の荷重をエア
カップリングの荷重方向の面状空隙を介して一対のガイ
ドレールにおける夫々の側面に支える。
カップリングの荷重方向の面状空隙を介して一対のガイ
ドレールにおける夫々の側面に支える。
【００１２】
【実施例】図１に示す如く基台１上に水平方向の距離Ｌ
を隔てて二筋の固定レール１２を互いに平行に固定し、
該各固定レール２、２に走行レール３を直角に交差する
ように配置し、該走行レール３を固定レール２、２の長
手方向に沿って走行可能にエアカップリング５、５で結
合し、またその走行レール３にスライダ７をエアカップ
リング８で該走行レール３に沿って送行可能に嵌合した
Ｘ−Ｙテーブルであって、該固定レール２、２と走行レ
ール３の少なくとも一方を水平方向の間隔ｍを隔てて互
いに平行に配置した一対のガイドレール１１、１２で構
成するＸ−Ｙテーブルである。
を隔てて二筋の固定レール１２を互いに平行に固定し、
該各固定レール２、２に走行レール３を直角に交差する
ように配置し、該走行レール３を固定レール２、２の長
手方向に沿って走行可能にエアカップリング５、５で結
合し、またその走行レール３にスライダ７をエアカップ
リング８で該走行レール３に沿って送行可能に嵌合した
Ｘ−Ｙテーブルであって、該固定レール２、２と走行レ
ール３の少なくとも一方を水平方向の間隔ｍを隔てて互
いに平行に配置した一対のガイドレール１１、１２で構
成するＸ−Ｙテーブルである。
【００１３】前述のエアカップリング５は走行レール３
に対して一体的に設け、また一対のガイドレール１１、
１２に対して図２に示すように空隙４、６を介して走行
自在に嵌合し、該空隙４、６に対してはエアカップリン
グ５から各ガイドレール１１、１２の全周面に向けて図
示しないノズルから通常２〜３気圧の圧縮空気Ｐを噴出
し、該エアカップリング５をガイドレール１１、１２に
対して、浮かす。
に対して一体的に設け、また一対のガイドレール１１、
１２に対して図２に示すように空隙４、６を介して走行
自在に嵌合し、該空隙４、６に対してはエアカップリン
グ５から各ガイドレール１１、１２の全周面に向けて図
示しないノズルから通常２〜３気圧の圧縮空気Ｐを噴出
し、該エアカップリング５をガイドレール１１、１２に
対して、浮かす。
【００１４】この状態で、即ち、ガイドレール１１、１
２に対する走行レール３の摩擦抵抗を略零にした状態
で、その走行レールを図示してないステッピングモータ
等の駆動装置で各ガイドレール１１、１２の長さ方向に
精密な移動を行うものである。
２に対する走行レール３の摩擦抵抗を略零にした状態
で、その走行レールを図示してないステッピングモータ
等の駆動装置で各ガイドレール１１、１２の長さ方向に
精密な移動を行うものである。
【００１５】また該走行レール３とスライダ７とを結合
するエアカップリング８は前述のエアカップリング５と
同様の作用を有するものであり、その作用によりスライ
ダを走行レール３から浮上した状態で精密な移動を行う
ものである。
するエアカップリング８は前述のエアカップリング５と
同様の作用を有するものであり、その作用によりスライ
ダを走行レール３から浮上した状態で精密な移動を行う
ものである。
【００１６】この際、スライダ７に対する重力方向の荷
重Ｐは各ガイドレール１１、１２の上面に作用し、その
上面におけるエアカップリング５と対面する空隙４の走
行レール３方向の長さは各ガイドレール１１、１２の巾
と高さを夫々ａとすると、２ａとなるので、エアカップ
リング５の走行方向の長さをｂとするとその空隙４の面
積は２ａｂとなる。
重Ｐは各ガイドレール１１、１２の上面に作用し、その
上面におけるエアカップリング５と対面する空隙４の走
行レール３方向の長さは各ガイドレール１１、１２の巾
と高さを夫々ａとすると、２ａとなるので、エアカップ
リング５の走行方向の長さをｂとするとその空隙４の面
積は２ａｂとなる。
【００１７】またスライダ７に対する水平方向の荷重Ｑ
は各ガイドレール１１、１２の夫々の側面１１ｂ、１２
ｂに作用し、その二つの側面１１ｂ、１２ｂにおけるエ
アカップリング５と対向する空隙４の高さ方向の長さ
は、上述の通り、上面１１ａ１２ａの長さ２ａの1/2 の
ａであるが、 その空隙４の面積は２ａｂとなる。
は各ガイドレール１１、１２の夫々の側面１１ｂ、１２
ｂに作用し、その二つの側面１１ｂ、１２ｂにおけるエ
アカップリング５と対向する空隙４の高さ方向の長さ
は、上述の通り、上面１１ａ１２ａの長さ２ａの1/2 の
ａであるが、 その空隙４の面積は２ａｂとなる。
【００１８】即ち、固定レ−ル２における水平方向の荷
重をうける空隙４の走行レール方向の巾、即ち、固定レ
−ル２の側面とエアカップリング５との間の空隙４、６
の面積を固定レ−ル２の上面とエアカップリング５との
間の空隙４、６の面積を等しくしても、固定レ−ル２を
構成する各ガイドレール１１、１２の高さを一対のガイ
ドレール１１、１２の巾２ａの1/2 にすることができ
る。
重をうける空隙４の走行レール方向の巾、即ち、固定レ
−ル２の側面とエアカップリング５との間の空隙４、６
の面積を固定レ−ル２の上面とエアカップリング５との
間の空隙４、６の面積を等しくしても、固定レ−ル２を
構成する各ガイドレール１１、１２の高さを一対のガイ
ドレール１１、１２の巾２ａの1/2 にすることができ
る。
【００１９】これに対して、従来のものは前述のように
固定レ−ルを一本の梁状のレ−ルで構成しているので、
各空隙の面積を等しくするためには固定レ−ルの高さを
その巾と等しくしなければならなかったので、装置全体
の高さを一定限度以下に低くすることは無理である。
固定レ−ルを一本の梁状のレ−ルで構成しているので、
各空隙の面積を等しくするためには固定レ−ルの高さを
その巾と等しくしなければならなかったので、装置全体
の高さを一定限度以下に低くすることは無理である。
【００２０】図３に示す実施例と図１の実施例において
走行レ−ル３を距離Ｍを隔てて二筋平行に配置するもの
であり、この二筋の走行レ−ル３、３間に跨って１つの
スライダ７をエアカップリング８で、走行レ−ル３の長
手方向に走行可能に嵌合したものである。
走行レ−ル３を距離Ｍを隔てて二筋平行に配置するもの
であり、この二筋の走行レ−ル３、３間に跨って１つの
スライダ７をエアカップリング８で、走行レ−ル３の長
手方向に走行可能に嵌合したものである。
【００２１】エアカップリング７に作用する重力方向の
荷重Ｐはエアカップリング８を介してガイドレール１
１、１２の上面１１ａ、１２ａで支持し、又水平方向の
荷重Ｑは同エアカップリング８を介してガイドレール１
１、１２の２つの側面１１ｂ、１２ｂで支持する。
荷重Ｐはエアカップリング８を介してガイドレール１
１、１２の上面１１ａ、１２ａで支持し、又水平方向の
荷重Ｑは同エアカップリング８を介してガイドレール１
１、１２の２つの側面１１ｂ、１２ｂで支持する。
【００２２】さらにこの場合は水平方向の荷重Ｑを二筋
の走行レ−ル３、３で分担して一対のガイドレール１
１、１２の側面に１１ｂ、１２ｂで支持することになる
ので、この部分の荷重Ｑに対する剛性が高まり、Ｘ−Ｙ
テーブル全体の精度を向上することができる。
の走行レ−ル３、３で分担して一対のガイドレール１
１、１２の側面に１１ｂ、１２ｂで支持することになる
ので、この部分の荷重Ｑに対する剛性が高まり、Ｘ−Ｙ
テーブル全体の精度を向上することができる。
【００２３】図４の実施例は図１の実施例における走行
レ−ル３を水平方向の間隔ｎを隔てて互いに平行に配置
した一対のガイドレ−ル１３、１４で構成し、さらに二
つの一対のガイドレ−ル１３、１４を重力方向の間隔ｈ
を隔てて上下２組設けたものである。
レ−ル３を水平方向の間隔ｎを隔てて互いに平行に配置
した一対のガイドレ−ル１３、１４で構成し、さらに二
つの一対のガイドレ−ル１３、１４を重力方向の間隔ｈ
を隔てて上下２組設けたものである。
【００２４】これらの上下２組のガイドレ−ル１３、１
４と固定レ−ル２を構成するガイドレ−ル１１、１２と
はエアカップリング５を介して該ガイドレ−ル１１、１
２の長さ方向に沿って走行自在に結合している。
４と固定レ−ル２を構成するガイドレ−ル１１、１２と
はエアカップリング５を介して該ガイドレ−ル１１、１
２の長さ方向に沿って走行自在に結合している。
【００２５】この際スライダ７に作用する重力方向の荷
重Ｐ及び水平方向の荷重Ｑはエアカップリング５を介し
て、一対のガイドレ−ル１１、１２の上面１１ａ、１２
ａ及び側面１１ｂ、１２ｂで支持することができるの
で、一対のガイドレ−ル１１、１２の高さａを前記従来
の一本の梁状レ−ルで構成した場合の高さの1/2 にする
ことができる。
重Ｐ及び水平方向の荷重Ｑはエアカップリング５を介し
て、一対のガイドレ−ル１１、１２の上面１１ａ、１２
ａ及び側面１１ｂ、１２ｂで支持することができるの
で、一対のガイドレ−ル１１、１２の高さａを前記従来
の一本の梁状レ−ルで構成した場合の高さの1/2 にする
ことができる。
【００２６】図５の実施例は図４の実施例に於いて一対
のガイドレ−ル１３、１４を水平方向の距離Ｍを隔てて
二筋配置したものであり、同図中、前述の各実施例と同
一図面符号で示した部分はその部分の名称及び機能につ
いても同一である。
のガイドレ−ル１３、１４を水平方向の距離Ｍを隔てて
二筋配置したものであり、同図中、前述の各実施例と同
一図面符号で示した部分はその部分の名称及び機能につ
いても同一である。
【００２７】図６の実施例は図１の実施例に於いて一対
のガイドレ−ル１１、１２を巾ｃ、厚さｄの板状レ−ル
１５と置換し、走行レ−ル３を図４の実施例における一
対のガイドレ−ル１３、１４と置換したものに相当し、
この場合における重力方向の荷重Ｐは板状レ−ル１５の
上面１５ａで支持し、水平方向の荷重Ｑは該梁状レ−ル
１５の側面１５ｂで支持する。
のガイドレ−ル１１、１２を巾ｃ、厚さｄの板状レ−ル
１５と置換し、走行レ−ル３を図４の実施例における一
対のガイドレ−ル１３、１４と置換したものに相当し、
この場合における重力方向の荷重Ｐは板状レ−ル１５の
上面１５ａで支持し、水平方向の荷重Ｑは該梁状レ−ル
１５の側面１５ｂで支持する。
【００２８】この際走行レ−ル３を構成する一対のガイ
ドレ−ル１３、１４とスペ−サ１０によって間隔ｎを隔
てて配置されているので、走行レ−ル３に設けられてい
るエアカップリング８の梁状レ−ル方向の長さｇが大き
くなり、該梁状レ−ル１５の側面１５ｂとエアカップリ
ング８との対面する隙間４、６の面積を充分確保するこ
とができ、その部分における剛性を向上できる。
ドレ−ル１３、１４とスペ−サ１０によって間隔ｎを隔
てて配置されているので、走行レ−ル３に設けられてい
るエアカップリング８の梁状レ−ル方向の長さｇが大き
くなり、該梁状レ−ル１５の側面１５ｂとエアカップリ
ング８との対面する隙間４、６の面積を充分確保するこ
とができ、その部分における剛性を向上できる。
【００２９】図７の実施例は図６の実施例において一対
の走行レ−ル１３、１４を間隔Ｎを隔てて２筋配置した
ものであり、同図中、図６の図面符号と同一の部分はそ
の部分の名称及び機能について同様であり、この場合は
図６のものと比較して走行レ−ル３を構成する一対のガ
イドレ−ル１３、１４が間隔Ｎを隔てて二筋設けられて
いて、それが板状レ−ル１５とエアカップリング８を介
して結合されているからこの部分の剛性を一層高めるこ
とができる。
の走行レ−ル１３、１４を間隔Ｎを隔てて２筋配置した
ものであり、同図中、図６の図面符号と同一の部分はそ
の部分の名称及び機能について同様であり、この場合は
図６のものと比較して走行レ−ル３を構成する一対のガ
イドレ−ル１３、１４が間隔Ｎを隔てて二筋設けられて
いて、それが板状レ−ル１５とエアカップリング８を介
して結合されているからこの部分の剛性を一層高めるこ
とができる。
【００３０】以上いくつかの実施例について、説明した
が、本発明はそれらの実施例に限定されるものでなく、
本発明の要旨の範囲において、部分的構造について変更
したり、或は付加したりして実施例することができる。
が、本発明はそれらの実施例に限定されるものでなく、
本発明の要旨の範囲において、部分的構造について変更
したり、或は付加したりして実施例することができる。
【００３１】
【発明の効果】この発明は上述の通りであるので、固定
レ−ル及び走行レ−ルの両者を夫々一本の梁状レ−ルで
構成し、それらをエアカップリング結合した従来のもの
と比較して、固定レ−ル及び走行レ−ルの少なくとも一
方の上下方向の高さを半分に低下してもその部分におけ
る剛性を充分に維持することができる。
レ−ル及び走行レ−ルの両者を夫々一本の梁状レ−ルで
構成し、それらをエアカップリング結合した従来のもの
と比較して、固定レ−ル及び走行レ−ルの少なくとも一
方の上下方向の高さを半分に低下してもその部分におけ
る剛性を充分に維持することができる。
【００３２】また上述のような構成にすることによって
本装置全体の高さを低下し、狭い部分でも使用可能にし
てその使用範囲を広くすることができる。
本装置全体の高さを低下し、狭い部分でも使用可能にし
てその使用範囲を広くすることができる。
【図１】この発明の実施例を示す斜面図である。
【図２】図１のII−II線部の断面図である。
【図３】図１と別の実施例の斜面図である。
【図４】図３と別の実施例の斜面図である。
【図５】図４と別の実施例の斜面図である
【図６】図４とさらに別の実施例の斜面図である。
【図７】図６と別の実施例の斜面図である。
１ 基台 ２ 固定レ−ル ３ 走行レ−ル ４ 空隙 ５ エアカップリング ６ 空隙 ７ スライダ １０ スペ−サ １１ ガイドレ−ル １１ａ 側面 １２ ガイドレ−ル １２ａ 側面 １３ ガイドレ−ル １４ ガイドレ−ル １５ 板状−ル １５ａ 上面 １５ｂ 側面 Ｐ 重力方向の荷重 Ｑ 水平方向の荷重 Ｌ 距離 Ｍ 距離 ｍ 間隔 ｎ 間隔 ａ ガイドレ−ルの巾 ｂ ガイドレ−ルの高さ ｈ 間隔 ｇ 長さ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森下 宣明 山口県小野田市大字小野田6276番地 小野 田セメント株式会社セラミックス小野田工 場内
Claims (7)
- 【請求項１】 スライダを摺動自在に嵌合した走行レー
ルと水平方向の距離を隔てて平行に配置する２筋の固定
したレールとを互いに直交するように配置し、該走行レ
ールを固定レールの長さ方向に沿って走行可能にエアカ
ップリングで結合したＸ−Ｙテーブルに於いて、該固定
レールと走行レールの少なくとも一方を水平方向の間隔
を隔てて平行に配置してなる一対のガイドレールで構成
することを特徴とするＸ−Ｙテーブル。 - 【請求項２】 スライダを摺動自在に嵌合した走行レー
ルと水平方向の距離を隔てて平行に配置する２筋の固定
したレールとを互いに直交するように配置し、該走行レ
ールを固定レールの長さ方向に沿って走行可能にエアカ
ップリングで結合したＸ−Ｙテーブルに於いて、固定レ
ールを水平方向の間隔を隔てて平行に配置してなる複数
のガイドレールで構成すると共にその固定レールを水平
方向の距離を隔てて互いに平行に配置することを特徴と
する請求項１記載のＸ−Ｙテーブル。 - 【請求項３】 スライダを摺動自在に嵌合した走行レー
ルと水平方向の距離を隔てて平行に配置する２筋の固定
したレールとを互いに直交するように配置し、該走行レ
ールを固定レールの長さ方向に沿って走行可能にエアカ
ップリングで結合したＸ−Ｙテーブルに於いて、走行レ
ールを水平方向の距離を隔てて二筋平行に配置すること
を特徴とする請求項１記載のＸ−Ｙテーブル。 - 【請求項４】 走行レール及び固定レールを夫々水平方
向の間隔を隔てている平行な一対のガイドレールで構成
することを特徴とする請求項１記載のＸ−Ｙテーブル。 - 【請求項５】 走行レール及び固定レールの夫々を水平
方向の間隔を隔てている平行な一対のガイドレールで構
成すると共に夫々を水平方向の間隔を隔てて二筋平行に
配置することを特徴とする請求項１記載のＸ−Ｙテーブ
ル。 - 【請求項６】 走行レールを水平方向の間隔を隔てて配
置してなる平行な複数のガイドレールで構成し、固定レ
ールを一本の板状レールで構成することを特徴とする請
求項１記載のＸ−Ｙテーブル。 - 【請求項７】 走行レールを水平方向の間隔を隔ててな
る平行な複数のガイドレールで構成すると共にその走行
レールを水平方向の間隔を隔てて二筋平行に配置するこ
とを特徴とする請求項１記載のＸ−Ｙテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12465792A JPH05323059A (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | Ｘ−ｙテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12465792A JPH05323059A (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | Ｘ−ｙテーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05323059A true JPH05323059A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=14890829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12465792A Pending JPH05323059A (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | Ｘ−ｙテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05323059A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013086964A (ja) * | 2011-10-21 | 2013-05-13 | Takano Kasei Kogyo Kk | 移動装置 |
| CN111188699A (zh) * | 2018-11-15 | 2020-05-22 | 北京自动化控制设备研究所 | 一种通用型高精度电动推力矢量伺服机构调零装置 |
| JP2020184579A (ja) * | 2019-05-08 | 2020-11-12 | 日本電子株式会社 | 気体浮上式搬送装置及び洗浄方法 |
-
1992
- 1992-05-18 JP JP12465792A patent/JPH05323059A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013086964A (ja) * | 2011-10-21 | 2013-05-13 | Takano Kasei Kogyo Kk | 移動装置 |
| CN111188699A (zh) * | 2018-11-15 | 2020-05-22 | 北京自动化控制设备研究所 | 一种通用型高精度电动推力矢量伺服机构调零装置 |
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