JPH0527754Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0527754Y2 JPH0527754Y2 JP17876687U JP17876687U JPH0527754Y2 JP H0527754 Y2 JPH0527754 Y2 JP H0527754Y2 JP 17876687 U JP17876687 U JP 17876687U JP 17876687 U JP17876687 U JP 17876687U JP H0527754 Y2 JPH0527754 Y2 JP H0527754Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- gas
- shaft
- valve body
- valve member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
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- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
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- Details Of Valves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔概要〕
本考案は、半導体製造装置のガスの供給路（特
に、使用圧力が10Kg／cm2以上となるような高圧系
統）・排気路等に配設される軸シール型バルブの
改良に関し、 バルブ本体内の弁の開閉をする弁部材とそれを
回転駆動する軸部材との嵌合部にガスが滞留する
のを防ぎ半導体製造装置等のガスの置換えを良好
にすることで汚染の発生を防止することを目的と
し、 弁部材の軸部材との嵌合部と弁の開閉部分間に
ガス排気路を設けるように構成する。
に、使用圧力が10Kg／cm2以上となるような高圧系
統）・排気路等に配設される軸シール型バルブの
改良に関し、 バルブ本体内の弁の開閉をする弁部材とそれを
回転駆動する軸部材との嵌合部にガスが滞留する
のを防ぎ半導体製造装置等のガスの置換えを良好
にすることで汚染の発生を防止することを目的と
し、 弁部材の軸部材との嵌合部と弁の開閉部分間に
ガス排気路を設けるように構成する。
〔産業上の利用分野〕
本考案は、例えば半導体製造装置のガスの供給
路・排気路に配設される比較的安価な軸シール型
バルブに関する。
路・排気路に配設される比較的安価な軸シール型
バルブに関する。
第３図は従来の軸シール型バルブの断面図であ
る。
る。
図において、１はバルブ本体、２は弁部材であ
りケレツプと呼ばれる。３は軸部材（スピンド
ル）で、その一方側は弁部材２に嵌合するよう構
成されており、反対側にはハンドル４が接続され
ている。軸部材３とバルブ本体１間はパツキン６
やＯリング７等のシール材を利用した密閉部材５
により外気と遮断され、バルブ本体１は固定ネジ
８で固定されている。
りケレツプと呼ばれる。３は軸部材（スピンド
ル）で、その一方側は弁部材２に嵌合するよう構
成されており、反対側にはハンドル４が接続され
ている。軸部材３とバルブ本体１間はパツキン６
やＯリング７等のシール材を利用した密閉部材５
により外気と遮断され、バルブ本体１は固定ネジ
８で固定されている。
弁部材２は、軸部材３によりガイドネジ２３に
沿つて回転させられて上下に移動し、同図ａのよ
うに上方に弁部材２が位置しているとき、弁の開
いた状態となり、例えば図の矢印１０のようにガ
スが流れて半導体製造装置へのガスの導入又は排
出がなされる。また、同図ｂのように弁部材２が
下がると弁部材２下部に付けられたシート２２が
バルブ本体１の開口に押し付けられた弁の閉じた
状態になる。
沿つて回転させられて上下に移動し、同図ａのよ
うに上方に弁部材２が位置しているとき、弁の開
いた状態となり、例えば図の矢印１０のようにガ
スが流れて半導体製造装置へのガスの導入又は排
出がなされる。また、同図ｂのように弁部材２が
下がると弁部材２下部に付けられたシート２２が
バルブ本体１の開口に押し付けられた弁の閉じた
状態になる。
この従来の軸シール型バルブではガイドネジ２
２の部分の隙間を通つてガスが弁部材２と軸部材
３との嵌合部１１へ流れ込み、ガスが滞留して、
ガスの置換の際に置換後のガスに滞留していた置
換前のガスが混ざりガスの純度の低下や汚染の発
生が起こる問題があり、半導体製造装置等のガス
供給・排気路に配設されるバルブとしては大きな
問題であつた。
２の部分の隙間を通つてガスが弁部材２と軸部材
３との嵌合部１１へ流れ込み、ガスが滞留して、
ガスの置換の際に置換後のガスに滞留していた置
換前のガスが混ざりガスの純度の低下や汚染の発
生が起こる問題があり、半導体製造装置等のガス
供給・排気路に配設されるバルブとしては大きな
問題であつた。
本考案は、ガスが滞留するのを防ぎガスの純度
の低下及び汚染の発生を防止する軸シール型バル
ブを提供することを目的とする。
の低下及び汚染の発生を防止する軸シール型バル
ブを提供することを目的とする。
本考案によれば、上記目的はバルブ本体と、該
バルブ本体に対してネジとなつて挿入され回転さ
れることにより移動して弁を開閉する弁部材と、
該弁部材の弁の開閉側とは反対側に該弁部材と嵌
合して設けられ該弁部材を回転駆動する軸部材
と、該軸部材とバルブ本体間を密閉する密閉部材
と、前記弁部材の弁の開閉側と反対側間に設けら
れたガス排気路とを有する軸シール型バルブによ
つて達成される。
バルブ本体に対してネジとなつて挿入され回転さ
れることにより移動して弁を開閉する弁部材と、
該弁部材の弁の開閉側とは反対側に該弁部材と嵌
合して設けられ該弁部材を回転駆動する軸部材
と、該軸部材とバルブ本体間を密閉する密閉部材
と、前記弁部材の弁の開閉側と反対側間に設けら
れたガス排気路とを有する軸シール型バルブによ
つて達成される。
本考案によれば、ガス排気路を設けることによ
り弁部材と軸部材が嵌合する部分にネジの部分を
通つて流れ込んだガスを良好に排出することがで
き、ガスの滞留を良好に防ぐことができる。
り弁部材と軸部材が嵌合する部分にネジの部分を
通つて流れ込んだガスを良好に排出することがで
き、ガスの滞留を良好に防ぐことができる。
第１図は本考案の一実施例の軸シール型バルブ
の断面図である。図で２０が弁部材、３０が弁部
材２０に形成されたガス排気路であり、これら
は、例えばステンレス鋼等からなる弁部材２０の
上部、嵌合部１１の中央部分から下部、テフロ
ン、ダイフロン等の樹脂シート２２の近傍までド
リル等で直径２mm程度の貫通孔を開けることによ
り形成される。貫通孔は１つでも複数でもよい。
の断面図である。図で２０が弁部材、３０が弁部
材２０に形成されたガス排気路であり、これら
は、例えばステンレス鋼等からなる弁部材２０の
上部、嵌合部１１の中央部分から下部、テフロ
ン、ダイフロン等の樹脂シート２２の近傍までド
リル等で直径２mm程度の貫通孔を開けることによ
り形成される。貫通孔は１つでも複数でもよい。
このガス排気路３０より弁部材２０と軸部材３
の嵌合部１１へ流れ込んだガスを排気する。
の嵌合部１１へ流れ込んだガスを排気する。
第２図ａ及びｂは本考案の別の実施例の軸シー
ル型バルブの弁部材の側面図及び下面図である。
弁部材２１の側面に上下に溝形状のガス排気路３
１が形成されている。この実施例では、ネジ２４
の谷の部分に滞留するガスも良好に排気が行える
利点があるが、ネジ２４を壊すことなく溝を形成
しなければならないので、加工が難しく、これに
比べて第１図の実施例のほうが加工が容易であ
る。
ル型バルブの弁部材の側面図及び下面図である。
弁部材２１の側面に上下に溝形状のガス排気路３
１が形成されている。この実施例では、ネジ２４
の谷の部分に滞留するガスも良好に排気が行える
利点があるが、ネジ２４を壊すことなく溝を形成
しなければならないので、加工が難しく、これに
比べて第１図の実施例のほうが加工が容易であ
る。
以上、弁部材を加工してバルブ本体は従来のま
まとして簡単にガス排気路を形成する実施例につ
いて述べたが、本考案では、弁部材と軸部材の嵌
合部と弁開閉部を結ぶガス排気路をバルブ本体に
設けてもよく上記実施例に限定されるものではな
い。
まとして簡単にガス排気路を形成する実施例につ
いて述べたが、本考案では、弁部材と軸部材の嵌
合部と弁開閉部を結ぶガス排気路をバルブ本体に
設けてもよく上記実施例に限定されるものではな
い。
本考案によれば、軸シール型バルブにガス排気
路を設けることにより、バルブにおけるガスの滞
留を防ぎ半導体製造装置等のガスの置換をスムー
ズにし、ガスの純度の低下及び汚染の発生を良好
に防止できる。
路を設けることにより、バルブにおけるガスの滞
留を防ぎ半導体製造装置等のガスの置換をスムー
ズにし、ガスの純度の低下及び汚染の発生を良好
に防止できる。
第１図は本考案の一実施例の軸シール型バルブ
の断面図、第２図は、本考案の別の実施例の軸シ
ール型バルブの弁部材の側面図及び下面図、第３
図は従来の軸シール型バルブの断面図である。 図中、１……バルブ本体、２，２０，２１……
弁部材、３……軸部材、４……ハンドル、５……
密閉部材、３０，３１……ガス排気路。
の断面図、第２図は、本考案の別の実施例の軸シ
ール型バルブの弁部材の側面図及び下面図、第３
図は従来の軸シール型バルブの断面図である。 図中、１……バルブ本体、２，２０，２１……
弁部材、３……軸部材、４……ハンドル、５……
密閉部材、３０，３１……ガス排気路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 バルブ本体１と、 該バルブ本体１に対してネジとなつて挿入され
回転されることにより移動して弁を開閉する弁部
材２０，２１と、 該弁部材２０，２１の弁の開閉側とは反対側に
該弁部材２０，２１と嵌合して設けられ該弁部材
２０，２１を回転駆動する軸部材３と、 該軸部材３とバルブ本体１間を密閉する密閉部
材５と、 前記弁部材２０，２１の弁の開閉側と反対側間
に設けられたガス排気路３０，３１とを有するこ
とを特徴とする軸シール型バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17876687U JPH0527754Y2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17876687U JPH0527754Y2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0182384U JPH0182384U (ja) | 1989-06-01 |
| JPH0527754Y2 true JPH0527754Y2 (ja) | 1993-07-15 |
Family
ID=31470368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17876687U Expired - Lifetime JPH0527754Y2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0527754Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7037955B2 (ja) * | 2018-02-21 | 2022-03-17 | 日立Astemo株式会社 | 減圧弁 |
-
1987
- 1987-11-24 JP JP17876687U patent/JPH0527754Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0182384U (ja) | 1989-06-01 |
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