JPH05269475A - 過酸化水素とアンモニアとを含む排水の処理法 - Google Patents
過酸化水素とアンモニアとを含む排水の処理法Info
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- JPH05269475A JPH05269475A JP6821092A JP6821092A JPH05269475A JP H05269475 A JPH05269475 A JP H05269475A JP 6821092 A JP6821092 A JP 6821092A JP 6821092 A JP6821092 A JP 6821092A JP H05269475 A JPH05269475 A JP H05269475A
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- hydrogen peroxide
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- containing hydrogen
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- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 過酸化水素及びアンモニアを含む排水中か
ら、酸素含有ガスの吹き込みを必要とすることなく、過
酸化水素及びアンモニアを同時に容易かつ効率的に分解
除去して、高水質処理水を得る。 【構成】 過酸化水素とアンモニアとを含む排水を酸素
含有ガスを吹き込むことなく８０〜１７０℃において酸
化還元触媒と接触させ、前記両成分を分解する。 【効果】 一工程で処理できる。生物処理に比べて、処
理水の水質コントロールが容易であり、汚泥の発生もな
い。薬剤の添加が不要である。１０００ｐｐｍ程度のＮ
Ｈ3 含有排水にも対応できる。酸素含有ガスの吹き込み
が不要で、装置の簡易化が図れる。
ら、酸素含有ガスの吹き込みを必要とすることなく、過
酸化水素及びアンモニアを同時に容易かつ効率的に分解
除去して、高水質処理水を得る。 【構成】 過酸化水素とアンモニアとを含む排水を酸素
含有ガスを吹き込むことなく８０〜１７０℃において酸
化還元触媒と接触させ、前記両成分を分解する。 【効果】 一工程で処理できる。生物処理に比べて、処
理水の水質コントロールが容易であり、汚泥の発生もな
い。薬剤の添加が不要である。１０００ｐｐｍ程度のＮ
Ｈ3 含有排水にも対応できる。酸素含有ガスの吹き込み
が不要で、装置の簡易化が図れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は過酸化水素とアンモニア
とを含む排水の処理法に係り、特に、過酸化水素とアン
モニアとを含む排水から、これらを一つの処理で同時
に、分解除去する方法に関する。
とを含む排水の処理法に係り、特に、過酸化水素とアン
モニアとを含む排水から、これらを一つの処理で同時
に、分解除去する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造プロセスからは、過酸化水
素とアンモニアとを含む排水が排出される。この排水中
の過酸化水素はＣＯＤMnにかかるため分解する必要があ
り、アンモニアは河川、湖沼、海の富栄養化の原因とな
るためやはり処理する必要があるが、従来、過酸化水素
とアンモニアは一つの処理で同時に除去することができ
なかった。
素とアンモニアとを含む排水が排出される。この排水中
の過酸化水素はＣＯＤMnにかかるため分解する必要があ
り、アンモニアは河川、湖沼、海の富栄養化の原因とな
るためやはり処理する必要があるが、従来、過酸化水素
とアンモニアは一つの処理で同時に除去することができ
なかった。
【０００３】従来、アンモニアのみを除去する方法とし
ては、生物処理による方法、或いは、薬剤とオゾンを併
用する方法（特開平３−１８１３９０）があるが、生物
処理による方法では、次のような問題点がある。
ては、生物処理による方法、或いは、薬剤とオゾンを併
用する方法（特開平３−１８１３９０）があるが、生物
処理による方法では、次のような問題点がある。
【０００４】汚泥が発生する。 処理水の水質のコントロールが難かしい。 広いスペースを必要とする。
【０００５】また、薬剤とオゾンの併用処理には次のよ
うな問題点がある。 アンモニア濃度の１０倍以上のＢｒ- 濃度が必要であ
る。 アンモニア濃度の２倍以上のオゾン濃度が必要であ
る。 アンモニア濃度の大きい原水に対応できない。
うな問題点がある。 アンモニア濃度の１０倍以上のＢｒ- 濃度が必要であ
る。 アンモニア濃度の２倍以上のオゾン濃度が必要であ
る。 アンモニア濃度の大きい原水に対応できない。
【０００６】一方、過酸化水素はカタラーゼ等の薬剤を
加えることにより分解処理されている。
加えることにより分解処理されている。
【０００７】なお、特公平３−３４９９６には、排水中
の有機・無機物質を酸素含有ガス吹き込み下、かつ、Ｏ
3 及び／又はＨ2 Ｏ2 共在下、３７０℃以下において触
媒でＮ2 ，ＣＯ2 ，Ｈ2 Ｏに分解することが記載されて
いる。しかし、この方法では、酸素含有ガスを原水に吹
き込まなければならないことから、装置が複雑であると
いう不具合がある。
の有機・無機物質を酸素含有ガス吹き込み下、かつ、Ｏ
3 及び／又はＨ2 Ｏ2 共在下、３７０℃以下において触
媒でＮ2 ，ＣＯ2 ，Ｈ2 Ｏに分解することが記載されて
いる。しかし、この方法では、酸素含有ガスを原水に吹
き込まなければならないことから、装置が複雑であると
いう不具合がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来にお
いて、排水中の過酸化水素及びアンモニアを同時に分解
除去できる有効かつ工業的に有利な方法が提案されてお
らず、その改良が望まれている。
いて、排水中の過酸化水素及びアンモニアを同時に分解
除去できる有効かつ工業的に有利な方法が提案されてお
らず、その改良が望まれている。
【０００９】なお、特公昭５９−１９７５７には、アン
モニア含有排水を触媒の存在下に分解する方法が開示さ
れているが、この方法も、酸素含有ガスを吹き込んでい
るため、設備面で不利である。また、特公昭６２−３５
８３８では、パラジウム触媒の存在下、Ｈ2 Ｏ2 を分解
しているが、アンモニアには言及していない。
モニア含有排水を触媒の存在下に分解する方法が開示さ
れているが、この方法も、酸素含有ガスを吹き込んでい
るため、設備面で不利である。また、特公昭６２−３５
８３８では、パラジウム触媒の存在下、Ｈ2 Ｏ2 を分解
しているが、アンモニアには言及していない。
【００１０】本発明は上記従来の問題点を解決し、過酸
化水素及びアンモニアを含む排水中から、酸素含有ガス
の吹き込みを必要とすることなく、過酸化水素及びアン
モニアを同時に容易かつ効率的に分解除去して、高水質
処理水を得ることができる過酸化水素とアンモニアとを
含む排水の処理法を提供することを目的とする。
化水素及びアンモニアを含む排水中から、酸素含有ガス
の吹き込みを必要とすることなく、過酸化水素及びアン
モニアを同時に容易かつ効率的に分解除去して、高水質
処理水を得ることができる過酸化水素とアンモニアとを
含む排水の処理法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の過酸化水素とア
ンモニアとを含む排水の処理法は、過酸化水素とアンモ
ニアとを含む排水を酸素含有ガスを吹き込むことなく８
０〜１７０℃において酸化還元触媒と接触させ、前記両
成分を分解することを特徴とする。
ンモニアとを含む排水の処理法は、過酸化水素とアンモ
ニアとを含む排水を酸素含有ガスを吹き込むことなく８
０〜１７０℃において酸化還元触媒と接触させ、前記両
成分を分解することを特徴とする。
【００１２】以下に本発明を図面を参照して詳細に説明
する。図１は本発明の過酸化水素とアンモニアとを含む
排水の処理法の一実施方法を示す系統図である。
する。図１は本発明の過酸化水素とアンモニアとを含む
排水の処理法の一実施方法を示す系統図である。
【００１３】図中、１は過酸化水素（Ｈ2 Ｏ2 ）及びア
ンモニア（ＮＨ3 ）を含有する排水の貯槽、２は熱交換
器、３はヒーター、４は触媒４Ａが充填された分解塔で
ある。Ｐ1 はポンプ、１１、１２、１３、１４は配管を
示す。
ンモニア（ＮＨ3 ）を含有する排水の貯槽、２は熱交換
器、３はヒーター、４は触媒４Ａが充填された分解塔で
ある。Ｐ1 はポンプ、１１、１２、１３、１４は配管を
示す。
【００１４】本実施例の方法においては、貯槽１中のＨ
2 Ｏ2 及びＮＨ3 含有排水をポンプＰ1 を備える配管１
１を経て熱交換器２に導入して後述の分解塔４の流出水
と熱交換した後、更にヒーター３を備える配管１２で加
熱した後、分解塔４に導入し、塔内の触媒４Ａと接触さ
せることによりＨ2 Ｏ2 及びＮＨ3 を分解除去する。Ｈ
2 Ｏ2 及びＮＨ3 が分解除去された分解塔４の流出水は
配管１３を経て、熱交換器２に導入され、前述の排水と
熱交換された後、配管１４より処理水として系外へ排出
される。
2 Ｏ2 及びＮＨ3 含有排水をポンプＰ1 を備える配管１
１を経て熱交換器２に導入して後述の分解塔４の流出水
と熱交換した後、更にヒーター３を備える配管１２で加
熱した後、分解塔４に導入し、塔内の触媒４Ａと接触さ
せることによりＨ2 Ｏ2 及びＮＨ3 を分解除去する。Ｈ
2 Ｏ2 及びＮＨ3 が分解除去された分解塔４の流出水は
配管１３を経て、熱交換器２に導入され、前述の排水と
熱交換された後、配管１４より処理水として系外へ排出
される。
【００１５】本発明において、酸化還元触媒としては、
触媒有効成分として、白金、パラジウム、ルテニウム、
ロジウム、インジウム、イリジウム、銀、金、コバル
ト、銅、ニッケル及びタングステン、並びにこれらの金
属の水不溶性又は水難溶性の化合物、具体的には、一酸
化コバルト、一酸化ニッケル、二酸化ルテニウム、三二
酸化ロジウム、一酸化パラジウム、二酸化イリジウム、
酸化第二銅、二酸化タングステン等の酸化物、更には二
塩化ルテニウム、二塩化白金等の塩化物、硫化ルテニウ
ム、硫化ロジウム等の硫化物等よりなる群から選ばれた
１種又は２種以上を、アルミナ、活性炭、酸化チタン、
ジルコニア、その他の合成樹脂等の担体に担持したもの
が挙げられる。このような担持触媒中の金属及び／又は
その化合物の担持量は、通常、担体重量の０．０５〜２
５重量％、好ましくは０．５〜３重量％であることが望
ましい。このような担持触媒は、球状、ペレット状、円
柱状、破砕片状、ハニカム状、粉末状等の種々の形態で
使用可能である。
触媒有効成分として、白金、パラジウム、ルテニウム、
ロジウム、インジウム、イリジウム、銀、金、コバル
ト、銅、ニッケル及びタングステン、並びにこれらの金
属の水不溶性又は水難溶性の化合物、具体的には、一酸
化コバルト、一酸化ニッケル、二酸化ルテニウム、三二
酸化ロジウム、一酸化パラジウム、二酸化イリジウム、
酸化第二銅、二酸化タングステン等の酸化物、更には二
塩化ルテニウム、二塩化白金等の塩化物、硫化ルテニウ
ム、硫化ロジウム等の硫化物等よりなる群から選ばれた
１種又は２種以上を、アルミナ、活性炭、酸化チタン、
ジルコニア、その他の合成樹脂等の担体に担持したもの
が挙げられる。このような担持触媒中の金属及び／又は
その化合物の担持量は、通常、担体重量の０．０５〜２
５重量％、好ましくは０．５〜３重量％であることが望
ましい。このような担持触媒は、球状、ペレット状、円
柱状、破砕片状、ハニカム状、粉末状等の種々の形態で
使用可能である。
【００１６】また、反応条件は、温度８０〜１７０℃、
特に１４０〜１７０℃が好ましく、圧力は１０ｋｇ／ｃ
ｍ2 未満程度とされる。
特に１４０〜１７０℃が好ましく、圧力は１０ｋｇ／ｃ
ｍ2 未満程度とされる。
【００１７】本発明の方法は、図１に示す如く、Ｈ2 Ｏ
2 及びＮＨ3 を含む排水を上記担持触媒を充填した固定
床式反応層に通液することにより実施することができ
る。この場合、反応層容積、触媒充填量、通液速度は、
用水と担持触媒との接触時間が３〜６０分、特に１０〜
２０分となるように設定するのが好ましい。なお、固定
床式反応層に使用する担持触媒の粒径は、通常、０．２
〜１０ｍｍ、特に０．５〜５ｍｍ程度であることが好ま
しい。
2 及びＮＨ3 を含む排水を上記担持触媒を充填した固定
床式反応層に通液することにより実施することができ
る。この場合、反応層容積、触媒充填量、通液速度は、
用水と担持触媒との接触時間が３〜６０分、特に１０〜
２０分となるように設定するのが好ましい。なお、固定
床式反応層に使用する担持触媒の粒径は、通常、０．２
〜１０ｍｍ、特に０．５〜５ｍｍ程度であることが好ま
しい。
【００１８】このような本発明の方法は、特に、半導体
製造工程から排出されるＨ2 Ｏ2 及びＮＨ3 を含み、有
機物を含まない排水に対して、極めて有効である。
製造工程から排出されるＨ2 Ｏ2 及びＮＨ3 を含み、有
機物を含まない排水に対して、極めて有効である。
【００１９】
【作用】Ｈ2 Ｏ2 とＮＨ3 とを含む排水を８０〜１７０
℃で酸化還元触媒と接触させることにより、酸素含有ガ
スの吹き込みを要することなく、Ｈ2 Ｏ2 及びＮＨ3 を
下式に従って、同時に分解除去することができる。
℃で酸化還元触媒と接触させることにより、酸素含有ガ
スの吹き込みを要することなく、Ｈ2 Ｏ2 及びＮＨ3 を
下式に従って、同時に分解除去することができる。
【００２０】
【化１】
【００２１】
【実施例】以下に実施例を挙げて、本発明をより具体的
に説明する。
に説明する。
【００２２】実施例１ ０．５重量％Ｐｔ担持Ａｌ2 Ｏ3 触媒３５ｇ（約３５ｍ
ｌ）をカラムに詰め、これを１４０℃の油浴に浸して加
熱した。このカラムに、Ｈ2 Ｏ2 及びＮＨ3 混合溶液
（Ｈ2 Ｏ2 ：３．５×１０3 ｍｇ／ｌ，ＮＨ3 ：Ｎとし
て１０００ｍｇ／ｌ）を毎分３ｍｌ送液してＨ2 Ｏ2 及
びＮＨ3 の分解を行なった。
ｌ）をカラムに詰め、これを１４０℃の油浴に浸して加
熱した。このカラムに、Ｈ2 Ｏ2 及びＮＨ3 混合溶液
（Ｈ2 Ｏ2 ：３．５×１０3 ｍｇ／ｌ，ＮＨ3 ：Ｎとし
て１０００ｍｇ／ｌ）を毎分３ｍｌ送液してＨ2 Ｏ2 及
びＮＨ3 の分解を行なった。
【００２３】得られた処理水のＨ2 Ｏ2 ，ＮＨ4 +，ＮＯ
3 -，ＮＯ2 -濃度を測定したところ、Ｈ2 Ｏ2 は含まれて
おらず、ＮＨ4 +，ＮＯ3 -，ＮＯ2 -はＮとしてそれぞれ、
１００ｍｇ／ｌ，５ｍｇ／ｌ，５０ｍｇ／ｌであり、約
８５％のＮＨ3 が除去されていた。
3 -，ＮＯ2 -濃度を測定したところ、Ｈ2 Ｏ2 は含まれて
おらず、ＮＨ4 +，ＮＯ3 -，ＮＯ2 -はＮとしてそれぞれ、
１００ｍｇ／ｌ，５ｍｇ／ｌ，５０ｍｇ／ｌであり、約
８５％のＮＨ3 が除去されていた。
【００２４】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の過酸化水素
とアンモニアとを含む排水の処理法によれば、Ｈ2 Ｏ2
及びＮＨ3 を含む排水中から、Ｈ2 Ｏ2 及びＮＨ3 を一
つの処理で同時に、容易かつ効率的に分解除去すること
ができる。本発明によれば、 一工程で処理できる。
とアンモニアとを含む排水の処理法によれば、Ｈ2 Ｏ2
及びＮＨ3 を含む排水中から、Ｈ2 Ｏ2 及びＮＨ3 を一
つの処理で同時に、容易かつ効率的に分解除去すること
ができる。本発明によれば、 一工程で処理できる。
【００２５】生物処理に比べて、処理水の水質コント
ロールが容易であり、汚泥の発生もない。 薬剤の添加が不要である。 １０００ｍｇ／ｌ程度のＮＨ3 含有排水にも対応でき
る。 酸素含有ガスの吹き込みが不要で、装置の簡易化が図
れる。 といった効果が奏され、工業的に極めて有利である。
ロールが容易であり、汚泥の発生もない。 薬剤の添加が不要である。 １０００ｍｇ／ｌ程度のＮＨ3 含有排水にも対応でき
る。 酸素含有ガスの吹き込みが不要で、装置の簡易化が図
れる。 といった効果が奏され、工業的に極めて有利である。
【００２６】特に、本発明は過酸化水素とアンモニアと
を含み、有機物を含まない、半導体製造工程から排出さ
れる排水の処理に有効である。
を含み、有機物を含まない、半導体製造工程から排出さ
れる排水の処理に有効である。
【図１】本発明の過酸化水素とアンモニアとを含む排水
の処理法の一実施方法を示す系統図である。
の処理法の一実施方法を示す系統図である。
１ 排水貯槽 ２ 熱交換器 ３ ヒーター ４ 分解塔 ４Ａ 触媒
Claims (1)
- 【請求項１】 過酸化水素とアンモニアとを含む排水を
酸素含有ガスを吹き込むことなく８０〜１７０℃におい
て酸化還元触媒と接触させ、前記両成分を分解すること
を特徴とする過酸化水素とアンモニアとを含む排水の処
理法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6821092A JPH05269475A (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | 過酸化水素とアンモニアとを含む排水の処理法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6821092A JPH05269475A (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | 過酸化水素とアンモニアとを含む排水の処理法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05269475A true JPH05269475A (ja) | 1993-10-19 |
Family
ID=13367210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6821092A Pending JPH05269475A (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | 過酸化水素とアンモニアとを含む排水の処理法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05269475A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015181984A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | カーリットホールディングス株式会社 | 過酸化物の処理方法 |
| CN110835154A (zh) * | 2019-12-16 | 2020-02-25 | 天合光能股份有限公司 | 氨水与双氧水废水处理装置及方法 |
-
1992
- 1992-03-26 JP JP6821092A patent/JPH05269475A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015181984A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | カーリットホールディングス株式会社 | 過酸化物の処理方法 |
| CN110835154A (zh) * | 2019-12-16 | 2020-02-25 | 天合光能股份有限公司 | 氨水与双氧水废水处理装置及方法 |
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