CN109760418A - 搬运台和使用该搬运台的喷墨装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供抑制了可动部沿着由多个构件构成的基台上的引导件行进时的振动的搬运台和使用该搬运台的喷墨装置。该搬运台包括：由多个基台构成的基台；能够分别调整上述多个基台的高度的高度调整部；配置在上述基台上且由多个引导件构成的引导件；能够沿着上述引导件移动的可动部；与上述可动部连接且将基板沿扫描方向搬运的搬运工作台；利用气体对上述可动部进行支承的空气轴承部；以及与上述搬运工作台连结的基板搬运部，上述多个引导件的重心位置位于上述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方，上述基准构件以外的上述基台的上表面位于上述基准构件的上表面以下。

Description

搬运台和使用该搬运台的喷墨装置

技术领域

本发明涉及搬运台和使用该搬运台的喷墨装置。尤其是涉及大型搬运台和使用该大型搬运台的喷墨装置。

背景技术

近年来，使用喷墨装置来制造设备的方法受到关注。喷墨装置具有进行液滴喷出的多个喷嘴，通过一边控制喷嘴与印刷对象物的位置关系一边从喷嘴喷出液滴，从而向印刷对象物涂敷液滴。

作为这种喷墨装置之一，已知有具备被称为行式头的沿印刷对象物的宽度方向并列设置的多个模块头(具有多个喷出口的液滴喷出头)的喷墨装置。通过将该行式头沿副扫描方向并列配置，从而能够在一次搬运工序中向宽度大的印刷对象物一并涂敷墨液。

此外，虽然需要扫描方向的长度，但通过在扫描方向上还搭载多个沿副扫描方向并列设置的行式头，由此能够在一次搬运工序的期间向印刷对象物一并涂敷例如颜色不同等的多种墨液。

根据该结构，针对大型的印刷对象物也能够在一次搬运工序中一并涂敷多种墨液，因此，能够降低向印刷对象物涂敷墨液的生产节拍，并且，容易使墨液涂敷后的干燥条件等变得均匀，因此，具有例如能够均匀地控制墨液膜厚等印刷工艺上的优点。

需要说明的是，在上述结构的喷墨装置中，印刷对象物的行进再现性成为决定喷墨装置的喷出精度的重要因素之一，因此，在需要进行高精度的涂敷的情况下，就印刷对象物的搬运方法而言，广泛知晓有利用静压轴承一边支承一边搬运的结构。

然而，近年来，为了提高生产率，谋求印刷对象物的进一步的大型化。当印刷对象物变大时，搬运距离相应地变长，搭载印刷对象物并沿扫描方向移动的引导件也必然需要变长。因此，产生无法用一个构件进行加工及制作这样的问题。因此，需要将多个构件拼接来制作引导件。但是，由于接缝部处的高低差和间隙等的影响而产生行进再现性变差这样的问题。

利用图11的剖视图对现有技术进行说明。如图11所示，在现有技术中，将构成引导件的多个构件的接缝60设成了作为凹形状61的冕形状。这样，在接缝60处不存在凸部。其结果是，在搬运印刷对象物的可动部11移动时，防止空气轴承部12与凸部的接触，提供高精度的精密工作台(例如专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第4346067号公报

然而，存在作为凹形状61的冕形状的深度越深则在可动部11行进时越会产生振动这样的课题。当产生振动时，例如由于行式头与印刷对象物的角度变化而导致从行式头向印刷对象物涂敷液滴时的精度变差。需要说明的是，虽能够通过使凹形状61的冕形状变浅来缩小振动，但关于使凹形状61的冕形状变浅到何种程度，是由平面度等加工性能来决定的值，并且，难以抑制到使振动完全消失。

此外，即便能够以使与空气轴承部对置的引导件精度良好地成为同一平面的方式进行加工，但若搭载引导件的基台上表面不在同一平面，则在并列引导件时产生高低差，导致行进精度变差。

因此，谋求如下的方法：即便在引导件及支承引导件的基台由多个构成构件构成的情况下，也进一步减少可动部经由空气轴承部在引导件上扫描时的振动。

发明内容

即，本发明的课题在于，提供一种抑制了可动部沿着由多个构件构成的基台上的引导件行进时的振动的搬运台以及使用该搬运台的喷墨装置。

用于解决课题的方案

为了实现上述目的，本发明使用一种搬运台，该搬运台包括：基台，其由多个基台构成；高度调整部，其能够分别调整上述多个基台的高度；引导件，其配置在上述基台上，由多个引导件构成；可动部，其能够沿着上述引导件移动；搬运工作台，其与上述可动部连接，将基板沿扫描方向搬运；空气轴承部，其利用气体对上述可动部进行支承；以及基板搬运部，其与上述搬运工作台连结，上述多个引导件的重心位置位于上述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方，上述基准构件以外的上述基台的上表面位于上述基准构件的上表面以下。

另外，本发明使用一种喷墨装置，该喷墨装置具有：至少一个以上的台架，其配置为跨越上述的搬运台；行式头，其固定于上述台架，且向上述搬运工作台上的印刷对象物喷出墨液；印刷位置观测单元，其获取从上述行式头喷出的液滴坐标；以及控制部，其使用由上述印刷位置观测单元获得的上述液滴坐标，来修正从上述行式头喷出墨液的喷出时机。

发明效果

根据本发明，与基台及引导件的扫描方向的长度相关的制约不依赖于加工及制作的界限，能够实现长条且高精度的搬运台。因此，例如能够实现在一次搬运中从喷墨喷嘴向大型的印刷对象物高精度地涂敷墨液的装置。由此，能够提高印刷对象物的生产效率。

附图说明

图1的(a)是俯视观察实施方式1的喷墨装置的印刷动作前的状态的示意俯视图，图1的(b)是俯视观察实施方式1的喷墨装置的印刷动作后的状态的示意俯视图。

图2是从正面观察实施方式1的喷墨装置的示意主视图。

图3的(a)是以实施方式1的基台与引导件的关系示出了设计上的概念的示意剖视图，图3的(b)是以实施方式1的基台与引导件的关系示出了实际中产生的高低差的概念的示意剖视图。

图4的(a)是示出实施方式1的基台与引导件的关系的剖视图，是示出用于使引导件上表面成为同一平面的结构的图，图4的(b)是示出实施方式1的基台与引导件的关系的剖视图，是示出了引导件上表面不为同一平面的结构例的图，图4的(c)是示出实施方式1的基台与引导件的关系的剖视图，是示出了引导件上表面不为同一平面的结构例的图，图4的(d)是示出实施方式1的基台与引导件的关系的剖视图，是示出了行式头的位置的图。

图5的(a)是模拟了实施方式2的引导件接缝被加工为平滑的凹形状的图像的示意剖视图，图5的(b)是模拟了实施方式2的引导件接缝被加工为不平滑的凹形状的图像的示意剖视图，图5的(c)是示出实施方式2的引导件接缝与行式头的位置关系的示意剖视图。

图6的(a)是搬运工作台在实施方式2的被加工为宽度大的凹形状的拼接部上行进时向各个空气轴承部施加的浮起力的概念剖视图，图6的(b)是搬运工作台在实施方式2的被加工为宽度小的凹形状的拼接部上行进时向各个空气轴承部施加的浮起力的概念剖视图。

图7是仰视观察实施方式3的搬运工作台的图，是示出可动部及空气轴承部的配置的示意俯视图。

图8的(a)是俯视观察实施方式3的架台及引导件的图，是示出引导件的拼接部处于同一直线状的情况的示意俯视图，图8的(b)是俯视观察实施方式3的架台及引导件的图，是示出引导件的拼接部不为同一直线状的情况的示意俯视图，图8的(c)是实施方式3的架台及引导件的俯视图。

图9是示出实施方式4的空气轴承部的刚性与浮起量的特性的概念的特性图。

图10是实施方式6中的俯视观察喷墨装置的印刷动作前的状态的示意俯视图。

图11是专利文献1的搬运台的侧视图。

附图标记说明

1 基台

1a 基台

1b 基台

2 引导件

2a 引导件

2b 引导件

3 搬运工作台

4 门型台架

5 行式头

6 印刷对象物

8 高度调整部

9 基板搬运部

F 距离

L1、L2 宽度

M 刚性

N 距离

X 距离

11 可动部

12 空气轴承部

22 箭头

31 值

32 峰值

41 扫描方向

42 副扫描方向

50 印刷位置观测单元

60 接缝

61 凹形状

70 接缝

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(实施方式1)

图1的(a)、图1的(b)是从印刷对象物6的主面方向示出喷墨装置的俯视图。

如图1的(a)所示，喷墨装置具备基台1、引导件2、搬运工作台3、门型台架4以及行式头5。在搬运工作台3如图1的(a)至图1的(b)那样移动的同时，从行式头5喷出墨液，向印刷对象物6的涂敷区域涂敷墨液。设置多个行式头5是为了使墨液的颜色不同。行式头5并非必须为多个，也存在为一个的情况。行式头5配置于门型台架4。因此，行式头5与门型台架4位于附近。

需要说明的是，在以后的说明中，将搬运基板的方向设为扫描方向41，将与扫描方向41正交的方向设为副扫描方向42。

图2是从扫描方向41的正面示出喷墨装置的主视图。

基台1支承于进行基台1的高度方向的调整的多个高度调整部8，引导件2固定在基台1上。

需要说明的是，高度调整部8可以直接固定于地面，也可以与地面之间经由框架等进行固定。需要说明的是，在不喜欢来自地面的振动的情况下，也可以经由被动或主动的除振来避免传播振动。

在引导件2与搬运工作台3之间设置有在引导件2上沿扫描方向41移动的至少一个以上的可动部11，在可动部11连结有空气轴承部12。

就空气轴承部12而言，存在如下空气轴承部：配置在引导件2的上方或者上方及下方这两方以支承搬运工作台3的自重并防止搬运工作台3的垂直方向旋转(主要是俯仰分量)的空气轴承部；以及配置在引导件2的侧面以防止搬运工作台3的水平方向旋转(主要是横摆分量)的空气轴承部。

需要说明的是，空气轴承部12也可以仅配置于引导件2的上方，以支承搬运工作台3的自重并防止搬运工作台3的垂直方向旋转(主要是俯仰分量)。

需要说明的是，关于空气轴承部12的形式，可以采用自节流或小孔节流的衬垫，也可以在可动部11的表面切开槽而采用表面节流的形式，在本结构中，为了不容易产生振动，采用了多孔质节流的衬垫。

需要说明的是，空气轴承部12的轴承刚性根据从引导件2浮起的浮起量而变化，因此，优选设计为轴承刚性为最强的浮起量，在本结构中将目标浮起量设为10μm。需要说明的是，关于浮起量的考虑方法在后会详细叙述。

另外，为了将搬运工作台3沿扫描方向41驱动而将基板搬运部9与搬运工作台3连结。

需要说明的是，基板搬运部9可以为线性马达，也可以为与旋转马达连结的滚珠丝杠等，在本结构中采用了容易形成长条结构的线性马达。

<关于在引导件2的接缝60处产生高低差的主要原因>

图3的(a)示出了基台1与引导件2由在箭头41所示的扫描方向41上连结的多个构件构成的情况的概念，是从副扫描方向42观察与扫描方向41平行的剖面的概念图。需要说明的是，具有空气轴承部12的可动部11沿着扫描方向41在引导件2上扫描。

印刷对象物的大小越大，基台1及引导件2的扫描方向41的长度越被扩大，由于石材的坯材取出和加工设备的关系而难以用一个构成部件进行制作。在本结构中，印刷对象物为约4m见方，引导件2的扫描方向41的长度为约13m。

实质上难以用一个构成构件精度良好地加工出13m的引导件，因此，如图3的(a)所示，引导件由引导件2a及引导件2b这两个引导件2构成。需要说明的是，在无法由两个引导件2构成的情况下，也可以由三个或三个以上的引导件2构成。

另外，不仅是引导件2，支承引导件2的基台1的长度也同样地扩大。通常，优选基台1的长度比引导件2长的结构，在本结构中，将基台1的扫描方向41的长度设为14m。即，基台1也与引导件2同样地形成为长条，实质上难以用一个构成构件精度良好地进行加工，如图3的(a)所示，基台1由基台1a及基台1b这两个构件构成。需要说明的是，在无法仅由两个基台构成的情况下，也可以由三个或三个以上的基台构成。

需要说明的是，基台1是直接支承引导件2的构件，因此，需要与引导件2同样高精度的加工。需要说明的是，材料可以为陶瓷，也可以为铁，在本结构中，为了能够以比较高的精度加工大型部件，基台1与引导件2都将花岗岩作为材料。

然而，图3的(a)是概念图，实际上在要以该结构进行加工制作时，如图3的(b)所示那样会在引导件2的上表面产生高低差。以下叙述其原因。

关于引导件2a及引导件2b，能够通过同时加工而按照大致相同的高度进行加工，但关于基台1a、1b，由于宽度方向的长度也较大等原因，因而难以通过同时加工而按照大致相同的高度进行加工。另外，即便假设能够按照大致相同的高度进行加工，由于各个构件被高度调整部8支承，因此，也难以使上表面成为同一平面。

另外，由于各个构件被高度调整部8支承，因此，即便例如在组装后进行加工而成为同一平面的情况下，在因搬运等改变了地面的状态时，也难以再次通过调整而成为同一平面。

因此，如图3的(a)那样例如在中心附近处基台1a与基台1b连结并且引导件2a与引导件2b连结的情况下，实际上如图3的(b)那样基台1a与基台1b的上表面不为同一平面，由于该影响，在引导件2a与引导件2b的上表面也产生高低差。

即，当可动部11在引导件2的上表面行进时，在接缝60处产生高低差，因此，在可动部11通过时容易产生振动。此外，引导件2a及引导件2b与空气轴承部12的间隙不均匀，因此，难以在扫描方向41整体上满足空气轴承部12的目标刚性值。

需要说明的是，如上所述，引导件2与空气轴承部12的间隙假定为10μm左右，因此，这里所说的同一平面是假定为以平面度计至少一半的5μm这种程度以下。

<关于基台1与引导件2的位置关系>

对此，如图4的(a)所示，将基台1的接缝70与引导件2的接缝60在扫描方向41上错开配置。构成引导件2的所有引导件2(在本结构中是引导件2a、引导件2b)的重心位置存在于构成基台1的全部基台1(在本结构中是基台1a、基台1b)中的、被称为基准构件的一个基台1(在本结构中是基台1b)的正上方。基准构件(在本结构中基台1b)以外的基台1(在本结构中是基台1a)的上表面构成为处于不比基准构件的上表面高的位置。即，基准构件(在本结构中是基台1b)以外的基台1(在本结构中是基台1a)的上表面在基准构件的上表面以下。

这里，基准构件的基台是在基台1之中体积最大的基台1。或者是在基台1之中最重的基台1。

通过采用上述结构，能够在负责平面度的一个基准构件(基台1b)之上搭载通过共同加工而加工为大致相同的高度的两个引导件2(引导件2a、引导件2b)，因此，能够使引导件2的上表面成为同一平面。

需要说明的是，两个引导件2(引导件2a、引导件2b)可以在搭载于基台1上之前进行共同加工，也可以在搭载之后通过研磨等共同加工而成为同一平面。

需要说明的是，如图4的(b)那样，即便将基台1的接缝70与引导件2的接缝60在扫描方向41上错开，在构成引导件2的所有引导件2(在本结构中是引导件2a、引导件2b)的重心位置不存在于构成基台1的基台1(在本结构中是基台1a、基台1b)中的一个基台1(在本结构中是基台1a或基台1b)的正上方的情况下，由于所有引导件2(在本结构中是引导件2a、引导件2b)的被搭载的下表面不为同一平面，因此，引导件2的上表面也不为同一平面。

另外，即便如图4的(c)那样构成引导件2的所有引导件2(在本结构中是引导件2a、引导件2b)的重心位置位于构成基台1的基台1(在本结构中是基台1a，基台1b)中的、称为基准构件的一个基台1(在本结构中是基台1b)的正上方，当基准构件(在本结构中是基台1b)以外的基台1(在本结构中是基台1a)的上表面位于比基准构件高的位置时，构成引导件2的构件的构件中的任一个(在本结构中是引导件2a)倾斜地被搭载，引导件2的上表面不为同一平面。

因此，优选的是，在搭载构成引导件2的所有引导件2(引导件2a、引导件2b)时，基准构件(基台1b)以外的基台1(基台1a)的上表面设置为位于比基准构件(基台1b)低的位置，在将构成引导件2的所有引导件2(引导件2a、引导件2b)固定之后需要对引导件2的构成构件进行支承的情况下，以如下方式进行调整：利用高度调整部8将构成构件(基台1a)的上表面抬起至与引导件2(引导件2a、引导件2b)中的任一方相接，由此来支承载荷。

需要说明的是，如图4的(d)所示，门型台架4、行式头5的位置优选位于比接缝70靠中央部分的位置。从行式头5向印刷对象物6(图1的(a))涂敷墨液。因此，优选在行式头5的位置处的平行度高。

此外，如图4的(d)所示，门型台架4、行式头5的位置更优选位于比接缝60靠中央部分的位置。

另外，门型台架4、行式头5的位置同样优选位于基准构件的基台1的上方。

(实施方式2)

实施方式2涉及接缝60、70的凹形状的结构。如图5的(a)所示，至少空气轴承部12所对置的面的接缝60最好为平滑的凹形状61。图5的(b)示出接缝60不平滑的情况。未说明的事项与实施方式1是同样的。

通过设为图5的(a)那样的结构，从而至少不存在凸部，能够防止可动部11通过时与空气轴承部12发生接触。

需要说明的是，凹形状61的深度H的值越小，可动部11通过时的振动越小，因此是优选的，但当凹形状61的深度H的值过小时，由于加工精度而会存在凸部。因此，例如鉴于引导件2的平面加工精度，优选在不存在凸部的范围内将凹形状61的深度H的值设为尽量小的值。在本结构中，凹形状61的深度H的值为2μm。

需要说明的是，凹形状61的宽度L1的值越小，可动部11通过时的振动越小，因此是优选的，但当凹形状61的宽度L1的值过小时，加工变得困难，成为如图5的(b)那样的不平滑的凹形状，可动部11通过时容易产生振动。

因此，优选在能够实现平滑的凹形状的加工的范围内设为较小的值。在本结构中，凹形状61的宽度L1的值为2mm。

需要说明的是，关于凹形状61的加工，也可以在连结多个引导件2构件之前按照各个构件进行加工，还可以在连结多个引导件2构件之后实施研磨等加工。

需要说明的是，优选具有调整机构，在将构成基台1及引导件2的多个构件连结时，该调整机构以将多个构件平行地连结的方式调整各个构件的角度。即便如此，实质上也难以实现完全平行地连结，因此，如上述结构那样最好将接缝设为凹形状61。

需要说明的是，在将构成基台1及引导件2的多个构件连结之后，为了消除空气进入的间隙，也可以利用粘接剂等进行接合。但是，若接合的话，则难以进行分解，并且因热膨胀率的不同也可能会产生变形，因此，也可以不接合而仅进行连结。

需要说明的是，上述的凹形状61的深度H和宽度L1的值是一例，例如也可以采用深度H为2mm、宽度L1为30mm等较大的值。

(凹形状61的宽度L1比空气轴承部12的扫描方向41的宽度L2的一半大的原因)

然而，本发明人发现凹形状61的宽度L1比空气轴承部12的扫描方向41的宽度L2的一半大时，可动部11通过凹形状61时的振动变大。以下叙述其原因。

需要说明的是，在以下的说明中，对空气轴承部12配置在引导件2的上方以支承搬运工作台3的自重并防止搬运工作台3的垂直方向旋转(主要是俯仰分量)这样的结构进行说明。但是，在空气轴承部12配置在引导件2的侧面以防止搬运工作台3的水平方向旋转(主要是横摆分量)的情况下、以及在空气轴承部12配置在引导件2的上方及下方这两方以支承搬运工作台3的自重并防止搬运工作台3的垂直方向旋转(主要是俯仰分量)的情况下也能够同样进行考虑。

需要说明的是，如图5的(c)所示，门型台架4、行式头5的位置优选位于比宽度L1靠中央部分的位置。从行式头5向印刷对象物6(图1的(a))涂敷墨液。因此，优选行式头5的位置处的平行度高。

如图6的(a)所示，在可动部11通过接缝的凹形状61时，通过凹形状61的空气轴承部12通常表现出与引导件2的间隙越大则浮起力越小的特性，因此，由于与引导件2的间隙变大而浮起力变弱(箭头21)。为了弥补该变弱的浮起力，使搬运工作台3旋转，由此在箭头22～24的方向上产生力，保持以搬运工作台3的重心为支点的力矩平衡。需要说明的是，图中的箭头示出与平衡状态下的浮起力之间的差量的概念图。

此时，当凹形状61的扫描方向41的宽度L1比空气轴承部12的扫描方向41的宽度L2的一半大时，空气轴承部12的重心来到凹形状61的正上方，因此，相应的空气轴承部12会沉入到凹形状61中。

与此相对，通过搬运工作台3旋转而在箭头22～24的方向上产生力，保持以搬运工作台3的重心为支点的力矩平衡。因此，利用位于更靠近搬运工作台的重心的位置处的空气轴承部12的浮起力来弥补位于离搬运工作台3的重心最远的位置处的空气轴承部12通过凹形状61而变弱的浮起力。因此，需要比减弱的浮起力更大的力。

另一方面，如图6的(b)所示，在凹形状61的宽度L1比空气轴承部12的宽度L2的一半小的情况下，虽然由于引导件2与空气轴承部12的间隙变大而浮起力变弱(箭头25)，但相应的空气轴承部12不会沉入到凹形状61中。

因此，通过使搬运工作台3稍微旋转，就能够利用来自同一空气轴承部12的浮起力来弥补变弱的浮起力(箭头26)。因此，当考虑以搬运工作台3的重心为支点的力矩平衡时，仅产生与变弱的浮起力同样的力即可，与图6的(a)的情况相比，搬运工作台3的旋转量变小。

因而，凹形状61的宽度L1最好设为至少比空气轴承部12的宽度L2的一半小的值。需要说明的是，在本结构中，空气轴承部12的宽度L2为100mm，凹形状61的宽度L1为2mm。

需要说明的是，在即便不在接缝60设置凹形状61也能够以不存在凸部的方式平滑地进行加工的情况下，也可以不设置凹形状61。在设置凹形状61的情况下，最好将宽度L1如上述那样设为至少比空气轴承部12的宽度L2的一半小的值。

(实施方式3)

实施方式3涉及基台1及引导件2的接缝的配置。未说明的事项与实施方式1、2是同样的。需要说明的是，即便采用上述结构，也无法完全地抑制可动部11通过接缝60时产生的振动。即，在可动部11通过接缝60时容易产生振动，若存在进一步抑制该振动的方法，则更为优选。

对此，使用图7、图8，来说明进一步抑制可动部11通过接缝60时产生的振动的方法。

图7是仰视观察搬运工作台3的外观图，示出配置有可动部11及空气轴承部12的图。如图7所示，可动部11及空气轴承部12最好以通过搬运工作台3的中心的扫描方向41的轴及副扫描方向的轴为基准而对称地配置。这样，在支承搬运工作台3的载荷时，能够以搬运工作台3的重心为中心而平衡良好地进行支承。

图8的(a)、图8的(b)是俯视观察基台1及引导件2的图，示出基台1的接缝70及引导件2的接缝60的配置例。图7所示的搬运工作台3沿着引导件2在扫描方向41上行进。

如图8的(a)所示，当引导件2的接缝60存在于副扫描方向42的同一线上时，在如图7所示那样配置于搬运工作台3的可动部11沿扫描方向41行进时，多个空气轴承部12同时地通过接缝60。

如上所述，在空气轴承部12通过接缝60时容易产生振动，根据上述结构，由于例如两个空气轴承部12同时地通过接缝60，因此，通过接缝60而产生的振源的振幅也成为两倍。

对此，如图8的(b)所示，优选引导件2的接缝60不存在于副扫描方向42的同一线上，从而避免多个空气轴承部12同时地通过扫描方向41上的坐标相同的接缝60。这样，能够将通过接缝60时的振动抑制为一半。

需要说明的是，此时，如图4所述，也需要使构成引导件2的所有引导件2的构件(引导件2a、引导件2b)的重心位置位于构成基台1的构件中的一个基准构件的上部，因此，例如如图8的(b)所示那样成为非对称的接缝配置。

此外，由于空气轴承部12通过接缝60时容易产生振动，因此，即便不是扫描方向41上的同一坐标，也优选避免多个空气轴承部12在相同的时机通过接缝60的情况。

对此，如图7所示，在将从搬运工作台3的重心到空气轴承部12的最近的端部为止的扫描方向41上的距离设为N、将从搬运工作台3的重心到空气轴承部12的最远的端部为止的扫描方向41上的距离设为距离F、将上述的凹形状61的扫描方向41上的宽度设为L1时，图8的(b)所示的引导件2的拼接部间的距离X优选满足以下的式1或式2。

2F+L1＜X···(式1)

(F-N)+L1＜X＜2N-L1···(式2)

需要说明的是，在不设置凹形状61而在同一平面内进行加工的情况下，忽略上述式中的凹形状61的扫描方向41上的宽度L1即可。

即，在不存在宽度L1的情况下，引导件2的拼接部间的距离X优选满足以下的式2。

(F-N)＜X＜2N或者2F＜X···(式2)

根据上述结构，能够避免多个空气轴承部12同时通过接缝60的情况。因此，能够抑制可动部11在引导件2上行进时的振动。

需要说明的是，如上所述，构成引导件2的所有引导件2的构件的重心位置需要位于构成基台的构件中的一个基准构件的上部，因此，为了满足式1，假定基台1及引导件2的长度非常长，实质上是困难的，因此，优选满足式2。

在本结构中，将从所述搬运工作台3的中心轴到所述空气轴承部的最近的端部为止的扫描方向上的距离N设为1000m，将从所述搬运工作台3的中心轴到所述空气轴承部的最远的端部为止的扫描方向上的距离F设为1500mm，将凹形状61的扫描方向41上的宽度L1设为2mm，将引导件2的拼接部间的距离X设为1000mm。

需要说明的是，在图7中，空气轴承部12的形状以长方形示出，但为了进一步缓和空气轴承部12通过接缝的凹形状61时行进动作所受到的影响，也可以采用圆形或长孔形状。

需要说明的是，在上述说明中，对空气轴承部12配置在引导件2的上方以支承搬运工作台3的自重并防止搬运工作台3的垂直方向旋转(主要是俯仰分量)的情况进行了说明，但在空气轴承部12配置在引导件2的侧面以防止搬运工作台3的水平方向旋转(主要是横摆分量)的情况下、以及在空气轴承部12配置在引导件2的上方及下方这两方以支承搬运工作台3的自重并防止搬运工作台3的垂直方向旋转(主要是俯仰分量)的情况下也能够同样地进行考虑。

需要说明的是，如图8的(c)所示，门型台架4、行式头5的位置优选位于比多个接缝70靠中央部分的位置。从行式头5向印刷对象物6(图1的(a))涂敷墨液。因此，优选行式头5的位置处的平行度高。

另外，门型台架4、行式头5的位置更优选位于比多个接缝60靠中央部分的位置。

(实施方式4)

实施方式4涉及通过提高接缝通过时的刚性来抑制振动的静压轴承与引导件的间隙的结构。未说明的事项与实施方式1～3是同样的。

使用图9，来说明进一步抑制空气轴承部12通过接缝60的凹形状61时产生的振动的方法。

图9是示出空气轴承部12的刚性与浮起量的关系(特性)的概念图，示出空气轴承部12的刚性M与空气轴承部12从引导件2浮起的浮起量δ的关系。

刚性M在浮起量δ成为规定的值31时取得峰值32，当浮起量δ比规定的值大时，刚性M渐渐地变小。

在通常的设计中，优选设计为使空气轴承部12的刚性M成为最强的值。然而，在本实施方式中，当采用该设计时，在空气轴承部12通过接缝60处的凹形状61之际，由于浮起量δ变大而刚性M变弱。即，在空气轴承部12通过凹形状61时尽管如上所述容易产生初始振动，但刚性也变弱，因此，所述搬运工作台3难以衰减，导致行进精度变差。

对此，优选构成为，将不通过接缝60的通常时的空气轴承部12的浮起量δ设为比刚性M最强时的浮起量δ小的值，在通过凹形状61时使刚性M变得更强。在本结构中构成为，使用就空气轴承部12的特性而言在浮起量δ为约12μm时刚性M成为最大的空气轴承部12，使稳态时的浮起量δ成为10μm。

根据本结构，难以产生振动时(不通过接缝60时)的刚性变弱，但通过增强容易产生振动时(通过接缝60时)的刚性，从而能够抑制可动部11通过接缝60的凹形状61时产生的振动。

需要说明的是，也可以将不通过接缝60的通常时的空气轴承部12的浮起量δ设为比刚性M最强时的浮起量δ大的值，使接缝60的形状稍微凸出，由此，使通过接缝60时的空气轴承部12的刚性比不通过接缝60的通常时的空气轴承部12的刚性强。

即，最好将空气轴承部12的浮起量δ设计为，使通过接缝60时(容易产生振动时)的刚性比不通过接缝60的通常时的刚性强。

(实施方式5)

实施方式5涉及基台的结构和分割方法。未说明的事项与实施方式1～4是同样的。

需要说明的是，目前为止说明了用于使基台1及引导件2沿长条方向加长的结构，但当印刷对象物6的宽度变大时，基台1的副扫描方向42的长度也变长，可能会超过在各国的道路交通法中规定的能够运输的宽度。

因此，基台1最好构成为在图1的(a)的副扫描方向42所示的副扫描方向42上也被分割，能够独立地进行搬运。需要说明的是，如目前为止说明的那样，在搭载引导件2的基台1的上表面要求较高的平面精度，因此，优选构成为基台1的副扫描方向42的接缝60处于比引导件2靠外侧的位置。

需要说明的是，当印刷对象物6的宽度变大时，搬运工作台3的扫描方向41及副扫描方向42的长度也变长，同样有可能超过在各国的道路交通法中规定的能够运输的宽度。因此，搬运工作台3也最好构成为在扫描方向41或副扫描方向42或者这两个方向上也被分割，能够独立地进行搬运。优选构成为搬运工作台3的副扫描方向42的分割处于比引导件2靠外侧的位置。

(实施方式6)

实施方式6涉及使用了大型台的喷墨装置的结构和修正方法。未说明的事项与实施方式1～5是同样的。

图10示出使用了上述的搬运台的喷墨装置的结构例，是从基台1的主面方向进行表示的俯视图。

喷墨装置具备基台1、引导件2、搬运工作台3、门型台架4、行式头5、印刷对象物6及印刷位置观测单元50。搬运工作台3移动，从行式头5喷出墨液。其结果是，向印刷对象物6的涂敷区域涂敷墨液。之后，使涂敷有墨液的印刷对象物6向印刷位置观测单元50的下方移动，利用印刷位置观测单元50算出从行式头5的各喷嘴喷出的各墨液的坐标。以使该算出的坐标与应该涂敷墨液的坐标(理论值)之间的差量成为零的方式控制性地改变从行式头5喷出墨液的时机。

通过采用上述结构，能够利用可动部11通过接缝60的凹形状61时产生的旋转动作，来应对从行式头5向印刷对象物6喷出的坐标从目标值偏离的现象。

工业实用性

本发明的大型台及喷墨装置在向大型的印刷对象物涂敷墨液等的装置中是有效的。具体而言，本发明的大型台及喷墨装置能够应用于在有机EL的发光体、空穴输送层、电子输送层的印刷或彩色滤光片的印刷等中有效地向大型的印刷对象物涂敷墨液等材料的装置。

Claims (10)

1.一种搬运台，其特征在于，包括：

基台，其由多个基台构成；

高度调整部，其能够分别调整所述多个基台的高度；

引导件，其配置在所述基台上，由多个引导件构成；

可动部，其能够沿着所述引导件移动；

搬运工作台，其与所述可动部连接，将基板沿扫描方向搬运；

空气轴承部，其利用气体对所述可动部进行支承；以及

基板搬运部，其与所述搬运工作台连结，

所述多个引导件的重心位置位于所述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方，

所述基准构件以外的所述基台的上表面位于所述基准构件的上表面以下。

2.根据权利要求1所述的搬运台，其中，

与所述空气轴承部对置的所述引导件之间的接缝形成为凹形状，所述凹形状的所述扫描方向上的宽度比所述空气轴承部的所述扫描方向上的宽度的一半小。

3.根据权利要求1所述的搬运台，其中，

多个所述引导件的接缝设置为，在与所述扫描方向垂直的方向即副扫描方向的同一线上不存在多个所述接缝。

4.根据权利要求1所述的搬运台，其中，

在将从所述搬运工作台的中心轴到所述空气轴承部的最近的端部为止的扫描方向上的距离设为N、将从所述搬运工作台的中心轴到所述空气轴承部的最远的端部为止的扫描方向上的距离设为F、将所述凹形状的扫描方向上的宽度设为L1时，所述引导件的接缝之间的所述扫描方向上的距离X满足下式：

(F-N)+L1＜X＜2N-L1，或者，2F+L1＜X。

5.根据权利要求1所述的搬运台，其中，

以使所述空气轴承部不通过所述引导件的接缝的区域的刚性小于所述空气轴承部通过所述引导件的接缝的区域的刚性的方式来决定所述空气轴承部从所述引导件浮起的浮起量。

6.根据权利要求1所述的搬运台，其中，

所述基台是能够在所述副扫描方向上被分割的结构，

所述基台的副扫描方向上的接缝处于比所述引导件靠外侧的位置。

7.一种喷墨装置，其特征在于，具有：

至少一个以上的台架，其配置为跨越权利要求1所述的搬运台；

行式头，其固定于所述台架，且向所述搬运工作台上的印刷对象物喷出墨液；

印刷位置观测单元，其获取从所述行式头喷出的液滴坐标；以及

控制部，其使用由所述印刷位置观测单元获得的所述液滴坐标，来修正从所述行式头喷出墨液的喷出时机。

8.根据权利要求7所述的喷墨装置，其中，

所述行式头位于所述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方。

9.根据权利要求7所述的喷墨装置，其中，

所述行式头位于在扫描方向上比所述引导件之间的接缝靠所述喷墨装置的中央侧的位置。

10.根据权利要求7所述的喷墨装置，其中，

所述行式头位于在扫描方向上比所述基台的接缝靠所述喷墨装置的中央侧的位置。