JPH0528424A - 磁気ヘツド用コアチツプの製造方法 - Google Patents
磁気ヘツド用コアチツプの製造方法Info
- Publication number
- JPH0528424A JPH0528424A JP17933891A JP17933891A JPH0528424A JP H0528424 A JPH0528424 A JP H0528424A JP 17933891 A JP17933891 A JP 17933891A JP 17933891 A JP17933891 A JP 17933891A JP H0528424 A JPH0528424 A JP H0528424A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フロッピーディスクドライブ装置に用いられ
る磁気ヘッド用コアチップにおいて、高精度で所定のト
ラック形状が安定して得られる製造方法を提供する。 【構成】 記録再生用コアバー１１と消去用コアバー１
２とをスペーサー１３を介して接合して一体としたコア
バーブロック１４にイオンミリングにより記録再生用ト
ラックと消去用トラックとを同時に形成し、その後コア
チップに切断する。 【効果】 この方法によれば、両トラックの位置合わせ
が不要となって高精度のコアチップが得られ、また砥石
を用いないので安定したトラック形状が得られる。
る磁気ヘッド用コアチップにおいて、高精度で所定のト
ラック形状が安定して得られる製造方法を提供する。 【構成】 記録再生用コアバー１１と消去用コアバー１
２とをスペーサー１３を介して接合して一体としたコア
バーブロック１４にイオンミリングにより記録再生用ト
ラックと消去用トラックとを同時に形成し、その後コア
チップに切断する。 【効果】 この方法によれば、両トラックの位置合わせ
が不要となって高精度のコアチップが得られ、また砥石
を用いないので安定したトラック形状が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフロッピーディスクドラ
イブ装置に用いられる磁気ヘッド用コアチップの製造方
法に関する。
イブ装置に用いられる磁気ヘッド用コアチップの製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の記録再生および消去の機能をもつ
磁気ヘッドにおいて、その記録再生用および消去用コア
チップは、まず図７のコアバーの斜視図に示すように、
記録再生用コアバー１と消去用コアバー２とをそれぞれ
単独に砥石を用いてトラック加工し、記録再生用トラッ
ク１ａおよび消去用トラック２ａをそれぞれ形成してい
た。さらにスペーサー３を介して記録再生用のＩ形コア
１ｂと消去用のＩ形コア２ｂと相背するように接合し、
その後切断して図８に示すコアチップ４を製造してい
た。また別の方法として、あらかじめＩ形コア１ｂ，２
ｂを相背するように接合した後、レーザー加工によりそ
れぞれのトラック１ａ，２ａを形成する方法が提案され
ている。
磁気ヘッドにおいて、その記録再生用および消去用コア
チップは、まず図７のコアバーの斜視図に示すように、
記録再生用コアバー１と消去用コアバー２とをそれぞれ
単独に砥石を用いてトラック加工し、記録再生用トラッ
ク１ａおよび消去用トラック２ａをそれぞれ形成してい
た。さらにスペーサー３を介して記録再生用のＩ形コア
１ｂと消去用のＩ形コア２ｂと相背するように接合し、
その後切断して図８に示すコアチップ４を製造してい
た。また別の方法として、あらかじめＩ形コア１ｂ，２
ｂを相背するように接合した後、レーザー加工によりそ
れぞれのトラック１ａ，２ａを形成する方法が提案され
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例のうち砥石によるトラック加工はトラック加工後に
記録再生用トラック１ａと消去用トラック２ａとの位置
合わせを高精度に行う必要があり、また砥石の摩耗，損
傷によるトラック幅，トラック形状の安定に欠けるとい
う欠点があった。また従来例のレーザー加工による方法
では、あらかじめ記録再生用コアバー１と消去用コアバ
ー２とを接合した状態でトラック加工を行うためにトラ
ック位置合わせは不要であるが、レーザー加工の加工熱
により磁性材の磁気特性の劣化や多結晶フェライトへの
適用が困難という問題があった。
来例のうち砥石によるトラック加工はトラック加工後に
記録再生用トラック１ａと消去用トラック２ａとの位置
合わせを高精度に行う必要があり、また砥石の摩耗，損
傷によるトラック幅，トラック形状の安定に欠けるとい
う欠点があった。また従来例のレーザー加工による方法
では、あらかじめ記録再生用コアバー１と消去用コアバ
ー２とを接合した状態でトラック加工を行うためにトラ
ック位置合わせは不要であるが、レーザー加工の加工熱
により磁性材の磁気特性の劣化や多結晶フェライトへの
適用が困難という問題があった。
【０００４】本発明は上記問題点を解決するもので、記
録再生用トラックと消去用トラックとの位置合わせが不
要で、所定のトラック形状が安定して得られる磁気ヘッ
ド用コアチップの製造方法を提供することを目的とす
る。
録再生用トラックと消去用トラックとの位置合わせが不
要で、所定のトラック形状が安定して得られる磁気ヘッ
ド用コアチップの製造方法を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、第１Ｃ形コアと第１のＩ形コアとにより
記録再生ギャップを形成した記録再生用コアバーと、第
２のＣ形コアと第２のＩ形コアとにより消去用ギャップ
を形成した消去用コアバーとを、上記第１および第２の
Ｉ形コアがスペーサーを介して相背するように接合させ
て一体のコアバーブロックとなし、そのコアバーブロッ
クにイオンミリングによりトラック加工して記録再生用
トラックと消去用トラックとを同時に形成し、その後コ
アチップに切断する磁気ヘッド用コアチップの製造方法
である。
めに本発明は、第１Ｃ形コアと第１のＩ形コアとにより
記録再生ギャップを形成した記録再生用コアバーと、第
２のＣ形コアと第２のＩ形コアとにより消去用ギャップ
を形成した消去用コアバーとを、上記第１および第２の
Ｉ形コアがスペーサーを介して相背するように接合させ
て一体のコアバーブロックとなし、そのコアバーブロッ
クにイオンミリングによりトラック加工して記録再生用
トラックと消去用トラックとを同時に形成し、その後コ
アチップに切断する磁気ヘッド用コアチップの製造方法
である。
【０００６】
【作用】この製造方法により、記録再生用コアバーと消
去用コアバーとを一体にして同時にイオンミリングによ
るトラック加工を行うため、記録再生用トラックと消去
用トラックとの位置合わせ不要となり、また砥石加工の
ように砥石の摩耗がないので、高精度で所定形状のトラ
ックを安定して形成できる。
去用コアバーとを一体にして同時にイオンミリングによ
るトラック加工を行うため、記録再生用トラックと消去
用トラックとの位置合わせ不要となり、また砥石加工の
ように砥石の摩耗がないので、高精度で所定形状のトラ
ックを安定して形成できる。
【０００７】
【実施例】以下本発明の一実施例を図１〜６により説明
する。図１（ａ）は本実施例におけるコアバーの斜視図
で、１１は第１のＣ形コア１１ａと第１のＩ形コア１１
ｂとにより記録再生用ギャップが形成された記録再生用
コアバー、１２は第２のＣ形コア１２ａと第２のＩ形コ
ア１２ｂとにより消去用ギャップが形成された消去用コ
アバー、１３はこれらを磁気的に絶縁するためのスペー
サーである。図１（ｂ）はこれらを接合したコアバーブ
ロック１４の斜視図で、スペーサー１３を介してそれそ
れのＩ形コア１１ｂ，１２ｂが相背するように接合され
ている。なお、接合時に生じたずれは研磨してトラック
加工される箇所を平坦な面にしている。
する。図１（ａ）は本実施例におけるコアバーの斜視図
で、１１は第１のＣ形コア１１ａと第１のＩ形コア１１
ｂとにより記録再生用ギャップが形成された記録再生用
コアバー、１２は第２のＣ形コア１２ａと第２のＩ形コ
ア１２ｂとにより消去用ギャップが形成された消去用コ
アバー、１３はこれらを磁気的に絶縁するためのスペー
サーである。図１（ｂ）はこれらを接合したコアバーブ
ロック１４の斜視図で、スペーサー１３を介してそれそ
れのＩ形コア１１ｂ，１２ｂが相背するように接合され
ている。なお、接合時に生じたずれは研磨してトラック
加工される箇所を平坦な面にしている。
【０００８】図２は露光工程の概略図である。コアバー
ブロック１４にあらかじめレジスト液を滴下してスピン
ナーにより均一な厚みのレジスト膜１５をトラック加工
面に形成し、乾燥炉によりレジスト膜１５を熱硬化させ
る。このレジスト膜１５上に記録再生用および消去用の
トラックパターンを形どったマスク１６を密着させ、そ
の上から露光ランプにより１００ｍＪ／cm2〜２００ｍ
Ｊ／cm2の光量を照射してレジスト膜１５にマスク１６
のパターンを焼付ける。その後現像工程では露光されな
かった部分のレジスト膜１５を除去し、トラック部分に
レジスト膜１５がないコアバーブロックができ上がる。
ブロック１４にあらかじめレジスト液を滴下してスピン
ナーにより均一な厚みのレジスト膜１５をトラック加工
面に形成し、乾燥炉によりレジスト膜１５を熱硬化させ
る。このレジスト膜１５上に記録再生用および消去用の
トラックパターンを形どったマスク１６を密着させ、そ
の上から露光ランプにより１００ｍＪ／cm2〜２００ｍ
Ｊ／cm2の光量を照射してレジスト膜１５にマスク１６
のパターンを焼付ける。その後現像工程では露光されな
かった部分のレジスト膜１５を除去し、トラック部分に
レジスト膜１５がないコアバーブロックができ上がる。
【０００９】次に、このコアバーブロックをイオンミリ
ング装置にかけると逆スパッタの原理により、レジスト
膜１５のない箇所、すなわちトラック形成部分のみが削
り取られていき、図３のトラック加工後のコアバーブロ
ックの斜視図に示すように、高精度の記録再生用トラッ
ク１７ａおよび消去用トラック１７ｂが同時に形成され
たコアバーブロック１７となる。トラック加工を行った
後は、トラック部分を保護するとともにメディアへの傷
を防ぐため、削られた部分にガラスを流し込む。そし
て、トラック加工が施されたコアバーブロック１７をさ
らに形状加工工程で図４に示すように必要な形に加工
し、最後にスライス工程で図５に示すように一つ一つの
コアチップ１８に切断する。このようにして、図６に示
すコアチップ１８が完成される。
ング装置にかけると逆スパッタの原理により、レジスト
膜１５のない箇所、すなわちトラック形成部分のみが削
り取られていき、図３のトラック加工後のコアバーブロ
ックの斜視図に示すように、高精度の記録再生用トラッ
ク１７ａおよび消去用トラック１７ｂが同時に形成され
たコアバーブロック１７となる。トラック加工を行った
後は、トラック部分を保護するとともにメディアへの傷
を防ぐため、削られた部分にガラスを流し込む。そし
て、トラック加工が施されたコアバーブロック１７をさ
らに形状加工工程で図４に示すように必要な形に加工
し、最後にスライス工程で図５に示すように一つ一つの
コアチップ１８に切断する。このようにして、図６に示
すコアチップ１８が完成される。
【００１０】
【発明の効果】以上のように本発明は磁気ヘッド用コア
チップの製造方法において、記録再生用コアバーと消去
用コアバーとを一体に接合した後に同時にトラック加工
を行うことにより、高精度かつ少ない工数でコアチップ
を作ることができ、また従来の砥石によるトラック加工
で問題のあった砥石の摩耗等によるトラック形状の不安
定といった心配がなく、任意のトラック形状を安定して
得ることができる。
チップの製造方法において、記録再生用コアバーと消去
用コアバーとを一体に接合した後に同時にトラック加工
を行うことにより、高精度かつ少ない工数でコアチップ
を作ることができ、また従来の砥石によるトラック加工
で問題のあった砥石の摩耗等によるトラック形状の不安
定といった心配がなく、任意のトラック形状を安定して
得ることができる。
【図１】（ａ）本発明の一実施例におけるコアバーの斜
視図 （ｂ）同じくコアバーブロックの斜視図
視図 （ｂ）同じくコアバーブロックの斜視図
【図２】本発明の一実施例における露光工程の概略図
【図３】本発明の一実施例におけるトラック加工後のコ
アバーブロックの斜視図
アバーブロックの斜視図
【図４】本発明の一実施例における形状加工後のコアバ
ーブロックの斜視図
ーブロックの斜視図
【図５】本発明の一実施例における切断後のコアバーブ
ロックの斜視図
ロックの斜視図
【図６】本発明の一実施例におけるコアチップの斜視図
【図７】従来のトラック加工後のコアバーの斜視図
【図８】従来のコアチップの斜視図
１１ 記録再生用コアバー １１ａ 第１のＣ形コア １１ｂ 第１のＩ形コア １２ 消去用コアバー １２ａ 第２のＣ形コア １２ｂ 第２のＩ形コア １３ スペーサー １４ コアバーブロック １７ トラック加工後のコアバーブロック １７ａ 記録再生用トラック １７ｂ 消去用トラック １８ コアチップ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 第１のＣ形コアと第１のＩ形コアとによ
り記録再生用ギャップを形成した記録再生用コアバー
と、第２のＣ形コアと第２のＩ形コアとにより消去用ギ
ャップを形成した消去用コアバーとを、上記第１および
第２のＩ形コアがスペーサーを介して相背するように接
合させて一体のコアバーブロックとなし、そのコアバー
ブロックにイオンミリングによりトラック加工して記録
再生用トラックと消去用トラックとを同時に形成し、そ
の後コアチップに切断する磁気ヘッド用コアチップの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17933891A JPH0528424A (ja) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | 磁気ヘツド用コアチツプの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17933891A JPH0528424A (ja) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | 磁気ヘツド用コアチツプの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0528424A true JPH0528424A (ja) | 1993-02-05 |
Family
ID=16064095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17933891A Pending JPH0528424A (ja) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | 磁気ヘツド用コアチツプの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0528424A (ja) |
-
1991
- 1991-07-19 JP JP17933891A patent/JPH0528424A/ja active Pending
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