JP2020184579A - 気体浮上式搬送装置及び洗浄方法 - Google Patents
気体浮上式搬送装置及び洗浄方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
混合器54内に圧力を安定化させるレギュレータを設けてもよい。
Claims (6)
- 対象物を直接的又は間接的に載置するためのスライダと、
前記スライダに設けられた穴を通過したレールと、
通常動作時において前記スライダを浮上させるための第1の気体を前記スライダに供給し、洗浄動作時において前記スライダを浮上させ且つ前記レールの表面をクリーニングするための第2の気体を前記スライダに供給する気体供給機構と、
を含み、
前記第2の気体は、前記第1の気体とは異なる気体であって、前記レールの表面を洗浄する成分を有する気体である、
ことを特徴とする気体浮上式搬送装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記スライダ及び前記レールを含む搬送機構が真空室内に配置され、
前記真空室内において前記対象物に対して荷電粒子線が照射される、
ことを特徴とする気体浮上式搬送装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記スライダにおける異常を検出する検出部と、
前記異常が検出された場合に前記第2の気体を前記スライダに供給する制御部と、
を含むことを特徴とする気体浮上式搬送装置。 - 請求項1記載の装置において、
洗浄工程の実行時において、前記スライダをその可動域の全体にわたって運動させる制御部を含む、
ことを特徴とする気体浮上式搬送装置。 - 請求項1記載の装置において、
洗浄工程の実行時において、前記スライダを異常検知部位に位置決める制御部を含む、
ことを特徴とする気体浮上式搬送装置。 - 対象物を直接的又は間接的に載置するためのスライダと、前記スライダに設けられた穴を通過したレールと、を有する気体浮上式搬送装置において、前記レールを洗浄する方法であって、
前記スライダを浮上させるための第1の気体を前記スライダに供給する通常工程と、
前記スライダを浮上させ且つ前記レールの表面を洗浄するための第2の気体を前記スライダに供給する洗浄工程と、
を含み、
前記第2の気体は、前記第1の気体とは異なる気体であって、前記レールの表面を洗浄する成分を有する気体である、
ことを特徴とする洗浄方法。
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WO2024075671A1 (ja) * | 2022-10-03 | 2024-04-11 | ボンドテック株式会社 | アライメント装置およびアライメント方法 |
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