JPH0529427A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【構成】フレーム5を残す。外部リード4が直線状の状
態のままフレーム5から切離した状態で特性試験を行な
う。 【効果】外部リードが直線状であるため、テスト治具に
電気的に確実に接続することができ接触不良を防止でき
る。取扱い中に外部リードに触れる機会は大幅に減少す
るため、曲げ等の変形が生じ接触不良の原因となること
もなくなる。
態のままフレーム5から切離した状態で特性試験を行な
う。 【効果】外部リードが直線状であるため、テスト治具に
電気的に確実に接続することができ接触不良を防止でき
る。取扱い中に外部リードに触れる機会は大幅に減少す
るため、曲げ等の変形が生じ接触不良の原因となること
もなくなる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置の製造方法に
関し、特に特性試験に用いるフラットパッケージ等の樹
脂封止型の半導体装置の製造方法に関する。
関し、特に特性試験に用いるフラットパッケージ等の樹
脂封止型の半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の半導体装置の製造方法
は、図2に示すように、リードフレームのアイランド1
に固着した半導体チップ2のパッド3と外部リード10
とを金属細線6で接続し、封止用の樹脂8により樹脂封
止後、リードフレームのフレームを切断し、樹脂8の側
面から伸びる外部リード10を基板実装用にフオーミン
グして完成するというものであった。
は、図2に示すように、リードフレームのアイランド1
に固着した半導体チップ2のパッド3と外部リード10
とを金属細線6で接続し、封止用の樹脂8により樹脂封
止後、リードフレームのフレームを切断し、樹脂8の側
面から伸びる外部リード10を基板実装用にフオーミン
グして完成するというものであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
装置の製造方法は、外部リードがフオーミングされてい
るため、特性試験を実施するときのテスト治具への装着
時に接触不良を発生しやすいという欠点があった。ま
た、取扱い中に外部リードに触れる機会が多く、外部リ
ードを曲げる等の変形を起し、接触不良の原因となりや
すいという欠点があった。
装置の製造方法は、外部リードがフオーミングされてい
るため、特性試験を実施するときのテスト治具への装着
時に接触不良を発生しやすいという欠点があった。ま
た、取扱い中に外部リードに触れる機会が多く、外部リ
ードを曲げる等の変形を起し、接触不良の原因となりや
すいという欠点があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置の製
造方法は、四角形状のフレームの中央にアイランドが連
結部材を介して支持されるとともに前記アイランドの側
面方向に外方に伸びる外部リードを有するリードフレー
ムの前記アイランドに半導体チップを固着し、前記半導
体チップのパッドと前記外部リードとを金属細線で接続
し、前記半導体チップを樹脂封止した後前記連結部材以
外の前記外部リードを前記フレームより切離し、前記半
導体チップの特性試験を行なうことを特徴とするもので
ある。
造方法は、四角形状のフレームの中央にアイランドが連
結部材を介して支持されるとともに前記アイランドの側
面方向に外方に伸びる外部リードを有するリードフレー
ムの前記アイランドに半導体チップを固着し、前記半導
体チップのパッドと前記外部リードとを金属細線で接続
し、前記半導体チップを樹脂封止した後前記連結部材以
外の前記外部リードを前記フレームより切離し、前記半
導体チップの特性試験を行なうことを特徴とするもので
ある。
【0005】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【0006】図1は本発明の半導体装置の製造方法の一
実施例を示す部分破断平面図である。
実施例を示す部分破断平面図である。
【0007】本実施例の半導体装置の製造方法は、図1
に示すように、矩形状のフレーム5の中心にアイランド
1が吊りピン7を介して支持され、アイランド1の側面
方向に外方に伸びる外部リード4を有するリードフレー
ムを用い、アイランド1に固着した半導体チップ2のパ
ッド3と外部リード4とを金属細線6で接続し、封止用
の樹脂8により樹脂封止後、外部リード4とフレーム5
との間を切離す。
に示すように、矩形状のフレーム5の中心にアイランド
1が吊りピン7を介して支持され、アイランド1の側面
方向に外方に伸びる外部リード4を有するリードフレー
ムを用い、アイランド1に固着した半導体チップ2のパ
ッド3と外部リード4とを金属細線6で接続し、封止用
の樹脂8により樹脂封止後、外部リード4とフレーム5
との間を切離す。
【0008】したがって、フレーム5は機械的には、吊
りピン7を介して樹脂8により樹脂封止した半導体装置
を支持するという状態である。外部リード4は、フレー
ム5とは電気的には絶縁された状態であり、また、フオ
ーミングをされていない直線状のままである。
りピン7を介して樹脂8により樹脂封止した半導体装置
を支持するという状態である。外部リード4は、フレー
ム5とは電気的には絶縁された状態であり、また、フオ
ーミングをされていない直線状のままである。
【0009】また、フレーム5には、位置決め用の送り
穴9が設けてある。
穴9が設けてある。
【0010】次に、本実施例の動作について説明する。
【0011】電気的な特性試験を実施するときには、図
1に示すようなフレーム5を残し、外部リードが直線状
の状態でテスト治具に実装して実施する。フレーム5に
より保護されるので、特性試験中における半導体装置の
取扱い中に外部リード4に触れる機会は大幅に減少し、
これを曲げる等の変形が生じることもなくなる。また、
外部リードが直線状であるため、容易に電気的に確実に
接続することができる。
1に示すようなフレーム5を残し、外部リードが直線状
の状態でテスト治具に実装して実施する。フレーム5に
より保護されるので、特性試験中における半導体装置の
取扱い中に外部リード4に触れる機会は大幅に減少し、
これを曲げる等の変形が生じることもなくなる。また、
外部リードが直線状であるため、容易に電気的に確実に
接続することができる。
【0012】特性試験終了後は、フレーム5を切離し、
外部リード4を従来と同様にフオーミングして半導体装
置を完成する。
外部リード4を従来と同様にフオーミングして半導体装
置を完成する。
【0013】以上、本発明の実施例を説明したが、本発
明は上記実施例に限られることなく種々の変形が可能で
ある。
明は上記実施例に限られることなく種々の変形が可能で
ある。
【0014】たとえば、外部リードの一部を接地のため
フレーム5に接続したままの連結部材として試験を実施
することも、本発明の主旨を逸脱しない限り適用できる
ことは勿論である。
フレーム5に接続したままの連結部材として試験を実施
することも、本発明の主旨を逸脱しない限り適用できる
ことは勿論である。
【0015】また、上記のリード成形と、フレーム切離
しとは、同一の金型を用いて一工程で実施することも、
本発明の主旨を逸脱しない限り適用できることは勿論で
ある。
しとは、同一の金型を用いて一工程で実施することも、
本発明の主旨を逸脱しない限り適用できることは勿論で
ある。
【0016】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体装
置の製造方法は、フレームを残し、外部リードが直線状
の状態のままフレームから切離した状態で特性試験を行
なうことにより、外部リードが直線状であるため、テス
ト治具に電気的に確実に接続することができ接触不良を
防止できるという効果がある。また、取扱い中に外部リ
ードに触れる機会は大幅に減少するため、曲げ等の変形
が生じ接触不良の原因となることもなくなるという効果
がある。
置の製造方法は、フレームを残し、外部リードが直線状
の状態のままフレームから切離した状態で特性試験を行
なうことにより、外部リードが直線状であるため、テス
ト治具に電気的に確実に接続することができ接触不良を
防止できるという効果がある。また、取扱い中に外部リ
ードに触れる機会は大幅に減少するため、曲げ等の変形
が生じ接触不良の原因となることもなくなるという効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置の製造方法の一実施例を示
す部分破断平面図である。
す部分破断平面図である。
【図2】従来の半導体装置の製造方法の一例を示す部分
破断断面図である。
破断断面図である。
1 アイランド
2 半導体チップ
3 パッド
4,10 外部リード
5 フレーム
6 金属細線
7 吊りピン
8 樹脂
9 送り穴
Claims (2)
- 【請求項1】 四角形状のフレームの中央にアイランド
が連結部材を介して支持されるとともに前記アイランド
の側面方向に外方に伸びる外部リードを有するリードフ
レームの前記アイランドに半導体チップを固着し、 前記半導体チップのパッドと前記外部リードとを金属細
線で接続し、 前記半導体チップを樹脂封止した後前記連結部材以外の
前記外部リードを前記フレームより切離し、 前記半導体チップの特性試験を行なうことを特徴とする
半導体装置の製造方法。 - 【請求項2】 前記特性試験の終了後前記フレームを切
離すと同時に前記外部リードを成形することを特徴とす
る請求項1記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3182847A JPH0529427A (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | 半導体装置の製造方法 |
US07/916,396 US5242838A (en) | 1991-07-24 | 1992-07-20 | Method of manufacturing a semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3182847A JPH0529427A (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0529427A true JPH0529427A (ja) | 1993-02-05 |
Family
ID=16125504
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3182847A Pending JPH0529427A (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5242838A (ja) |
JP (1) | JPH0529427A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9279667B2 (en) | 2012-03-09 | 2016-03-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Aspheric surface measuring method, aspheric surface measuring apparatus, optical element producing apparatus and optical element |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5919712A (en) | 1993-05-18 | 1999-07-06 | University Of Utah Research Foundation | Apparatus and methods for multi-analyte homogeneous fluoro-immunoassays |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5541761A (en) * | 1978-09-19 | 1980-03-24 | Nec Corp | Manufacturing semiconductor device |
JPS5563854A (en) * | 1978-11-08 | 1980-05-14 | Nec Kyushu Ltd | Method of manufacturing semiconductor device |
JPS5588350A (en) * | 1978-12-27 | 1980-07-04 | Hitachi Ltd | Manufacture of semiconductor device |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4716124A (en) * | 1984-06-04 | 1987-12-29 | General Electric Company | Tape automated manufacture of power semiconductor devices |
US4874722A (en) * | 1987-04-16 | 1989-10-17 | Texas Instruments Incorporated | Process of packaging a semiconductor device with reduced stress forces |
JPH0828455B2 (ja) * | 1988-02-24 | 1996-03-21 | 富士通株式会社 | リードフレーム及びそれを用いた電子部品の製造方法 |
US4985988A (en) * | 1989-11-03 | 1991-01-22 | Motorola, Inc. | Method for assembling, testing, and packaging integrated circuits |
US5139973A (en) * | 1990-12-17 | 1992-08-18 | Allegro Microsystems, Inc. | Method for making a semiconductor package with the distance between a lead frame die pad and heat spreader determined by the thickness of an intermediary insulating sheet |
US5133118A (en) * | 1991-08-06 | 1992-07-28 | Sheldahl, Inc. | Surface mounted components on flex circuits |
-
1991
- 1991-07-24 JP JP3182847A patent/JPH0529427A/ja active Pending
-
1992
- 1992-07-20 US US07/916,396 patent/US5242838A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS5563854A (en) * | 1978-11-08 | 1980-05-14 | Nec Kyushu Ltd | Method of manufacturing semiconductor device |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5242838A (en) | 1993-09-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19971224 |