JP2000136824A - 静圧空気軸受直線案内装置 - Google Patents
静圧空気軸受直線案内装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大きな温度変化が生じてもバイメタル現象が
起こることを低減し、安定した真直度精度を保つことが
可能な静圧気体軸受直線案内装置を提供する。 【解決手段】 基台１上を案内方向に移動可能な可動体
としてのテーブル３と、テーブル３を気体によって支持
・案内する空気軸受部６、７、８と、空気軸受部６、
７、８に対して吸引力を与える吸引力付与部１０と、を
備え、基台１はセラミックスまたは石からなり、吸引力
付与部１０は吸引レール部１０ａを備え、吸引レール部
１０ａの熱膨張係数は、基台１の熱膨張係数とほぼ同じ
である。
起こることを低減し、安定した真直度精度を保つことが
可能な静圧気体軸受直線案内装置を提供する。 【解決手段】 基台１上を案内方向に移動可能な可動体
としてのテーブル３と、テーブル３を気体によって支持
・案内する空気軸受部６、７、８と、空気軸受部６、
７、８に対して吸引力を与える吸引力付与部１０と、を
備え、基台１はセラミックスまたは石からなり、吸引力
付与部１０は吸引レール部１０ａを備え、吸引レール部
１０ａの熱膨張係数は、基台１の熱膨張係数とほぼ同じ
である。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、高精度な加工装置
及び測定装置、半導体製造や検査装置などにおいて、試
料、工具、検出器などを高い位置決め精度をもって移動
させることが可能な静圧気体軸受直線案内装置に関す
る。
及び測定装置、半導体製造や検査装置などにおいて、試
料、工具、検出器などを高い位置決め精度をもって移動
させることが可能な静圧気体軸受直線案内装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の静圧気体軸受直線案内装置には、
案内方向に延びるガイドレールと、このガイドレールの
上側に跨がるように配置され且つ前記案内方向に移動可
能な可動体と、この可動体を気体によって支持・案内す
る空気軸受部と、可動体を基台に対して吸引する吸引力
付与部と、を備えて構成されたものがある。
案内方向に延びるガイドレールと、このガイドレールの
上側に跨がるように配置され且つ前記案内方向に移動可
能な可動体と、この可動体を気体によって支持・案内す
る空気軸受部と、可動体を基台に対して吸引する吸引力
付与部と、を備えて構成されたものがある。
【０００３】このような静圧気体軸受直線案内装置とし
ては、例えば、図３に示すように、上面に水平な基準面
５０ａを備えて案内方向に延びる基台５０を有してい
る。この基台５０は、一般的にセラミックスや石などに
よって構成されている。基台５０の上面の幅方向（案内
方向に直交する水平方向）中心から若干偏位した位置に
は、ガイドレール５１が突設されている。このガイドレ
ール５１は、基準面５０ａに沿って案内方向に延びてい
る。この基台５０の基準面５０ａの上方に、所定間隔を
あけて可動体であるテーブル５５の下面が、基準面５０
ａに対して平行に対向配置されている。
ては、例えば、図３に示すように、上面に水平な基準面
５０ａを備えて案内方向に延びる基台５０を有してい
る。この基台５０は、一般的にセラミックスや石などに
よって構成されている。基台５０の上面の幅方向（案内
方向に直交する水平方向）中心から若干偏位した位置に
は、ガイドレール５１が突設されている。このガイドレ
ール５１は、基準面５０ａに沿って案内方向に延びてい
る。この基台５０の基準面５０ａの上方に、所定間隔を
あけて可動体であるテーブル５５の下面が、基準面５０
ａに対して平行に対向配置されている。
【０００４】テーブル５５の下面には、ガイドレール５
１を両側から挟むように、ガイドレール５１の各側面に
所定間隔をあけて対向する対向面を持った対向部５６及
び５７がそれぞれ形成されている。この対向部５６及び
５７のガイドレール５１の側面に対向する面には、水平
方向を支持する水平方向空気軸受部５３がそれぞれ配置
されている。また、対向部５６の下面には、上下方向を
支持する上下方向空気軸受部５４が配置されている。ま
た、テーブル５５の下面であって、対向部５６と幅方向
で対象な位置には、対向部５８が形成されている。この
対向部５８の下面には、前記と同様に上下方向を支持す
る上下方向空気軸受部５４が配置されている。これらの
対向部５６〜５８は、案内方向に所定間隔をあけて複数
個設けられている。
１を両側から挟むように、ガイドレール５１の各側面に
所定間隔をあけて対向する対向面を持った対向部５６及
び５７がそれぞれ形成されている。この対向部５６及び
５７のガイドレール５１の側面に対向する面には、水平
方向を支持する水平方向空気軸受部５３がそれぞれ配置
されている。また、対向部５６の下面には、上下方向を
支持する上下方向空気軸受部５４が配置されている。ま
た、テーブル５５の下面であって、対向部５６と幅方向
で対象な位置には、対向部５８が形成されている。この
対向部５８の下面には、前記と同様に上下方向を支持す
る上下方向空気軸受部５４が配置されている。これらの
対向部５６〜５８は、案内方向に所定間隔をあけて複数
個設けられている。
【０００５】さらに、上下方向空気軸受部５４の幅方向
外側には、吸引力発生部５９が各々設けられている。こ
の吸引力発生部５９は、基台５０の基準面５０ａに設け
られてガイドレール５１と平行に延びる、例えば強磁性
体からなる吸引レール５９ａと、テーブル５５の下面に
支持されて吸引レール５９ａの上面と所定間隔をあけて
対向した磁石５９ｂと、から構成されている。この吸引
力発生部５９は、その吸引力を大きくするために、吸引
レール５９ａを透磁率の高い、例えば純鉄や鉄系の磁性
材料で形成している。
外側には、吸引力発生部５９が各々設けられている。こ
の吸引力発生部５９は、基台５０の基準面５０ａに設け
られてガイドレール５１と平行に延びる、例えば強磁性
体からなる吸引レール５９ａと、テーブル５５の下面に
支持されて吸引レール５９ａの上面と所定間隔をあけて
対向した磁石５９ｂと、から構成されている。この吸引
力発生部５９は、その吸引力を大きくするために、吸引
レール５９ａを透磁率の高い、例えば純鉄や鉄系の磁性
材料で形成している。
【０００６】なお、符号６０は、テーブル５５の移動を
行う公知の駆動装置である。
行う公知の駆動装置である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の静圧気体軸受直線案内装置は、基台がセラミックス
や石などから構成され、吸引レールが純鉄や鉄系の磁性
材料で構成されているため、両者の熱膨張係数が異なる
ことになる。ここで、純鉄の熱膨張係数は、９〜１０×
１０-6／℃であり、セラミックス（アルミナ）の熱膨張
係数は、４〜８×１０-6／℃、石の熱膨張係数は、６〜
９×１０-6／℃である。このため、使用時の温度変化に
よって、熱膨張係数の違う材料間で寸法にずれが生じ
る、いわゆる「バイメタル現象」が起こり、真直度精度
が悪化する虞がある。
来の静圧気体軸受直線案内装置は、基台がセラミックス
や石などから構成され、吸引レールが純鉄や鉄系の磁性
材料で構成されているため、両者の熱膨張係数が異なる
ことになる。ここで、純鉄の熱膨張係数は、９〜１０×
１０-6／℃であり、セラミックス（アルミナ）の熱膨張
係数は、４〜８×１０-6／℃、石の熱膨張係数は、６〜
９×１０-6／℃である。このため、使用時の温度変化に
よって、熱膨張係数の違う材料間で寸法にずれが生じ
る、いわゆる「バイメタル現象」が起こり、真直度精度
が悪化する虞がある。
【０００８】さらに、静圧気体軸受直線案内装置の保管
温度や輸送時の温度が大きく変化した場合（例えば、夏
季３０℃以上、冬季１０℃以下など）は、使用の際に常
温に戻っても、ボルトの結合部などが位置ずれを起こし
て元の精度に戻らないという虞もある。
温度や輸送時の温度が大きく変化した場合（例えば、夏
季３０℃以上、冬季１０℃以下など）は、使用の際に常
温に戻っても、ボルトの結合部などが位置ずれを起こし
て元の精度に戻らないという虞もある。
【０００９】本発明は、このような従来の問題点を解決
することを課題とするものであり、大きな温度変化が生
じてもバイメタル現象が起こることを低減し、安定した
真直度精度を保つことが可能な静圧気体軸受直線案内装
置を提供することを目的とする。
することを課題とするものであり、大きな温度変化が生
じてもバイメタル現象が起こることを低減し、安定した
真直度精度を保つことが可能な静圧気体軸受直線案内装
置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明は、基台上を案内方向に移動可能な可動体
と、当該可動体を気体によって支持・案内する空気軸受
部と、当該可動体を当該基台に対して吸引する吸引力付
与部と、を備えた静圧気体軸受直線案内装置であって、
前記基台はセラミックスまたは石から構成され、前記吸
引力付与部は前記基台に固定される吸引レール部を備
え、当該吸引レール部の熱膨張係数は、前記基台の熱膨
張係数とほぼ同じである静圧気体軸受直線案内装置を提
供するものである。
め、本発明は、基台上を案内方向に移動可能な可動体
と、当該可動体を気体によって支持・案内する空気軸受
部と、当該可動体を当該基台に対して吸引する吸引力付
与部と、を備えた静圧気体軸受直線案内装置であって、
前記基台はセラミックスまたは石から構成され、前記吸
引力付与部は前記基台に固定される吸引レール部を備
え、当該吸引レール部の熱膨張係数は、前記基台の熱膨
張係数とほぼ同じである静圧気体軸受直線案内装置を提
供するものである。
【００１１】この構成を備えた静圧気体軸受直線案内装
置は、基台と吸引レールの熱膨張係数がほぼ同じである
ため、大きな温度変化が生じても、両者の間に寸法変化
が生じることがなく、いわゆる「バイメタル現象」が起
こることを低減することができる。このため、安定した
真直度精度を保つことができる。
置は、基台と吸引レールの熱膨張係数がほぼ同じである
ため、大きな温度変化が生じても、両者の間に寸法変化
が生じることがなく、いわゆる「バイメタル現象」が起
こることを低減することができる。このため、安定した
真直度精度を保つことができる。
【００１２】また、基台をセラミックスまたは石から構
成したため、錆びることがなく、さらに、金属より熱膨
張係数が小さいため、変形することが少なく、寸法精度
が向上する。
成したため、錆びることがなく、さらに、金属より熱膨
張係数が小さいため、変形することが少なく、寸法精度
が向上する。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態に係る
静圧気体軸受直線案内装置について図面を参照して説明
する。
静圧気体軸受直線案内装置について図面を参照して説明
する。
【００１４】図１は、本実施の形態に係る静圧気体軸受
直線案内装置の正面図、図２は、図１のII−II線に沿っ
た断面図である。
直線案内装置の正面図、図２は、図１のII−II線に沿っ
た断面図である。
【００１５】図１及び図２に示すように、本実施の形態
に係る静圧気体軸受直線案内装置は、上面に水平な基準
面１ａを備え且つ案内方向に延びる基台１と、基台１の
上面に案内方向に沿って設けられたガイド部材２と、ガ
イド部材２に案内されて移動する可動体の構成要素であ
るテーブル３と、テーブル３を支持・案内する空気軸受
部６、７及び８と、空気軸受部６、７及び８に対して吸
引力を与える吸引力付与部１０と、を備えて構成されて
いる。
に係る静圧気体軸受直線案内装置は、上面に水平な基準
面１ａを備え且つ案内方向に延びる基台１と、基台１の
上面に案内方向に沿って設けられたガイド部材２と、ガ
イド部材２に案内されて移動する可動体の構成要素であ
るテーブル３と、テーブル３を支持・案内する空気軸受
部６、７及び８と、空気軸受部６、７及び８に対して吸
引力を与える吸引力付与部１０と、を備えて構成されて
いる。
【００１６】基台１は、アルミナセラミックスから構成
されており、その熱膨張係数は、４．７×１０-6／℃で
ある。基台１の基準面１ａの幅方向（案内方向に直交す
る水平方向）の中央部から一方の端部（図１では左側）
に若干偏位した位置には、ガイド部材２が設けられてい
る。また、基台１の幅方向両側には、後に詳述する吸引
力付与部１０の吸引レール１０ａが固定され、案内方向
に沿って延びている。
されており、その熱膨張係数は、４．７×１０-6／℃で
ある。基台１の基準面１ａの幅方向（案内方向に直交す
る水平方向）の中央部から一方の端部（図１では左側）
に若干偏位した位置には、ガイド部材２が設けられてい
る。また、基台１の幅方向両側には、後に詳述する吸引
力付与部１０の吸引レール１０ａが固定され、案内方向
に沿って延びている。
【００１７】ガイド部材２は、断面長方形を備えたレー
ル部材からなり、基準面１ａの案内方向に沿って配置さ
れている。このガイド部材２は、底面（基準面１ａ側）
と、左右側面の計３面が真直、平面で、平行、直角精度
が良好に設定されており、基台１と同様に、アルミナセ
ラミックスから構成されている。また、このガイド部材
２は、幅が狭く構成されているため、ナローガイド状態
となる。このため、水平方向空気軸受６ａ及び７ａの距
離が狭くなり、モーメント剛性の強いものとなる。
ル部材からなり、基準面１ａの案内方向に沿って配置さ
れている。このガイド部材２は、底面（基準面１ａ側）
と、左右側面の計３面が真直、平面で、平行、直角精度
が良好に設定されており、基台１と同様に、アルミナセ
ラミックスから構成されている。また、このガイド部材
２は、幅が狭く構成されているため、ナローガイド状態
となる。このため、水平方向空気軸受６ａ及び７ａの距
離が狭くなり、モーメント剛性の強いものとなる。
【００１８】テーブル３は、基台１の基準面１ａの上方
に所定間隔をあけた状態で配置されている。テーブル３
の下面には、ガイド部材２と所定の間隔をあけて且つガ
イド部材２を両側から挟むように、一対の空気軸受部６
及び７が対向配置されている。この空気軸受部６及び７
は、図２に示すように、案内方向に互いに間隔をあけて
各々２個所設置されている。この空気軸受部６及び７
の、ガイド部材２の側面に対向する面には、水平方向を
支持する水平方向空気軸受６ａ及び７ａがそれぞれ配置
されている。
に所定間隔をあけた状態で配置されている。テーブル３
の下面には、ガイド部材２と所定の間隔をあけて且つガ
イド部材２を両側から挟むように、一対の空気軸受部６
及び７が対向配置されている。この空気軸受部６及び７
は、図２に示すように、案内方向に互いに間隔をあけて
各々２個所設置されている。この空気軸受部６及び７
の、ガイド部材２の側面に対向する面には、水平方向を
支持する水平方向空気軸受６ａ及び７ａがそれぞれ配置
されている。
【００１９】水平方向空気軸受６ａ及び７ａは、ガイド
部材２に対向する面に、ガイド部材２に水平に空気を吹
き出す空気穴が形成されている。この空気穴からガイド
部材２に対し空気を吹き出すことで、テーブル３は、ガ
イド部材２に対し水平方向に支持される。このように、
水平方向空気軸受６及び７は、ガイド部材２を挟み込む
ようにガイド部材２の両側に対向して配置されているた
め、ガイド部材２に対して偏った力がかからない。この
ため、ガイド部材２の変形を低減することができる。
部材２に対向する面に、ガイド部材２に水平に空気を吹
き出す空気穴が形成されている。この空気穴からガイド
部材２に対し空気を吹き出すことで、テーブル３は、ガ
イド部材２に対し水平方向に支持される。このように、
水平方向空気軸受６及び７は、ガイド部材２を挟み込む
ようにガイド部材２の両側に対向して配置されているた
め、ガイド部材２に対して偏った力がかからない。この
ため、ガイド部材２の変形を低減することができる。
【００２０】また、空気軸受部６の下面には、上下方向
を支持する上下方向空気軸受６ｂが配置されている。
を支持する上下方向空気軸受６ｂが配置されている。
【００２１】また、テーブル３の下面であって、２つの
空気軸受部６と幅方向で対象な位置には、空気軸受部８
が形成されている。この空気軸受部８の下面には、前記
と同様に上下方向を支持する上下方向空気軸受８ｂが各
々配置されている。
空気軸受部６と幅方向で対象な位置には、空気軸受部８
が形成されている。この空気軸受部８の下面には、前記
と同様に上下方向を支持する上下方向空気軸受８ｂが各
々配置されている。
【００２２】各上下方向空気軸受６ｂ及び８ｂには、そ
の下面に基準面１ａに向けて空気を吹き出す空気穴が形
成されている。この空気穴から基準面１ａに空気を吹き
出すことで、テーブル３は、基準面１ａ対して上下方向
に支持される。また、空気穴から吹き出される空気の圧
力は、各上下方向空気軸受６ｂ及び８ｂに対しそれぞれ
独立に設定することができるようになっている。このた
め、例えばテーブル３の変形によって、上下方向空気軸
受６ｂ及び８ｂと、基準面１ａとの間の隙間が変化して
も、前記空気の給気圧力を調整することで微調整ができ
るようになっている。なお、水平方向空気軸受６ａ及び
７ａ、上下方向空気軸受６ｂ及び８ｂの各空気軸受に、
空気を供給する装置、及び経路は図示しないが、任意に
設定されている。
の下面に基準面１ａに向けて空気を吹き出す空気穴が形
成されている。この空気穴から基準面１ａに空気を吹き
出すことで、テーブル３は、基準面１ａ対して上下方向
に支持される。また、空気穴から吹き出される空気の圧
力は、各上下方向空気軸受６ｂ及び８ｂに対しそれぞれ
独立に設定することができるようになっている。このた
め、例えばテーブル３の変形によって、上下方向空気軸
受６ｂ及び８ｂと、基準面１ａとの間の隙間が変化して
も、前記空気の給気圧力を調整することで微調整ができ
るようになっている。なお、水平方向空気軸受６ａ及び
７ａ、上下方向空気軸受６ｂ及び８ｂの各空気軸受に、
空気を供給する装置、及び経路は図示しないが、任意に
設定されている。
【００２３】さらに、テーブル３の幅方向最端部（空気
軸受部６及び８の幅方向外側）には、吸引力付与部１０
の構成要素である永久磁石１０ｂがスペーサ１０ｃを介
して吸引レール１０ａと所定の間隔をあけて各々設けら
れている。なお、この永久磁石１０ｂ及びスペーサ１０
ｃは、吸引レール１０ａと共に吸引力付与部１０を構成
する。このスペーサ１０ｃは、吸引レール１０ａと永久
磁石１０ｂとの間隙の調整、つまり永久磁石１０ｂの高
さ位置を調整し易くするために設けられている。この吸
引力付与部１０により、テーブル３は基台１に対して吸
引される。
軸受部６及び８の幅方向外側）には、吸引力付与部１０
の構成要素である永久磁石１０ｂがスペーサ１０ｃを介
して吸引レール１０ａと所定の間隔をあけて各々設けら
れている。なお、この永久磁石１０ｂ及びスペーサ１０
ｃは、吸引レール１０ａと共に吸引力付与部１０を構成
する。このスペーサ１０ｃは、吸引レール１０ａと永久
磁石１０ｂとの間隙の調整、つまり永久磁石１０ｂの高
さ位置を調整し易くするために設けられている。この吸
引力付与部１０により、テーブル３は基台１に対して吸
引される。
【００２４】なお、吸引力付与部１０を空気軸受部６及
び８（上下方向空気軸受６ｂ及び８ｂ）に隣接したこと
で、テーブル３の吸引と浮上のせん断応力が、テーブル
３に作用しないようにしている。
び８（上下方向空気軸受６ｂ及び８ｂ）に隣接したこと
で、テーブル３の吸引と浮上のせん断応力が、テーブル
３に作用しないようにしている。
【００２５】また、吸引レール１０ａは、基台１と同様
の熱膨張係数を備えた低熱膨張材料、例えば、低熱膨張
鋳物（熱膨張係数：４〜５×１０-6／℃）を用いて構成
した。このため、温度変化によって、熱膨張係数の違う
材料間で寸法にずれが生じる、いわゆる「バイメタル現
象」が起こることがなく、安定した真直度精度を得るこ
とができる。
の熱膨張係数を備えた低熱膨張材料、例えば、低熱膨張
鋳物（熱膨張係数：４〜５×１０-6／℃）を用いて構成
した。このため、温度変化によって、熱膨張係数の違う
材料間で寸法にずれが生じる、いわゆる「バイメタル現
象」が起こることがなく、安定した真直度精度を得るこ
とができる。
【００２６】なお、この静圧気体軸受直線案内装置に
は、特に図示しないが、テーブル３の移動を行う公知の
駆動装置が設けられている。
は、特に図示しないが、テーブル３の移動を行う公知の
駆動装置が設けられている。
【００２７】この静圧気体軸受直線案内装置が作動する
際は、上下方向空気軸受６ｂ及び８ｂの空気穴から空気
を基準面１ａに向けて吹き出し、これによってテーブル
３は、基準面１ａに対して上下方向に浮上支持されて水
平となる。また、水平方向空気軸受６ａ及び７ｂの空気
穴から空気をガイド部材２に向けて吹き出し、これによ
ってテーブル３は、幅方向の位置決めがなされている。
そして、テーブル３は、駆動装置１１によって駆動され
て、案内方向に移動される。この時、吸引力付与部１０
と、上下方向空気軸受部６ｂ及び８ｂとが、近接して設
けられているため、吸引力付与部１０による吸引力と、
上下方向空気軸受部６ｂ及び８ｂによる浮上力によるせ
ん断応力が、ほとんどテーブル３に作用せず、吸引力と
浮上力とが釣り合った状態でテーブル３の良好な移動が
行える。
際は、上下方向空気軸受６ｂ及び８ｂの空気穴から空気
を基準面１ａに向けて吹き出し、これによってテーブル
３は、基準面１ａに対して上下方向に浮上支持されて水
平となる。また、水平方向空気軸受６ａ及び７ｂの空気
穴から空気をガイド部材２に向けて吹き出し、これによ
ってテーブル３は、幅方向の位置決めがなされている。
そして、テーブル３は、駆動装置１１によって駆動され
て、案内方向に移動される。この時、吸引力付与部１０
と、上下方向空気軸受部６ｂ及び８ｂとが、近接して設
けられているため、吸引力付与部１０による吸引力と、
上下方向空気軸受部６ｂ及び８ｂによる浮上力によるせ
ん断応力が、ほとんどテーブル３に作用せず、吸引力と
浮上力とが釣り合った状態でテーブル３の良好な移動が
行える。
【００２８】この移動に際して、テーブル３は、その上
下方向の支持が各々の上下方向空気軸受６ｂ及び８ｂに
よって独立して制御されるため、基準面１ａに対して常
に水平方向に安定して維持される。また、このテーブル
３は、水平方向空気軸受６ａ及び７ａによって、ガイド
部材２に対して偏った力がかからないため、スムーズな
移動が行われる。
下方向の支持が各々の上下方向空気軸受６ｂ及び８ｂに
よって独立して制御されるため、基準面１ａに対して常
に水平方向に安定して維持される。また、このテーブル
３は、水平方向空気軸受６ａ及び７ａによって、ガイド
部材２に対して偏った力がかからないため、スムーズな
移動が行われる。
【００２９】なお、本実施の形態では、基台１を熱膨張
係数が、４．７×１０-6／℃であるアルミナセラミック
スで構成した場合いついて説明したが、これに限らず、
基台１は、石や他のセラミックスから構成することがで
きる。この場合、例えば、熱膨張係数が６〜９×１０-6
／℃程度の石を使用できる。また、セラミックスとして
は、例えば、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）セラミックス（熱膨
張係数：４〜８×１０-6／℃）、ムライト（３Ａｌ2Ｏ3
・２ＳｉＯ2）セラミックス（熱膨張係数：５×１０-6
／℃）、窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）セラミックス（熱膨張係
数：３〜４×１０-6／℃）等が挙げられる。
係数が、４．７×１０-6／℃であるアルミナセラミック
スで構成した場合いついて説明したが、これに限らず、
基台１は、石や他のセラミックスから構成することがで
きる。この場合、例えば、熱膨張係数が６〜９×１０-6
／℃程度の石を使用できる。また、セラミックスとして
は、例えば、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）セラミックス（熱膨
張係数：４〜８×１０-6／℃）、ムライト（３Ａｌ2Ｏ3
・２ＳｉＯ2）セラミックス（熱膨張係数：５×１０-6
／℃）、窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）セラミックス（熱膨張係
数：３〜４×１０-6／℃）等が挙げられる。
【００３０】この場合には、吸引レール１０ａも、吸引
レール１０ａとしての機能を損なわず、且つ基台１の構
成材料の熱膨張係数とほぼ同じ熱膨張係数を備えた材料
から構成することが必要である。
レール１０ａとしての機能を損なわず、且つ基台１の構
成材料の熱膨張係数とほぼ同じ熱膨張係数を備えた材料
から構成することが必要である。
【００３１】また、本実施の形態では、磁気吸引力を与
える手段として、永久磁石を使用した場合について説明
したが、これに限らず、電磁石や真空吸引などその他の
非接触手段を使用することもできる。
える手段として、永久磁石を使用した場合について説明
したが、これに限らず、電磁石や真空吸引などその他の
非接触手段を使用することもできる。
【００３２】さらにまた、本実施の形態では、一対の水
平方向空気軸受を２個（合計４個）所配置した場合につ
いて説明したが、これに限らず、一対の水平方向空気軸
受の設置数及び設置箇所は、テーブルのサイズや、スト
ロークの長さなどに応じて任意に決定することができ
る。
平方向空気軸受を２個（合計４個）所配置した場合につ
いて説明したが、これに限らず、一対の水平方向空気軸
受の設置数及び設置箇所は、テーブルのサイズや、スト
ロークの長さなどに応じて任意に決定することができ
る。
【００３３】そしてまた、本実施の形態では、上下方向
空気軸受をテーブルの幅方向両側に各々２個づつ、合計
４個設置した場合について説明したが、これに限らず、
上下方向空気軸受の設置数及び設置箇所は、テーブルの
サイズや、ストロークの長さなどに応じて任意に決定す
ることができる。
空気軸受をテーブルの幅方向両側に各々２個づつ、合計
４個設置した場合について説明したが、これに限らず、
上下方向空気軸受の設置数及び設置箇所は、テーブルの
サイズや、ストロークの長さなどに応じて任意に決定す
ることができる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る静圧
気体軸受直線案内装置は、基台と吸引レールの熱膨張係
数がほぼ同じであるため、大きな温度変化が生じても、
両者の間に寸法変化が生じることがなく、バイメタル現
象が起こることを低減することができる。この結果、安
定した真直度精度を維持することが可能である。
気体軸受直線案内装置は、基台と吸引レールの熱膨張係
数がほぼ同じであるため、大きな温度変化が生じても、
両者の間に寸法変化が生じることがなく、バイメタル現
象が起こることを低減することができる。この結果、安
定した真直度精度を維持することが可能である。
【図１】本発明の本実施の形態に係る静圧気体軸受直線
案内装置の正面図である。
案内装置の正面図である。
【図２】図１のII−II線に沿った断面図である。
【図３】従来の静圧気体軸受直線案内装置の正面図であ
る。
る。
１ 基台 １ａ 基準面 ２ ガイド部材 ３ テーブル ６、７、８ 空気軸受部 ６ａ、７ａ 水平方向空気軸受 ６ｂ、８ｂ 上下方向空気軸受 １０ 吸引力付与部 １０ａ 吸引レール １０ｂ 永久磁石 １０ｃ スペーサ
Claims (1)
- 【請求項１】 基台上を案内方向に移動可能な可動体
と、当該可動体を気体によって支持・案内する空気軸受
部と、当該可動体を当該基台に対して吸引する吸引力付
与部と、を備えた静圧気体軸受直線案内装置であって、 前記基台はセラミックスまたは石から構成され、前記吸
引力付与部は前記基台に固定される吸引レール部を備
え、当該吸引レール部の熱膨張係数は、前記基台の熱膨
張係数とほぼ同じである静圧気体軸受直線案内装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31165898A JP4139490B2 (ja) | 1998-11-02 | 1998-11-02 | 静圧空気軸受直線案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31165898A JP4139490B2 (ja) | 1998-11-02 | 1998-11-02 | 静圧空気軸受直線案内装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007001101A Division JP4591449B2 (ja) | 2007-01-09 | 2007-01-09 | 静圧気体軸受直線案内装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000136824A true JP2000136824A (ja) | 2000-05-16 |
| JP4139490B2 JP4139490B2 (ja) | 2008-08-27 |
Family
ID=18019935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31165898A Expired - Fee Related JP4139490B2 (ja) | 1998-11-02 | 1998-11-02 | 静圧空気軸受直線案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4139490B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5532175B1 (ja) * | 2013-07-02 | 2014-06-25 | 日本精工株式会社 | テーブル装置、及び搬送装置 |
| JP2016032037A (ja) * | 2014-07-29 | 2016-03-07 | 日本精工株式会社 | テーブル装置、測定装置、半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び工作機械 |
| CN109760418A (zh) * | 2017-11-10 | 2019-05-17 | 松下知识产权经营株式会社 | 搬运台和使用该搬运台的喷墨装置 |
-
1998
- 1998-11-02 JP JP31165898A patent/JP4139490B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| KR20160027172A (ko) | 2013-07-02 | 2016-03-09 | 닛뽄 세이꼬 가부시기가이샤 | 테이블 장치 및 반송 장치 |
| US9723917B2 (en) | 2013-07-02 | 2017-08-08 | Nsk Ltd. | Table device and conveyance device |
| KR101800765B1 (ko) | 2013-07-02 | 2017-12-20 | 닛뽄 세이꼬 가부시기가이샤 | 테이블 장치 및 반송 장치 |
| JP2016032037A (ja) * | 2014-07-29 | 2016-03-07 | 日本精工株式会社 | テーブル装置、測定装置、半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び工作機械 |
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| CN109760418B (zh) * | 2017-11-10 | 2020-12-11 | 松下知识产权经营株式会社 | 搬运台和使用该搬运台的喷墨装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4139490B2 (ja) | 2008-08-27 |
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