JPH05310934A - 接着性ポリイミドフィルムの製造方法 - Google Patents

接着性ポリイミドフィルムの製造方法

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JPH05310934A
JPH05310934A JP4144890A JP14489092A JPH05310934A JP H05310934 A JPH05310934 A JP H05310934A JP 4144890 A JP4144890 A JP 4144890A JP 14489092 A JP14489092 A JP 14489092A JP H05310934 A JPH05310934 A JP H05310934A
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Koichi Kunimune
弘一 国宗
Yoshihiro Soeda
義弘 添田
Setsuo Itami
節男 伊丹
Kazutsune Kikuta
一恒 菊田
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Chisso Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 プレス時に於て、低温加熱によっても銅ある
いはポリイミドフィルムに対して高接着性を有するポリ
イミドフィルムの製造法を提供すること。 【構成】 一般式 【化1】 で示されるテトラカルボン酸二無水物、一般式 【化2】 で示されるジアミン、一般式 【化3】 で示されるジアミノシロキサン、及び一般式 【化4】 で示されるアミノシランを一定条件下で反応して得られ
たポリイミド前駆体溶液を基板に塗布、加熱、硬化する
接着性ポリイミドフィルムの製造法。 【効果】 比較的低温加熱で高接着性で耐熱性のあるポ
リイミドフィルムの製造を可能にした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は低温硬化が可能な耐熱性
の接着性ポリイミドフィルムの製造法に関する。
【0002】
【従来の技術及びその問題点】従来、熱接着フィルムは
プリント配線板の基板と回路基板の接着、フレキシブル
プリント配線板の多層板作成の際の接着などエレクトロ
ニクス関連分野において幅広く使用されている。これら
の分野にはエポキシ系、ウレタン系、ポリエステル系、
ニトリルゴム系あるいはアクリル系の樹脂などが検討さ
れている。しかしながら、これらの樹脂は必ずしも耐熱
性が十分ではない場合もあり、耐熱性の面からポリイミ
ド樹脂が検討されてきた。ポリイミド樹脂は接着時に高
温加熱が必要であるため、加熱温度を下げるための努力
が続けられてきた。例えば特定の構造のポリイミドを用
いるか(特開平2−180980号公報)、あるいは特
定の構造のポリイミドにビスマレイミド、エポキシ樹脂
などを添加して樹脂の軟化点を低下させる方法(特開昭
62−30122号公報、特開昭62−232475号
公報、特開昭62−235382号公報、特開昭62−
235383号公報、特開平1−289862号公報、
特開平2−124971号公報、特開平2−13878
8号公報、特開平2−138789号公報、特開平2−
151681号公報、特開平2−158681号公報、
特開平2−204029号公報、特開平2−27476
2号公報、特開平3−14890号公報など)などが提
案されている。しかしこれらの方法も軟化点の低下が不
十分であるか、あるいはポリイミドの耐熱性を損なうな
ど問題点を有している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明者等は、種々検
討の結果、特定の構造のテトラカルボン酸二無水物、ジ
アミン、ジアミノシキロサン及びアミノシランから得ら
れたポリイミドフィルムが比較的低温で加熱圧着しても
高接着性を有することを見いだし本発明を完成するに至
った。以上の記述から明らかなように、本発明の目的
は、上記の問題点を解決することであり、特定の構造の
シリコンポリイミドを用いることにより、比較的低温で
加熱圧着しても高接着性を有するポリイミドフィルムの
製造法を提供することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、下記(1) およ
び(2) の構成を有する。 (1) 一般式(I)で示されるテトラカルボン酸二無水物
のAモル、一般式(II)で示されるジアミンBモル、一
般式(III)で示されるジアミノシロキサンCモル、及び
一般式(IV)で示されるアミノシランDモルを有機溶媒
の存在下、前記B、Cに係る式(V) 、及び前記B、
C、Dに係る(VI)を満たす条件下に混合し、0〜15
0℃の温度で反応を行うことにより得られるポリイミド
前駆体溶液を基板に塗布した後、加熱、硬化することを
特徴とする接着性ポリイミドフィルムの製造方法。
【化19】
【化20】
【化21】
【化22】
【数3】
【数4】 (ただし、一般式(I)〜(IV)においてL1 はそれぞ
れ独立に−O−、−CO−、−SO2 −、−S−、また
は−C(R42 −(ただしR4 は−CH3 、−CF3
またはHである)であり、R1 、R5 はそれぞれ独立に
炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、または炭素数
7〜12のアルキル置換フェニル基であり、R2 、R3
はそれぞれ独立に一般式(VII)〜(X) に示すいづれか
の基であり、エルは1≦エル≦100でありmは1<m
≦3であり、Sは1〜4の整数であり、Xは独立にアル
コキシ基、アセトキシ基またはハロゲンを表す)。
【0005】(2) 一般式(XI)で示される反復単位を主
成分とするシリコン変成した接着性ポリイミドフィルム
と被接着物とを加熱圧着して複合体を製造するに際し、
その最終硬化温度が130〜230℃であることを特徴
とするポリイミドフィルム複合体の製造法。
【0006】まず本発明に係る高接着性ポリイミドフィ
ルムを与えるポリイミド前駆体溶液の製造法について述
べる。本発明で用いられるポリイミド前駆体溶液は前記
一般式(I)〜(IV)で示されるそれぞれテトラカルボ
ン酸二無水物、ジアミン、ジアミノシロキサン及びアミ
ノシランを有機溶媒中で反応させることによって得られ
る。
【0007】次にポリイミド前駆体溶液を製造するため
の原料について述べる。
【0008】前記一般式(I)で示されるテトラカルボ
ン酸二無水物の具体例として次の化合物を挙げることが
できるが必ずしもこれらに限定されるものではない。
3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物、2,3,3’4’−ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボ
キシフェニル)−エ−テル二無水物、ビス(2,3−ジ
カルボキシフェニル)−エ−テル二無水物、2,3,
3’,4’−テトラカルボキシビフェニル−エ−テル二
無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−スル
ホン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフ
ェニル)−ヘキサフロロプロンパン二無水物、ビス
(3,4−ジカルボキシフェニル)−スルフィド二無水
物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−メタン二
無水物。2,2−ビス(3,4−ジカルボンキシフェニ
ル)−プロパン二無水物等。ただし、反応に使用する全
テトラカルボン酸二無水物の20モル%を限度として前
記一般式(I)で示される化合物以外の公知のテトラカ
ルボン酸二無水物を使用することができる。その具体例
を以下に列挙する。ピロメリット酸二無水物、3,
3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物、2,3,3’4’−ビフェニルテトラカルボ
ン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタリンテトラカル
ボン酸二無水物、シクロブタンテトラカルボン酸二無水
物、メチルシクロブタンテトラカルボン酸二無水物、
1,2,3,4−テトラカルボキシブタン二無水物。
【0009】一般式(II)で示されるジアミンとして次
の化合物を挙げることができるが必ずしもこれらに限定
されるものではない。
【化23】
【化24】 ただし、反応に使用される一般式(II)で示される全ジ
アミンのうち20モル%を限度として一般式(II)で示
されるジアミン以外の公知のジアミンを使用することが
できる。その具体例を以下に示す。オルトフェニレンジ
アミン、メタフェニレンジアミン、パラフェニレンジア
ミン、1,5−ジアミノナフタレン、1,8−ジアミノ
ナフタレン。1,4−ジアミノトルエン、メタキシリレ
ンジアミン、2,2’−ジメチルベンジジン、トリメチ
レンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレ
ンジアミン、4,4−ジメチルヘプタメチレンジアミ
ン、2,11−ドデカンジアミン、ビス−(パラアミノ
フェノキシ)ジメチルシラン、1,4−ビス(3−アミ
ノプロピルジメチルシリル)ベンゼン、1,4−ジアミ
ノシクロヘキサン、ビス(4−アミノシクロヘキシン)
メタン、イソホロンジアミン、アセトグアナミン、ベン
ゾグアナミン。
【0010】一般式(III)で示されるジアミノシロキサ
ンとして次の化合物を挙げることができるが必ずしもこ
れらに限定されるものではない。
【化25】
【化26】
【化27】
【化28】
【化29】
【化30】
【化31】
【化32】
【0011】一般式(IV)で示されるアミノシランとし
て次の化合物を挙げることができるが必ずしもこれらに
限定されるものではない。アミノメチル−ジ−n−プロ
ポキシ−メチルシラン、(β−アミノエチル)−ジ−n
−プロポキシ−メチルシラン、(β−アミノエチル)−
ジエトキシ−フェニルシラン、(β−アミノエチル)−
トリ−n−プロポキシシラン、(β−アミノエチル)−
ジメトキシ−メチルシラン、(γ−アミノプロピル)−
ジ−n−プロポキシ−メチルシラン、(γ−アミノプロ
ピル)−ジ−n−ブトキシ−メチルシラン、(γ−アミ
ノプロピル)トリメトキシシラン、(γ−アミノプロピ
ル)トリエトキシシラン、(γ−アミノプロピル)−ジ
−n−ペントキシ−フェニルシラン、(γ−アミノプロ
ピル)−メトキシ−n−プロポキシ−メチルシラン、
(δ−アミノブチル)−ジメトキシ−メチルシラン、
(3−アミノフェニル)−ジ−n−プロポキシシラン、
(4−アミノフェニル)−トリ−n−プロポキシシラ
ン、{β−(4−アミノフェニル)−エチル}−ジエト
キシ−メチルシラン、{β−(3−アミノフェニル)−
エチル}−ジ−n−プロポキシ−フェニルシラン、{γ
−(4−アミノフェニル)−プロピル}−ジ−n−プロ
ポキシ−メチルシラン、{γ−(4−アミノフェノキ
シ)−プロピル}−ジ−n−プロポキシ−メチルシラ
ン、{γ−(3−アミノフェノキシ)−プロピル}−ジ
−ブトキシ−メチルシラン、{γ−(3−アミノフェノ
キシ)−プロピル}−ジ−メチル−ジメトキシシラン、
(γ−アミノプロピル)−メチル−ジエトキシシラン、
(γ−アミノプロピル)−エチル−ジ−n−プロポキシ
シラン、(4−アミノフェニル)−トリメトキシシラ
ン、(3−アミノフェニル)−トリ−メトキシシラン、
(4−アミノフェニル)−メチル−ジメトキシシラン、
(3−アミノフェニル)−ジメチル−メトキシシラン、
(4−アミノフェニル)−トリエトキシシラン。
【0012】本発明において上記の原料化合物を溶媒中
で反応させるための好ましい溶媒(以下反応溶媒という
ことがある)として、N−メチル−2−ピロリドン、
N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホル
ムアミド、ジメチルスルホキシド、テトラメチル尿素、
ピリジン、ヘキサメチルホスホルアミド、メチルホルム
アミド、N−アシチル−2−ピロリドン、2−メトキシ
エタノール、2−エトキシエタノール、2−ブトキシエ
タノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、
ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレン
グリコールモノブチルエーテル、シクロペンタノン、シ
クロヘキサノン、クレゾール、γ−ブチロラクトーン、
イソホロン、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−
ジエチルホルムアミド、N,N−ジメチルメトキシアセ
トアミド、テトラヒドロフラン、N−メチル−ε−カプ
ロラクタム、テトラヒドロチオフェンジオキシド{スル
フォラン(sulpholane)}を挙げることがで
きる。また、この反応は上記の有機溶媒を、混合して得
られる混合溶媒中でも行うことができる。更に、上記の
好ましい有機溶媒を、他の非プロトン性(中性)有機溶
媒、例えば、芳香族、脂環式もしくは脂肪族炭化水素、
またはそれらの塩素化誘導体(例えば、ベンゼン、トル
エン、キシレン類、シクロヘキサン、ペンタン、ヘキサ
ン、石油エーテル、塩化メチレンなど)、またはジオキ
サンなどで希釈したものを用いることもできる。
【0013】本発明で使われるポリイミド前駆体溶液の
製造法について説明する。
【0014】上述したテトラカルボン酸二無水物、ジア
ミン、ジアミノシロキサン及びアミノシランを有機溶媒
中で常法に従って反応を行う。これらの原料の混合比は
前記式(V) 及び(VI)に従って行われる。式(V) にお
いてジアミンとジアミノシロキサンとの好ましい比率を
表している。この範囲をはずれた混合比では低温での接
着性の優れたポリイミドフィルムを得ることはできな
い。式(VI)において全アミン類中のアミノシランの好ま
しい範囲を示している。この範囲をはずれてアミノシラ
ンの比率が少ないときにはえられたフィルムの強度が弱
い場合、あるいは接着強度が弱い場合があり好ましくな
い。逆にこの範囲をはずれてアミノシランの比率が多い
時には得られたフィルムが脆くなり、接着強度も弱くな
る。全アミン類とテトラカルボン酸二無水物の比はほぼ
等モルが好ましい。しかし10%以内の範囲内ならどち
らかが過剰も構わない。原料であるテトラカルボン酸二
無水物、ジアミン、ジアミノポリシロキサン及びアミノ
シランのいずれにおいても2種類以上の化合物を用いる
こともできる。反応は有機溶媒中で行われ、その際のポ
リマー濃度は60重量%以下が好ましい。実用上は10
〜40重量%が特に好ましい。各原料成分の添加順序は
どのような順序でも良い。例えばジアミンの全量とそれ
のほぼ等モルのテトラカルボン酸二無水物を反応させた
後、ジアミノシロキサンの全量とそれのほぼ等モルのテ
トラカルボン酸二無水物を反応させ、更に残りのテトラ
カルボン酸二無水物とアミノシランの全量を反応させた
場合にはブロックコポリマーが得られる。逆に各原料成
分を同時に添加して反応を行った場合にはランダムコポ
リマーを得ることができる。これらの中間的な構造のポ
リマーも得ることができる。反応温度は0〜150℃が
好ましい。反応温度が低い場合には得られたポリマーは
ポリアミド酸であるが、反応温度が高くなるにつれポリ
マー中のイミド基の比率が増加してくる。反応温度が1
50℃を越えるとポリマーが不溶化したり、あるいはゲ
ル化する場合があり好ましくない。反応時間は数十分〜
数十時間であるが、1〜30時間位が特に好ましい。
【0015】このようにして得られたポリイミド前駆体
溶液は基板上に流延し、加熱、硬化することにより本発
明の接着性ポリイミドフィルムを得ることができる。加
熱により溶媒を揮散させると共にアミド酸をイミド化す
る。従って加熱温度は60〜200℃位が好ましい。溶
液中のポリマーがほぼイミド化されている場合には加熱
温度は低くてもよいが、アミド酸の場合には高めの加熱
温度が必要である。イミド化を完結させるために三級ア
ミンなどのイミド化促進剤を添加しておくこともでき
る。加熱時にはポリマー末端に存在するアルコキシ基、
アセトキシ基、あるいはハロゲンなどの加水分解性基が
反応しシロキサン縮合反応により架橋し、高分子量化す
る。加熱後基板とフィルムがはがしにくい場合には低め
の温度で加熱後フィルムを基板からはがし、フィルムを
固定して更に高温で加熱することにより避けられる。
【0016】本発明の接着性ポリイミドフィルムは被接
着物と共に加熱圧着することにより複合体を得ることが
できる。この場合の加熱温度は100〜350℃位であ
るが、実用上十分な接着強度を有するためには130℃
以上の加熱温度が好ましく、また被接着物を変質させな
いためには低めの加熱温度が好ましい。このような観点
から本発明の接着性ポリイミドフィルムの場合130〜
230℃の加熱温度が特に好ましい。
【0017】本発明の接着性ポリイミドフィルムは銅箔
及びポリイミドフィルムに対して低温加熱でも良好な接
着性を有するために、プリント配線板の基板と回路基板
の接着。フレキシブルプリント配線板の多層板作成の際
の接着などのエレクトロニクス関連分野においては勿論
ボンディングフィルムあるいはシートとして広くその応
用が考えられる。
【0018】以下、実施例及び比較例によって、本発明
を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に
より限定されるものではない。
【0019】実施例1 攪拌装置、温度計、コンデンサー及び窒素導入管を備え
た1リットルのフラスコ内を窒素ガスにより置換した
後、ジエチレングリコールジメチルエーテル(以下ジグ
ライムと略称する)344g、N,N−ジメチルアセト
アミド40g(以下DMACと略称する)及びエタノー
ル16gを投入した。次に攪拌下、4,4’−ビス(4
−アミノフェノキシ)ビフェニル(以下BAPBと略称
する)30.85g(0.0837モル)ω,ω’−ビ
スアミノプロピルポリジメチルシロキサン(以下FMと
略称する。分子量660)138.19g(0.209
モル)、4−アミノフェニルトリエトキシシラン(以下
APMSと略称する)1.90g(0.00892モ
ル)及び3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物(以下BTDAと略称する)96.0
5g(0.298モル)を添加し、30℃で20時間反
応を行いポリイミド前駆体溶液を得た。この溶液をポリ
エステルフィルム上にコーターにより均一に塗布した
後、オーブン中150℃、1時間乾燥することにより膜
厚約30μmの本発明のポリイミドフィルムを得た。
【0020】実施例2 実施例1と同様の装置及び方法により、ジグライム30
0g、DMAC84g、エタノール16g、4,4’−
オキシジフタル酸二無水物(以下ODPAと略称する)
91.75g(0.296モル)、BAPB22.77
g(0.0618モル)及びFM(分子量660)14
9.55g(0.227モル)を混合し30℃で15時
間反応を行った後、3−アミノプロピルトリエトキシシ
ラン(以下APS−Eと略称する)を添加して3時間反
応を行いポリイミド前駆体溶液を得た。この溶液を同様
に塗布した後、150℃、1時間乾燥することにより膜
厚約30μmの本発明のポリイミドフィルムを得た。
【0021】実施例3 実施例1と同様の装置及び方法により、ジグライム19
0g、DMAC190g、エタノール20g、ジフェニ
ルスルフォン−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸
二無水物98.94g(0.276モル)及びBAPB
9.05g(0.0246モル)を混合し、30℃で2
時間反応を行った後、FM(分子量660)145.9
2g(0.221モル)及びAPMS13.08g
(0.0614モル)を添加し、40℃で10時間反応
を行いポリイミド前駆体溶液を得た。この溶液を同様に
塗布した後、150℃、1時間乾燥することにより膜厚
約30μmの本発明のポリイミドフィルムを得た。
【0022】実施例4 実施例1と同様の装置及び方法により、DMAC360
g、エタノール40g、ヘキサフロロイソプロピリデン
−2,2−ビス(フタリックアンハイドライド)11
1.92g(0.252モル)、BAPB13.08g
(0.0355モル)及びFM(分子量660)14
0.56g(0.213モル)を混合し40℃で10時
間反応を行った後、APS−E1.43g(0.006
47モル)添加し、この温度で更に5時間反応を行いポ
リイミド前駆体溶液を得た。この溶液を同様に塗布した
後、150℃、1時間乾燥することにより膜厚約30μ
mの本発明のポリイミドフィルムを得た。
【0023】実施例5 実施例1と同様の装置及び方法により、ジグライム10
0g、DMAC300g、ODPA70.99g(0.
229モル)、APMS1.75g(0.00822モ
ル)FM(分子量1530)147.06g(0.09
61モル)を混合し、50℃で10時間反応を行った
後、BAPB47.21g(0.128モル)を添加し
て、50℃で15時間反応を行いポリイミド前駆体溶液
を得た。この溶液を同様に塗布した後、150℃、1時
間乾燥することにより膜厚約30μmの本発明のポリイ
ミドフィルムを得た。
【0024】実施例6 実施例1と同様の装置及び方法によりジグライム190
g、DMAC200g、エタノール10g、ODPA9
4.13g(0.303モル)、BAPB47.11g
(0.128モル)、メタフェニレンジアミン2.30
g(0.0213モル)、FM(分子量814)12
1.45g(0.149モル)及びAPS−E2.01
g(0.00910モル)を混合し、50℃で15時間
反応を行うことにより、ポリイミド前駆体溶液を得た。
この溶液を同様に塗布した後、150℃、1時間乾燥す
ることにより膜厚約30μmの本発明のポリイミドフィ
ルムを得た。
【0025】比較例1 実施例1と同様の装置及び方法により、ジグライム34
4g、DMAC40g、エタノール16g、BAPB3
1.26g(0.0849モル)、FM(分子量66
0)140.02g(0.212モル)及びBTDA9
5.70g(0.297モル)を混合し、30℃で20
時間反応を行いポリイミド前駆体溶液を得た。この溶液
を塗布した後、150℃、1時間乾燥することにより膜
厚約30μmのポリイミドフィルムを得た。
【0026】比較例2 実施例1と同様の装置及び方法により、DMAC400
g、BTDA46.66g(0.145モル)及びBA
PB53.34g(0.145モル)を混合し、30℃
で20時間反応を行いポリイミド前駆体を得た。この溶
液を塗布した後、150℃、1時間乾燥することにより
膜厚約30μmのポリイミドフィルムを得た。
【0027】実施例7.剥離接着強さ試験 実施例1〜6及び比較例1〜2で作成した8種類の各ポ
リイミドフィルムを2枚の銅箔{日鉱グールドフォイル
(株)製JIC1.0oz.}の間にはさみ、200℃
に保ったプレス機で100kg/mm2 15分間圧着し
試験片を作成した。この試験片(幅10mm)の上下の
銅箔の片端を1800 の角度で引っ張り(引っ張り速度
50mm/分)その強度を引っ張り試験機{東洋精機
(株)製ストログラフM50}により測定した。また、
銅箔の代わりにポリイミドフィルム{東レデユポン
(株)製カプトン300H}を用いて同様の試験を行い
その結果を合わせて表1に示した。これらの結果によれ
ば本発明のポリイミドフィルムの優れた接着性が明らか
である。なお参考のために実施例1〜6及び比較例1〜
2で作成したポリイミドの原料比率を表2にまとめて示
した。
【0028】
【表1】
【0029】
【表2】

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一般式 (I) で示されるテトラカルボン
    酸二無水物のAモル、一般式(II)で示されるジアミンB
    モル、一般式(III) で示されるジアミノシロキサンCモ
    ル、及び一般式(IV)で示されるアミノシランDモルを有
    機溶媒の存在下、前記B、Cに係る式 (V) 、及び前記
    B、C、Dに係る式(VI)を満たす条件下に混合し、0〜
    150℃の温度で反応を行うことにより得られるポリイ
    ミド前駆体溶液を基板に塗布した後、加熱、硬化するこ
    とを特徴とする接着性ポリイミドフィルムの製造方法。 【化1】 【化2】 【化3】 【化4】 【数1】 【数2】 (ただし、一般式 (I) 〜(IV)においてL1 はそれぞれ
    独立に−O−、−CO−、−SO2 −、−S−、または
    −C(R42 −(ただしR4 は−CH3 、−CF3
    たはHである)であり、R1 、R5 はそれぞれ独立に炭
    素数1〜6のアルキル基、フェニル基、または炭素数7
    〜12のアルキル置換フェニル基であり、R2 、R3
    それぞれ独立に一般式(VII) 〜 (X) に示すいづれかの
    基であり、エルは1≦エル≦100でありmは1<m≦
    3であり、Sは1〜4の整数であり、Xは独立にアルコ
    キシ基、アセトキシ基またはハロゲンを表す)。 【化5】 【化6】 【化7】 【化8】
  2. 【請求項2】 一般式(XI)で示される反復単位を主成分
    とするシリコン変成した接着性ポリイミドフィルムと被
    接着物とを加熱圧着して複合体を製造するに際し、その
    最終硬化温度が130〜230℃であることを特徴とす
    るポリイミド複合体の製造法。 【化9】 {ただし、一般式(XI) において、L1 は、独立に−O
    −、−CO−、−SO2−、−S−、または−C(R
    42 −(ただしR4 は−CH3 、−CF3 またはHで
    ある)であり、R3 は独立に一般式(VII)〜(X) に示
    すいづれかの基であり、(SILO)は一般式(XII)で
    示され、一般式(XII)においてR5 は独立に炭素数1〜
    6のアルキル基、フェニル基、または炭素数7〜12の
    アルキル置換フェニル基であり、(PI)は、一般式
    (XIII) で示され、p及びqは式(XIV)及び式(XV)を満
    たすものとする。 【化10】 【化11】 【化12】 【化13】 【化14】 【化15】 【化16】 【化17】 【化18】
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CN115315462A (zh) * 2020-03-24 2022-11-08 东丽株式会社 树脂膜、其制造方法、树脂组合物、显示器及其制造方法

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