JPS61287017A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS61287017A JPS61287017A JP12878685A JP12878685A JPS61287017A JP S61287017 A JPS61287017 A JP S61287017A JP 12878685 A JP12878685 A JP 12878685A JP 12878685 A JP12878685 A JP 12878685A JP S61287017 A JPS61287017 A JP S61287017A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferrite
- etching
- film
- magnetic head
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/1871—Shaping or contouring of the transducing or guiding surface
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明はＶＴＲ等において使用する磁気ヘッドに関する
。
。
（ロ）従来の技術
作動ギャップを形成する非磁性体を介して相対峙する２
個のフェライトコアの作動ギャップ形成面倒に該コア材
よりも飽和磁束密度の犬さいセンダスト等の金属材料を
結合して形成した複合型の磁気ヘッドが例えば実開１１
１８５０−１１７８０８号や特開昭５８−１７５１２２
号公報等に記載されている。新種磁気ヘッドはフェライ
ト材料のみのへラドコアでは飽和磁束密度が低く抗磁力
が１０００エルステツドを越えるような記録媒体に対す
る記録能力が不十分であるのを克服するべく、磁気飽和
現象の最も生じ易い作動ギャップ部近傍をフェライトよ
りも飽和磁束密度の高い材料（例えハ、センダスト、パ
ーマロイ、アモルファス等）で構成したものである。
個のフェライトコアの作動ギャップ形成面倒に該コア材
よりも飽和磁束密度の犬さいセンダスト等の金属材料を
結合して形成した複合型の磁気ヘッドが例えば実開１１
１８５０−１１７８０８号や特開昭５８−１７５１２２
号公報等に記載されている。新種磁気ヘッドはフェライ
ト材料のみのへラドコアでは飽和磁束密度が低く抗磁力
が１０００エルステツドを越えるような記録媒体に対す
る記録能力が不十分であるのを克服するべく、磁気飽和
現象の最も生じ易い作動ギャップ部近傍をフェライトよ
りも飽和磁束密度の高い材料（例えハ、センダスト、パ
ーマロイ、アモルファス等）で構成したものである。
ところで、この複合型磁気ヘッドを形成するのに、スパ
ッタ等で金属磁性材料の薄膜を形成したフェライト基板
に各種の溝を機械加工で施こすとき金属磁性材料に対し
てはボラゾンが、フェライトに対してはダイヤモンドが
適している。
ッタ等で金属磁性材料の薄膜を形成したフェライト基板
に各種の溝を機械加工で施こすとき金属磁性材料に対し
てはボラゾンが、フェライトに対してはダイヤモンドが
適している。
（ハ）考案が解決しようとする間趙点
しかし、金属磁性材料が薄膜という形で施されているた
め、どちらで加工しても膜剥れやカケを生じてしまう。
め、どちらで加工しても膜剥れやカケを生じてしまう。
祈る不都合を生じないように加工速度を遅くすると加工
時間がかかり過ぎて作業性を悪くする。そのほかブレー
ドが摩耗してくると、磁気ヘッドの上、ラック幅にパラ
ツキが生じてくる。
時間がかかり過ぎて作業性を悪くする。そのほかブレー
ドが摩耗してくると、磁気ヘッドの上、ラック幅にパラ
ツキが生じてくる。
しかも機械加工ということで薄膜に各種の歪が入り磁気
特性を劣化させる。それらを解消するためにケミカルエ
ツチングで薄＠部分を加工する方法があるが、ケミカル
エツチングは等方性であるので、サイドエッチが起って
しまう。また、エツチング形成した金属材料膜の裾野の
端が、フェライトに対する機械加工の脈に剥れてしまう
。
特性を劣化させる。それらを解消するためにケミカルエ
ツチングで薄＠部分を加工する方法があるが、ケミカル
エツチングは等方性であるので、サイドエッチが起って
しまう。また、エツチング形成した金属材料膜の裾野の
端が、フェライトに対する機械加工の脈に剥れてしまう
。
に）問題点を解決するための手段
金属磁性材料の膜をイオンビームを用いてエツチングす
ると共に、そのエツチングをフェライトにも届くように
施こす。
ると共に、そのエツチングをフェライトにも届くように
施こす。
（ホ）作 用
イオンビームエツチングは異方性エツチングであるので
、サイドエッチが生じない。フェライトは機械加工され
るが、金属磁性材料膜の裾野に位置するフェライト部分
には、金属磁性材料膜のイオンビームエツチング時のエ
ツチングを受けて所定要分だけ削除される。従って、フ
ェライトを機械加工するとき、金属磁性材料はその影響
を受けない。
、サイドエッチが生じない。フェライトは機械加工され
るが、金属磁性材料膜の裾野に位置するフェライト部分
には、金属磁性材料膜のイオンビームエツチング時のエ
ツチングを受けて所定要分だけ削除される。従って、フ
ェライトを機械加工するとき、金属磁性材料はその影響
を受けない。
（へ）実施例
第１図に示すフェライト基板（１） Ｋ 、センダスト
膜（２）と、そのセンダスト膜上に５１０２ｍをスパッ
タリング法等によって形成する（第２図〕。叉に第６図
に示す如くスピンナーを用いてレジスト（３）を塗布す
る。次にフォトマスクを用いて露光と現像を行ない第４
図の如くレジストバクーンを形成する。第４図の状態で
イオンビーム（６）によるエツチングを施こして第５図
の如く加工する。このとき、エツチングはフェライト部
分にも及ぶようにしているので、センダスト膜（２）と
、該センダスト膜（２）に隣接するフェライト２を面（
１ａ）との間には段差が生じる。第４図において点線（
４）はエツチングを施こす深さを示している。第５図に
おいて、フェライト（１）の表面（１ａ〕には更に点、
ｌ！＠で示才形状ＶｃｗＡ械加工を施ζｔ：ｐ ４；
＆ 、Ｑようにして形成したものを一対対向配置すると
共に両サイドに研磨を施゛こすと第６図のようになる。
膜（２）と、そのセンダスト膜上に５１０２ｍをスパッ
タリング法等によって形成する（第２図〕。叉に第６図
に示す如くスピンナーを用いてレジスト（３）を塗布す
る。次にフォトマスクを用いて露光と現像を行ない第４
図の如くレジストバクーンを形成する。第４図の状態で
イオンビーム（６）によるエツチングを施こして第５図
の如く加工する。このとき、エツチングはフェライト部
分にも及ぶようにしているので、センダスト膜（２）と
、該センダスト膜（２）に隣接するフェライト２を面（
１ａ）との間には段差が生じる。第４図において点線（
４）はエツチングを施こす深さを示している。第５図に
おいて、フェライト（１）の表面（１ａ〕には更に点、
ｌ！＠で示才形状ＶｃｗＡ械加工を施ζｔ：ｐ ４；
＆ 、Ｑようにして形成したものを一対対向配置すると
共に両サイドに研磨を施゛こすと第６図のようになる。
第６図でサイドｔｔ４１４）部分には接合用のガラスを
充填する。
充填する。
（５）は５ｉ０２映よりなるギヤツブ用非ｆＩＬ、）’
Ｅ体を示す。イオンビームの入射角（θ）を大きくして
エツチングしたものを組合せると第７図の如くなる。上
述においてセンダストに代えてパーマロイ、アモルファ
スなどを用いることもできる。
Ｅ体を示す。イオンビームの入射角（θ）を大きくして
エツチングしたものを組合せると第７図の如くなる。上
述においてセンダストに代えてパーマロイ、アモルファ
スなどを用いることもできる。
（ト）発明の効果
本発明によれば、金属磁性材料の膜剥れが生じることが
ない。また、金属磁性材料膜のＥクツ２部分とフェライ
トの機械加工を彪こすＳ分を離すことができるので、ト
ラック輸の精度が向上し、加工時間も大幅に短縮できる
。
ない。また、金属磁性材料膜のＥクツ２部分とフェライ
トの機械加工を彪こすＳ分を離すことができるので、ト
ラック輸の精度が向上し、加工時間も大幅に短縮できる
。
第１図、第２図、第３図、第４図、第５図および第６図
は本発明の一実施例を説明する図であり、第７図は他の
実施例を説明するための図である。 （１）・・・フェライト基板、（２）・・・センダスト
、（３）・・・レジスト、（５）・・・ギャップ用非磁
性体、（６）・・・イオンビーム。
は本発明の一実施例を説明する図であり、第７図は他の
実施例を説明するための図である。 （１）・・・フェライト基板、（２）・・・センダスト
、（３）・・・レジスト、（５）・・・ギャップ用非磁
性体、（６）・・・イオンビーム。
Claims (1)
- （１）フェライト材料よりなる主磁路のギャップを形成
する非磁性体と前記フェライト材料との間に高飽和磁束
密度の金属磁性材料を配してなる磁気ヘッドを形成する
段階で各種の溝加工を施こす際に前記金属磁性材料はエ
ッチングで加工し、前記フェライト材料は主に機械的に
加工する磁気ヘッドの製造方法において、前記エッチン
グをイオンビームを用いて行なうと共に、そのエッチン
グを前記フェライトにも届くように施してなる磁気ヘッ
ドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12878685A JPS61287017A (ja) | 1985-06-13 | 1985-06-13 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12878685A JPS61287017A (ja) | 1985-06-13 | 1985-06-13 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61287017A true JPS61287017A (ja) | 1986-12-17 |
| JPH0439125B2 JPH0439125B2 (ja) | 1992-06-26 |
Family
ID=14993416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12878685A Granted JPS61287017A (ja) | 1985-06-13 | 1985-06-13 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61287017A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0328104A2 (en) * | 1988-02-09 | 1989-08-16 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Magnetic head and method of manufacturing the same |
-
1985
- 1985-06-13 JP JP12878685A patent/JPS61287017A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0328104A2 (en) * | 1988-02-09 | 1989-08-16 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Magnetic head and method of manufacturing the same |
| US5099376A (en) * | 1988-02-09 | 1992-03-24 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Magnetic head and method of manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0439125B2 (ja) | 1992-06-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |